所述焦点的所述位置。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传感器系统包括共焦传感器。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述传感器系统是多色共焦传感器。4.根据权利要求3所述的方法，所述方法包括: 导引来自所述共焦传感器的不同波长的光穿过所述光学系统； 在所述共焦传感器系统中检测通过所述光学系统而反射回的光；以及 基于由所述传感器系统检测到的光的所述波长，确定所述光学系统的所述焦点。5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述传感器系统是单色共焦传感器。6.根据权利要求5所述的方法，所述方法包括: 沿所述光学系统的光轴调整所述共焦传感器的物镜的位置； 当所述物镜处于沿所述光学系统的所述光轴的不同位置处时，使用所述传感器系统来进行相应测量；以及 基于在光被所述共焦传感器检测到的所述位置中的特定一个位置处的测量，确定所述光学系统的所述焦点。7.根据权利要求2所述的方法，所述方法还包括使用所述共焦传感器来测量距与所述光学系统相关联的参考表面的距离。8.根据权利要求7所述的方法，所述方法还包括使用所述光学系统的所述焦点的所述位置以及距所述参考表面的所述距离来获得法兰焦距。9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传感器系统包括共焦显微镜。10.根据权利要求9所述的方法，所述方法包括: 导引来自所述共焦显微镜的光穿过所述光学系统； 将所述光通过所述光学系统而反射回；以及 基于由所述共焦显微镜感测到的所述反射的光，确定所述光学系统的所述焦点匹配所述共焦显微镜的所述焦点时所在位置。11.根据权利要求10所述的方法，所述方法还包括使用所述共焦显微镜来确定距与所述光学系统相关联的参考表面的距离。12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述共焦显微镜从单个位置执行第一测量和第二测量，其中所述光学系统的所述焦点匹配所述共焦显微镜的所述焦点时所在位置根据第一测量或第二测量的一个确定，并且其中距所述参考表面的所述距离根据第一测量或第二测量的另一个确定。13.根据权利要求11所述的方法，所述方法还包括使用所述光学系统的所述焦点的所述位置以及距所述参考表面的所述距离来获得法兰焦距。14.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传感器系统包括白光干涉仪。15.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传感器系统包括散光部件。16.根据权利要求15所述的方法，所述方法包括: 沿所述光学系统的光轴移动所述散光部件； 当所述散光部件分别处于沿所述光轴的多个不同位置中的每个位置时，使用所述传感器系统来获得对通过所述光学系统的光的测量；以及 识别所述传感器系统的所述焦点最密切地匹配所述光学系统的所述焦点时所在位置中的特定一个。17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述方法包括对所述光学系统的背面照明。18.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光学系统包括透镜或棱镜。19.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光学系统包括多个光学元件。20.一种识别光学系统的焦点的位置的方法，所述方法包括: 使用包括散光光学元件的传感器系统来检测通过所述光学系统的光； 基于由所述传感器系统检测到的受检测光的图像，确定所述光学系统的所述焦点的位置与所述传感器系统的焦点的位置之间失配程度；以及 基于所述失配程度，确定所述光学系统的所述焦点的近似位置。21.根据权利要求20所述的方法，所述方法包括基于由所述传感器系统检测到的所述图像的椭圆度，确定所述失配程度。22.根据权利要求21所述的方法，所述方法包括对所述光学系统的背面照明。23.根据权利要求21所述的方法，所述方法包括将光从光源提供到所述光学系统，所述光源与所述传感器系统位于所述光学系统的相同侧。24.—种测试多个装置的方法，所述装置中的每个包括一或多个光学元件，所述方法包括: (a)装置使用传感器系统来检测通过所述装置中的特定一个的所述一或多个光学元件的光； (b)基于基本匹配所述传感器系统的焦点的位置，确定所述光学装置的焦点的位置，所述传感器系统的所述焦点的所述位置基本匹配所述装置中的所述特定一个的所述一或多个光学元件的所述焦点的所述位置；以及 (C)调整所述传感器系统相对于所述多个装置的相对位置，并对所述装置中的另一装置重复(a)和(b)。25.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，所述传感器系统是共焦传感器。26.根据权利要求25所述的方法，其特征在于，所述传感器系统是多色共焦传感器。27.根据权利要求25所述的方法，其特征在于，所述传感器系统是单色共焦传感器。28.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，所述传感器系统是共焦显微镜。29.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，所述传感器系统是白光干涉仪。30.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，所述传感器系统包括散光部件。31.根据权利要求24所述的方法，所述方法包括当分别沿每个装置的光轴进行扫描时，使用所述传感器系统来执行测量。32.根据权利要求24所述的方法，所述方法包括移动所述传感器系统以扫描所述装置阵列，以便对所述阵列中的每个装置执行(a)和(b)。33.一种用于测量光学系统的特征的系统，所述光学系统包括一或多个光学元件，所述系统包括: 传感器系统，所述传感器系统包括具有焦点的光学器件，所述传感器系统被布置来检测通过所述光学系统并通过所述传感器系统的光学器件的光；以及 计算装置，所述计算装置基于所述传感器系统的焦点的位置，确定所述光学系统的焦点的位置，所述传感器系统的所述焦点的所述位置基本匹配所述光学系统的所述焦点的所述位置。34.一种用于测量光学系统的特征的系统，所述光学系统包括一或多个光学元件，所述系统包括: 传感器系统，所述传感器系统包括具有焦点的光学器件，所述传感器系统被布置来检测通过所述光学系统和通过所述传感器系统的光学器件的光；以及 计算装置，所述计算装置基于由所述传感器系统检测到的图像，确定所述光学系统的焦点的近似位置，其中所述图像指示所述光学系统的所述焦点的位置与所述传感器系统的光学器件的所述焦点的位置之间失配程度。
【专利摘要】本发明公开了识别光学系统的焦点的位置，在一些实施方案中，所述识别光学系统的焦点的位置包括使用传感器系统来检测通过所述光学系统的光，并且基于所述传感器系统的焦点的位置，确定所述光学系统的焦点的位置，所述传感器系统的所述焦点的所述位置基本匹配所述光学系统的所述焦点的所述位置。
【IPC分类】G02B7/02, G01N21/00, G01J3/28, G02C3/02, G02B7/04, G02B7/28
【公开号】CN105103027
【申请号】CN201480016953
【发明人】马蒂亚斯·马卢克, 彼得·伦琴
【申请人】赫普塔冈微光有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年2月18日
【公告号】WO2014133455A1