光学模块以及观察装置的制造方法

文档序号:9401826阅读:364来源:国知局
光学模块以及观察装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及光学模块以及观察装置。
【背景技术】
[0002]在非专利文献I中公开有在眼底测定装置中使用空间光调制器即PPM (ProgrammabIe Phase Modulator)来进行像差修正。
[0003]现有技术文献
[0004]非专利文献
[0005]非专利文南犬 1:Pedro Prieto, Enrique Fernandez, Silvestre Manzanera, andPabloArtal, “adaptive optics with a programmable phase modulator!applicat1nsin the human eye,,,Optics Express, Volume 12,Issue 17, pp.4059-4071 (2004)

【发明内容】

[0006]发明所要解决的问题
[0007]近年来,为了达到在观察装置等中的透镜像差的修正等的目的而研究使用SLM来调制被观察光的强度分布或相位分布的技术。然而,由于SLM的结构而会有仅能够调制直线偏振光成分的情况,例如在非专利文献I所记载的结构中,由直线偏振光子从入射到PPM的来自眼底的光(被观察光)仅提取能够在PPM进行调制的直线偏振光的光。这样,在SLM仅能够调制直线偏振光成分的情况下不利用其他的偏振光成分,从而光利用效率(被观察光与调制后的光的强度比)被抑制为较小。
[0008]本发明是有鉴于上述问题而完成的发明,其目的在于,提供一种能够提高在调制被观察光等的入射光的装置中的光利用效率的光学模块、以及具备该光学模块的观察装置。
[0009]解决问题的技术手段
[0010]为了解决上述的问题,本发明的第I光学模块,其特征在于,具备:偏振光分束器,具有反射包含于入射光中的S偏振光成分并透过P偏振光成分的光分支面;第I偏振光元件,具有使偏振光面旋转的非互易性(non-reciprocal)的光学活性并且被配置于入射光中的透过了光分支面的第I偏振光成分的光路上;第I反射型SLM,调制通过第I偏振光元件的第I偏振光成分并生成第I调制光并且向第I偏振光元件反射第I调制光;第2偏振光元件,具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于入射光中的在光分支面上被反射的第2偏振光成分的光路上;第2反射型SLM,调制通过第2偏振光元件的第2偏振光成分并生成第2调制光并且向第2偏振光元件反射第2调制光;在再次通过第I偏振光元件之后在光分支面上被反射的第I调制光和在再次通过第2偏振光元件之后透过光分支面的第2调制光被互相合波并从偏振光分束器被输出。
[0011]在该第I光学模块中,透过偏振光分束器的第I偏振光成分(P偏振光成分)在其偏振光面被第I偏振光兀件旋转之后入射到第I反射型SLM。第I偏振光成分被第I反射型SLM调制从而成为第I调制光,该第I调制光的偏振光面再次由第I偏振光元件而被旋转。因为第I偏振光元件具有非互易性的光学活性,所以这样往复于第I偏振光元件之后的第I调制光能够包含在偏振光分束器上被反射的s偏振光成分。还有,优选调制前的第I偏振光成分的偏振光面可以由第I偏振光元件而被旋转45°,调制后的第I调制光的偏振光面可以由第I偏振光元件而被进一步旋转45°。
[0012]另外,在偏振光分束器上被反射的第2偏振光成分(s偏振光成分)在其偏振光面被第2偏振光元件旋转之后入射到第2反射型SLM。第2偏振光成分被第2反射型SLM调制从而成为第2调制光,该第2调制光的偏振光面再次由第2偏振光元件而被旋转。因为第2偏振光元件具有非互易性的光学活性,所以这样往复于第2偏振光元件之后的第2调制光能够包含透过偏振光分束器的P偏振光成分。还有,优选调制前的第2偏振光成分的偏振光面可以由第2偏振光元件而被旋转45°,调制后的第2调制光的偏振光面可以由第2偏振光元件而被进一步旋转45°。
[0013]之后,包含s偏振光成分的第I调制光在偏振光分束器上被反射,包含P偏振光成分的第2调制光透过偏振光分束器。这些调制光被互相合波,并从偏振光分束器被输出。
[0014]如以上所说明的那样,在上述第I光学模块中,能够在使入射光(例如观察光)的P偏振光成分以及s偏振光成分分离之后分别进行调制,且对调制后的第I以及第2调制光进行合波并进行输出。因此,根据该第I光学模块,能够有效地利用入射光的P偏振光成分以及s偏振光成分的双方并且能够提高光利用效率。
[0015]另外,第I光学模块的特征也可以在于,第I以及第2反射型SLM为液晶型,并且第I反射型SLM的液晶的取向方向与第2反射型SLM的液晶的取向方向互相垂直。由此,能够分别在第I以及第2反射型SLM上分别有效地调制偏振光面互相垂直的第I以及第2偏振光成分。
[0016]另外,第I光学模块的特征也可以在于,还具备具有互易性的光学活性并且在偏振光分束器与第I反射型SLM之间的光路上或者在偏振光分束器与第2反射型SLM之间的光路上进行配置的偏振光元件。由此,能够任意地控制即将入射到第I反射型SLM之前的第I偏振光成分的偏振光面的角度或者即将入射到第2反射型SLM之前的第2偏振光成分的偏振光面的角度。
[0017]另外,本发明的第I观察装置,其特征在于,具备上述的任意一个第I光学模块、对来自观察对象物的被观察光进行聚光并且作为入射光向光学模块入射的聚光光学系统、对从光学模块输出的光进行成像的成像光学系统、检测被成像光学系统成像的光的光检测器。根据该第I观察装置,通过具备上述的第I光学模块从而能够提高被观察光的光利用效率。
[0018]另外,第I观察装置,其特征也可以在于,在成像光学系统与光检测器之间的光路上配置有针孔。由此,能够减少包含于被成像光学系统成像的光中的噪声光并且能够做到更加明了的观察。
[0019]本发明的第2光学模块,其特征在于,具备:第I偏振光分束器,具有反射包含于入射光中的s偏振光成分并透过P偏振光成分的光分支面;第I偏振光元件,具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于入射光中的在第I偏振光分束器的光分支面上被反射的第I偏振光成分的光路上;第I反射型SLM,调制通过第I偏振光兀件的第I偏振光成分并生成第I调制光并且向第I偏振光元件反射第I调制光;第2偏振光分束器,具有反射s偏振光成分并透过P偏振光成分的光分支面并且在光分支面接受入射光中的透过第I偏振光分束器的光分支面的第2偏振光成分;第2偏振光元件,具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于在第2偏振光分束器的光分支面上经透过以及反射中的一方的第2偏振光成分的光路上;第2反射型SLM,调制通过第2偏振光元件的第2偏振光成分并生成第2调制光并且向第2偏振光元件反射第2调制光;第I调制光在再次通过第I偏振光元件之后透过第I偏振光分束器的光分支面并被输出,第2调制光在再次通过第2偏振光元件之后在第2偏振光分束器的光分支面上经透过以及反射中的另一方并被输出。
[0020]透过第I偏振光分束器的第I偏振光成分在其偏振光面由第I偏振光元件而被旋转之后入射到第I反射型SLM。第I偏振光成分被第I反射型SLM调制从而成为第I调制光,该第I调制光的偏振光面再次由第I偏振光元件而被旋转。因为第I偏振光元件具有非互易性的光学活性,所以这样往复于第I偏振光元件之后的第I调制光能够包含在偏振光分束器上被反射的s偏振光成分,并且在反射后向光学模块的外部输出。还有,优选调制前的第I偏振光成分的偏振光面可以由第I偏振光元件而被旋转45°,调制后的第I调制光的偏振光面可以由第I偏振光元件而被进一步旋转45°。
[0021]另外,在第I偏振光分束器上被反射的第2偏振光成分入射到第2偏振光分束器。第2偏振光成分在第2偏振光分束器上经透过以及反射中的一方,在其偏振光面被第2偏振光元件旋转之后入射到第2反射型SLM。第2偏振光成分被第2反射型SLM调制从而成为第2调制光,该第2调制光的偏振光面再次由第2偏振光元件而被旋转。因为第2偏振光元件具有非互易性的光学活性,所以这样往复于第2偏振光元件之后的第2调制光在第2偏振光分束器上经透过以及反射中的另一方而向第2光学模块的外部输出。还有,优选调制前的第2偏振光成分的偏振光面可以由第2偏振光元件而被旋转45°,调制后的第2调制光的偏振光面可以由第2偏振光元件而被进一步旋转45°。
[0022]如以上所说明的那样,在上述第2光学模块中,能够在使入射光的P偏振光成分以及s偏振光成分分离之后分别进行调制并输出。因此,根据第2光学模块,能够有效地利用入射光的P偏振光成分以及S偏振光成分的双方并且能够提高光利用效率。
[0023]另外,第2光学模块也可以还具备在第I偏振光分束器与第I反射型SLM之间的光路上进行设置的光路长调整元件。
[0024]另外,第2光学模块,其特征也可以在于,还具备具有互易性的光学活性并且在第I偏振光分束器与第2反射型SLM之间的光路上进行设置的偏振光元件。由此,能够使在第2偏振光分束器的光分支面上被反射的第2调制光的偏振光面旋转并且能够适当地透过第I偏振光分束器的光分支面。
[0025]另外,本发明的第2观察装置,其特征在于,具备上述的任意一个第2光学模块、对来自观察对象物的被观察光进行聚光并且作为入射光向光学模块入射的聚光光学系统、对从光学模块输出的光进行成像的成像光学系统、检测被成像光学系统成像的光的光检测器。根据该第2观察装置,通过具备上述的第2光学模块从而能够提高被观察光的光利用效率。
[0026]另外,第2观察装置,其特征也可以在于,在成像光学系统与光检测器之间的光路上配置有针孔。由此,能够减少包含于被成像光学系统成像的光中的噪声光并且能够做到更加明了的观察。
[0027]发明的效果
[0028]根据本发明所涉及的光学模块以及观察装置,能够提高调制被观察光等的入射光的装置中的光利用效率。
【附图说明】
[0029]图1是表示本发明的第I实施方式所涉及的光学模块的结构的示意图。
[0030]图2是表示具备
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