0中，收集来自样本116的表面的照明115。举例来说，物镜114可收集从样本116的表面散射或反射的照明115。在步骤812中，将经收集的照明经由收集路径117聚焦到检测器118上，以形成样本116的表面的至少一部分的图像。举例来说，物镜114(具有或不具有额外光学元件)可将经收集的照明聚焦到检测器118上，以形成样本116的表面的至少一部分的图像。在步骤814中，使用所选择吹扫气体(例如，Ar)吹扫照明路径113及/或收集路径。
[0062]在本文中描述的标的物有时说明容纳于其它组件内或与其它组件连接的不同组件。应理解，此类所描绘的架构仅为示范性的，且事实上可实施实现相同功能性的许多其它架构。就概念意义而言，实现相同功能性的任何组件布置是有效“相关联”的，使得实现所期望的功能性。因此，可将本文中经组合以实现特定功能性的任意两个组件视为彼此“相关联”，使得不论架构或中间组件为何，都可实现所期望的功能性。同样地，如此相关联的任何两个组件也可被视为彼此“连接”或“耦合”以实现所期望的功能性，且能够如此相关联的任何两个组件也可被视为“可耦合”到彼此以实现所期望的功能性。可耦合的特定实例包含(但不限于)可物理相互作用及/或物理相互作用的组件及/或可无线相互作用及/或无线相互作用的组件及/或可逻辑相互作用及/或逻辑相互作用的组件。
[0063]应相信，根据前述描述将理解本发明及其许多伴随优点，且将明白，在不脱离所揭示的标的物或不牺牲其的所有材料优点的情况下可在组件的形式、构造及布置方面做出各种改变。描述的形式仅为解释性，且所附权利要求书希望涵盖及包含此类改变。此外，应理解，本发明由所附权利要求书界定。
【主权项】
1.一种用于使用激光维持等离子体照明输出对样本进行成像的系统，其包括: 激光维持等离子体照明子系统，其包含: 栗浦源，其经配置以产生包含一或多个第一所选择波长的栗浦照明； 气体容纳元件，其经配置以容纳一定体积的气体； 收集器，其经配置以将来自所述栗浦源的所述栗浦照明聚焦到容纳于所述气体容纳元件内的所述一定体积的气体中，以便在所述一定体积的气体内产生等离子体，其中所述等离子体发射包含一或多个第二所选择波长的宽带辐射； 样本载物台，其用于固定一或多个样本； 成像子系统，其包含: 照明子系统，其经配置以使用从所述激光维持等离子体照明子系统的所述等离子体发射的所述宽带辐射的至少一部分经由照明路径而照明所述一或多个样本的表面； 检测器； 物镜，其经配置以收集来自所述样本的表面的照明，且将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器，以形成所述一或多个样本的所述表面的至少一部分的图像;及 吹扫室，其容纳所选择吹扫气体且经配置以吹扫所述照明路径及所述收集路径的至少一部分。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述气体容纳元件包括: 室，其经配置以容纳一定体积的气体。3.根据权利要求1所述的系统，其中所述气体容纳元件包括: 等离子体单元，其经配置以容纳一定体积的气体。4.根据权利要求3所述的系统，其中所述等离子体单元包括: 透射元件;及 一或多个凸缘，其安置于所述透射元件的一或多个端处以用于容纳所述气体。5.根据权利要求1所述的系统，其中所述气体容纳元件包括: 等离子体灯泡，其经配置以容纳一定体积的气体。6.根据权利要求1所述的系统，其中所述气体容纳元件包含:至少一个透射部分，其对所述栗浦照明及所述经发射宽带辐射中的至少一者透明。7.根据权利要求1所述的系统，其中所述气体容纳元件包含:透射部分，其由CaF2、MgF2、结晶石英及蓝宝石中的至少一者形成。8.根据权利要求1所述的系统，其中所述气体容纳元件容纳气体，所述气体包含惰性气体、非惰性气体及两种或两种以上气体的混合物中的至少一者。9.根据权利要求1所述的系统，其中所述气体容纳元件容纳气体，所述气体包含稀有气体与一或多个微量物质的混合物。10.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明源包括: 一或多个激光器。11.根据权利要求10所述的系统，其中所述一或多个激光器包括: 一或多个红外激光器、一或多个可见激光器及一或多个紫外激光器中的至少一者。12.根据权利要求10所述的系统，其中所述一或多个激光器包括: 二极管激光器、连续波激光器或宽带激光器中的至少一者。13.根据权利要求10所述的系统，其中所述一或多个激光器包括: 发射第一波长的光的第一激光器及发射第二波长的光的至少第二激光器。14.根据权利要求1所述的系统，其中所述检测器包括: C⑶检测器及TDI检测器中的至少一者。15.根据权利要求1所述的系统，其中所述吹扫室容纳所述成像子系统的所述照明子系统、所述物镜及所述检测器中的至少一者。16.根据权利要求1所述的系统，其中所述吹扫气体包括: 稀有气体、惰性气体、非惰性气体及两种或两种以上气体的混合物中的至少一者。17.根据权利要求1所述的系统，其中所述栗浦照明及所述宽带辐射至少在所述激光维持等离子体照明子系统内占据共同NA空间。18.根据权利要求17所述的系统，其进一步包括: 冷光镜，其具有对所述宽带辐射的至少一部分具有反射性的涂层，其中所述冷光镜经配置以分离所述宽带辐射与所述栗浦照明。19.根据权利要求17所述的系统，其进一步包括: 全内反射TIR分离元件，其中所述TIR分离元件经配置以分离所述宽带辐射与所述栗浦照明。20.根据权利要求1所述的系统，其中所述栗浦照明及所述宽带辐射占据NA空间的不同部分。21.根据权利要求20所述的系统，其进一步包括: 一或多个光学元件，其经配置以横向划分所述激光维持等离子体子系统的光瞳，使得所述栗浦照明及所述宽带辐射占据NA空间的不同部分。22.根据权利要求20所述的系统，其进一步包括: 一或多个光学元件，其经配置以划分所述激光维持等离子体子系统的光瞳，使得所述栗浦照明占据所述光瞳的具有第一 NA范围的第一部分，且所述宽带辐射占据所述光瞳的具有第二 NA范围的第二部分。23.根据权利要求20所述的系统，其进一步包括: 一或多个光学元件，其经配置以对称地划分所述激光维持等离子体子系统的光瞳，使得所述栗浦照明及所述宽带辐射占据NA空间的不同部分。24.根据权利要求20所述的系统，其进一步包括: 一或多个光学元件，其经配置以不对称地划分所述激光维持等离子体子系统的光瞳，使得所述栗浦照明及所述宽带辐射占据NA空间的不同部分。25.根据权利要求1所述的系统，其中所述经发射宽带辐射的功率电平是可调整的。26.根据权利要求25所述的系统，其中所述经发射宽带辐射的功率电平可通过改变所述经产生的等离子体的形状而调整。27.根据权利要求26所述的系统，其中所述栗浦源经配置以改变所述栗浦照明的功率电平，以便通过改变所述经产生的等离子体的形状而调整所述经发射宽带辐射的功率电平。28.根据权利要求26所述的系统，其中所述栗浦源经配置以改变所述栗浦照明的波长，以便通过改变所述经产生的等离子体的形状而调整所述经发射宽带辐射的功率电平。29.根据权利要求26所述的系统，其中所述栗浦源经配置以改变所述激光维持等离子体子系统内的所述气体的气体压力，以便通过改变所述经产生的等离子体的形状而调整所述经发射宽带辐射的功率电平。30.根据权利要求26所述的系统，其中一或多个光学元件经配置以使用所述激光维持等离子体子系统改变NA功率分布，以便通过改变所述经产生的等离子体的形状而调整所述经发射宽带辐射的功率电平。31.—种用于使用激光维持等离子体照明输出对样本进行成像的方法，其包括: 产生包含一或多个第一所选择波长的栗浦照明； 容纳适用于等离子体产生的一定体积的气体； 通过将所述栗浦照明聚焦到所述一定体积的气体中而在所述一定体积的气体内形成等离子体来产生包含一或多个第二所选择波长的宽带辐射； 使用从所述等离子体发射的所述宽带辐射的至少一部分经由照明路径照明一或多个样本的表面； 收集来自所述样本的表面的照明； 将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器上，以形成所述样本的所述表面的至少一部分的图像;及 使用所选择吹扫气体吹扫所述照明路径及所述收集路径的至少一部分。
【专利摘要】本发明揭示使用来自激光维持等离子体的VUV光进行样本的检验，其包含：产生包含第一所选择波长或波长范围的泵浦照明；容纳适用于等离子体产生的一定体积的气体；通过将所述泵浦照明聚焦到所述一定体积的气体中而在所述一定体积的气体内形成等离子体来产生包含第二所选择波长或波长范围的宽带辐射；使用从所述等离子体发射的所述宽带辐射经由照明路径照明样本的表面；收集来自所述样本的表面的照明；将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器上，以形成所述样本的所述表面的至少一部分的图像；以及使用所选择吹扫气体吹扫所述照明路径及/或所述收集路径。
【IPC分类】G02B21/06
【公开号】CN105593740
【申请号】CN201480052528
【发明人】D·W·肖特, S·R·兰格, M·德斯泰恩, K·P·格罗斯, 赵伟, 里亚·贝泽尔, A·谢梅利宁
【申请人】科磊股份有限公司
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2014年8月14日
【公告号】US20150048741, WO2015023882A1