感光性组合物、硬化膜、彩色滤光片、显示元件、固体摄像元件、触摸屏及led发光体的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种感光性组合物、硬化膜、彩色滤光片、显示元件、固体摄像元件、触摸屏及LED发光体。该感光性组合物含有碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1，2-醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F)。本发明的感光性组合物具有良好的涂布性，可形成对玻璃等基底基板的密接性、透明性、耐热性、平坦性、及特别是解析性优异的硬化膜。
【专利说明】
感光性组合物、硬化膜、彩色滤光片、显示元件、固体摄像元 件、触摸屏及LED发光体
技术领域
[0001] 本发明设及一种在电子零件中的绝缘材料、半导体装置中的纯化膜、缓冲涂膜、层 间绝缘膜、或平坦化膜，或显示元件中的层间绝缘膜或彩色滤光片用保护膜等的形成中所 使用的感光性组合物、利用该感光性组合物的透明膜、及包含该膜的电子零件。
【背景技术】
[0002] 在显示元件等元件的制造工序中，有时进行有机溶剂、酸、碱溶液等各种化学品处 理，或者在通过瓣射（sputtering)而成膜配线电极时，将表面局部地加热为高溫。因此，有 时为了防止各种元件的表面的劣化、损伤、变质而设置表面保护膜。对于运些保护膜，要求 可W耐受如上所述的制造工序中的各种处理的各特性。具体而言，要求耐热性、耐溶剂性/ 耐酸性/耐碱性等耐化学品性、耐水性、对玻璃等基底基板的密接性、透明性、耐划伤性、涂 布性、平坦性、耐光性等。而且，在推进显示元件的高视角化、高速响应化、高精细化等高性 能化的现状下，在作为彩色滤光片保护膜而使用的情况下，期望可靠性及平坦化特性得到 提局的材料。
[0003] 运些保护膜的种类可大致分为感光性组合物、热硬化性组合物。在形成膜时通过 高溫加热而使热硬化性组合物完全硬化，因此在其后的工序中即使加热为高溫，所产生的 挥发成分也少，耐热性也优异。作为具有该优异特性的热硬化性保护膜材料，存在有聚醋酷 胺组合物(例如参照专利文献1)。然而，热硬化性组合物无法形成刻线（scr化e line),在制 造屏分割时大量产生热硬化性组合物的细屑，因此其后需要高度的屏清洗工序。
[0004] 另一方面，感光性组合物包含具有光聚合性基的聚合物或寡聚物或者单体与光聚 合引发剂，由于W紫外线为首的光的能量而产生化学反应，从而硬化。感光性组合物例如可 容易地形成在制造屏分割时所使用的刻线，因此存在有并不产生感光性组合物的细屑等优 点。
[0005] 近年来，需要微细图案形状的保护膜的需求增加，要求可形成运些微细图案的感 光性组合物。
[0006] 作为在彩色滤光片的保护膜中使用感光性组合物的例子，存在有专利文献2及专 利文献3,本发明人等人欲使用运些中所记载的感光性组合物而形成保护膜，结果无法形成 意想的微细图案。
[0007] [现有技术文献]
[0008] [专利文献]
[0009] [专利文献1]日本专利特开2008-156546号公报
[0010] [专利文献2]日本专利特开2014-074787号公报
[0011] [专利文献3]日本专利特开2009-286904号公报
【发明内容】
[0012][发明所欲解决的问题]
[0013] 本发明的课题在于提供一种具有良好的涂布性，可形成对玻璃等基底基板的密接 性、透明性、耐热性、平坦性、及特别是解析性优异的硬化膜的感光性组合物。另外提供由该 感光性组合物而形成的硬化膜、及包含该硬化膜的电子零件。
[0014] [解决问题的技术手段]
[0015] 本发明人等人为了解决所述问题点而进行了各种研究，结果发现如下的感光性组 合物而进行了专利申请，所述感光性组合物含有碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物 (B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、l ,2-酿二叠氮化合物化）、W及溶剂 (F)，所述碱可溶性聚合物(A)是使含有具有簇基的自由基聚合性单体(al)及其他自由基聚 合性单体(a2)(运些单体均不具有环氧基及氧杂环下基）的自由基聚合性单体的混合物聚 合而获得。本发明人等人经过进一步的研究发现通过如下方法可达成所述目的，从而完成 本发明：在所述感光性组合物中的具有聚合性双键的化合物(C)中，使用具有聚合性双键的 化合物的总重量的10重量％ W上的具有聚合性双键及簇基的化合物。
[0016] 本发明包含W下的构成。
[0017] [1]-种感光性组合物，其含有碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有 聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1，2-酿二叠氮化合物化）、及溶剂(F)，其中，
[0018] 碱可溶性聚合物(A)是使含有具有簇基的自由基聚合性单体(al)及其他自由基聚 合性单体(a2)的自由基聚合性单体的混合物聚合而获得，
[0019] 具有簇基的自由基聚合性单体(al)及其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧 基或氧杂环下基；
[0020] 具有聚合性双键的化合物(C)包含具有聚合性双键及簇基的化合物(Cl),而且具 有聚合性双键及簇基的化合物(Cl)是具有聚合性双键的化合物的总重量的10重量％ W上。
[0021] [2]根据[1]所述的感光性组合物，其中，碱可溶性聚合物(A)是使含有相对于具有 簇基的自由基聚合性单体(al)及其他自由基聚合性单体(a2)的总重量而言为10重量％~ 60重量％的具有簇基的自由基聚合性单体(al)、及40重量％~90重量％的其他自由基聚合 性单体(a2)的自由基聚合性单体的混合物聚合而所得的共聚物。
[0022] [3]根据[1]或[2]所述的感光性组合物，其中，具有簇基的自由基聚合性单体(al) 是选自丙締酸及甲基丙締酸的至少一种。
[0023] [4]根据[1]~[3]中任一项所述的感光性组合物，其中，其他自由基聚合性单体 (a2)包含选自具有芳香环的（甲基)丙締酸醋、具有二环戊基的（甲基)丙締酸醋、具有二环 戊締基的（甲基)丙締酸醋、及N-取代马来酷亚胺的至少一种。
[0024] [5]根据[1]~[4]中任一项所述的感光性组合物，其中，其他自由基聚合性单体 (a2)含有相对于其他自由基聚合性单体(a2)的总重量而言，下述化合物的总重量为50重 量％ ^上的选自（甲基）丙締酸苄基醋、（甲基）丙締酸二环戊基醋、（甲基)丙締酸二环戊締 基氧基乙醋、N-苯基马来酷亚胺、及N-环己基马来酷亚胺的至少一种。
[0025] [6]根据[1]所述的感光性组合物，其中，多官能环氧化合物(B)是选自缩水甘油酸 型环氧化合物(Ba)、脂环式脂肪族环氧化合物(Bb)、及含有环氧基的聚合物(Be)的至少一 种，
[0026] 含有环氧基的聚合物(Be)是使含有具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)及其他 自由基聚合性单体(b2)的自由基聚合性单体的混合物聚合而获得，而且，
[0027] 具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)及其他自由基聚合性单体(b2)均不具有簇 基。
[0028] [7]根据[6]所述的感光性组合物，其中，缩水甘油酸型环氧化合物(Ba)是选自1， 3-双[4-[1-[4-(2,3-环氧丙氧基)苯基]-1-[4-[l-[4-(2,3-环氧丙氧基)苯基]-1-甲基乙 基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙醇、及2-[4-(2，3-环氧丙氧基）苯基]-2-[4-[ 1，1-双[4-( [2， 3-环氧丙氧基]苯基）]乙基]苯基]丙烷的至少一种，
[0029] 脂环式脂肪族环氧化合物(Bb)是2,2-双(径基甲基)-1-下醇的1,2-环氧基-4-(2- 氧杂环丙基)环己烧加成物。
[0030] [引根据[1]所述的感光性组合物，其中，具有聚合性双键的化合物(C)中的具有聚 合性双键及簇基的化合物(Cl)是选自邻苯二甲酸单径基乙基丙締酸醋、班巧酸改性季戊四 醇=丙締酸醋、邻苯二甲酸改性季戊四醇=丙締酸醋、班巧酸改性二季戊四醇五丙締酸醋、 邻苯二甲酸改性二季戊四醇五丙締酸醋、及多元酸改性丙締酸醋寡聚物的至少一种。
[0031] [9]根据山所述的感光性组合物，其中，光聚合引发剂(D)含有相对于光聚合引发 剂（D)的总甫吾而言责5〇甫吾％Wh的下冰古化-n祈亲志的化合物；
[00创
取-
[003引式中，r11、r12、rU分别独立为氨、碳数1~5的烷基、碳数2~5的締基、或碳数2~5的 烘基；
[0034] Ri4是碳数1~15的烷基、碳数2~15的締基、或碳数2~15的烘基，n分别独立为1~5 的整数。
[003引[10]根据[9]所述的感光性组合物，其中，式(D-I)所表示的化合物是1,2-辛二酬- 1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-苯甲酯基朽）。
[0036] [11]根据[1]所述的感光性组合物，其中，1,2-酿二叠氮化合物化)是1,2-糞酿二 叠氮横酸醋。
[0037] [12]根据[11]所述的感光性组合物，其中，1,2-糞酿二叠氮横酸醋是选自2,3,4- S径基二苯甲酬-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、及4，少-[1-[4-[1-[4-径基苯基]-1-甲基乙 基]苯基]亚乙基]双酪-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋的至少一种。
[003引[13]-种硬化膜，其是由根据[1]~[12]中任一项所述的感光性组合物而获得。
[0039] [14] -种彩色滤光片，其使用根据[13]所述的硬化膜作为保护膜。
[0040] [1引一种显示元件，其使用根据[14]所述的彩色滤光片。
[0041] [16]-种固体摄像元件，其使用根据[14]所述的彩色滤光片。
[0042] [17]-种显示元件，其使用根据[13]所述的硬化膜作为形成在薄膜晶体管(TMn Fi Im Trans iStor，TFT)与透明电极之间的透明绝缘膜。
[0043] [I引一种显示元件，其使用根据[13]所述的硬化膜作为形成在透明电极与取向膜 之间的透明绝缘膜。
[0044] [19]-种触摸屏，其使用根据[13]所述的硬化膜作为形成在电极间的透明绝缘 膜。
[0045] [20]-种发光二极管化ight Emitting Diode,LED)发光体，其使用根据[13]所述 的硬化膜作为保护膜。
[0046] [发明的效果]
[0047] 通过本发明可提供能够形成微细图案状透明体的感光性组合物。
【具体实施方式】
[0048] 在本说明书中，所谓"微细图案"是表示20WI1~50WI1的线与间隙图案及孔图案。而 且，所谓"图案状透明体"是表示具有凹凸的膜状、开孔的膜状、突起状、线状等形状，膜厚为 lOwnW下、且波长4(K)nm的光的透过率为80%^上的硬化物(硬化膜）。其中，使用本发明的 感光性组合物而形成的硬化膜并不W所述"图案状"为必要条件，还可W作为并不形成图案 的所谓"整体膜"而获得满足所述特性的硬化膜。根据W上的记述，本发明的硬化膜并不妨 碍作为"整体膜状"硬化物的使用。
[0049] 在本说明书中，有时为了表示丙締酸及甲基丙締酸的一者或两者，如"(甲基)丙締 酸"运样地进行表述。而且，同样地有时为了表示丙締酸醋及甲基丙締酸醋的一者或两者， 如"(甲基)丙締酸醋"运样地进行表述。
[0050] 在本说明书中，所谓"締基"是具有双键的直链或分支链的締基，具体而言可列举 乙締基、1-丙締基、2-丙締基、1-甲基乙締基、1-下締基、2-下締基、3-下締基、2-甲基-2-丙 締基、1-戊締基、2-戊締基、4-戊締基、3-甲基-2-下締基、1-己締基、2-己締基、1-庚締基、2- 庚締基、1-辛締基、2-辛締基、1，3-辛二締基、2-壬締基、1，3-壬二締基、及2-癸締基。所谓 "烘基"是具有=键的直链或分支链的烘基，具体而言可列举乙烘基、1-丙烘基、2-丙烘基、 1-下烘基、2-下烘基、3-下烘基、1-戊烘基、2-戊烘基、4-戊烘基、1-辛烘基、6-甲基-1-庚烘 基、及2-癸烘基。
[0化1 ] <1.本发明的感光性组合物〉
[0052] 本发明的第一实施方式设及一种感光性组合物，其含有碱可溶性聚合物(A)、多官 能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2-酿二叠氮化合物 化）、及溶剂(F)。
[0053] 在本发明的含有碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的 化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2-酿二叠氮化合物化）、及溶剂(F)的感光性组合物中，碱 可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物（B)、具有聚合性双键的化合物（C)、光聚合引发剂 (D)、及1,2-酿二叠氮化合物化）的重量比优选相对于碱可溶性聚合物(A)IOO重量份而言， 多官能环氧化合物(B)为10重量份~150重量份、具有聚合性双键的化合物(C)为40重量份 ~400重量份、光聚合引发剂(D)为2重量份~60重量份、及1,2-酿二叠氮化合物巧)为0.1重 量份~50重量份。而且，优选W固体成分浓度成为10重量％~50重量％的方式而在本发明 的感光性组合物中调配溶剂(F)。
[0054] 本发明的感光性组合物并不由W下的说明而受到限定，可通过使用特定的碱可溶 性聚合物而达成解析性的提高。
[0055] <1-1.碱可溶性聚合物(A)〉
[0056] 如上所述，本发明中所使用的碱可溶性聚合物(A)是使含有具有簇基的自由基聚 合性单体(al)( W下有时称为"成分(air)、及可与自由基聚合性单体(al)共聚的自由基聚 合性单体(al) W外的其他自由基聚合性单体(a2)( W下有时称为"成分(a2)")的自由基聚 合性单体的混合物聚合而所得的共聚物。此处，具有簇基的自由基聚合性单体(al)及其W 外的其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基及氧杂环下基。碱可溶性聚合物(A)可W 是一种也可W是两种W上。
[0057] 在本发明的感光性组合物中所含有的碱可溶性聚合物(A)聚合时，优选使用相对 于具有簇基的自由基聚合性单体(al)及其他自由基聚合性单体(a2)的总重量而言为10重 量％~60重量％的具有簇基的自由基聚合性单体(al)。如果是该范围，则本发明的感光性 组合物的解析性提高，容易形成微细图案。如果该单体的所述范围为15重量％~40重量％， 则在使用本发明的感光性组合物而制造图案状透明体时灵敏度高（W低照射量而获得所期 望的图案状透明体），因此进一步优选。
[0058] 将碱可溶性聚合物(A)加入至本发明的感光性组合物中的方法可W是直接使用聚 合反应后的溶液，也可W是对该溶液进行浓缩而取出固体成分，并仅加入固体成分。
[0059] <1-1-1.具有簇基的自由基聚合性单体(al)〉
[0060] 作为碱可溶性聚合物(A)的原料之一的具有簇基的自由基聚合性单体(al)如果满 足并不具有环氧基及氧杂环下基的条件，则并无特别限定。具有簇基的自由基聚合性单体 (al)的具体例是（甲基)丙締酸、己豆酸、Q-氯丙締酸、肉桂酸、马来酸、富马酸、衣康酸、巧康 酸、中康酸、W-簇基聚己内醋单（甲基)丙締酸醋、班巧酸单[2-(甲基炳締酷氧基乙基]醋、 马来酸单[2-(甲基）丙締酷氧基乙基]醋、环己締-3,4-二簇酸单[2-(甲基）丙締酷氧基乙 基]醋。
[0061] 运些单体中优选（甲基)丙締酸、班巧酸单[2-(甲基)丙締酷氧基乙基]醋，特别是 如果使用（甲基)丙締酸，则感光性组合物的解析性提高，且获得透明性高的硬化物，因此进 一步优选。
[0062] 运些具有簇基的自由基聚合性单体(al)可单独使用所述化合物，也可W混合使用 两种W上。
[0063] <1-1-2.其他自由基聚合性单体(曰2)〉
[0064] 碱可溶性聚合物(A)的原料的另一种的其他自由基聚合性单体(a2)如果是并不具 有簇基、环氧基及氧杂环下基，且可与具有簇基的自由基聚合性单体(al)共聚的自由基聚 合性单体，则并无特别限定。此种自由基聚合性单体的例子是（甲基)丙締酸醋、N-取代马来 酷亚胺、大分子单体、苯乙締、甲基苯乙締、乙締基甲苯、氯甲基苯乙締、巧、（甲基）丙締酷 胺、及N-丙締酷基吗嘟。（甲基）丙締酸醋的具体例是（甲基）丙締酸甲醋、（甲基）丙締酸下 醋、（甲基）丙締酸环己醋、（甲基)丙締酸异冰片醋、（甲基）丙締酸二环戊基醋、（甲基）丙締 酸二环戊締基醋、（甲基)丙締酸二环戊締基氧基乙醋、（甲基)丙締酸苯醋、（甲基)丙締酸节 基醋、甲氧基聚乙二醇（甲基)丙締酸醋、（甲基)丙締酸-2-径基乙醋、（甲基)丙締酸-2-径基 丙醋、甘油单（甲基）丙締酸醋、（甲基）丙締酸间苯氧基苄基醋、及（甲基）丙締酸四氨慷基 醋。N-取代马来酷亚胺的具体例是N-苯基马来酷亚胺及N-环己基马来酷亚胺。大分子单体 的具体例是聚苯乙締大分子单体及聚甲基丙締酸甲醋大分子单体。
[0065] 运些单体中，使用含有碱可溶性聚合物(A)的感光性组合物而制造的图案状透明 体的耐热性高，因此优选，所述碱可溶性聚合物(A)是将选自（甲基)丙締酸二环戊基醋、（甲 基）丙締酸二环戊締基氧基乙醋、（甲基）丙締酸苄基醋、N-苯基马来酷亚胺、及N-环己基马 来酷亚胺的至少一种共聚而成。选自所述（甲基）丙締酸二环戊基醋、（甲基）丙締酸二环戊 締基氧基乙醋、（甲基)丙締酸苄基醋、N-苯基马来酷亚胺、及N-环己基马来酷亚胺的至少一 种更优选相对于其他自由基聚合性单体(a2)的总重量而言，其(运些单体)的总重量含有50 重量％ W上。
[0066] 运些其他自由基聚合性单体(a2)可单独使用所述化合物，也可W混合使用两种W 上。
[0067] <1-2.多官能环氧化合物(B)〉
[0068] 本发明的多官能环氧化合物(B)是在每一分子中具有两个W上环氧基的化合物， 只要具有此种结构的特征，则并无特别限定。多官能环氧化合物可单独使用，也可W混合使 用两种W上。
[0069] 如果本发明的感光性组合物中所含有的多官能环氧化合物(B)的含量是相对于 100重量份碱可溶性聚合物(A)而言为10重量份~150重量份，则本发明的感光性组合物的 平坦性良好而优选，如果是20重量份~100重量份，则使用本发明的感光性组合物而制造的 图案状透明体的透明性良好而更优选。
[0070] 多官能环氧化合物(B)的例子是双酪A型环氧化合物、双酪F型环氧化合物、缩水甘 油酸型环氧化合物(Ba)、苯酪酪醒清漆型环氧化合物、甲酪酪醒清漆型环氧化合物、双酪A 酪醒清漆型环氧化合物、脂肪族聚缩水甘油酸、脂环式脂肪族环氧化合物(Bb )、及含有环氧 基的聚合物(Be)。此处，所谓"含有环氧基的聚合物(Be)"是使含有具有环氧基的自由基聚 合性单体(bl)及其他自由基聚合性单体(b2)的自由基聚合性单体的混合物聚合而所得的 共聚物。
[0071] 运些化合物中，优选缩水甘油酸型环氧化合物（Ba)、双酪A酪醒清漆型环氧化合 物、脂环式脂肪族环氧化合物(Bb)、及含有环氧基的聚合物(Be),更优选缩水甘油酸型环氧 化合物(Ba)、脂环式脂肪族环氧化合物(Bb)、及含有环氧基的聚合物(Be)。使用感光性组合 物而制造的图案状透明体的透明性高，所述感光性组合物使用了运些多官能环氧化合物。
[0072] <1-2-1.缩水甘油酸型环氧化合物(Ba)〉
[0073] 缩水甘油酸型环氧化合物(Ba)的优选的具体例是1,3-双[4-[l-[4-(2,3-环氧丙 氧基)苯基]-1-[4-[l-[4-(2,3-环氧丙氧基)苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙 醇、及2-[4-(2,3-环氧丙氧基)苯基]-2-[4-[l，l-双[4-([2,3-环氧丙氧基]苯基）]乙基]苯 基]丙烷。
[0074] < 1 -2-2.脂环式脂肪族环氧化合物(Bb)〉
[0075] 脂环式脂肪族环氧化合物(Bb)的优选的具体例是2,2-双(径基甲基)-1-下醇的1， 2-环氧基-4-(2-氧杂环丙基)环己烧加成物。
[0076] 运些多官能环氧化合物(B)可使用如下所述的市售品。双酪A型环氧化合物的具体 例是jER 828、jER 1004、及jER 1009(均为商品名；S菱化学股份有限公司）。双酪F型环氧 化合物的具体例是jER 806及距R 4005P(均为商品名；=菱化学股份有限公司）。缩水甘油 酸型环氧化合物(Ba)的具体例是泰库摩亚巧6(3111〇曰)￥6310化(商品名；普林特克。1'；[]116(3) 股份有限公司）、EPPN-501H、EPPN-502H(均为商品名；日本化药股份有限公司）及jER 1032H60(商品名；S菱化学股份有限公司）。苯酪酪醒清漆型环氧化合物的具体例是EPPN- 201(商品名；日本化药股份有限公司）、jER 152及距R154(均为商品名；=菱化学股份有限 公司）。作为甲酪酪醒清漆型环氧化合物的具体例是E0CN-102S、E0CN-103S、E0CN-104S、及 E0CN-1020(均为商品名；日本化药股份有限公司）。双酪A酪醒清漆型环氧化合物的具体例 是距R 157S65及距R 157S70(均为商品名；=菱化学股份有限公司）。脂环式脂肪族环氧化 合物(Bb)的具体例是赛罗西德(Celloxide)2021P及赛罗西德(Celloxide化HPE-3150(均为 商品名；大赛踰(Daicel)股份有限公司）。再者，作为缩水甘油酸型环氧化合物(Ba)的泰库 摩亚(Tecmoa)VG3101L 是 2-[4-(2,3-环氧丙氧基)苯基]-2-[4-[l，l-双[4-([2,3-环氧丙氧 基]苯基）]乙基]苯基]丙烷及1,3-双[4-[1-[4-(2,3-环氧丙氧基）苯基]-1-[4-[1-[4-(2， 3-环氧丙氧基)苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙醇的混合物。作为脂环式脂肪 族环氧化合物(Bb)的邸阳-3150是2,2-双(径基甲基)-1-下醇的1,2-环氧基-4-(2-氧杂环 丙基)环己烧加成物。
[0077] <1-2-3.含有环氧基的聚合物(Be)〉
[0078] 如上所述，本发明中所使用的含有环氧基的聚合物(Be)是使含有具有环氧基的自 由基聚合性单体(bl)及可与自由基聚合性单体(bl)共聚的其他自由基聚合性单体(b2)的 自由基聚合性单体的混合物聚合而所得的共聚物。
[0079] 在含有环氧基的聚合物(Be)的聚合时，优选使用相对于具有环氧基的自由基聚合 性单体(bl)及其他自由基聚合性单体(b2)的总重量而言为20重量％~95重量％的具有环 氧基的自由基聚合性单体(bl)。如果是此种范围，则使用本发明的感光性组合物而制造的 图案状透明体的图案尺寸变得接近掩模尺寸，且耐化学品性变高。如果该单体的所述范围 为50重量％~80重量％，则使用本发明的感光性组合物而制造的图案状透明体的耐热性变 得良好，因此更优选。
[0080] 将含有环氧基的聚合物(Be)加入至本发明的感光性组合物中的方法可W是直接 使用聚合反应后的溶液，也可W是对该溶液进行浓缩而取出固体成分，并仅加入固体成分。
[0081] <1-2-3-1.具有环氧基的自由基聚合性单体(bl )〉
[0082] 作为含有环氧基的聚合物(Be)的原料的具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)只 要具有至少一个环氧基，则并无特别限定。具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)的例子是 (甲基)丙締酸缩水甘油醋及（甲基)丙締酸甲基缩水甘油醋。使用含有环氧基的聚合物(Be) 的感光性组合物可形成小的图案，且使用该感光性组合物而制造的图案状透明体的耐化学 品性高，因此优选，所述含有环氧基的聚合物(Be)是使选自运些自由基聚合性单体的至少 一种聚合而获得。
[0083] 特别是如果使用将选自丙締酸缩水甘油醋及甲基丙締酸缩水甘油醋的至少一种 共聚而成的含有环氧基的聚合物(Be)作为具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)，则耐热性 变高，因此更优选。
[0084] 具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)可单独使用，也可W混合使用两种W上。
[0085] <1-2-3-2.其他自由基聚合性单体(b2)〉
[0086] 与具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)共聚的其他自由基聚合性单体(b2)只要 是不具有簇基、环氧基及氧杂环下基，且可与具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)共聚的 自由基聚合性单体，则并无特别限定。此种自由基聚合性单体的例子可列举在所述的与具 有簇基的自由基聚合性单体(al)共聚的其他自由基聚合性单体(a2)的说明中所例示的自 由基聚合性单体。
[0087] 运些单体中，使用感光性组合物而制造的图案状透明体的透明性高，且耐热性高， 因此优选，所述感光性组合物使用将选自（甲基)丙締酸苄基醋、（甲基)丙締酸二环戊基醋、 (甲基)丙締酸二环戊締基氧基乙醋、N-苯基马来酷亚胺、及N-环己基马来酷亚胺的至少一 种共聚而所得的含有环氧基的聚合物(Be)。
[0088] 其他自由基聚合性单体化2)可单独使用所述化合物，也可W混合使用两种W上。
[0089] <1-3.具有聚合性双键的化合物(C)〉
[0090] 本发明的感光性组合物中所含有的具有聚合性双键的化合物(C)只要具有聚合性 双键，则并无特别限定。其中，设为含有具有聚合性双键及簇基的化合物(Cl),具有聚合性 双键及簇基的化合物(Cl)为具有聚合性双键的化合物(C)的总重量的10重量％ W上。
[0091] 本发明的感光性组合物中所含有的具有聚合性双键的化合物(C)的例子是乙二醇 二（甲基)丙締酸醋、二乙二醇二（甲基)丙締酸醋、S乙二醇二（甲基)丙締酸醋、四乙二醇二 (甲基)丙締酸醋、聚乙二醇二（甲基)丙締酸醋、表氯醇改性乙二醇二（甲基)丙締酸醋、表氯 醇改性二乙二醇二（甲基）丙締酸醋、表氯醇改性=乙二醇二（甲基）丙締酸醋、表氯醇改性 四乙二醇二（甲基）丙締酸醋、表氯醇改性聚乙二醇二（甲基）丙締酸醋、丙二醇二（甲基）丙 締酸醋、二丙二醇二（甲基)丙締酸醋、=丙二醇二（甲基)丙締酸醋、四丙二醇二（甲基)丙締 酸醋、聚丙二醇二（甲基)丙締酸醋、表氯醇改性丙二醇二（甲基)丙締酸醋、表氯醇改性二丙 二醇二（甲基)丙締酸醋、表氯醇改性=丙二醇二（甲基)丙締酸醋、表氯醇改性四丙二醇二 (甲基)丙締酸醋、表氯醇改性聚丙二醇二（甲基)丙締酸醋、S径甲基丙烷S(甲基)丙締酸 醋、环氧乙烧改性=径甲基丙烷=(甲基）丙締酸醋、环氧丙烷改性=径甲基丙烷=(甲基） 丙締酸醋、表氯醇改性=径甲基丙烷=(甲基)丙締酸醋、二-=?甲基丙烷四（甲基)丙締酸 醋、甘油丙締酸醋甲基丙締酸醋、甘油二（甲基)丙締酸醋、甘油S (甲基)丙締酸醋、表氯醇 改性甘油S(甲基)丙締酸醋、1,6-己二醇二（甲基)丙締酸醋、表氯醇改性1,6-己二醇二（甲 基）丙締酸醋、甲氧基化环己基二（甲基）丙締酸醋、新戊二醇二（甲基）丙締酸醋、径基特戊 酸新戊二醇二（甲基)丙締酸醋、己内醋改性径基特戊酸新戊二醇二（甲基)丙締酸醋、二甘 油四（甲基)丙締酸醋、季戊四醇立（甲基)丙締酸醋、季戊四醇四（甲基)丙締酸醋、硬脂酸改 性季戊四醇二（甲基)丙締酸醋、二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋、烷基改性二季戊四醇五（甲 基)丙締酸醋、烷基改性二季戊四醇四（甲基)丙締酸醋、烷基改性二季戊四醇=(甲基)丙締 酸醋、二季戊四醇六（甲基)丙締酸醋、己内醋改性二季戊四醇六（甲基)丙締酸醋、締丙基化 环己基二（甲基)丙締酸醋、双[(甲基)丙締酷氧基新戊二醇]己二酸醋、双酪A二（甲基)丙締 酸醋、环氧乙烧改性双酪A二（甲基)丙締酸醋、双酪F二（甲基)丙締酸醋、环氧乙烧改性双酪 F二（甲基）丙締酸醋、双酪S二（甲基）丙締酸醋、环氧乙烧改性双酪S二（甲基）丙締酸醋、1， 4-下二醇二（甲基)丙締酸醋、1,3-下二醇（甲基)丙締酸醋、二环戊基二丙締酸醋、环氧乙烧 改性憐酸二（甲基)丙締酸醋、环氧乙烧改性憐酸=(甲基)丙締酸醋、己内醋、环氧乙烧改性 憐酸二（甲基)丙締酸醋、环氧乙烧改性憐酸=(甲基)丙締酸醋、表氯醇改性邻苯二甲酸二 (甲基)丙締酸醋、四漠双酪A二（甲基)丙締酸醋、S甘油二（甲基)丙締酸醋、新戊二醇改性 =?甲基丙烷二（甲基）丙締酸醋、异氯尿酸环氧乙烧改性二丙締酸醋、异氯尿酸环氧乙烧 改性=丙締酸醋、己内醋改性=[(甲基）丙締酷氧基乙基]异氯尿酸醋、（甲基）丙締酸基化 异氯尿酸醋、簇基聚己内醋单（甲基)丙締酸醋、邻苯二甲酸单径基乙基丙締酸醋、班巧 酸改性季戊四醇=丙締酸醋、邻苯二甲酸改性季戊四醇=丙締酸醋、班巧酸改性二季戊四 醇五丙締酸醋、邻苯二甲酸改性二季戊四醇五丙締酸醋、多元酸改性丙締酸醋寡聚物。
[0092] 运些化合物中，具有聚合性双键及簇基的化合物（Cl)是CO-簇基聚己内醋单（甲 基)丙締酸醋、邻苯二甲酸单径基乙基丙締酸醋、班巧酸改性季戊四醇=丙締酸醋、邻苯二 甲酸改性季戊四醇=丙締酸醋、班巧酸改性二季戊四醇五丙締酸醋、邻苯二甲酸改性二季 戊四醇五丙締酸醋、多元酸改性丙締酸醋寡聚物。
[0093] 具有聚合性双键的化合物(C)可单独使用所述化合物，也可W混合使用两种W上。 关于具有聚合性双键及簇基的化合物(Cl),可单独使用所述化合物，也可W混合使用两种 社。
[0094] =径甲基丙烷=丙締酸醋、季戊四醇=丙締酸醋、季戊四醇四丙締酸醋、二季戊四 醇五丙締酸醋、二季戊四醇六丙締酸醋、异氯尿酸环氧乙烧改性二丙締酸醋、异氯尿酸环氧 乙烧改性=丙締酸醋、或运些化合物的混合物可使用如下所述的市售品。=径甲基丙烷= 丙締酸醋的具体例是亚罗尼斯(Aronix)M-309(商品名；东亚合成股份有限公司）、A-TMPT (商品名;新中村化学股份有限公司）。季戊四醇=丙締酸醋及季戊四醇四丙締酸醋的混合 物的具体例是亚罗尼斯(AroniX)M-306(65重量％~70重量％ )、亚罗尼斯(Aronix)M-SOS (55重量％~63重量％)、亚罗尼斯（41'〇11；[义）1-303(30重量％~60重量％)、亚罗尼斯 (八1'011；[义)1-452(25重量％~40重量％)、及亚罗尼斯(41'0]1；[义)1-450(不足10重量％)(均为 商品名；东亚合成股份有限公司，括号内的含有率是混合物中的季戊四醇=丙締酸醋的含 有率的目录记载值）、A-TMM-化(55重量％ )、A-TMM-3LM57重量％ )、A-TMMT(均为商品名；新 中村化学股份有限公司，括号内的含有率是混合物中的季戊四醇=丙締酸醋的含有率的目 录记载值）。二季戊四醇五丙締酸醋及二季戊四醇六丙締酸醋的混合物的具体例是亚罗尼 斯（41'011；[义）1-403(50重量％~60重量％)、亚罗尼斯（41'0]1；[义）1-400(40重量％~50重 量％)、亚罗尼斯(41'011；[义)1-402(30重量％~40重量％)、亚罗尼斯(41'0]1；[义)1-404(30重 量％~40重量％)、亚罗尼斯(41'011；[义)1-406(25重量％~35重量％)、及亚罗尼斯(41'0]1；[又） 1-405(10重量％~20重量％ )(均为商品名；东亚合成股份有限公司，括号内的含有率是混 合物中的二季戊四醇五丙締酸醋的含有率的目录记载值）；二季戊四醇六丙締酸醋的具体 例是A-DPH(商品名;新中村股份有限公司）。异氯尿酸环氧乙烧改性二丙締酸醋的具体例是 亚罗尼斯(Aronix)M-215(商品名；东亚合成股份有限公司）。异氯尿酸环氧乙烧改性S丙締 酸醋的具体例是A-9300(商品名；新中村化学股份有限公司）。异氯尿酸环氧乙烧改性二丙 締酸醋及异氯尿酸环氧乙烧改性S丙締酸醋的混合物的具体例是亚罗尼斯(Aronix)M-313 (30重量％~40重量％ )及亚罗尼斯(Aronix)M-S 15(3重量％~13重量％ )(均为商品名；东 亚合成股份有限公司，括号内的含有率是混合物中的异氯尿酸环氧乙烧改性二丙締酸醋的 含有率的目录记载值）。
[00M]作为具有聚合性双键及簇基的化合物(Cl)的CO-簇基聚己内醋单丙締酸醋、邻苯 二甲酸单径基乙基丙締酸醋、多元酸改性丙締酸醋寡聚物可使用如下所述的市售品。O-簇 基聚己内醋单丙締酸醋的具体例是亚罗尼斯(Aronix)M-5300(商品名；东亚合成股份有限 公司）。邻苯二甲酸单径基乙基丙締酸醋的具体例是亚罗尼斯(Aronix)M-5400(商品名；东 亚合成股份有限公司）。多元酸改性丙締酸醋寡聚物的具体例是M-510(商品名；东亚合成股 份有限公司）、及M-520(商品名；东亚合成股份有限公司）。
[0096] 关于具有聚合性双键及簇基的化合物(Cl)的含量，如果W相对于具有聚合性双键 的化合物(C)的总重量而含有10重量％ W上的方式进行制备，则可实现由于交联性提高而 带来的耐热性提高、及未曝光部的解析性提高。
[0097] <1-4.光聚合引发剂(D)〉
[0098] 本发明的感光性组合物中所含有的光聚合引发剂(D)如果可引发含有碱可溶性聚 合物(A)、多官能环氧化合物(B)、及具有聚合性双键的化合物(C)的组合物的聚合，则并无 特别限定。
[0099] 作为本发明的感光性组合物中所含有的光聚合引发剂(D)，例如可例示下述式化- 1)所表示的化合物。
[0100]
(D-I)
[0101] 式中，R1i、R12、RU分别独立为氨、碳数1~5的烷基、碳数2~5的締基、或碳数2~5的 烘基。Ri4是碳数1~15的烷基、碳数2~15的締基、或碳数2~15的烘基。n分别独立为1~5的 整数。
[0102] 式(D-I)所表示的化合物特别优选1,2-辛二酬-1-[4-(苯硫基）苯基]-2-(0-苯甲 酷基朽）。本化合物W艳佳固（IRGACURE)OXEO1 (商品名；日本己斯夫(BASF化pan)股份有限 公司）的形式而市售。
[0103] 如果式(D-I)所表示的化合物相对于光聚合引发剂(D)的总重量而言为20重量％ W上，则使用感光性组合物而制造的图案状透明体的图案尺寸变得接近掩模尺寸而优选。 而且，如果为50重量％ W上则更优选。光聚合引发剂(D)也可W仅包含式(D-I)所表示的化 合物。光聚合引发剂(D)可单独使用式(D-I)所表示的化合物，也可W混合使用两种W上。
[0104] 与式(D-I)所表示的化合物混合而使用的其他光聚合引发剂的例子是二苯甲酬、 米其勒酬、4，少-双（二乙基氨基)二苯甲酬、氧杂蔥酬、嚷吨酬、异丙基氧杂蔥酬、2,4-二乙 基嚷吨酬、2-乙基蔥酿、苯乙酬、2-径基-2-甲基苯丙酬、2-径基-2-甲基-少-异丙基苯丙酬、 1-径基环己基苯基酬、异丙基安息香酸、异下基安息香酸、2,2-二乙氧基苯乙酬、2,2-二甲 氧基-2-苯基苯乙酬、精脑酿、苯并蔥酬、2-甲基-1-[4-(甲硫基）苯基]-2-吗嘟代丙烷-1- 酬、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗嘟代苯基)-下酬-1、4-二甲基氨基苯甲酸乙醋、4-二甲 基氨基苯甲酸异戊醋、4，少-二(叔下基过氧基幾基)二苯甲酬、3,4,4/-=(叔下基过氧基幾 基)二苯甲酬、2,4,6-S甲基苯甲酯基二苯基氧化麟、2-(少-甲氧基苯乙締基)-4,6-双(S 氯甲基)-均S嗦、2-试，少-二甲氧基苯乙締基)-4,6-双(S氯甲基)-均S嗦、2-(2/，少-二 甲氧基苯乙締基)-4,6-双(S氯甲基）-均S嗦、2-(2^-甲氧基苯乙締基)-4,6-双(S氯甲 基)-均S嗦、2-(少-戊氧基苯乙締基)-4,6-双(S氯甲基)-均S嗦、4-[对-N，N-二（乙氧基 幾基甲基）]-2，6-二(S氯甲基)-均S嗦、1，3-双(S氯甲基)-5-(2/ -氯苯基)-均S嗦、1，3- 双(S氯甲基)-5-(4/-甲氧基苯基)-均S嗦、2-(对二甲基氨基苯乙締基)苯并嗯挫、2-(对 二甲基氨基苯乙締基)苯并嚷挫、2-琉基苯并嚷挫、3,3/-幾基双(7-二乙基氨基香豆素）、2- (邻氯苯基)-4,4/，5,5/-四苯基-1，2/-联咪挫、2,2/-双(2-氯苯基)-4,4/，5,5/-四（4-乙氧 基幾基苯基)-1，2/ -联咪挫、2，2/ -双(2，4-二氯苯基)-4，少，5，5/ -四苯基-1，2/ -联咪挫、2， 2'-双（2,4-二漠苯基)-4,4'，5,5'-四苯基-1，2'-联咪挫、2,2'-双（2,4,6-^氯苯基）-4， 少，5，5/ -四苯基-1，2/ -联咪挫、3-( 2-甲基-2-二甲基氨基丙酷基)巧挫、3，6-双(2-甲基-2- 吗嘟代丙酷基)-9-正十二烷基巧挫、1-径基环己基苯基酬、双(ri5-2,4-环戊二締-1-基)-双 (2,6-二氣-3-aH-化咯-1-基）-苯基)铁、0-乙酷基-1-[6-(2-甲基苯甲酯基)-9-乙基-9H- 巧挫-3-基化酬目亏、及艾迪科亚库鲁兹(ADEKAA服LS)NCI-930(商品名；艾迪科(ADEKA)股份 有限公司）。
[01化]运些化合物可单独使用，也可W混合使用两种W上。
[0106] 在光聚合引发剂(D)为式(D-I)所表示的化合物及其他光聚合引发剂的混合物的 情况下，其他光聚合引发剂如果是选自4，少-双(二乙基氨基)二苯甲酬、3-苯甲酯基-7-二 乙基氨基香豆素、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗嘟代丙烷-1-酬、及2-苄基-2-二甲基 氨基-1-(4-吗嘟代苯基)-下酬-1的至少一种，则可兼顾高灵敏度与图案尺寸变得接近掩模 尺寸，因此优选。
[0107] <1-5.1,2-酿二叠氮化合物化)〉
[0108] 作为本发明的感光性组合物中所含有的1,2-酿二叠氮化合物巧)而使用的化合物 的例子是1，2-苯酿二叠氮横酸醋、1，2-糞酿二叠氮横酸醋、1，2-苯酿二叠氮横酷胺、及1，2- 糞酿二叠氮横酷胺。
[0109] 1,2-酿二叠氮化合物化)的具体例是W下所列举的化合物。
[0110] 2，3，4-S径基二苯甲酬-1，2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、2，3，4-S径基二苯甲酬-1， 2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、2，4，6-S径基二苯甲酬-1，2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、2，4，6-S径 基二苯甲酬-1，2-糞酿二叠氮-5-横酸醋；
[01川 2,2/，4，少-四径基二苯甲酬-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、2,2/，4，少-四径基二苯 甲酬-1，2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、2，3，3/，4-四径基二苯甲酬-1，2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、 2,3,3/ ,4-四径基二苯甲酬-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、2,3,4，少-四径基二苯甲酬-1,2- 糞酿二叠氮-4-横酸醋、2，3，4，少-四径基二苯甲酬-1，2-糞酿二叠氮-5-横酸醋；
[0112] 双（2,4-二径基苯基）甲烧-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、双（2,4-二径基苯基）甲 烧-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、双(对径基苯基）甲烧-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、双(对径 基苯基）甲烧-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋；
[0113] S(对径基苯基）甲烧-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、S(对径基苯基）甲烧-1,2-糞 酿二叠氮-5-横酸醋、1，1，I-S(对径基苯基）乙烧-1，2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、1，1，I-S (对径基苯基）乙烧-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋；
[0114] 双(2，3，4-S径基苯基）甲烧-1，2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、双(2，3，4-S径基苯基） 甲烧-1，2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、2，2-双(2，3，4-=径基苯基)丙烷-1，2-糞酿二叠氮-4-横 酸醋、2，2-双(2，3，4-S径基苯基)丙烷-1，2-糞酿二叠氮-5-横酸醋；
[011引 I，I，3-S(2，5-二甲基-4-?基苯基)-3-苯基丙烷-I，2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、I， 1，3-S(2，5-二甲基-4-径基苯基)-3-苯基丙烷-1，2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、4，4' -[ 1-[4- [1-[4-径基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酪-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、4,4'-[1- [4-[ 1-[4-径基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酪-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋；
[0116] 双（2，5-二甲基-4-径基苯基）-2-径基苯基甲烧-1，2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、双 (2,5-二甲基-4-径基苯基)-2-径基苯基甲烧-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、3,3,3/，3/-四甲 基螺二巧-5,6,7,5^ ,6/，7/-六醇-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、3，3,3/，3/-四甲基- 螺二巧-5,6,7,5^ ,6/，7/-六醇-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋；
[0117] 2，2，4-S甲基-7，2/，少-S径基黄酬-1，2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、及2，2，4-S甲 基-7，2/，少-=?基黄酬-1，2-糞酿二叠氮-5-横酸醋。
[0118] 运些化合物可单独使用，也可W组合使用两种W上。
[0119] 特别是如果使用选自2,3,4-S径基二苯甲酬-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、2,3,4- S径基二苯甲酬-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋、4，少-[1-[4-[1-[4-径基苯基]-1-甲基乙基] 苯基]亚乙基]双酪-1,2-糞酿二叠氮-4-横酸醋、及4，少-[1-[4-[1-[4-径基苯基]-1-甲基 乙基]苯基]亚乙基]双酪-1,2-糞酿二叠氮-5-横酸醋的至少一种，则感光性组合物的透明 性变高，因此优选。
[0120] <1-6.溶剂(F)〉
[0121] 本发明中所使用的溶剂(F)优选沸点为100°C~200°C的化合物的至少一种、或含 有20重量％ W上该化合物的混合溶剂。沸点为100°C~200°C的化合物的例子是水、乙酸下 醋、丙酸下醋、乳酸乙醋、氧基乙酸甲醋、氧基乙酸乙醋、氧基乙酸下醋、甲氧基乙酸甲醋、甲 氧基乙酸乙醋、甲氧基乙酸下醋、乙氧基乙酸甲醋、乙氧基乙酸乙醋、3-氧基丙酸甲醋、3-氧 基丙酸乙醋、3-甲氧基丙酸甲醋（W下有时简称为"MMP")、3-甲氧基丙酸乙醋、3-乙氧基丙 酸甲醋、3-乙氧基丙酸乙醋、2-氧基丙酸甲醋、2-氧基丙酸乙醋、2-氧基丙酸丙醋、2-甲氧基 丙酸甲醋、2-甲氧基丙酸乙醋、2-甲氧基丙酸丙醋、2-乙氧基丙酸甲醋、2-乙氧基丙酸乙醋、 2-氧基-2-甲基丙酸甲醋、2-氧基-2-甲基丙酸乙醋、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲醋、2-乙氧基- 2-甲基丙酸乙醋、丙酬酸甲醋、丙酬酸乙醋、丙酬酸丙醋、乙酷乙酸甲醋、乙酷乙酸乙醋、2- 氧代下酸甲醋、2-氧代下酸乙醋、二嗯烧、乙二醇、二乙二醇、S乙二醇、丙二醇、二丙二醇、 =丙二醇、1,4-下二醇、乙二醇单异丙酸、乙二醇单下酸、丙二醇单甲酸、丙二醇单甲酸乙酸 醋（W下有时简称为"PGMEA")、丙二醇单乙酸乙酸醋、丙二醇单丙酸乙酸醋、乙二醇单下酸 乙酸醋、环己酬、环戊酬、二乙二醇单甲酸、二乙二醇单甲酸乙酸醋、二乙二醇单乙酸、二乙 二醇单乙酸乙酸醋、二乙二醇单下酸、二乙二醇单下酸乙酸醋、二乙二醇二甲酸、二乙二醇 二乙酸、二乙二醇甲基乙基酸m下有时简称为巧DM")、甲苯、二甲苯、丫-下内醋、及N，N-二 甲基乙酷胺。
[0122] 运些溶剂中，如果使用选自丙二醇单甲酸、PGMEA、丙二醇单乙酸乙酸醋、3-甲氧基 丙酸甲醋、3-乙氧基丙酸乙醋、二乙二醇单乙酸乙酸醋、二乙二醇单下酸乙酸醋、二乙二醇 二甲酸、二乙二醇甲基乙基酸、及乳酸乙醋的至少一种，则涂布均一性变高，因此更优选。如 果使用选自PGMEA、3-甲氧基丙酸甲醋、3-乙氧基丙酸乙醋、二乙二醇甲基乙基酸、及乳酸乙 醋的至少一种，则感光性组合物的涂布均一性变高，对人体的安全性变高，因此进一步更优 选。
[0123] 溶剂(F)可将碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的聚合反应中所使 用的溶剂制成溶液而直接用于感光性组合物中，还可W除了该溶液中所含的溶剂W外而加 入稀释用溶剂(固体成分浓度调整用溶剂）。而且，关于所述聚合物，在仅将浓缩聚合反应后 的溶液而所取出的固体成分用于感光性组合物中的情况下，溶剂(F)在感光性组合物的制 备时与成分(A)~化)一同加入其所有量。
[0124] <1-7.添加剂〉
[0125] 自使解析度、涂布均一性、显影性、粘接性等本发明的感光性组合物的特性提高的 观点考虑，本发明的热硬化性组合物还可W含有添加剂。添加剂的例子是丙締酸系、苯乙締 系、聚乙締亚胺系及氨基甲酸醋系等高分子分散剂；阴离子系、阳离子系、非离子系及氣系 等表面活性剂;娃聚合物系涂布性提升剂;硅烷系偶联剂及侣系偶联剂等密接性提升剂;烧 氧基二苯甲酬类等紫外线吸收剂;聚丙締酸钢等防凝聚剂;多官能环氧化合物(B) W外的环 状酸化合物;=聚氯胺化合物及双叠氮化合物等热交联剂;碱可溶性聚合物(A) W外的簇基 化合物、簇酸酢、酪化合物等环氧硬化剂；W及受阻系酪等抗氧化剂。
[0126] 如果添加剂的添加量是相对于碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、及具 有聚合性双键的化合物(C)的合计100重量份而言为10重量份W下，则可并不损及本发明的 目的地使感光性组合物的特性提高，因此优选。
[0127] 密接性提升剂的具体例是作为硅烷系偶联剂的3-缩水甘油氧基丙基二甲基乙氧 基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基甲基二乙氧基硅烷及3-缩水甘油氧基丙基=甲氧基硅烷，作 为侣系偶联剂的乙酷烷氧基二异丙醇侣，作为铁酸醋系偶联剂的四异丙基双(二辛基亚憐 酸醋)铁酸醋。
[012引表面活性剂的具体例可列举波利弗洛脚Iyf low)No. 45、波利弗洛(Polyf 245、波利弗洛(PoI^Iow)No. 75、波利弗洛(PoI^Iow)No.90、波利弗洛(PoI^Iow)No.95 (W上均为商品名；共荣社化学工业股份有限公司）、迪斯帕毕克(Disperbyk)161、迪斯帕毕 克化isperbyk)162、迪斯帕毕克化isperbyk)163、迪斯帕毕克化isperbyk)164、迪斯帕毕克 (Disperbyk) 166、迪斯帕毕克(Disperbyk) 170、迪斯帕毕克(Disperbyk) 180、迪斯帕毕克 (Disperbyk) 181、迪斯帕毕克（Disperbyk) 182、BYK300、BYK306、BYK310、BYK320、BYK330、 8￥1(342、8￥1(346(^上均为商品名；日本毕克化学(8￥1(01611116化9曰11)股份有限公司）、邸- 341、KP-358、KP-368、KF-96-50CS、KF-50-100CS(W上均为商品名；信越化学工业股份有限 公司）、沙福隆（Surf 1 on) SC-101、沙福隆（Surf 1 on化护40、沙福隆（Surf 1 on) S611 (W上均为 商品名;AGC清美化学(AGC Seimi Chemical)股份有限公司）、福吉特(Ftergent)222F、福吉 特(Ftergent )208G、福吉特(Ftergent) 251、福吉特(Ftergent) 7IOFL、福吉特(Ftergent) 710FM、福吉特(Ftergent)710FS、福吉特(Fte 巧 ent)601AD、福吉特(Fte 巧 ent)602A、福吉特 (Fte巧日11*)6504、0。乂-18少1乂-218(^上均为商品名；尼奥斯(化03)股份有限公司）、艾福拓 化FTOP化F-3 51、艾福拓化FTOP化F-3 5 2、艾福拓化FTOP化F-601、艾福拓化FTOP化F-801、艾 福拓化FTOP化F-802( W上均为商品名；S菱材料(Mitsubishi Material)股份有限公司）、 美佳法（Megafac )F-171、美佳法（Megafac )F-177、美佳法（Megafac )F-410、美佳法 (Megaf ac )F-430、美佳法（Megaf ac )F-444、美佳法（Megaf ac )F-472SF、美佳法（Megaf ac )F- 475、美佳法（Megafac)F-477、美佳法（Megafac)F-552、美佳法（Megafac)F-553、美佳法 (Megafac)F-554、美佳法（Megafac)F-555、美佳法（Megafac)F-556、美佳法（Megafac)F- 558、美佳法（Megafac)R-OS、美佳法（Megafac)R-30、美佳法（Megafac)R-94、美佳法 (Megafac)RS-75、美佳法(Megafac)RS-72-K、美佳法(Megafac)RS-76-NS(W 上均为商品名； 迪爱生(DIC)股份有限公司）、台高屯(TEGO Twin)4000、台高屯(TEGO Twin)4100、台高弗洛 (TEGO Flow)370、台高革宜德(TEGO Glide)420、台高革宜德(TEGO Glide)440、台高革宜德 (TEGO Glide)450、台高拉德（TEGO Rad)2200N、台高拉德(TEGO Rad)2250N(W上均为商品 名；日本赢创德固赛化vonik-Degussa化pan)股份有限公司）、氣烷基苯横酸盐、氣烷基簇 酸盐、氣烷基聚氧乙締酸、氣烷基舰化锭、氣烷基甜菜碱、氣烷基横酸盐、二甘油四（氣烷基 聚氧乙締酸）、氣烷基=甲基锭盐、氣烷基氨基横酸盐、聚氧乙締壬基苯基酸、聚氧乙締辛基 苯基酸、聚氧乙締烷基酸、聚氧乙締月桂基酸、聚氧乙締油締基酸、聚氧乙締十=烷基酸、聚 氧乙締嫁蜡基酸、聚氧乙締硬脂基酸、聚氧乙締月桂酸醋、聚氧乙締油酸醋、聚氧乙締硬脂 酸醋、聚氧乙締月桂基胺、山梨糖醇酢月桂酸醋、山梨糖醇酢栋桐酸醋、山梨糖醇酢硬脂酸 醋、山梨糖醇酢油酸醋、山梨糖醇酢脂肪酸醋、聚氧乙締山梨糖醇酢月桂酸醋、聚氧乙締山 梨糖醇酢栋桐酸醋、聚氧乙締山梨糖醇酢硬脂酸醋、聚氧乙締山梨糖醇酢油酸醋、聚氧乙締 糞基酸、烷基苯横酸盐、或烷基二苯基酸二横酸盐等。
[0129] 作为受阻系酪等抗氧化剂，使用如在苯酪的OH的邻位具有叔下基，还可W进一步 具有烷基等取代基的化合物，及经由对位的二价有机基而在对位进行键结的所述化合物的 二聚体~四聚体运样的公知的化合物。市售品的例子是艾迪科斯塔波(Adekastab)AO-SO (商品名；艾迪科(ADEKA)股份有限公司）。
[0130] <1-8.碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的制造方法〉
[0131] 碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的聚合方法并无特别限定，优选 在使用溶剂的溶液中的自由基聚合。聚合溫度如果是由所使用的聚合引发剂充分引发自由 基的溫度，则并无特别限定，通常是50°C~150°C的范围。聚合时间也无特别限定，通常是1 小时~24小时的范围。而且，该聚合可W在加压、减压或大气压的任意压力下进行。
[0132] <1-8-1.碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的聚合反应中所使用的 溶剂〉
[0133] 碱可溶性聚合物(A)的聚合反应中所使用的溶剂优选为溶解所使用的具有簇基的 自由基聚合性单体(al)、其他自由基聚合性单体(曰2)、及所生成的碱可溶性聚合物(A)的溶 剂。含有环氧基的聚合物(Be)的聚合反应中所使用的溶剂优选为溶解所使用的具有环氧基 的自由基聚合性单体(bl)、其他自由基聚合性单体化2)、及所生成的含有环氧基的聚合物 (Be)的溶剂。W下，有时将聚合反应中使用的溶剂称为"聚合溶剂"。
[0134] 碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的聚合反应中所使用的溶剂的具 体例是甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、丙酬、2-下酬、乙酸乙醋、乙酸丙醋、四氨巧喃、乙腊、二 嗯烧、甲苯、二甲苯、乙二醇单乙酸、丙二醇单甲酸、PGMEA、二乙二醇二甲酸、二乙二醇甲基 乙基酸、3-甲氧基丙酸甲醋、3-乙氧基丙酸乙醋、环戊酬、环己酬、N-甲基-2-化咯烧酬、及N， N-二甲基甲酯胺。聚合溶剂可单独使用，也可W混合使用两种W上。
[0135] 运些溶剂中，优选丙二醇单甲酸、PGMEA、3-甲氧基丙酸甲醋、及二乙二醇甲基乙基 酸。
[0136] <1-8-2.碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的聚合反应中所使用的 聚合引发剂〉
[0137] 在碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的聚合中可使用公知的聚合引 发剂。关于本发明中所使用的碱可溶性聚合物(A)的聚合中所使用的聚合引发剂、及含有环 氧基的聚合物(Be)的聚合所使用的聚合引发剂，使用自因热而产生自由基的化合物、偶氮 二异下腊等偶氮系引发剂、及过氧化苯甲酯等过氧化物系引发剂中适宜选择的至少一种化 合物。在所述自由基聚合反应中，为了调节所生成的碱可溶性聚合物(A)、及含有环氧基的 聚合物(Be)的分子量，还可W添加适量的硫代乙醇酸等链转移剂。
[0138] <1-8-3.碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的重量平均分子量〉
[0139] 所得的碱可溶性聚合物(A)或含有环氧基的聚合物(Be)的重量平均分子量优选为 1，000~100，000，更优选为2，000~20，000。如果处于运些范围，则涂布后的膜厚均一性进 一步变得良好。
[0140] 本说明书中的重量平均分子量是通过凝胶渗透色谱（Gel Permeation 化romatography，GPC)法（管柱溫度：35°C，流速：ImL/min)所求出的W聚苯乙締计换算的 值。标准的聚苯乙締是使用分子量为645~132，900的聚苯乙締（例如安捷伦(Agilent)S- M2-10聚苯乙締校准套装（calibration kit)化2010-0102(商品名；安捷伦科技(Agilent Technologies)股份有限公司）），管柱是使用化gel MIX抓-D(商品名；安捷伦科技(Agilent Technologies)股份有限公司），可W使用四氨巧喃（Tetrahy化ofuran，THF)作为流动相来 进行测定。再者，本说明书中的市售品的重量平均分子量为目录记载值。
[0141] <2.使用本发明的感光性组合物而制造的图案状透明体〉
[0142] 本发明的第2实施方式设及一种使用本发明的感光性组合物而制造的图案状透明 体。本发明的图案状透明体的图案化时的解析度高，最适合形成微细图案形状。该图案状透 明体可如下所述地形成。首先，利用旋涂、漉涂、及狭缝涂布等而将感光性组合物涂布于玻 璃等的基板上。基板的例子是白板玻璃、青板玻璃、及二氧化娃涂层青板玻璃等透明玻璃基 板，聚碳酸醋、聚醋、丙締酸树脂、氯乙締树脂、芳香族聚酷胺树脂、聚酷胺酷亚胺、及聚酷亚 胺等合成树脂制片材、膜或基板，侣板、铜板、儀板、及不诱钢板等金属基板，其他陶瓷板，W 及具有光电转换元件的半导体基板。可W视需要对运些基板进行硅烷偶联剂等化学品处 理、等离子体处理、离子锻、瓣射、气相反应法、及真空蒸锻等预处理。可利用旋涂法、漉涂 法、及浸溃法等现有公知的方法而将感光性树脂组合物涂布于基板上。
[0143] 其次，利用加热板化Ot plate)或烘箱(oven)在通常为60°C~130°C下进行1分钟 ~5分钟干燥。介隔具有所期望的图案的掩模对经干燥的基板照射紫外线。照射量Wi射线 计适宜为5mJ/cm2~lOOOmJ/cm2。在感光性组合物为负型的情况下，紫外线到达的部分通过 具有聚合性双键的化合物(C)的聚合而成为=维化交联体，相对于碱性显影液而变得不溶。 在感光性组合物为正型的情况下，紫外线到达的部分由于自1,2-酿二叠氮化合物化)生成 簇酸，相对于碱性显影液而溶解性提高。碱性显影液的具体例是碳酸钢、碳酸氨钢、氨氧化 钢、氨氧化钟等的无机碱类的水溶液，W及四甲基氨氧化锭、四乙基氨氧化锭等有机碱类的 水溶液。而且，还可W在所述碱性显影液中添加适当量的甲醇、乙醇、及表面活性剂等而使 用。
[0144] 其次，利用喷淋显影、喷射显影、覆液显影、浸溃显影等，将基板浸于碱性显影液 中，将不需要的部分溶解除去。最后，在150°C~250°C下进行10分钟~120分钟的般烧，可获 得所期望图案的图案状透明体。
[0145] [实施例]
[0146] 其次，通过合成例、实施例、及比较例对本发明加 W具体的说明，但本发明并不受 运些实施例任何限定。
[0147] [合成例1]碱可溶性聚合物溶液(A-I)的合成
[0148] 在带有揽拌机的四口烧瓶中，W下述组成装入二乙二醇甲基乙基酸（W下简称为 巧DM")、作为成分(al)的甲基丙締酸、作为成分(曰2)的甲基丙締酸二环戊基醋、及N-环己基 马来酷亚胺、作为聚合引发剂的2,2/-偶氮双（异下酸)二甲醋（从下简称为"￥-601"。￥-601 是商品名；和光纯药工业股份有限公司），在115°C下进行3小时加热。
[0149]
[0150] 将反应结束后的溶液冷却至室溫，获得碱可溶性聚合物(A-I)的33.3重量％溶液。 利用GPC分析而求出的重量平均分子量是3，100。
[0151] 再者，此处所谓"碱可溶性聚合物(A-I)的33.3重量％溶渺'是表示将如上所述而 装入的化合物视为完全反应而求出的由固形物的重量与溶剂的重量而换算的浓度为33.3 重量％。^下的合成例也同样。
[0152] [合成例2 ]碱可溶性聚合物溶液(A-2)的合成
[0153] 在带有揽拌机的四口烧瓶中，W下述组成装入抓M、作为成分(al)的甲基丙締酸、 作为成分(曰2)的甲基丙締酸二环戊基醋、甲氧基聚乙二醇#400甲基丙締酸醋、及N-环己基 马来酷亚胺、作为聚合引发剂的V-601，在115°C下进行3小时加热。
[0154]
[0155]
[0156] 将反应结束后的溶液冷却至室溫，获得碱可溶性聚合物(A-2)的33.3重量％溶液。 利用GPC分析而求出的重量平均分子量为3,300。
[0157] [实施例。
[0158] 对带有揽拌翼的500ml的可分离式烧瓶进行氮气置换，在该烧瓶中混合111.45g合 成例1中所得的碱可溶性聚合物溶液(A-I)、40.12g作为具有聚合性双键的化合物(C)的M- 402、4.46g作为具有聚合性双键及簇基的化合物(Cl)的M-5400、4.46g作为光聚合引发剂 (D)的0乂6-01、33.4知作为多官能环氧化合物(8)的￥6310化、0.37旨作为1，2-酿二叠氮化合 物巧)的2，3，4-S径基二苯甲酬-1，2-糞酿二叠氮-5-横酸醋（W下简称为"NT-200" dNT-200 是商品名；东洋合成工业股份有限公司）、205.70g作为稀释溶剂的进行了脱水纯化的3-甲 氧基丙酸甲醋（W下简称为"MMP")而在室溫下进行化r揽拌，使其均一地溶解。其次，投入 0.10g美佳法(Megafac)F-556(商品名；迪爱生(DIC)股份有限公司），在室溫下进行1小时揽 拌，用膜滤器(0.2皿)进行过滤而制备涂布液。再者，碱可溶性聚合物溶液(A-1)含有反应溶 剂。本实施例的溶剂(F)成为该反应溶剂与所述稀释溶剂的总计。该规定也适用于W下的实 施例及比较例中。
[0159] W64化pm将该感光性组合物WlO秒旋涂于玻璃基板上，在130°C的加热板上进行3 分钟预烘烤。其次，在空气中，隔着具有20皿的线与间隙图案、30皿的孔图案的掩模，使用近 接式曝光机TME-150PRC(商品名；拓普康(Topcon)股份有限公司），透过波长截止滤光片而 截止350nmW下的光，使g射线、h射线、i射线射出，WIOOwii的曝光间隙进行曝光。使用累计 光量计UIT-102(商品名；牛尾(USHIO)股份有限公司）、光接收器UVD-365PD(商品名；牛尾 (USHIO)股份有限公司）而测定曝光量，为lOmJ/cm2。将曝光后的涂膜在0.04重量％的氨氧 化钟水溶液中进行60秒的覆液显影后，用纯水对涂膜洗20秒后，利用100°C的加热板进行2 分钟干燥。进一步在烘箱中、23(TC下进行30分钟后烘烤，获得膜厚为1.5WI1的硬化膜。
[0160] 关于如上所述而所得的硬化膜，针对解析性而评价特性。
[0161] [解析性的评价方法]
[0162] 用1，000倍的光学显微镜对所得的带有图案状透明体的玻璃基板进行观察，确认 20皿的线与间隙图案、30WI1孔图案的解析性。将解析的情况作为"〇"，将存在残渣而无法解 析的情况作为"X"。
[0163] [实施例2~实施例引
[0164] 依据实施例1的方法，W表1中所记载的比例(单位:g)将各成分混合溶解而获得感 光性组合物。
[0165] 实施实施例2~实施例5的解析性的评价。将评价结果表示于表1中。
[0166] 表1
[0167]
[0168] 单位为克(g)
[0169] [比较例1~比较例4]
[0170] 依据实施例1的方法，W表帥所记载的比例(单位:g)将各成分混合溶解而获得感 光性组合物。
[0171] 实施比较例1~比较例4的解析性的评价。将评价结果表示于表2中。
[0172] 表2
[0173]
[0174] 单位为克(g)
[0175] 根据表1、表2中所示的结果可知：实施例1~实施例5的解析性优异，比较例1~比 较例4的硬化膜的解析性差。
[0176] [工业上的可利用性]
[0177] 由本发明的感光性组合物而所得的硬化膜的解析性、透明性、耐热性、及平坦性等 作为光学材料的特性均优异，自此方面考虑，可作为彩色滤光片、LED发光元件及光接收元 件等的各种光学材料等的保护膜、W及形成在TFT与透明电极之间及透明电极与取向膜之 间的透明绝缘膜、形成在电极间的透明绝缘膜而利用。
【主权项】
1. 一种感光性组合物，其含有碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性 双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1，2_醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F)，其特征在于： 碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(al)及其他自由基聚合性 单体(a2)的自由基聚合性单体的混合物聚合而获得， 具有羧基的自由基聚合性单体(al)及其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或 氧杂环丁基； 具有聚合性双键的化合物(C)包含具有聚合性双键及羧基的化合物(C1)，而且具有聚 合性双键及羧基的化合物(C1)是具有聚合性双键的化合物的总重量的10重量％以上。2. 根据权利要求1所述的感光性组合物，其特征在于:碱可溶性聚合物(A)是使含有相 对于具有羧基的自由基聚合性单体(al)及其他自由基聚合性单体(a2)的总重量而言为10 重量％~60重量％的具有羧基的自由基聚合性单体(al)、及40重量％~90重量％的其他自 由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体的混合物聚合而所得的共聚物。3. 根据权利要求1或2所述的感光性组合物，其特征在于:具有羧基的自由基聚合性单 体(al)是选自丙烯酸及甲基丙烯酸的至少一种。4. 根据权利要求1或2所述的感光性组合物，其特征在于：其他自由基聚合性单体(a2) 包含选自具有芳香环的（甲基)丙烯酸酯、具有二环戊基的（甲基)丙烯酸酯、具有二环戊烯 基的（甲基)丙烯酸酯、及N-取代马来酰亚胺的至少一种。5. 根据权利要求1或2所述的感光性组合物，其特征在于：其他自由基聚合性单体(a2) 含有相对于其他自由基聚合性单体(a2)的总重量而言，下述化合物的总重量为50重量％以 上的选自（甲基）丙烯酸苄基酯、（甲基）丙烯酸二环戊基酯、（甲基）丙烯酸二环戊烯基氧基 乙酯、N-苯基马来酰亚胺、及N-环己基马来酰亚胺的至少一种。6. 根据权利要求1所述的感光性组合物，其特征在于：多官能环氧化合物(B)是选自缩 水甘油醚型环氧化合物(Ba)、脂环式脂肪族环氧化合物(Bb)、及含有环氧基的聚合物(Be) 的至少一种， 含有环氧基的聚合物(Be)是使含有具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)及其他自由 基聚合性单体(b2)的自由基聚合性单体的混合物聚合而获得，而且， 具有环氧基的自由基聚合性单体(bl)及其他自由基聚合性单体(b2)均不具有羧基。7. 根据权利要求6所述的感光性组合物，其特征在于:缩水甘油醚型环氧化合物(Ba)是 选自1，3_双[4-[1-[4-(2,3_环氧丙氧基)苯基]-1-[4-[l-[4-(2,3-环氧丙氧基)苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙醇、及2-[4-(2,3_环氧丙氧基）苯基]-2-[4-[l，l-双 [4-([2,3_环氧丙氧基]苯基）]乙基]苯基]丙烷的至少一种， 脂环式脂肪族环氧化合物(Bb)是2,2_双(羟基甲基)-1-丁醇的1，2_环氧基-4-(2-氧杂 环丙基)环己烷加成物。8. 根据权利要求1所述的感光性组合物，其特征在于：具有聚合性双键的化合物(C)中 的具有聚合性双键及羧基的化合物(C1)是选自邻苯二甲酸单羟基乙基丙烯酸酯、琥珀酸改 性季戊四醇三丙烯酸酯、邻苯二甲酸改性季戊四醇三丙烯酸酯、琥珀酸改性二季戊四醇五 丙烯酸酯、邻苯二甲酸改性二季戊四醇五丙烯酸酯、及多元酸改性丙烯酸酯寡聚物的至少 一种。9. 根据权利要求1所述的感光性组合物，其特征在于:光聚合引发剂(D)含有相对于光 聚合引发剂（η)的η?量而吉为5〇重量％以l·的 下彳术所寿元的仆合物， 式中，Rn、R12、R13分别独立为氢、碳数1~5的烷基、碳数2~5的烯基、或碳数2~5的炔 基； R14是碳数1~15的烷基、碳数2~15的烯基、或碳数2~15的炔基，η分别独立为1~5的整 数。10. 根据权利要求9所述的感光性组合物，其特征在于:式(D-1)所表示的化合物是1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(0-苯甲酰基肟）。11. 根据权利要求1所述的感光性组合物，其特征在于：1，2_醌二叠氮化合物(E)是1，2_ 萘醌二叠氮磺酸酯。12. 根据权利要求11所述的感光性组合物，其特征在于：1，2-萘醌二叠氮磺酸酯是选自 2,3,4_三羟基二苯甲酮-1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯、及（"-[l-B-tl-B-羟基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双酚-1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸酯的至少一种。13. -种硬化膜，其特征在于：其是由根据权利要求1至12中任一项所述的感光性组合 物而获得。14. 一种彩色滤光片，其特征在于:使用根据权利要求13所述的硬化膜作为保护膜。15. -种显示元件，其特征在于:使用根据权利要求14所述的彩色滤光片。16. -种固体摄像元件，其特征在于:使用根据权利要求14所述的彩色滤光片。17. -种显示元件，其特征在于:使用根据权利要求13所述的硬化膜作为形成在薄膜晶 体管与透明电极之间的透明绝缘膜。18. -种显示元件，其特征在于:使用根据权利要求13所述的硬化膜作为形成在透明电 极与取向膜之间的透明绝缘膜。19. 一种触摸屏，其特征在于:使用根据权利要求13所述的硬化膜作为形成在电极间的 透明绝缘膜。20. -种发光二极管发光体，其特征在于:使用根据权利要求13所述的硬化膜作为保护 膜。
【文档编号】G02F1/1333GK105954972SQ201510976989
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2015年12月23日
【发明人】尾崎刚史, 堀田佑策, 近藤学
【申请人】捷恩智株式会社