一种光刻机用陶瓷吸盘的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种光刻机，具体涉及一种光刻机用陶瓷吸盘。
【背景技术】
[0002]高端光刻机在工件台等系统采用陶瓷材料，是为解决运动及测量的高精度要求。应用于光刻机的吸盘为一种采用陶瓷制作的中空结构，吸盘通过接管与真空设备连接，然后与大尺寸硅片接触，启动真空抽吸，使吸盘内产生负压，从而将硅片吸牢。现有的陶瓷吸盘结构在制作过程中，由于陶瓷烧结过程中产生内应力，使吸盘变形，很难满足产品的使用要求。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型为了解决现有技术中存在的不足，提供了一种能够避免陶瓷烧结过程中产生内应力的光刻机用陶瓷吸盘。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0005]一种光刻机用陶瓷吸盘，包括:
[0006]本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；
[0007]还包括:
[0008]第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。
[0009]进一步地，还包括:
[0010]第二筋板，设置在本体的下表面，与所述第一筋板相互交错设置，所述第二筋板上设有至少一个第二凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。
[0011]进一步地，两条以上的第一筋板相互平行设置，两条以上的第二筋板相互平行设置，且所述第一筋板垂直于所述第二筋板设置；
[0012]每两条第二筋板之间的所述第一筋板上均设有第一凹槽，所述第一凹槽在沿着第二筋板长度的方向相贯通；
[0013]每两条第一筋板之间的所述第二筋板上设有一第二凹槽，所述第二凹槽在沿着第二筋板长度的方向相贯通。
[0014]进一步地，两条以上的第一筋板上的第一凹槽相互连通，相互连通的第一凹槽的轴线平行于所述第二筋板；
[0015]两条以上的第二筋板上的第二凹槽相互连通，相互连通的第二凹槽的轴线平行于所述第一筋板。
[0016]所述第一凹槽和/或第二凹槽的横截面为半弧形、矩形、梯形或V字形。
[0017]所述本体上设有至少一个连接孔。
[0018]所述连接孔为3个，均匀贯通设置在所述本体及盖体上。
[0019]所述本体与盖体通过固化剂粘接连接或所述本体与盖体通过烧结连接。
[0020]所述吸附槽为三个，每个吸附槽的一端部交汇于所述本体的中心，另一端部分别设有一吸附孔，三个吸附槽对称设置在所述本体上。
[0021]所述凸起的上表面为正方形，多个凸起相隔间距均匀设置在所述本体的上表面。
[0022]与现有技术相比，本实用新型在本体的内部筋板上设有凹槽，凹槽可以释放陶瓷材料内部的应力，既满足产品的使用要求，又避免在吸盘的制作过程中，因陶瓷烧结过程中产生的内应力使吸盘变形。
【附图说明】
[0023]图1为本实用新型提供的光刻机用陶瓷吸盘的剖视图；
[0024]图2为本体的上表面的结构示意图；
[0025]图3为图1的局部截面图。
[0026]图中:I本体，2凸起，3吸附槽，4吸附孔，5第一筋板，6第二筋板，7第一凹槽，8
第二凹槽，9连接孔。
【具体实施方式】
[0027]下面结合附图对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。
[0028]参见图1和图2，一种光刻机用陶瓷吸盘，包括:
[0029]本体1，其下方固定连接盖体；本体I的上表面设有多个凸起2，多个凸起2的上表面位于同一平面；本体I的下表面设有吸附槽3，吸附槽3上设有穿透本体I的吸附孔4，与吸附槽3相连通；
[0030]还包括:
[0031]第一筋板5，设置在本体I的下表面，第一筋板5上设有至少一个第一凹槽7，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。
[0032]本实用新型通过在第一横筋板上设置第一凹槽，可以释放吸盘在制作过程中陶瓷材料内部的应力，防止吸盘的变形，影响对硅片的吸附要求。
[0033]本实施例在上述实施例的基础上，还包括:
[0034]第二筋板6，设置在本体I的下表面，与第一筋板5相互交错设置，第二筋板6上设有至少一个第二凹槽8，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。
[0035]本实用新型设置在筋板上设置的第一凹槽和第二凹槽可以释放吸盘在制作过程中陶瓷材料内部的应力，更好的防止吸盘变形，影响对硅片的吸附要求。
[0036]优选地，两条以上的第一筋板5相互平行设置，两条以上的第二筋板6相互平行设置；
[0037]第一筋板6垂直于第二筋板6设置；
[0038]每两条第二筋板6之间的第一筋板5上设有一第一凹槽7，第一凹槽7在沿着第一筋板6长度的方向相贯通；
[0039]每两条第一筋板5之间的所述第二筋板6上设有一第二凹槽8，第二凹槽8在沿着第二筋板6长度的方向相贯通。
[0040]本实用新型的第一筋板和第二筋板交错设置的结构，形成吸盘内部的减重结构，为达到更好的释放应力的需求，第一凹槽和第二凹槽的两端开口。
[0041]优选地，两条以上的第一筋板5上的第一凹槽7相互连通，相互连通的第一凹槽7的轴线平行于所述第二筋板6;
[0042]两条以上的第二筋板6上的第二凹槽8相互连通，相互连通的第二凹槽8的轴线平行于第一筋板5。
[0043]本实用新型在第一筋板上设有多条相互连通的第一凹槽，第二筋板上设有多条相互连通的第二凹槽，通过设置的多条互相连通的第一凹槽和第二凹槽，释放了吸盘制作过程中陶瓷烧结所产生的内应力，防止吸盘的变形。
[0044]参见图3，优选地，第一凹槽7和/或第二凹槽8的的横截面为半弧形、矩形、梯形或U字形。
[0045]参见图1，本体I上设有至少一个连接孔9。连接孔用于吸附硅片时固定吸盘。优选地，连接孔9为3个，均匀贯通设置在本体I及盖体上。
[0046]优选地，本体I与盖体通过固化剂粘接连接或本体I与盖体通过烧结连接。
[0047]参见图1，为了达到更好的吸附效果，吸附槽3为三个，每个吸附槽3的一端部交汇于本体I的中心，另一端部分别设有一吸附孔4，三个吸附槽3对称设置在本体I上。
[0048]参见图2，凸起2的上表面为正方形，多个凸起2相隔间距均匀设置在本体I的上表面。凸起的上表面用于和硅片接触。
[0049]本实用新型吸盘的工作原理:首先将吸盘通过接管与真空设备连接，然后与大尺寸硅片接触，启动真空抽吸，使吸盘内产生负压，从而将硅片吸牢，本发明的吸盘为中空结构，且其材料为具有一定的强度、刚度的陶瓷，陶瓷表面具有超高的平整度(0.4um)，采用凸起表面与硅片接触，具有超低的接触面积，另外为了降低其高加速度对驱动电机的载荷，该吸盘需控制在400克以下，因此内部设计有减重结构，且筋板的壁厚仅为2_厚，表面的盖板仅为Imm厚，为了既满足产品的使用要求，又避免陶瓷烧结过程中产生的内应力，使制品变形，在内部筋板开设凹槽可以释放陶瓷材料内部的应力。
[0050]以上所述的实施例，只是本实用新型较优选的【具体实施方式】的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种光刻机用陶瓷吸盘，包括: 本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通； 其特征在于，还包括: 第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，还包括: 第二筋板，设置在本体的下表面，与所述第一筋板相互交错设置，所述第二筋板上设有至少一个第二凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。
3.根据权利要求2所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于: 两条以上的第一筋板相互平行设置，两条以上的第二筋板相互平行设置，且所述第一筋板垂直于所述第二筋板设置； 每两条第二筋板之间的所述第一筋板上均设有第一凹槽，所述第一凹槽在沿着第二筋板长度的方向相贯通； 每两条第一筋板之间的所述第二筋板上设有一第二凹槽，所述第二凹槽在沿着第二筋板长度的方向相贯通。
4.根据权利要求3所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于: 两条以上的第一筋板上的第一凹槽相互连通，相互连通的第一凹槽的轴线平行于所述第二筋板； 两条以上的第二筋板上的第二凹槽相互连通，相互连通的第二凹槽的轴线平行于所述第一筋板。
5.根据权利要求1所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于:所述第一凹槽和/或第二凹槽的横截面为半弧形、矩形、梯形、V字形。
6.根据权利要求1-5任一项所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述本体上设有至少一个连接孔。
7.根据权利要求6所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述连接孔为3个，均匀贯通设置在所述本体及盖体上。
8.根据权利要求1-5任一项所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述本体与盖体通过固化剂粘接连接或所述本体与盖体通过烧结连接。
9.根据权利要求1-5任一项所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述吸附槽为三个，每个吸附槽的一端部交汇于所述本体的中心，另一端部分别设有一吸附孔，三个吸附槽对称设置在所述本体上。
10.根据权利要求1-5任一项所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述凸起的上表面为正方形，多个凸起相隔间距均匀设置在所述本体的上表面。
【专利摘要】本实用新型公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括：本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；还包括：第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。本实用新型在本体的内部筋板上设有凹槽，凹槽可以释放陶瓷材料内部的应力，既满足产品的使用要求，又避免在吸盘的制作过程中，因陶瓷烧结过程中产生的内应力使吸盘变形。
【IPC分类】G03F7-20
【公开号】CN204287728
【申请号】CN201420681477
【发明人】刘海林, 霍艳丽, 贾志辉, 梁海龙, 胡传奇, 黄小婷, 唐婕, 陈曙光
【申请人】中国建筑材料科学研究总院
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年11月10日