双面曝光的装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种双面曝光的装置，包括工作台面，所述工作台面上设置有一第一气浮板，所述第一气浮板的上方平行相向设置有第二气浮板，所述第一气浮板和第二气浮板相对的一面分别均匀布设有连通的排气孔；所述第一气浮板和第二气浮板上分别设置有加工通孔，二所述加工通孔的投影贯穿PCB板的处理部位，二所述加工通孔的上方或下方各设有一能沿加工通孔移动的显影曝光装置，二所述显影曝光装置的光线分别透过加工通孔射向PCB板的二面。本实用新型具有PCB板双面曝光定位精确、同时能避免划伤和变形的优点。
【专利说明】
双面曝光的装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及印制电路行业，尤其是涉及一种PCB板双面曝光定位精确、能避免划伤和变形的双面曝光的装置。
【背景技术】
[0002]在PCB板上印制电路，传统的做法是利用底片转移图像来进行，先加工制作一张底片，将通过底片印制的湿膜贴在PCB板上，然后对湿膜进行感光，显影、蚀刻、脱膜。此方法做出来的PCB板存在精度低、加工费时、底片保存不易的缺点，这种方法在超细电路和多层板印制时容易划伤产品，导致良品率不高。随着消费类电子不断朝着轻薄、微型、便携的方向发展，对PCB板的需求也向着高密度、高精度、多层化的方向发展，针对这一市场需求转变，常规传统的底片转移图像技术存在只能单面曝光，需要印制菲林底片，效率和精度都越来越满足不了市场的需要。激光直接成像LDI(Laser Direct Imagine)应运而生，它可在涂覆有光致抗蚀剂的在制板上直接成像，然后进行蚀刻，现有的PCB板LDI曝光只能单面曝光，而需要双面曝光时还得反转过来进行二次曝光，此方法在高精密细小的PCB板中会造成双面线路不统一，从而影响PCB板生产质量。
【实用新型内容】
[0003]为克服现有现在的PCB板曝光方式为人工翻转的双面二次曝光而严重影响产能且在人工翻转过程中容易出现定位误差，甚至将已曝光好的PCB板在此过程中划伤的缺点，本实用新型目的在于提供一种双面曝光定位精确、能避免划伤和变形的双面曝光的装置。
[0004]本实用新型通过以下技术措施实现的，一种双面曝光的装置，包括工作台面，所述工作台面上设置有一第一气浮板，所述第一气浮板的上方平行相向设置有第二气浮板，所述第一气浮板和第二气浮板相对的一面分别均匀布设有连通的排气孔，所述第一气浮板和第二气浮板之间气浮设置有PCB板，所述第一气浮板和第二气浮板之间至少一侧设置有驱动装置，所述驱动装置的活动部件上可拆卸连接PCB板，所述PCB板由活动部件带动移动;所述第一气浮板和第二气浮板上分别设置有加工通孔，二所述加工通孔的投影贯穿PCB板的处理部位，二所述加工通孔的上方或下方各设有一能沿加工通孔移动的显影曝光装置，二所述显影曝光装置的光线分别透过加工通孔射向PCB板的二面。
[0005]作为一种优选方式，所述第一气浮板的加工通孔的下方和第二气浮板的加工通孔的上方设置分别沿通孔设置有导轨，所述导轨上设置有能沿导轨移动的显影曝光装置。
[0006]作为一种优选方式，所述工作台面的一侧固定有一第一直线电机，所述第一直线电机的动子座上固定有一 U形架，所述U形架的二端分别固定有显影曝光装置，所述第一直线电机驱动U形架平动，从而使二所述显影曝光装置的光线分别沿加工通孔射向PCB板的二面。
[0007]作为一种优选方式，二所述加工通孔的上方或下方各设有一滑轨，所述滑轨上分别滑设有滑动座，所述显影曝光装置固定在滑动座上。
[0008]作为一种优选方式，所述显影曝光装置为LDI曝光装置。
[0009]作为一种优选方式，所述驱动装置为第二直线电机，所述活动部件为固定在第二直线电机动子座上的真空吸条。
[0010]作为一种优选方式，所述工作台面或第一气浮板或第二气浮板上设置有识别PCB板位置的识别装置。
[0011 ]作为一种优选方式，所述活动部件在第一气浮板和第二气浮板充气后二者之间的零压力平面上连接PCB板。
[0012]作为一种优选方式，所述第二气浮板排气孔气流方向竖直向下，所述第一气浮板排气孔气流方向竖直向上。
[0013]作为一种优选方式，所述第一气浮板和第二气浮板内的气压及流量均设置为可调节，出气孔的出气压力设置为可调。
[0014]本实用新型的第一气浮板和第二气浮板的排气孔在工作时相向排出高压气体，从而在二者中间的平面形成一零压力差平面，当PCB板处于第二气浮板和第一气浮板之间时，由于第一气浮板和第二气浮板的排气孔分别向PCB板表面射出高压气体，当PCB板位于第二气浮板射向PCB板下表面的气流压力等于第一气浮板射向PCB板上表面的气流压力加上PCB板的重力时，PCB板悬浮在第一气浮板和第二气浮板之间，再利用驱动装置(如直线电机或其它机械手等)使PCB板平移;在第一气浮板和第二气浮板上分别设置有加工通孔，二加工通孔的投影贯穿PCB板的处理部位，二加工通孔的上方或下方各设有一能沿加工通孔方向移动的显影曝光装置，通过驱动装置上设置的真空孔将PCB板朝X方向移动，控制PCB板需要曝光的地方处加工通孔的投影处，上下两个述显影曝光装置沿加工通孔方向移动朝Y方向(一般是直线移动也可以是斜线移动或弧形移动)对PCB板进行显影曝光，当显影曝光装置移动到Y方向的终端时，驱动装置再次推动PCB板朝X方向前进I个单位量，显影曝光装置再次沿Y方向进行曝光，如此往复。本实用新型由于利用气流使PCB板悬浮在第一气浮板和第二气浮板之间，从而使得PCB板在输送过程中零摩擦、不会变形;PCB板双面同时曝光提高了曝光精度且大大地提高了生产效率。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型实施例的结构示意图；
[0016]图2为本实用新型实施例的分解图；
[0017]图3为本实用新型实施例没安装显影曝光装置的分解图；
[0018]图4为本实用新型实施例第二气浮板、第一气浮板和PCB板的剖视图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合实施例并对照附图对本实用新型作进一步详细说明。
[0020]—种LDI双面曝光的装置，参考图1至图4，包括工作台面6，所述工作台面6上设置有一第一气浮板12，所述第一气浮板12的上方平行相向设置有第二气浮板10，所述第一气浮板12和第二气浮板10相对的一面分别均匀布设有连通的排气孔，所述第一气浮板12和第二气浮板10之间气浮设置有PCB板5，所述第一气浮板12和第二气浮板10之间至少一侧设置有驱动装置，所述驱动装置的活动部件上可拆卸连接PCB板5，所述PCB板5由活动部件带动移动;所述第一气浮板12和第二气浮板10上分别设置有加工通孔9，一般情况下，加工通孔9为与PCB板5运动方向垂直的条形孔，二所述加工通孔9的投影贯穿PCB板5的处理部位，二所述加工通孔9的上方或下方各设有一能沿加工通孔9移动的LDI显影曝光装置11，二所述LDI显影曝光装置11的光线分别透过加工通孔9射向PCB板5的二面。
[0021]本曝光装置的第一气浮板12和第二气浮板10的排气孔在工作时相向排出高压气体，从而在二者中间的平面形成一零压力差平面，当PCB板5处于第二气浮板10和第一气浮板12之间时，由于第一气浮板12和第二气浮板10的排气孔分别向PCB板5表面射出高压气体，当PCB板位于第二气浮板射向PCB板下表面的气流压力等于第一气浮板射向PCB板上表面的气流压力加上PCB板的重力时，PCB板悬浮在第一气浮板和第二气浮板之间，再驱动装置(如直线电机或其它机械手等)使PCB板平移;在第一气浮板12和第二气浮板10上分别设置有加工通孔9，二加工通孔9的投影贯穿PCB板5的处理部位，二加工通孔9的上方或下方各设有一能沿加工通孔方向移动的LDI显影曝光装置11，通过驱动装置将PCB板5朝X方向移动，控制PCB板5需要曝光的地方处加工通孔9的投影处，上下两个LDI显影曝光装置11沿加工通孔方向移动朝Y方向(可以是直线移动也可以是斜线移动或弧形移动)对PCB板5进行显影曝光，当LDI显影曝光装置11移动到Y方向的终端时，驱动装置再次推动PCB板5朝X方向前进I个单位量，LDI显影曝光装置11再次沿Y方向进行曝光，如此往复。本曝光装置由于利用气流使PCB板悬浮在第一气浮板和第二气浮板之间，从而使得PCB板在输送过程中零摩擦、不会变形，并且当PCB板存在微小变形时，在第一气浮板和第二气浮板的气流压力下还能抚平变形，利用真空孔来固定并移动PCB板也避免了机械或人手夹持PCB板造成的划伤或污染;PCB板双面同时曝光提高了曝光精度且大大地提高了生产效率。
[0022]—实施例的LDI双面曝光的装置，请参考图1至图2，在前面技术方案的基础上具体还可以是，工作台面6的一侧固定有一第一直线电机I，所述第一直线电机I的动子座上固定有一 U形架2，所述U形架2的二端分别固定有显影曝光装置11，所述第一直线电机I驱动U形架2平动，从而使二所述显影曝光装置11的光线分别沿加工通孔9射向PCB板5的二面。
[0023]—实施例的LDI双面曝光的装置，请参考图1至图2，在前面技术方案的基础上具体还可以是，二加工通孔9的上方或下方各设有一滑轨3，所述滑轨3上分别滑设有滑动座4，所述显影曝光装置11固定在滑动座4上，第一直线电机I工作使U形架2平动，从而带动显影曝光装置11沿滑轨3往复运动。
[0024]在另一实施例的LDI双面曝光的装置，在前面技术方案的基础上具体还可以是，第一气浮板的加工通孔的下方和第二气浮板的加工通孔的上方设置分别沿通孔设置有导轨，所述导轨上设置有能沿导轨移动的显影曝光装置，上下二显影曝光装置分别由一直线电机驱动移动，二直线电机可以同步也可以不同步运动。
[0025]—实施例的LDI双面曝光的装置，请参考图1至图3，在前面技术方案的基础上具体还可以是，驱动装置为第二直线电机8，所述活动部件为固定在第二直线电机8动子座上的真空吸条7。
[0026]—实施例的LDI双面曝光的装置，在前面技术方案的基础上具体还可以是，工作台面或第一气浮板或第二气浮板上设置有识别PCB板位置的识别装置，例如在第一气浮板或第二气浮板上布设有气流传感器或压力传感器，从而当传感器感应到PCB板的路径后，控制相应的阀门打开运动前方和关闭运动后方的第一气浮板和第二气浮板的排气孔，从而节约用气量;也可以在工作台面或第一气浮板或第二气浮板上设置有摄像头，通过拍摄的图像来识别物料运动路径，还采用其它识别装置还进行PCB板位置的识别(如红外发射接收、超声波发生反射等)。
[0027]—实施例的LDI双面曝光的装置，在前面技术方案的基础上具体还可以是，第一气浮板12和第二气浮板10中的排气孔与一压缩气源如空气栗相连通。由空气栗给其提供稳定的高压气流，当然在其它实施例中，也可由压缩空气瓶来提供高压气流。
[0028]—实施例的LDI双面曝光的装置，在前面技术方案的基础上具体还可以是，活动部件上设置的真空孔的开口设置在第一气浮板12和第二气浮板10充气后二者之间的零压力平面上，从而使PCB板5能保证水平输送。
[0029]—实施例的LDI双面曝光的装置，请参考图4，在前面技术方案的基础上具体还可以是，第二气浮板10排气孔气流方向竖直向下，所述第一气浮板12排气孔气流方向竖直向上。
[0030]—实施例的LDI双面曝光的装置，在前面技术方案的基础上具体还可以是，第一气浮板12和第二气浮板10内的气压及流量均设置为可调节，出气孔的出气压力设置为可调。从而通过调节第一气浮板12和第二气浮板10的压力差能调节PCB板在二者之间的高度，并根据PCB板的厚度、表面积等调节气孔的出气压力。
[0031]以上是对本实用新型LDI双面曝光的装置进行了阐述，用于帮助理解本实用新型，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，任何未背离本实用新型原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种双面曝光的装置，其特征在于:包括工作台面，所述工作台面上设置有一第一气浮板，所述第一气浮板的上方平行相向设置有第二气浮板，所述第一气浮板和第二气浮板相对的一面分别均匀布设有连通的排气孔，所述第一气浮板和第二气浮板之间气浮设置有PCB板，所述第一气浮板和第二气浮板之间至少一侧设置有驱动装置，所述驱动装置的活动部件上可拆卸连接PCB板，所述PCB板由活动部件带动移动;所述第一气浮板和第二气浮板上分别设置有加工通孔，二所述加工通孔的投影贯穿PCB板的处理部位，二所述加工通孔的上方或下方各设有一能沿加工通孔移动的显影曝光装置，二所述显影曝光装置的光线分别透过加工通孔射向PCB板的二面。2.根据权利要求1所述的双面曝光的装置，其特征在于:所述第一气浮板的加工通孔的下方和第二气浮板的加工通孔的上方设置分别沿通孔设置有导轨，所述导轨上设置有能沿导轨移动的显影曝光装置。3.根据权利要求1所述的双面曝光的装置，其特征在于:所述工作台面的一侧固定有一第一直线电机，所述第一直线电机的动子座上固定有一 U形架，所述U形架的二端分别固定有显影曝光装置，所述第一直线电机驱动U形架平动，从而使二所述显影曝光装置的光线分别沿加工通孔射向PCB板的二面。4.根据权利要求3所述的双面曝光的装置，其特征在于:二所述加工通孔的上方或下方各设有一滑轨，所述滑轨上分别滑设有滑动座，所述显影曝光装置固定在滑动座上。5.根据权利要求1所述的双面曝光的装置，其特征在于:所述显影曝光装置为LDI曝光目.ο6.根据权利要求1所述的双面曝光的装置，其特征在于:所述驱动装置为第二直线电机，所述活动部件为固定在第二直线电机动子座上的真空吸条。7.根据权利要求1所述的双面曝光的装置，其特征在于:所述工作台面或第一气浮板或第二气浮板上设置有识别PCB板位置的识别装置。8.根据权利要求1所述的双面曝光的装置，其特征在于:所述活动部件在第一气浮板和第二气浮板充气后二者之间的零压力平面上连接PCB板。9.根据权利要求1所述的双面曝光的装置，其特征在于:所述第二气浮板排气孔气流方向竖直向下，所述第一气浮板排气孔气流方向竖直向上。10.根据权利要求1所述的双面曝光的装置，其特征在于:所述第一气浮板和第二气浮板内的气压及流量均设置为可调节，出气孔的出气压力设置为可调。
【文档编号】G03F7/20GK205507357SQ201620177166
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年3月9日
【发明人】王占良, 张明, 胡涛
【申请人】深圳盟星科技有限公司