增材制造设备中的同轴熔池传感器中或与其相关的改进的制作方法

本发明涉及增材制造设备、特别是使用激光熔融材料的增材制造设备中的同轴熔池传感器中或与其相关的改进。本发明特别地但非排他性地应用于基于激光的粉末床熔融设备，并且更具体地应用于包括多个光学链的粉末床熔融设备，每个光学链用于独立地操控激光束，并且这些光学链中的至少一个光学链包括同轴熔池传感器。

背景技术：

1、粉末床熔融设备通过使用诸如激光束等高能束将诸如金属粉末材料等材料逐层固化来产生物体。通过以下方式在包含于构建套筒中的粉末床上形成粉末层：使构建套筒中的构建平台下降以使粉末床下降，将一堆粉末投放到下降的粉末床附近，并用再涂器将这堆粉末(从粉末床一侧到另一侧)铺展在粉末床上以形成该层。然后通过用束照射这些面积来使与待形成的工件的截面对应的粉末层的各部分固化。该束使粉末熔融或烧结以形成固化层。在层的选择性固化之后，使粉末床降低新固化的层的厚度，并且根据需要在表面上铺展另一层粉末并使其固化。

2、在对材料(特别是金属)的选择性激光熔融过程中，熔池散发出热的高速蒸气羽流，该蒸气羽流冷却以形成金属“冷凝物”纳米颗粒的细雾。另外，从沸腾的熔池中喷出较大的不规则飞溅颗粒。此外，由蒸气羽流的运动导致的压降吸入熔池附近的粉末，从而将其向上抛离粉末床。

3、wo 2017/085470披露了一种光学模块，该光学模块包括用于独立地将多个激光束操控到粉末床上的多个光学链。

4、国际专利申请wo 2019/092414披露了一种检测器模块，该检测器模块可以被安装到光学模块(诸如，wo 2017/085470中披露的光学模块)上，以便检测在粉末熔融过程中从熔池区域发射并由光学链收集的辐射。例如，该辐射可以是由熔池本身发射的辐射(通常为红外波长)或在熔融过程中由熔池上方产生的等离子体羽流发射的辐射(通常为可见波长)。检测器模块包括挠曲件，所述挠曲件用于将传感器的光轴的相对位置调整到光学模块上的安装位置。

5、已经发现，即使当熔池处的条件改变预期对于扫描方向的改变很小时，改变激光束在粉末床上的扫描方向也影响由同轴熔池传感器生成的信号的强度。这种强度改变可能导致一些扫描方向的信号强度太低，使得指示异常的信号(诸如，飞溅颗粒或孔隙率)的变化被信号中的潜在噪声遮蔽。

技术实现思路

1、根据本发明的第一方面，提供了一种对准增材制造设备中的同轴熔池传感器的方法，该方法包括：使用第一光学链使第一激光束在工作表面上沿着第一扫描路径扫描，以沿着该第一扫描路径生成熔池；以及使用第二光学链使同轴传感器的视场在该工作表面上沿着第二扫描路径扫描，以用于操控第二激光束，其中，该第一扫描路径和该第二扫描路径相交；以及当该视场沿着该第二扫描路径扫描时，根据由该同轴传感器生成的信号的变化来确定有待对该同轴传感器的该视场与该第二光学链的光轴的对准进行的调整。

2、以此方式，当使用该第二激光束来形成熔池时，可以使该同轴熔池传感器的视场与该光轴对准以补偿该视场与由该第二激光束生成的发射的未对准。该对准可以包括相对于维持在固定位置中的该同轴熔池传感器移动图像平面，或相对于固定的图像平面移动该同轴熔池传感器。这可以防止对于该第二激光束的某些扫描方向的信号强度下降。对于校准的系统，该第一扫描路径和该第二扫描路径的一个或多个预期交点是已知的。然而，由于该同轴传感器的视场与该第二光学链的光轴的未对准，由该第一激光束生成的熔池可以不在该视场中在一个或多个预期交点处居中，而是可以在该视场内在一个或多个预期交点之前或之后居中。由该第一激光束生成的熔池在该同轴传感器的视场中居中的实际位置可以根据属性(诸如，由该同轴传感器生成的信号的强度)来确定。在(多个)实际位置与(多个)预期交点之间的这种失配可以用于确定有待对该同轴传感器的视场与该第二光学链的光轴的对准进行的调整。这种对准可以例如由操作者或服务人员通过调整与该同轴传感器相关联的对准机构(诸如，挠曲件)以调整该同轴传感器的视场相对于该第二光学链的光轴的位置来手动地进行。该方法可以包括生成输出(诸如，屏幕上的显示)，从而指示待进行的调整。替代性地，该增材制造设备可以包括机动化系统，该机动化系统用于调整该同轴传感器的视场相对于该光轴的对准，并且该方法可以包括控制该机动化系统以调整该同轴传感器的视场相对于该第二光学链的光轴的位置。

3、将理解的是，如本文所使用的术语“相交”是指在空间和时间上。因此，该第一激光束和该视场的移动可以相对于彼此在空间上移动和定时，使得该熔池在沿着它们沿着该第一扫描路径和该第二扫描路径行进的点处落入该视场内。

4、该同轴传感器可以包括积分式传感器(诸如，光电二极管)，该积分式传感器通过在该视场上对信号进行积分来生成信号，并且该属性是由该积分式传感器生成的信号的强度。在替代性实施例中，该同轴传感器是位置敏感器件(psd)，诸如，ccd或cmos器件，其可以生成该视场中的强度的空间表示。在这个替代性实施例中，该属性可以是在该视场上或者在指定位置(诸如，psd的中心)处积分的强度，或者是从该视场中的强度的空间表示中可得到的该熔池和/或羽流的属性，诸如，该熔池和/或羽流是否在psd上居中的测量值(例如，落入该视场内的该熔池和/或羽流的面积)。包括光电检测器元件阵列的同轴传感器的视场的对准可以包括：选择从其中记录值的阵列的光电检测器元件的子集，例如，使得光电检测器元件的子集的视场与该第二光学链的光轴对准。例如，整个阵列可以足够大，使得即使未对准，感兴趣的面积(熔池和羽流)也落在该光电检测器阵列上。然而，从这种大阵列的所有光电检测器元件读出这些值可能过慢。因而，对准可以包括基于根据本发明的第一方面确定的调整来选择从其中读出值的光电检测器值的子集。光电检测器元件的所选子集可以是对该熔池和/或羽流进行成像的那些。与从阵列的所有光电检测器元件读出值相比，仅从光电检测器元件的子集读出值可以允许更快的读出速度。当操作者想要在与该熔池的固化时间相当的时间内获得关于该熔池/羽流的演变的反馈时，快速的读出速率在增材制造中是有利的。

5、该第二扫描路径可以包括在该工作表面上的扫描方向上的改变，例如，该扫描路径可以包括在第一方向上的扫描和在与该第一方向正交的第二方向上的扫描。以此方式，可以对于正交方向(x和y)获得关于该视场与该第二光学链的光轴的未对准的信息。该第二扫描路径可以包括振荡扫描路径，诸如，正弦扫描路径。该第二扫描路径可以在相同的位置开始和结束，例如，振荡扫描路径在诸如圆形路径等闭合轮廓上的重合。在方向之间具有平滑过渡的第二扫描路径是优选的，以便移动在该第二光学链的操控光学器件的动态能力内。

6、该第一扫描路径可以是(关于反射或旋转)与该第二扫描路径对称的。以此方式，维持了该第一激光束和该视场的同步。在一个实施例中，该第一扫描路径和该第二扫描路径是π异相的振荡扫描路径。

7、该方法可以包括：对于增材制造设备的多个光学链中的每一个光学链，使用根据本发明的第一方面的方法将对应的同轴熔池传感器的视场与该光学链的光轴对准。对于这些光学链中的两个或更多个光学链，用于确定该同轴熔池传感器的该视场的对准的该第一激光束可以是相同的激光束。

8、在一个实施例中，该增材制造设备包括三个或更多个光学链(例如，四个光学链)，每个光学链用于将对应的激光束操控到工作表面，该方法包括：使用这些光学链中的第一光学链使该第一激光束在工作表面上沿着该第一扫描路径扫描，以沿着该第一扫描路径生成熔池；以及使用这些光学链中的第二光学链使同轴传感器的视场在该工作表面上沿着第二扫描路径扫描，以用于操控第二激光束，其中，该第一扫描路径和该第二扫描路径相交；以及使用这些光学链中的第三光学链使第三激光束在工作表面上沿着第三扫描路径扫描，以沿着该第三扫描路径生成熔池；以及使用这些光学链中的该第二光学链使该同轴熔池传感器的视场在该工作表面上沿着第四扫描路径扫描，其中，该第三扫描路径和该第四扫描路径相交；以及当该视场沿着该第二扫描路径和该第四扫描路径扫描时，根据由该同轴传感器生成的信号的变化来确定有待对该同轴传感器的视场与该第二光学链的光轴的对准进行的调整。

9、根据本发明的第二方面，提供了一种用于通过激光熔融逐层制造物体的增材制造设备，该增材制造设备包括：第一光学链，该第一光学链包括用于在工作表面上操控第一激光束的第一可移动光学部件；第二光学链，该第二光学链包括用于在该工作表面上操控第二激光束的第二可移动光学部件；同轴熔池传感器，该同轴熔池传感器用于检测由熔池发射并由该第二光学链的该第二可移动光学部件收集的辐射；以及控制器，该控制器布置成控制该第一光学链和该第二光学链的该第一可移动部件和该第二可移动部件，从而使用该第一光学链使该第一激光束在该工作表面上沿着第一扫描路径扫描以沿着该第一扫描路径生成熔池、使用该第二光学链使该同轴传感器的视场在该工作表面上沿着第二扫描路径扫描、并且当该视场沿着该第二扫描路径扫描时根据由该同轴传感器生成的信号的变化来确定有待对该同轴传感器的该视场与该第二光学链的光轴的对准进行的调整，其中，该第一扫描路径和该第二扫描路径相交。

10、该增材制造设备可以包括第三光学链，该第三光学链包括用于在该工作表面上操控第三激光束的第三可移动光学部件，该控制器布置成：使用该第三光学链使该第三激光束在工作表面上沿着第三扫描路径扫描，以沿着该第三扫描路径生成熔池；并且使用该第二光学链使该同轴传感器的该视场在该工作表面上沿着第四扫描路径扫描，其中，该第三扫描路径和该第四扫描路径相交；并且当该视场沿着该第二扫描路径和该第四扫描路径扫描时，根据由该同轴传感器生成的信号的变化来确定有待对该同轴传感器的该视场与该第二光学链的该光轴的对准进行的调整。

11、该增材制造设备可以包括调整机构，该调整机构用于调整该同轴熔池传感器的该视场相对于该第二光学链的该光轴的位置。该调整机构可以是可手动调整的，并且该增材制造设备包括显示器，该控制器布置成控制该显示器输出有待对该同轴传感器的视场与该第二光学链的光轴的对准进行的调整的指示。替代性地或另外地，该调整机构可以包括电机和驱动机构，该电机和驱动机构用于移动包括该同轴熔池传感器的检测器模块的光学器件和/或该同轴熔池传感器，该控制器布置成基于所确定的对准来控制该电机将该同轴传感器的视场与该第二光学链的光轴对准。

12、该增材制造设备可以包括位置传感器(诸如，编码器)以用于测量该检测器模块的光学器件和/或该同轴熔池传感器相对于该第二光学链的光轴的位置。该控制器可以基于来自位置传感器的信号来控制该显示器提供关于该同轴传感器的位置的反馈和/或控制该电机。

13、该增材制造设备可以包括粉末床熔融增材制造设备，该粉末床熔融增材制造设备包括可在构建套筒中下降的构建平台和用于在构建平台上形成粉末层以形成粉末床的层形成装置，其中，该工作表面是该粉末床的上表面。然而，在替代性实施例中，该工作表面是构建基板或安装在该构建平台上的牺牲板的上表面。

14、这些可移动光学部件可以包括在电机的控制下可围绕轴线旋转的光学部件，诸如，反射镜。替代性地或另外地，这些可移动光学部件可以包括诸如在台架系统上沿着线性轴线可移动的光学部件，诸如，反射镜。

15、根据本发明的第三方面，提供了一种用于通过激光熔融逐层制造物体的增材制造设备的控制器，该增材制造设备包括：第一光学链，该第一光学链包括用于在工作表面上操控第一激光束的第一可移动光学部件；第二光学链，该第二光学链包括用于在该工作表面上操控第二激光束的第二可移动光学部件；同轴熔池传感器，该同轴熔池传感器用于检测由熔池发射并由该第二光学链的该第二可移动光学部件收集的辐射，该控制器配置成控制该增材制造设备执行根据本发明的第一方面的方法。

16、根据本发明的第四方面，提供了一种数据载体，其上存储有指令，该指令当由用于通过激光熔融逐层制造物体的增材制造设备的控制器执行时，致使该控制器控制该增材制造设备执行根据本发明的第一方面的方法，增材制造设备包括：第一光学链，该第一光学链包括用于在工作表面上操控第一激光束的第一可移动光学部件；第二光学链，该第二光学链包括用于在该工作表面上操控第二激光束的第二可移动光学部件；同轴熔池传感器，该同轴熔池传感器用于检测由熔池发射并由该第二光学链的该第二可移动光学部件收集的辐射。

17、根据第五方面，提供了一种对来自增材制造设备中的多个同轴熔池传感器的信号进行归一化的方法，该增材制造设备包括多个光学链，其中，每个光学链被布置成用于将对应的激光束独立地操控至工作表面，并且每个熔池传感器被布置成通过这些光学链中的对应的一个光学链来观察该工作表面，该方法包括：-

18、使用对应的激光束中的一个激光束在该工作表面上形成熔池；

19、控制这些光学链中的第一光学链，使得该熔池落入这些熔池传感器中的第一熔池传感器的视场内，该第一熔池传感器通过这些光学链中的该第一光学链观察该工作表面，并且利用这些熔池传感器中的第一熔池传感器记录第一信号；

20、控制这些光学链中的第二光学链，使得该熔池、或者使用具有设置成在该工作表面处实现与用于形成该熔池相同的预定通量的扫描参数的这些对应的激光束中的一个激光束在该工作表面上生成的另一熔池落入这些熔池传感器中的第二熔池传感器的视场内，该第二熔池传感器通过这些光学链中的该第二光学链观察该工作表面，并且利用这些熔池传感器中的该第二熔池传感器记录第二信号；以及

21、比较该第一信号和该第二信号，并且基于该比较确定来自一个或两个熔池传感器的信号的缩放。

22、以此方式，可以调整对这些同轴熔池传感器的响应，使得该第一熔池传感器和该第二熔池传感器两者对于在相同通量条件下形成的熔池给出相同的响应。以此方式，可以一起显示/处理来自该第一熔池传感器和该第二熔池传感器的信号，而不会由于对于相同熔融条件的该第一熔池传感器与该第二熔池传感器之间的区别响应而生成伪影。

23、在优选实施例中，该第二光学链被控制使得第二熔池传感器与该第一熔池传感器观察相同的熔池。以此方式，减少或消除了由该第一熔池传感器和该第二熔池传感器观察到的熔池的任何差异。然而，将理解的是，在另一个实施例中，该第二光学链被控制使得第二熔池传感器观察不同的但是在相同的通量条件下形成的熔池。将预期的是，此另一熔池将生成基本上相同的熔池和羽流，并且因此生成基本上相同的来自熔池传感器的响应，从而允许根据该第一信号和该第二信号的比较来确定缩放。例如，如果该第一光学链和该第二光学链的扫描场不重叠，这可能是必要的。

24、缩放可以被选择成使得该第一信号和该第二信号在缩放之后变得相等。

25、该方法可以包括执行以上方法多次以获得多对第一信号和第二信号。每对第一信号和第二信号可以是对于工作表面上的熔池和/或另一熔池的不同位置获得的。例如，由于激光斑点形状的改变和/或发射的能量穿过这些光学链的光学部件(诸如，f-θ透镜)的透射的改变，该熔池传感器响应对于该工作表面上的熔池的不同位置可以不同。因而，可以令人期望的是，根据该熔池在该工作表面上的位置来确定这些熔池传感器信号的缩放。每对第一信号和第二信号可以是对于由不同激光束形成的熔池/另外的熔池获得的。不同的激光束可以导致略微不同的熔池传感器响应，并且因此，可以令人期望的是，确定使用不同激光束生成的熔池的不同缩放。

26、这种方法可以例如使用本发明的第一方面的方法在该第一熔池传感器和该第二熔池传感器与对应的第一光学链和第二光学链的光轴对准之后执行。

27、根据本发明的第六方面，提供了一种用于通过激光熔融逐层制造物体的增材制造设备，该增材制造设备包括：多个光学链，每个光学链包括用于将对应的激光束操控在工作表面上的可移动光学部件；第一同轴熔池传感器，该第一同轴熔池传感器用于检测由熔池发射并由这些光学链中的第一光学链的可移动光学部件收集的辐射；第二同轴熔池传感器，该第二同轴熔池传感器用于检测由该熔池或另一熔池发射并由这些光学链中的第二光学链的可移动光学部件收集的辐射；以及控制器，该控制器布置成：

28、使用对应的激光束中的一个激光束在该工作表面上形成熔池；

29、控制这些光学链中的该第一光学链，使得该熔池落入该第一熔池传感器的视场内，并且用该第一熔池传感器记录第一信号；

30、控制这些光学链中的该第二光学链，使得该熔池、或者使用具有设置成在该工作表面处实现与用于形成该熔池相同的预定通量的扫描参数的这些对应的激光束中的一个激光束在该工作表面上生成的另一熔池落入该第二熔池传感器的视场内，并且利用这些熔池传感器中的该第二熔池传感器记录第二信号；并且

31、比较该第一信号和该第二信号，并且基于该比较确定来自一个或两个熔池传感器的信号的缩放。

32、根据本发明的第七方面，提供了一种用于通过激光熔融逐层制造物体的增材制造设备的控制器，该增材制造设备包括：第一光学链，该第一光学链包括用于在工作表面上操控第一激光束的第一可移动光学部件；第二光学链，该第二光学链包括用于在该工作表面上操控第二激光束的第二可移动光学部件；第一同轴熔池传感器，该第一同轴熔池传感器用于检测由熔池发射并由该第一光学链的该第一可移动光学部件收集的辐射；以及第二同轴熔池传感器，该第二同轴熔池传感器用于检测由该熔池发射并由该第二光学链的该第二可移动光学部件收集的辐射，该控制器配置成控制该增材制造设备执行根据本发明的第五方面的方法。

33、根据本发明的第八方面，提供了一种将由位置传感器生成的位置测量映射至由可移动光学部件操控的激光束在工作表面上的斑点的位置的方法，该位置传感器测量增材制造设备的光学链的该可移动光学部件的位置，该方法包括：通过使用该可移动光学部件使该激光束在该工作表面上扫描来在该工作表面上形成标记；记录在这些标记的形成过程中由该位置传感器生成的位置测量；使用成像装置测量这些标记在该工作表面上的位置；并且基于在这些标记的形成过程中由该位置传感器生成的这些位置测量以及这些标记在该工作表面上的测得位置来生成将来自该位置传感器的位置测量映射至该工作表面上的位置的映射图。

34、以此方式，该激光束在该工作表面上的位置可以从这些位置测量确定。该可移动光学部件可以包括可围绕轴线旋转的光学部件(诸如，反射镜)以及位置传感器、用于测量该光学部件围绕该轴线的位置的旋转编码器。该激光束在该工作表面上的位置可以由该光学部件围绕该轴线的角度指示，而且由该激光束对于该光学部件的该位置沿着该光轴的偏转指示。因而，为了从测量该可移动光学部件的位置的位置传感器中导出该工作表面上的准确位置，将该光学链作为整体校准是有利的。该方法提供了这些可移动光学元件的位置测量值到平面工作表面中的位置的映射，该映射考虑了整个光学链中的误差源。

35、可以通过在该工作表面上的多个点之间进行内插来生成该映射图，在这些点处做出这些标记并且对于这些点记录位置测量以对于该工作表面上的激光束的其他位置生成映射图。

36、该光学链可以包括用于在垂直方向上操控该激光束的两个可移动光学部件，每个可移动光学部件具有与其相关联的位置传感器，并且该方法包括：记录在这些标记的形成过程中由每个位置传感器生成的位置测量；以及基于在这些标记的形成过程中由这些位置传感器生成的位置测量以及这些标记在该工作表面上的测得位置来生成将来自该位置传感器的位置测量映射至该工作表面上的二维位置的映射图。

37、根据本发明的第九方面，提供了一种对准增材制造设备中的同轴熔池传感器的方法，该方法包括：使用光学链使激光束在工作表面上沿着多个扫描路径扫描，以沿着该多个扫描路径生成熔池，这些扫描路径中的一些扫描路径在该工作表面的平面中在不同的方向上延伸；使用同轴传感器记录传感器值，该同轴传感器通过该光学链观察这些熔池；以及根据由该同轴传感器生成的这些传感器值的变化与这些扫描路径的方向来确定有待对该同轴传感器的该视场与该光学链的光轴的对准进行的调整。

38、此方法可以允许该同轴熔池传感器的对准，而不需要用于将另一激光束递送到该工作平面的另一光学链。这在仅包括一个激光扫描器的机器中可能是必要的，尽管将理解的是，本发明的这个方面不限于单个激光机器。

39、该多个扫描路径可以包括相反的扫描路径组，每一组包括在该工作表面的平面中在第一方向上延伸的至少一个第一扫描路径和在反平行于该第一方向的第二方向上延伸的至少一个第二扫描路径，各组之间的相反的扫描路径在横向方向上延伸。确定该调整可以包括根据这些扫描路径组中的至少一个扫描路径组来确定对于该至少一个第一扫描路径和对于该至少一个第二扫描路径的测量值的差异，并且根据该差异来确定该调整。

40、该控制器可以被布置成对于这些扫描路径组中的每一个扫描路径组确定对于该至少一个第一扫描路径和对于该至少一个第二扫描路径的测量值的差异，以及根据该差异识别该调整的方向。

41、该调整可以是基于在对于该至少一个第一扫描路径和该至少一个第二扫描路径确定的测量值之间具有最大差异的该相反的扫描路径组的第一方向和第二方向。该调整的方向可以是根据该差异的符号来确定。

42、根据本发明的第十方面，提供了一种用于通过激光熔融逐层制造物体的增材制造设备，该增材制造设备包括：光学链，该光学链包括用于在工作表面上操控激光束的可移动光学部件；同轴熔池传感器，该同轴熔池传感器用于检测由熔池发射并由该光学链的该可移动光学部件收集的辐射；以及控制器，该控制器布置成：控制该光学链的这些可移动部件以使该激光束在该工作表面上沿着多个扫描路径扫描，从而沿着该多个扫描路径生成熔池，这些扫描路径中的一些扫描路径在该工作表面的平面中在不同的方向上延伸；并且根据由该同轴传感器生成的传感器值的变化与这些扫描路径的方向来确定有待对该同轴传感器的该视场与该光学链的光轴的对准进行的调整。

43、该控制器可以被布置成确定对于每个扫描路径方向的测量值，该测量值是从在该激光束沿着该扫描路径方向的扫描过程中生成的多个传感器值中得到的，并且确定该调整形成所确定的测量值。

44、该多个扫描路径可以包括相反的扫描路径组，每一组包括在该工作表面的平面中在第一方向上延伸的至少一个第一扫描路径和在反平行于该第一方向的第二方向上延伸的至少一个第二扫描路径，各组之间的相反的扫描路径在横向方向上延伸，并且该控制器可以对于每一个相反的扫描路径组来确定对于该至少一个第一扫描路径和对于该至少一个第二扫描路径的测量值的差异，并且根据对于这些相反的扫描路径组的差异来确定该调整。

45、该调整可以是基于在对于该至少一个第一扫描路径和该至少一个第二扫描路径确定的测量值之间具有最大差异的该相反的扫描路径组的第一方向和第二方向以及该差异的符号(无论是正号还是负号)。

46、每一组可以包括多个第一扫描路径和多个第二扫描路径。

47、根据本发明的第十一方面，提供了一种用于通过激光熔融逐层制造物体的增材制造设备的控制器，该增材制造设备包括：光学链，该光学链包括用于在工作表面上操控激光束的可移动光学部件；以及同轴熔池传感器，该同轴熔池传感器用于检测由熔池发射并由该光学链的该可移动光学部件收集的辐射，该控制器配置成控制该增材制造设备执行根据本发明的第九方面的方法。

48、根据本发明的第十二方面，提供了一种数据载体，其上存储有指令，该指令当由用于通过激光熔融逐层制造物体的增材制造设备的控制器执行时，致使该控制器控制该增材制造设备执行根据本发明的第九方面的方法，该增材制造设备包括：光学链，该光学链包括用于在工作表面上操控激光束的可移动光学部件；以及同轴熔池传感器，该同轴熔池传感器用于检测由熔池发射并由该光学链的该可移动光学部件收集的辐射。

49、该数据载体可以是非瞬态数据载体，诸如，易失性存储器(例如ram)、非易失性存储器(例如rom)、闪存和数据存储装置(诸如硬盘、光盘)；或者是瞬态数据载体(诸如电子信号或光信号)。