彩色阴极射线管及具备该管的彩色显像管装置的制作方法

文档序号:2925783阅读:152来源:国知局
专利名称:彩色阴极射线管及具备该管的彩色显像管装置的制作方法
技术领域
本发明涉及具备荫罩的彩色阴极射线管及具备彩色阴极射线管的彩色显像管装置。
通常,彩色阴极射线管具有包含在曲面构成的有效面周边设有裙边的大致为矩形的面板,以及与裙边连接的玻锥的真空外壳。面板有效面的内表面上形成具有3色荧光体层及黑色不发光层的荧光屏。又,与该荧光屏相对,在面板内侧配置荫罩,该荫罩具有形成许多电子束通孔的曲面构成的大致为矩形的荫罩主体以及安装在荫罩主体周边的大致为矩形的荫罩框架。
另一方面,在玻锥的管颈内配设能发射3束电子束的电子枪。而电子枪发出的3束电子束在安装于玻锥外侧的偏转装置发生的磁场的作用下偏转,通过荫罩对荧光屏进行水平、垂直扫描,显示彩色图像。
通常,为了在彩色阴极射线管的荧光屏上显示没有颜色偏差的图像,必须使通过荫罩的电子束通孔的电子束分别正确地着屏于荧光屏的3色荧光体层。为此,必须正确保持面板与荫罩之间的间隔(q值)。
近年来,为了提高彩色阴色射线管的视觉特性及减少外来光线映入,要求把面板外表面的形状做成大曲率半径,使表面接近平面。又,在想要实现对面板正确的着屏时,形成电子束通孔的荫罩主体的曲率半径也必须做得大。
但是,一旦荫罩主体的曲率半径做得大,曲面的强度就下降,在制造工序中会发生荫罩变形,会使制造出来的彩色阴极射线管的色纯度大大变坏。
又,荫罩型的彩色阴极射线管,根据其工作原理,通过荫罩的电子束通孔到达荧光屏的电子束为电子枪发射出的电子束总量的1/3,其余的电子束与荫罩撞击变成热能,对荫罩进行加热。其结果是,热膨胀使荫罩向荧光屏一侧拱起,即发生所谓“拱曲(doming)现象”。
一旦由于拱曲现象而使荧光屏与荫罩之间的间隔超过允许范围,电子束对荧光体层的着屏位置会发生偏差,色纯度会变坏。特别是在显示局部高辉度图像图形的情况下,在荫罩上产生局部拱起,在短时间内会发生局部性着屏偏差变大的情况。在荫罩主体的曲率半径加大的情况下,如上所述的局部性拱起也较大。
作为其对策,如果采用美国专利USP 60256767所公开的阴极射线管,面板内表面及荫罩主体的形状可以做成长轴方向的曲率半径无限大,只在短轴方向上有曲率的圆柱状曲面。采用这种结构,大致可以解决荫罩拱起及荫罩曲面强度的问题。
但是,在采取上述结构的情况下,面板内表面与荧光屏之间外来光反射的影响变大,图像的对比度下降。这可以用在面板内表面与荧光屏之间设置有选择地使光透过的滤光镜的方法改善,但是设置滤光镜会使制造成本上升,同时又需要新的生产设备。
而不设置滤光镜又想要使对比度提高时,必须利用透射率50%左右的玻璃做成面板。在这种情况下,面板周边的辉度比中央低,辉度均匀性变坏。
本发明鉴于上述存在问题而作,其目的在于,提供面板内表面反射外来光线的质量良好,并且能够减轻电子束着屏偏差引起的色纯度劣化的彩色阴极射线管以及具备该管的彩色显像管。
为了达到上述目的,本发明的彩色阴极射线管包含具备有大致平坦的外表面及形成荧光屏的内表面、与管轴垂直同时相互垂直的长轴及短轴、与上述长轴大致平行的一对长边及与上述短轴大致平行的短边的大致为矩形的面板的真空外壳;与所述荧光屏相对,设置于所述真空外壳内的荫罩;以及设置于所述真空外壳内,通过所述荫罩向所述荧光屏发射电子束的电子枪,所述面板的壁厚做得使周边部分比中央部分厚,在所述面板的内表面,在所述长轴上沿着短轴方向的曲率半径在离面板中央超过L/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值,所述L为从面板中央到长轴端部的距离,所述面板满足下述关系式,即TD<2.5TcTv<2.0TcTH<2.0Tc其中Tc为所述面板中央部的壁厚,TD为对角有效径端的壁厚,Tv为短轴有效径端的壁厚,TH为长轴有效径端的壁厚。
又,采用本发明的彩色阴极射线管,在所述面板的短轴与短边之间的区域,与短轴平行的剖面上的所述长轴上的壁厚与所述长边上的壁厚之差在离面板中央超过L/2靠近短边一侧的位置上具有最大值。
采用本发明的彩色阴极射线管,在所述面板的内表面,在所述长轴上的沿长轴方向的曲率半径在离面板中央超过L/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值。
采用本发明的彩色阴极射线管,所述面板内表面的沿着与所述短轴平行的方向的曲率半径设定为,至少在从面板的中央向所述长轴端一侧延伸L/2的区域中,该曲率半径从所述长轴上向所述长边上逐步减少。
采用本发明的彩色阴极射线管,荫罩的荫罩主体也形成与上述面板内表面大致相同的形状。
采用如上所述构成的彩色阴极射线管以及具备这种彩色阴极射线管的彩色显像管,通过以适当的条件设定荫罩主体及面板内外表面的曲率,可以得到良好的视觉性能和面板内表面反射外来光线的性能,并且能够减轻在彩色阴极射线管工作时荫罩的拱曲引起的彩色阴极射线管色纯度变坏及制造工序中发生的荫罩主体变形引起的电子束着屏偏差带来的色纯度变坏等现象。
本发明的其它目的及优点将在下文中描述,其中一部分在说明书中是显而易见的或可以从本发明的实施中得出的。本发明的目的及优点可通过下文中指出的手段及其结合实现并得出。
示出本发明的最佳实施例并构成本说明书的一部分的附图,以及以上的说明和下面对最佳实施例的详细说明对本发明的原理进行说明。


图1是本发明实施形态的彩色显像管的剖面图。
图2是所述彩色显像管的彩色阴极射线管面板的平面图。
图3是所述彩色阴极射线管的荧光屏的局部放大平面图。
图4是模式性表示所述面板局部的立体图。
图5表示与所述面板中央部相比的、与周边的壁厚对应的画面的管面色(BlackUniformity)和辉度均匀性的评价结果。
图6A表示所述面板有效部内表面的沿短轴方向的曲率半径。
图6B是模式性表示所述有效部内表面的立体图。
图7A表示所述面板有效部内表面的沿短轴方向的曲率半径。
图7B是模式性表示所述有效部内表面的立体图。
图8A表示所述面板有效部内表面的沿长轴方向的曲率半径。
图8B是模式性表示所述有效部内表面的立体图。
图9A是所述面板有效部的壁厚分布表。
图9B是表示所述面板有效部的壁厚差的表。
图9C是表示所述面板有效部的壁厚差的曲线。
图10是表示所述彩色阴极射线管的荫罩的平面图。
图11是模式性表示所述荫罩局部的立体图。
图12是所述彩色阴极射线管与已有的彩色阴极射线管的、荫罩拱曲现象引起的电子束斑点移动量比较图。
图13是所述彩色阴极射线管与已有的彩色阴极射线管的、荫罩主体变形例比较图。
下面参照附图,对本发明用于具备横纵比为4∶3、对角线尺寸60cm的彩色阴极射线管的彩色显示管中的实施形态加以详细说明。
如图1及图2所示,彩色显像管装置具备大致为矩形箱状的筐体8,该筐体内容纳有彩色阴极射线管。彩色阴极射线管具备真空外壳10。该真空外壳10具有面板12及玻锥14。面板12由具有大致平坦的外表面的大致为矩形的有效部分16及竖立设置在有效部分周边的裙边部18构成。又,面板12具有与管轴Z正交的长轴(X轴)及与该长轴和管轴正交的短轴(Y轴)。玻锥14与该裙边部18连接。又,面板12采用透射率60%以下的玻璃做成。
如图3所示,面板12的有效部16内表面形成包括发蓝、绿、红光的3色带状荧光体层11和形成于这些荧光体层的间隙的带状的黑色不发光层17的荧光屏20。
如图1所示,在真空外壳10中,面板12内侧配置荫罩22。该荫罩22有与荧光屏20相对而且形成许多电子束通孔42的大致为矩形的荫罩主体34和支持荫罩主体边缘部的大致为矩形的荫罩框架35。而且荫罩22利用使设置于面板12的裙边部18内表面的多个突出的销30与安装在荫罩35上的多个弹性支持体32卡住的方法装卸自如地支持于面板12内侧。又,玻锥14的管颈15内设置能发射3束电子束17B、17G、17R的电子枪24。
玻锥14的外围装有偏转装置26,该偏转装置上连接着偏转电路7。又,电子枪24上连接着驱动电子枪的电源电路6、放大电路5、信号电路4。而这些电路4~7构成本发明的驱动电路。
在彩色阴极射线管中,电子枪24发射出的3束电子束17B、17G、17R在偏转装置26发生的磁场作用下偏转,通过荫罩22对荧光屏20进行水平扫描和垂直扫描,以此显示彩色图像。
在上述彩色阴极射线管中,如图4所示,面板12有效部16的壁厚做成周边部比中央厚的结构。例如,在有效部16中,取中央部的壁厚Tc为12.5mm,对角轴D方向的有效径端的壁厚TD为28.3mm,短轴方向有效径端的壁厚TV为22.0mm,长轴X方向有效径端的壁厚TH为21.9mm,设定如下关系TD=2.26TcTV=1.76TcTH=1.75Tc在有效部16,将周边的壁厚做得比中央部厚的情况下,画面周边部的辉度下降。又,为了减少面板12内表面与荧光屏20之间的界面上外来光的反射,在利用透射率低的玻璃、例如透射率60%以下的玻璃形成面板12时,阴极射线管的工作状态表现为面板有效部16的中央与周边的辉度差大,画面辉度均匀性差。
图5表示面板12中央部的透射率取50%,荧光屏20中央部每单位面积的黑色不发光层17所占的比例(下称“BLK”)取45%,而且有效部16周边的壁厚相对于有效部16中央部的壁厚有变化的情况下管表面的颜色(彩色阴极射线管不工作时画面的Black Uniformity)及彩色阴极射线管工作时画面的辉度均匀性的评价结果。在图5中,○表示良好,△表示尚好,×表示不好。
根据上述评价结果,如果采用本实施形态,则中央部的壁厚Tc、短轴有效径端的壁厚Tv、长轴有效径端的壁厚TH、以及对角有效径端的壁厚TD设定于满足如下关系的范围内,即TD<2.5TcTV<2.0TcTH<2.0Tc还有,在对角轴有效端由于距离有效部16中心的距离大,所以与短轴端、长轴端相比,壁厚可以设定得更大。
又、为了减少有效部16周边相对于中央部辉度的下降,将有效部16周边部分中的至少对角有效端部的BLK设定得与中央部的BLK相等或比后者小。在本实施形态中,中央部的BLK为45%的情况下,使周边的BLK在短轴有效径端为41%,在长轴有效径端为51%,在对角有效径端为42%,以此使辉度均匀性变差的程度减轻。
面板12有效部16的外表面做成曲率半径设定为10米以上的大致平坦的面。又,有效部16内表面的曲率半径按照下述方法设定。即如图6A实线A-D所示,以及如图6B所示,短轴Y上的沿短轴方向的曲率半径,在有效部16的中央附近为R2200左右,而沿着短轴方向向周边慢慢变小,在长轴X与长边16a的中间附近为R1800左右,在有效部最外处为R1000左右。
如图2所示,如上所述的沿短轴Y方向的曲率半径的关系、亦即中央>中间部>有效部最外处的关系从有效部的中央延续到L/2的区域,其中L为从有效部16的中心到长轴X有效端为止的距离。又,如图6A中一点锁线C-F所示,在短边16b,沿短轴Y方向的曲率半径,在中央附近为R3300左右,在中间附近为R3200左右,在有效部最外处为R3000左右,是大致单一的曲率半径,或由2次分量大于80%的函数表达的曲率半径。这是因为如果在上述函数中高次分量多、则会在有效部内表面产生波浪形,在短边16b的有效径的形状也会产生波浪形。
如图7A实线A′-C′所示,又如图7B所示,长轴X上沿短轴Y方向的曲率半径设定为,在有效部16的中央为R2200左右,在中间部为R2000左右、在短边16b部分为R3300左右。又,该曲率半径在从中央到长轴有效径端方向上离中央2L/3的距离的附近的地方取最小值,约为R1800左右。在这种情况下,长轴X上的沿短轴方向的曲率半径在从有效部16的中央到长轴有效端方向上距中央大于L/2的区域有极小值。
还有,长轴X的沿短轴方向的曲率半径也是设定为从有效部16的中央到长轴有效径端的方向上离中央远于L/2的位置上为最小即可。
又,如图8A实线所示,又如图8B所示在长轴X上的沿长轴方向的曲率半径设定为,在有效部16的中央部为R3000左右,在中间部为R2300左右,在有效部最外处,也就是短边16b部分为R330,在从有效部中央到长轴有效端离中央远于L/2的位置上取最小值。
上述面板12有效部的壁厚分布如图9A所示,又如图4所示,面板12的有效部16做成满足如下关系、即(TD-TH)<(TV-TC)≤(TLM-THM),其中TC为中央部的壁厚,TD为对角轴D方向的有效径端的壁厚,TV是短轴Y方向的有效径端的壁厚,TH是长轴X方向的有效径端的壁厚,THM是沿长轴X距离中央120毫米的中间部的壁厚,TLM是沿长边16a离短轴Y120毫米的中间部的壁厚。
亦即,如图9B、图9C所示,观察在有效部16的与短轴Y平行的各剖面上长轴X上的壁厚和长边16a上的壁厚差时,短轴Y和短边16b中间附近壁厚差为最大。
另一方面,如图10所示,荫罩22的荫罩主体34具有形成许多电子束通孔的大致为矩形的有效部34a和位于有效部周围的没有通孔的无孔部34b。而有效部34a与面板12的有效部16的内表面做成基本相同的形状。
如图10和图11所示,荫罩主体34做成使荫罩主体34的有效部34a的各部分与中心O相比在管轴Z方向上的下降量满足下述关系,即ZV<0.8ZD,ZH<0.8ZD其中ZD为对角轴D端的下降量,ZV为短轴Y端部的下降量,ZH为长轴X端部的下降量。在本实施形态中,例如设ZD为13.0mm,ZV为8.9mm,ZH为8.8mm,则设定为ZV=0.68ZDZH=0.68ZD又,荫罩主体34,其长轴X上的沿短轴方向的曲率半径从荫罩主体中央向长轴端部越来越小,设从荫罩主体中央O到长轴端部的距离为d,则离荫罩主体中央超过d/2靠长轴端部一侧的位置上具有最小值。长轴X上沿着长轴方向的曲率半径在离荫罩主体34的中央超过d/2靠长轴端部一侧的位置上具有最小值。而且荫罩34主体的与Y轴平行的方向上的曲率半径在从荫罩主体中央O向长轴端部一侧延伸d/2的区域设定为从长轴X上向荫罩主体长边逐步减少。
图12将如上所述构成的彩色阴极射线管与已有的彩色阴极射线管的例子中由于荫罩的拱曲引起的电子束点的移动量加以比较。又,图13A~图13C将本实施形态的彩色阴极射线管装置与已有的彩色阴极射线管的例子中在荫罩主体的有效面加以约1G载重的情况下的荫罩主体的位移量的模拟结果。图13A如图10所示表示荫罩主体34的沿短轴Y的各位置的转移量,图13B表示与短轴Y平行并且离短轴90mm的轴上的各位置的转移量,而图13C表示与短轴Y平行并且离短轴180mm的轴上的各位置的转移量。
从图12可知,如果采用本实施形态的彩色阴极射线管,利用如上所述形成面板12的内表面和荫罩主体的方法,则即使是在有效部16的内表面和荫罩主体的曲率半径增大的情况下由荫罩拱曲引起的电子束斑点的移动量也不增大,能够得到与已有的彩色阴极射线管大致相同的结果。又,由图13A~图13C可知,载重引起的荫罩主体34的位移量在短轴Y上可以看到有某些劣化,但是在荫罩主体周边则比已有的彩色阴极射线管减小。
在荫罩主体34发生变形的情况下,如图3所示,在荧光屏20上形成的电子束斑点18H、18V、18D分别如19H、19V、19D所示向荧光屏的周边移动。因此在长轴X上或对角轴D上,即使是荫罩主体只有微小的变形,也是越往周边色纯度的劣化越大,而相比之下在短轴Y附近劣化就没有那么大。因此,如上所述,如果采用本实施形态,则在短轴Y上会出现一些劣化,而在荫罩主体周边则劣化程度减小,能够得到与已有的彩色阴极射线管相同的色纯度或甚至更好。
因此,如果采用如上所述构成的彩色阴极射线管以及具备这种彩色阴极射线管的彩色显像管,以适当的条件设定荫罩主体34及面板12内外表面的曲率,则能够得到良好的视觉特性,而且能够使面板内表面的外来光反射品质良好,能够减轻彩色阴极射线管工作时荫罩拱曲引起的彩色阴极射线管色纯度劣化及在制造工序中发生的荫罩主体变形引起的电子束着屏偏差带来的色纯度劣化。
本发明的其他目的及优点对于本领域的普通技术人员来说是容易实施的。因此,本发明在更广阔的领域中不受在这里描述和示出的具体细节及代表性实施例的限制。这样,各种修改都不会超出由所附权利要求及其等同物规定的总的发明构思的范围及精神。
权利要求
1.一种彩色阴极射线管,其特征在于,包含具备有大致平坦的外表面及形成荧光屏的内表面、与管轴垂直同时相互垂直的长轴及短轴、与上述长轴大致平行的一对长边及与上述短轴大致平行的一对短边的大致为矩形的面板的真空外壳;设置于所述真空外壳内的与所述荧光屏相对的荫罩;以及设置于所述真空外壳内,通过所述荫罩向所述荧光屏照射电子束的电子枪;所述面板的壁厚做得使周边部分比中央部分厚,在所述面板的内表面,在所述长轴上沿着短轴方向的曲率半径在离面板中央超过L/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值,所述L为从面板中央到长轴端部的距离,所述面板满足下述关系式,即TD<2.5TcTv<2.0TcTH<2.0Tc其中Tc为所述面板中央部的壁厚,TD为对角有效径端的壁厚,Tv为短轴有效径端的壁厚,TH为长轴有效径端的壁厚。
2.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管,其特征在于,在所述面板的短轴与短边之间的区域,与短轴平行的剖面上的所述长轴上的壁厚与所述长边上的壁厚之差至少在离面板中央超过L/2靠近短边一侧的位置上具有最大值。
3.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管,其特征在于,在所述面板的内表面,在所述长轴上的沿长轴方向的曲率半径在离面板中央超过L/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值。
4.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述荧光屏具有荧光体层与黑色不发光层,至少面板的对角轴端部附近每单位面积的黑色不发光层的比例与面板中央部每单位面积的黑色不发光层的比例相等或前者较小。
5.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述面板中央部的透射率小于60%。
6.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述荫罩具备与所述荧光屏相对并且具有许多电子束通孔的大致为矩形的荫罩主体和支持所述荫罩主体周边的大致为矩形的荫罩框架,对所述荫罩主体,与荫罩主体中央部的高度相比沿着所述管轴方向所述荫罩主体的对角轴端部的下降量ZD、短轴端部的下降量Zv、长轴端部的下降量ZH满足下述关系式,即Zv<0.8ZDZH<0.8ZD同时,在所述长轴上沿所述短轴方向的曲率半径从荫罩主体的中央向长轴端部越来越小,在离荫罩主体的中央超过d/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值,d为从荫罩主体中央到长轴端的距离,所述长轴上的沿长轴方向的曲率半径在离荫罩中央超过d/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值。
7.根据权利要求6所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述荫罩主体的沿与所述短轴平行的方向的曲率半径设定为,在从荫罩主体的中央向所述长轴端一侧延伸d/2的区域中,该曲率半径从所述长轴上向所述长边上逐步减少。
8.一种彩色显像管装置,其特征在于,包含权利要求1所述的彩色阴极射线管、驱动所述彩色阴极射线管的电子枪的驱动电路、以及容纳所述彩色阴极射线管及驱动电路的框体。
9.一种彩色阴极射线管,其特征在于,包含具备有大致平坦的外表面及形成荧光屏的内表面、与管轴垂直同时相互垂直的长轴及短轴、与上述长轴大致平行的一对长边及与上述短轴大致平行的一对短边的大致为矩形的面板的真空外壳;设置于所述真空外壳内的与所述荧光屏相对的荫罩;以及设置于所述真空外壳内,通过所述荫罩向所述荧光屏发射电子束的电子枪;所述面板的壁厚做得使周边部分比中央部分厚,在所述面板的内表面,在所述长轴上沿长轴方向的曲率半径在离面板中央超过L/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值,所述L为从面板中央到长轴端部的距离,所述面板满足下述关系式,即TD<2.5TcTv<2.0TcTH<2.0Tc其中Tc为所述面板中央部的壁厚,TD为对角有效径端的壁厚,Tv为短轴有效径端的壁厚,TH为长轴有效径端的壁厚。
10.根据权利要求9所述的彩色阴极射线管,其特征在于,在所述面板的短轴与短边之间的区域,与短轴平行的剖面上的所述长轴上的壁厚与所述长边上的壁厚之差在离面板中央超过L/2靠近短边一侧的位置上具有最大值。
11.根据权利要求9所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述面板内表面的沿着与所述短轴平行的方向的曲率半径设定为,至少在从面板的中央向所述长轴端一侧延伸L/2的区域中,该曲率半径从所述长轴上向所述长边上逐步减少。
12.根据权利要求9所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述荧光屏具有荧光体层与黑色不发光层,至少面板的对角轴端部附近每单位面积的黑色不发光层的比例与面板中央部每单位面积的黑色不发光层的比例相等或前者较小。
13.根据权利要求9所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述面板中央部的透射率小于60%。
14.根据权利要求9所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述荫罩具备与所述荧光屏相对并且具有许多电子束通孔的大致为矩形的荫罩主体和支持所述荫罩主体的周边的大致为矩形的荫罩框架,对所述荫罩主体,与荫罩主体中央部的高度相比沿着所述管轴方向所述荫罩主体的对角轴端部的下降量ZD、短轴端部的下降量Zv、长轴端部的下降量ZH满足下述关系式,即Zv<0.8ZDZH<0.8ZD同时,在所述长轴上沿所述短轴方向的曲率半径从荫罩主体的中央向长轴端部越来越小,在离荫罩主体的中央超过d/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值,d为从荫罩主体中央到长轴端的距离,所述长轴上的沿长轴方向的曲率半径在离荫罩中央超过d/2靠近长轴端一侧的位置上具有最小值。
15.根据权利要求9所述的彩色阴极射线管,其特征在于,所述荫罩主体的沿与所述短轴平行的方向的曲率半径设定为,在从荫罩主体的中央向所述长轴端一侧延伸d/2的区域中,该曲率半径从所述长轴上向所述长边上逐步减少。
16.一种彩色显像管装置,其特征在于,包含权利要求9所述的彩色阴极射线管、驱动所述彩色阴极射线管的电子枪的驱动电路、以及容纳所述彩色阴极射线管及驱动电路的框体。
全文摘要
本发明涉及彩色阴极射线管及具备该管的彩色显像管装置。其管面板壁厚做成周边比中央部分厚。在面板内表面,长轴X上沿短轴方向的曲率半径随着从面板中央向长轴端部靠近而变小,并且在离面板中央超过L/2靠近长轴端一侧的位置上有最小值(L为面板中央到长轴端部的距离)。形成于面板内表面的荧光屏具有荧光体层与黑色不发光层,并设定为至少面板对角轴端部附近每单位面积中黑色不发光层的比例与面板中央每单位面积中黑色不发光层的比例相等或前者较小。
文档编号H01J29/86GK1319872SQ01112048
公开日2001年10月31日 申请日期2001年3月23日 优先权日2000年3月24日
发明者清水纪雄, 小椋正昭, 井上雅及 申请人:东芝株式会社
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