专利名称：平面荧光灯和使用平面荧光灯的后照明装置的制作方法
发明的背景1.发明领域本发明一般涉及平面荧光灯和使用平面荧光灯的后照明装置，更具体地涉及具有引起介电势垒放电的电极结构的平面荧光灯和使用引起介电势垒放电的电极结构的平面荧光灯的后照明装置。
2.相关技术说明通常，平面显示器件分类成光发送型和光接收型，其中，光发送型显示器件包括阴极射线管、电子光发送器件、等离子显示屏等，而光接收型显示器件以液晶显示器为示范。
但是，液晶显示器本身没有光发送结构，不能显示图像，除非外部辐照光。因此，安装辅助光源如后照明装置来显示图像。
这种后照明装置起着通过光板和扩散板扩散来自冷阴极荧光灯(CCFL)辐照光的作用，或通过使用荧光灯激发荧光材料穿过紫外线来扩散光。
参考
图1，示出常规平面荧光灯。这种荧光灯10包括后衬底11和通过密封元件13以预定间隔安装在后衬底11上的前衬底12，从而在后衬底11和前衬底12之间形成放电通道。此外，在前衬底12的底表面形成荧光材料层16，在与荧光材料层16相应的后衬底11的上表面以预定图案形成放电电极14。而且，在后衬底11上形成介电层15，嵌在放电电极14之间。在放电通道中，填充放电气体如氙、氖等。
常规的平面荧光灯10配置成通过对放电电极14施加电能，用激发荧光材料16穿过电极表面放电而产生的紫外光来引起表面光辐射。
但是，由于穿过平面荧光灯主要采用惰性气体如氙、氖或氙-氖作为放电气体，故它具有施加到放电电极14的高达2kV交流电压和低达30lm/W或更小的光效率。因此，为了获得大量光，上述灯10的获得放电应放大，工作功率应增加，导致功率消耗增加。此外，由于所使用的放电气体是惰性的，故荧光材料层用147或173微毫米的紫外光来激发。于是，上述荧光灯存在使用昂贵荧光材料，而不是使用大量生产的254微毫米紫外光荧光材料的缺点。
另一方面，典型的使用汞的平面荧光灯具有长的蛇形放电通道，其中，电极设置在该放电通道的起点和终点。因此，相对大的电流在放电通道中流动，汞能容易地蒸发，从而实现汞放电的高效率。
但是，因为放电通道变得更长，故启动放电的电压增加。在放电电压增加时，灯会经历不稳定、电流漏泄和电子波问题。而且，平面荧光灯近年来为大尺寸，因为使用大型液晶显示器，从而必需极大地加长蛇形通道。因此，不可能实现需要这种放电电压的电路。
为了解决此问题，韩国公开专利2001-0079377揭示了平面荧光灯及其制造方法。
揭示的平面荧光灯的制造方法包括加热平面玻璃板至预定模制温度；使用模型模制加热的平面玻璃板，加工成用隔板隔开且与放电路径相通的多个放电通道，以制备具有放电通道的模制的平面玻璃板；从模型中去除模制的玻璃板；缓慢冷却模制的玻璃板；把荧光材料涂复在模制的玻璃板的放电通道的内侧；随后是燃烧工艺；用密封胶把玻璃板粘结在前罩；从玻璃板的放电通道的内侧去除空气；把放电气体导入放电通道；密封放电通道的排气口，并安装对放电通道施加高频功率的电极。
对于上述方法，用来施加高频功率的电极为安装在放电通道内侧的内电极或沿着放电通道二个横表面的整个纵向长度设置。
虽然这种平面荧光灯由于要模制加热的玻璃板以形成放电通道难以制造，但是，在对电极使用高压方面不存在问题。然而，因为在放电通道的特殊通道中的强放电或严重振动放电等离子体，放电通道之间会发生串扰。
这是因为放电电荷容易通过电极孔的内表面，从而使放电电荷挤进相对容易引起放电的放电通道。
日本专利公开说明书昭和60-216435揭示平面荧光灯，其中，隔板交替地以锯齿形设置在具有封闭空间的腔室中，形成蛇形放电通道。而且，电极设置在放电通道的二端，且在放电通道的顶部和底部形成荧光材料层。但是，这种平面荧光灯存在缺点，诸如因在放电通道边缘处弱光辐射而引起的不均匀照明、要求高放电电压、以及电极容易变质。
在日本公开专利说明书平成09-092208和美国专利5,903,096和5,509,841中，揭示了具有用隔板形成的蛇形通道的平面光源。尤其是，美国专利5,509,841揭示了具有蛇形通道的金属体。
发明概述因此，本发明的目的是减轻相关技术中遇到的问题，提供平面荧光灯，该灯具有启动放电所需的低电压、低功率消耗、提高的光辐射效率和均匀照明的优点。
本发明的另一目的是提供利用平面荧光灯的后照明装置，具有以下优点，诸如应使用汞作为放电气体和以每个放电通道不被隔离方式采用低电压而稳定放电、最大化的光辐射效率和增补灯的寿命。
为了达到上述目的，根据本发明的第一实施例提供的平面荧光灯，它包括后衬底、由透光材料组成且通过设置在其和后衬底之间并与后衬底相距预定距离的密封元件安装在后衬底上的前衬底、设置在后衬底和前衬底之间构成它们之间放电通道的多个隔板、设置在后衬底和前衬底二处引起介电势垒放电的多个电极以及覆盖整个后衬底和设置在后衬底处的电极上部的反射层。
此外，后照明单元包括上述的平面荧光灯、与平面荧光灯前衬底的顶部有间距用来扩散来自平面荧光灯的辐照光的光扩散部件、穿过第一粘结层设置在平面荧光灯反射层下面的绝缘层以及穿过第二粘结层设置在绝缘层下面的基座元件。
根据本发明的第二实施例提供的平面荧光灯，它包括后衬底、由透光材料组成且通过设置在其和后衬底之间并与后衬底相距预定距离的密封元件安装在后衬底上的前衬底、设置在后衬底和前衬底之间且具有与在后衬底的一侧缘处设置的密封元件紧密相接触的偶数个隔板和具有与在后衬底的另一侧缘处设置的密封元件紧密相接触的奇数个隔板以构成它们之间放电通道的多个隔板、涂复在由隔板构成的放电通道的表面的荧光材料层以及设置在后衬底和前衬底二处引起介电势垒放电的多个电极。
此外，后照明装置包括上述的平面荧光灯、与平面荧光灯前衬底的顶部有间距用来扩散来自平面荧光灯的辐照光的光扩散部件、通过第一粘结层设置在平面荧光灯后衬底的电极下面的绝缘反射层以及通过第二粘结层设置在绝缘反射层下面的基座元件。
采用本发明的平面荧光灯的后照明装置的优点是通过反射层的形成来提高亮度、通过因电极孔的形成而扩大电极的宽度来降低启动放电所需的电压。而且，调节等离子体放电区域，从而提高均匀照明特性。此外，因基座元件和平面荧光灯相组合，能增补平面荧光灯的寿命。
附图的简要说明本发明的上述和其它目的、特点和其它优点从下面的详细说明并结合所附的附图将会更清楚地被理解，其中图1是常规的平面荧光灯的剖视图；图2是根据本发明的第一实施例的平面荧光灯的分解透视图；图3是沿图2的线A-A的剖视图；图4a至4c是包含在图2的平面荧光灯中的隔板改进的剖视图；图5a至5e是包含在图2的平面荧光灯中的电极改进的上视图；图6是包括根据本发明的第一实施例的平面荧光灯的后照明装置的剖视图；图7是根据本发明的第二实施例的平面荧光灯的分解透视图；以及图8是包括根据本发明的第一实施例的平面荧光灯的后照明装置的剖视图。
发明的详细说明下面，结合所附的附图对本发明作详细说明。
图2是根据本发明的第一实施例的平面荧光灯的分解透视图，图3是沿图2的线A-A的剖视图；如图2和图3所示，平面荧光灯20包括后衬底21、前衬底22、隔板24、荧光材料层25、电极26、26’、27和27’以及反射层28。
具体地说，荧光灯20包括后衬底21和通过密封元件23安装在后衬底21上的前衬底22。此外，构成后衬底21和前衬底22之间锯齿形放电通道的多个隔板24与前衬底紧密接触且交替地设置相互间相距预定的间隔。而且，二对电极26、26’、27和27’分别设置在后衬底21的两端和前衬底22的两端。荧光材料层25沿由隔板24构成的放电通道进行涂复，形成的反射层28覆盖后衬底21。这样，前衬底22最好由允许光发射穿过的透光材料构成。
如图2所示，隔板24设置在后衬底21和前衬底22之间，交替地与后衬底21和前衬底22的两侧缘相隔一定距离，从而构成放电通道，然后在通道上涂复荧光材料层25。就隔板24而言，偶数个隔板24’与设置在后衬底一侧缘处的密封元件23紧密相接触，而奇数个隔板24”与设置在后衬底21另一侧缘处的密封元件23紧密相接触。因此，隔板24以连续锯齿形交替地设置，构成后衬底21和前衬底22之间的放电通道。也就是说，最好是隔板24的一侧端交替地与后衬底21和前衬底22的相应的侧缘相距预定的间隔。每个隔板的上表面具有2毫米的宽度，使非发射区最小化。隔板24的间距或由隔板24构成的放电通道的间距最好为5至15毫米范围。
此外，隔板24的改进示于图4a至4c，其中，隔板24的形状根据后衬底21和前衬底22而变化。例如，可通过把后衬底21或前衬底22喷砂或激光蚀刻或软化，然后在压力或减压下模压，把隔板24如图4a那样与后衬底21一体成形，或如图4b那样与前衬底22一体成形。
另外，从图4c中可见，隔板24包括与后衬底21一体成形的第一隔板24a和与前衬底22一体成形的第二隔板24b。这样，最好是第一隔板24a和第二隔板24b制造成交替地被设置。
根据图2，荧光材料层25沿由后衬底21、前衬底22和隔板24构成的放电通道的表面进行涂复。此外，形成的荧光材料层25如图4a至4c中可见，考虑到受激光穿过涂复在前衬底22处的荧光材料层25的传输，使涂复在前衬底22处的荧光材料层的厚度(T2)小于涂复在后衬底21和隔板24上的荧光材料层的厚度(T1)。最好是涂复在后衬底21、前衬底22和隔板24上的荧光材料层25薄薄地涂复25μm或更小。
导入由隔板24构成的放电通道的放电气体包括稀有气体，诸如单独使用的汞(Hg)、氩(Ar)、氖(Ne)、氦(He)、氪(Ke)或氙(Xe)，或混合气体，诸如Ne-Ar、He-Ar和Ne-Xe。作为组成荧光材料层25的荧光材料的主要激发源，采用汞或氙的紫外光线。
另外，浸渍汞的金属片29设置在由隔板24构成的放电通道中，使得金属片29排列在后衬底21的一侧缘上，以把汞传送至导入在放电通道中的放电气体。
二对电极26、26’、27和27’设置在后衬底21和前衬底22的每个外表面的两端，对应于由用于等离子体放电的隔板构成的放电通道的转折点。
下部电极对26和26’对称地以带状成形在后衬底21的外表面的两端，如图2所示。上部电极对二对电极27和27’也对称地以带状成形在前衬底22处。而且，电极26、26’、27和27’每个电极具有较大的宽度，与常规的电极相比，可减少相对而设置电极之间的距离。
如图2和5a所示，多个浮动电极26a可设置在电极26和26’之间。在这种情况下，浮动电极26a间断地设置在放电通道中，从而靠施加在电极26和26’的电源引发电压，于是造成放电。因此，通过以较低电压启动放电而同时使电极26和26’保持在适当位置的方式能获得更稳定的放电。
如在图5a至5e中所示，相互对置的电极26和26’可成形具有条状、矩形状和圆形状孔26b、26c和26d。设置在后衬底21两端的电极26和26’的孔26b、26c和26d在向相对而置的电极26和26’的内侧方向尺寸增加。也就是说，电极26和26’的孔26b、26c和26d的尺寸在向相互面对的电极26和26’的外侧方向逐渐减少。因此，后衬底21的相对而置的电极26和26’的每单位表面积的面积在向外侧的方向逐渐减少。但是，电极26和26’的孔26b、26c和26d的形状不局限于上述例子。
如在图2至3中所示，成形的反射层28覆盖整个后衬底21包括后衬底21的电极26和26’。反射层28由玻璃材料和主要由三氧化二铝、二氧化钛和三氧化钨组成且每种材料具有高光发射效率的白陶瓷材料的混合物组成。此外，反射层28涂复的厚度不小于20μm，以具有足够的反射效率和绝缘功能。
图6是包括根据本发明的第一实施例的平面荧光灯的后照明装置的剖视图。
如在图6中所示，后照明装置包括平面荧光灯20、扩散来自平面荧光灯20辐照光用的光扩散部件31以及配置平面荧光灯20下表面上的绝缘层32和基座元件33。
在这种情况下，根据本发明的第一实施例，平面荧光灯20具有后衬底21、前衬底22、隔板24、荧光材料层25、电极26、26’、27和27’以及反射层28。
如在图6中所示，光扩散部件31具有扩散由从平面荧光灯20激发的荧光材料所产生的光的第一功能，和具有靠隔板24使非发射区不显示的第二功能。光扩散部件31具有传送来自平面荧光灯20的光的透光板31a，和配置成与透光板31a相接触用来扩散光的扩散板31b。扩散板31b最好由具有扩散性的丙烯板构成。
光扩散部件31配置成使平面荧光灯20的上表面和扩散板31b的上表面之间的距离(L)为隔板24的间距(P)或由隔板24构成的通道间距的1/2至2倍。
绝缘层32通过第一粘结层32a与平面荧光灯20的反射层28的下表面相连，以绝缘平面荧光灯20的下部。第一粘结层32a由抗热性材料组成，甚至在灯20被放电加热的状态下也能牢固地固定在平面荧光灯20处。
基座元件33通过第二粘结层32b与绝缘层32的下部相连，以防止平面荧光灯20的任何弯曲或因外部冲击造成平面荧光灯的损坏。基座元件33最好由金属板材构成，且包括晶格结构的突起或铸造而成，以至不被弯曲。
现在转向图7，示出的是根据本发明的第二实施例的平面荧光灯的分解透视图。
如在图7中所示，平面荧光灯20具有后衬底21、前衬底22、隔板24、荧光材料层25、以及电极26、26’、27和27’。根据本发明的第二实施例的平面荧光灯20具有与根据本发明的第一实施例的平面荧光灯的相同结构，而第一实施例的反射层28除外。
也就是说，就根据本发明的第二实施例的平面荧光灯而言，前衬底22通过密封元件23安装在后衬底21处。构成后衬底21和前衬底22之间的锯齿形放电通道的多个隔板24与前衬底22紧密接触，交替地配置成相互相距预定间隔。而且，二对电极26、26’和27、27’设置在后衬底21的两端和前衬底22的两端。另外，荧光材料层25沿有隔板24构成的放电通道进行涂复。
说到图8，示出的是包括根据本发明的第二实施例的平面荧光灯的后照明铸造的剖视图。
如在图8中所示，后照明装置包括平面荧光灯20、扩散来自平面荧光灯20辐照光用的光扩散部件31以及配置平面荧光灯20下表面上的绝缘反射层32和基座元件33。
这样，根据本发明的第二实施例，平面荧光灯20具有后衬底21、前衬底22、隔板24、荧光材料层25以及电极26、26’、27和27’。
如在图8中所示，光扩散部件31首先起着扩散由从平面荧光灯20激发的荧光材料所产生的光的作用，和其次起着靠隔板24使非发射区不显示的作用。光扩散部件31具有传送来自平面荧光灯20的光的透光板31a，和配置成与透光板31a相接触用来扩散光的扩散板31b。在这种情况下，扩散板31b最好由具有扩散性的丙烯板构成。
光扩散部件31配置成使平面荧光灯20的上表面和扩散板31b的上表面之间的距离(L)为隔板24的间距(P)或由隔板24构成的通道间距的1/2至2倍。
绝缘反射层32通过第一粘结层32a配置在平面荧光灯20的荧光材料层25的下面，以绝缘平面荧光灯20的下部且同时反射光。粘结层32a由抗热性材料组成，甚至在灯20被放电加热的状态下也能牢固地固定在平面荧光灯20处。
基座元件33通过第二粘结层32b配置在绝缘反射层32的下面，以防止平面荧光灯20的弯曲或因外部冲击造成平面荧光灯的损坏。基座元件33最好由金属板材构成，且包括晶格结构的突起或铸造而成，以至不被弯曲。
下面说明本发明的平面型后照明装置的效果。
为了操作照明装置，对电极26和电极27施加交流电或脉冲。随后，在与平面荧光灯20的电极26和电极27相对应的表面上形成电场。所形成的电场能在放电通道中加速空间电荷，加速的自由电子起着使放电气体离子化来极大增加空间电荷的数量的作用，从而形成等离子体。汞以等离子态由等离子体产生的热量被气化和离子化，并接收空间电荷的能量。因此，在受激发的汞原子被稳态化的同时，出现了254μm的紫外光线。
这种靠放电产生的紫外光线起着激发涂复在放电通道处荧光材料层25的荧光材料的作用，把受激发荧光材料转换成可见光。这样，只有当隔板24的上端与前衬底22紧密接触时，才能保持相应通道的特有放电。除非隔板24的上端与前衬底22紧密接触，否则因等离子会沿着最小电阻空间进行放电这个特性出现严重的通道之间的放电相互影响。在这种情况下，由于电流聚集在仅仅一个放电通道上，不可能接通所有的灯。
在该装置操作过程中，设置在由隔板24构成的放电通道处的浸渍汞的金属片29起着传送汞以在放电通道中恒定保持部分汞压的作用。尤其是，电极26具有较大的宽度，且包括孔26b、26c和26d，从而能使形成的等离子体放电区域变得较宽。由于电极26的孔26b、26c和26d形成的尺寸在向电极的内侧的方向上逐渐增加，能从根本上解决因靠近电极的电压差造成的非均匀等离子体放电。
在具有浮动电极26a的电极结构中，通过用浮动电压使电极之间距离变窄，甚至在低电压时能出现放电。
另外，在具有孔26b、26c和26d和浮动电极26a的组合电极结构中，能容易地实现电极设计。同样，由电极自身的表面电场造成的放电失真现象极大减少，从而能防止因接通灯时出现的非均匀亮度。根据本发明者的实验，由于电极之间的距离能减少，启动放电所需的电压可减少30％或更多，且电极样式的形状可修改，从而控制光发射的分布。
电极可用白色材料制备，由此使从平面灯产生的可见光在前方向中反射，从而增加光效率2％。覆盖整个后衬底包括电极材料的反射层起着使平面灯产生的可见光至灯的后侧的损耗的减少最大化的作用，从而增加平面荧光灯的光效率。尤其是，通过本发明者的实验，可发现光效率提高的范围为6％或更高，取决于反射层的布置。
平面荧光灯20发射的光通过透光板31a和支承在基座元件33处光扩散部件31的扩散板31b进行辐照。这样，聚光灯20自扩散板31b之间的距离是每个隔板的间距的1/2至2倍。因此，能消除较高于隔板亮度的通道亮度造成的光斑图案。
如上所述，本发明提供了平面荧光灯和采用平面荧光灯的后照明装置。在后照明装置中，形成的电极具有孔和较大的宽度，从而减少启动放电所需的电压和控制等离子体放电区域。因此，能均匀地增加亮度、而且，平面荧光灯通过反射层/粘结层/绝缘层/粘结层与基座元件相组合，从而使至灯的后侧的光损耗最小化，增加了光效率和增补了灯的寿命。
尽管本发明的较佳实施例是为示例的目的进行说明的，但是，在本技术领域的熟练的技术人员理解，可能进行各种修改、增加和替代而不脱离所附权利要求书中揭示的本发明的范围和构思。
权利要求
1.一种平面荧光灯，其特征在于，所述平面荧光灯包括后衬底；前衬底，它由透光材料构成，且通过设置在其之间的密封元件安装在后衬底上，与后衬底相距预定的间隔；多个隔板，交替地配置在后衬底和前衬底之间构成其之间的锯齿形放电通道；荧光材料层，它沿着由隔板构成的放电通道的表面进行涂复；多个电极，设置在后衬底的外表面和前衬底的外表面中的至少一个表面，以引起介电势垒放电；以及覆盖整个后衬底和设置在后衬底处电极的上面部分的反射层。
2.如权利要求1所述的平面荧光灯，其特征在于，所述隔板与后衬底一体地成形。
3.如权利要求1所述的平面荧光灯，其特征在于，所述隔板由与前衬底相同的透光材料组成，且与前衬底一体地成形。
4.如权利要求1所述的平面荧光灯，其特征在于，所述隔板包括与后衬底一体地成形的第一隔板和与前衬底一体地成形的第二隔板。
5.如权利要求4所述的平面荧光灯，其特征在于，所述第一隔板和第二隔板交替地配置。
6.如权利要求1所述的平面荧光灯，其特征在于，所述电极以带状对称地设置在后衬底和前衬底上，借此后衬底的电极与前衬底的电极相平行。
7.如权利要求1或6所述的平面荧光灯，其特征在于，所述平面荧光灯还包括设置在后衬底电极之间的浮动电极。
8.如权利要求1所述的平面荧光灯，其特征在于，所述后衬底的电极具有与后衬底中心线相对称成形的多个孔，且所述孔以条状、圆形、多边形或网形成形。
9.如权利要求1或8所述的平面荧光灯，其特征在于，所述电极的孔成形的尺寸从每个电极的内侧至每个电极的外侧逐渐减少。
10.如权利要求1所述的平面荧光灯，其特征在于，所述反射层包括玻璃材料和包含三氧化二铝、二氧化钛和三氧化钨在内的白色陶瓷材料的混合物，且涂复的厚度小于20μm。
11.一种后照明装置，其特征在于，所述装置包括平面荧光灯，它包括后衬底；由透光材料构成，且通过设置在其之间的密封元件安装在后衬底上，与后衬底相距预定的间隔的前衬底；交替地配置在后衬底和前衬底之间构成其之间的锯齿形放电通道的多个隔板；沿着由隔板构成的放电通道的表面进行涂复的荧光材料层；设置在后衬底和前衬底两者上以引起介电势垒放电的多个电极；以及覆盖整个后衬底和设置在后衬底处电极的上面部分的反射层；光扩散部件，与平面荧光灯的前衬底的上面部分相距一定距离，用来扩散来自平面荧光灯辐照的光；绝缘层，通过第一粘结层设置在平面荧光灯反射层下面；以及基座元件，通过第二粘结层设置在绝缘层下面。
12.一种后照明装置，其特征在于，所述装置包括平面荧光灯，它包括后衬底；由透光材料构成，且通过设置在其之间的密封元件安装在后衬底上，与后衬底相距预定的间隔的前衬底；配置在后衬底和前衬底之间且具有与配置在后衬底的一侧处的密封元件紧密接触的偶数个隔板和与配置在后衬底的另一侧处的密封元件紧密接触的奇数个隔板，以构成后衬底和前衬底之间的锯齿形放电通道的多个隔板；沿着由隔板构成的放电通道的表面进行涂复的荧光材料层；以及设置在后衬底和前衬底两者上，以引起介电势垒放电的多个电极；光扩散部件，与平面荧光灯的前衬底的上面部分相距一定距离，用来扩散来自平面荧光灯辐照的光；绝缘反射层，通过第一粘结层设置在平面荧光灯后衬底的电极下面；以及基座元件，通过第二粘结层设置在绝缘反射层下面。
13.如权利要求11或12所述的后照明装置，其特征在于，所述光扩散部件包括发送平面荧光灯的光的透光板，和配置成与透光板相接触的扩散板，以扩散光。
14.如权利要求11或12所述的后照明装置，其特征在于，所述光扩散部件包括具有扩散性的丙烯板。
15.如权利要求14所述的后照明装置，其特征在于，所述扩散板包括可扩散薄膜或丙烯板。
16.如权利要求11或12所述的后照明装置，其特征在于，所述由隔板构成的放电通道具有5至15mm的间距。
全文摘要
本发明揭示了平面荧光灯，它包括后衬底、由透光材料组成且通过设置其之间的密封元件安装在后衬底上的前衬底、设置在后衬底和前衬底之间构成其之间放电通道的多个隔板、沿着由隔板构成的放电通道的表面涂覆的荧光材料层、设置在后衬底和前衬底两处的多个电极，以及覆盖整个后衬底和设置在后衬底处电极的上面部分的反射层。此外，还提供了后照明装置，它包括上述平面荧光灯、与平面荧光灯的前衬底的顶部相距一定距离用来扩散来自平面荧光灯辐照的光的光扩散部件、通过第一粘结层设置在平面荧光灯的反射层下面的绝缘层，以及通过第二粘结层设置在绝缘层下面的基座元件。这种后照明装置的优点是，因灯和基座元件的组合来改进亮度的均匀特性和增加灯的寿命。
文档编号H01J65/04GK1621920SQ20041000551
公开日2005年6月1日 申请日期2004年2月13日 优先权日2003年11月29日
发明者朴得一, 柳忠烨, 徐玉斌 申请人:株式会社Ls Tech