专利名称：平板显示器用隔板、平板显示器用隔板的制造方法及平板显示器的制作方法
技术领域：
本发明涉及平板显示器用隔板、平板显示器用隔板的制造方法及平板显示器。
背景技术：
作为采用现有的阴极射线管(CRT)的自发光型平板显示器，已知有电场发射型显示器(FED)。在专利文献1中，记载了这种平板显示器的一例。该平板显示器具有多个阴极(电场发射元件)排列成二维状的阴极结构体，在减压环境下，由阴极发射的电子与各荧光像素区域碰撞，形成发光图像。荧光像素区域含有磷层。
这种平板显示器具备具有阴极结构体的背板。背板通过在玻璃板上堆积阴极结构体而形成。
另外，该平板显示器具备在玻璃板上堆积有磷层的面板。在该面板的玻璃板上或磷层上，堆积有用于施加电场的导电层。而且，面板与背板之间有0.1mm～1mm甚至2mm的间隙。面板与背板之间，垂直存在有由壁体形成的薄长方体状的隔板。
而且，由于在面板与背板之间施加例如1kV以上的高电压，因此，要求隔板具有耐高电压性以及用于防止带静电的适度导电性。作为现有隔板，已知有用导电材料涂敷氧化铝制绝缘材料形成的制品(例如参照专利文献2～3)、具有由氧化物微粒等形成的凹凸膜的制品(例如参照专利文献4)、分散有过渡金属氧化物的陶瓷制品(例如参照专利文献5、6)等。
专利文献1美国专利第5541473号说明书专利文献2日本特表2002-508110号公报专利文献3日本特表2001-508926号公报专利文献4日本特开2001-68042号公报专利文献5日本特表平11-500856号公报专利文献6日本特表2002-515133号公报发明内容但是，现有的平板显示器用隔板在例如氧化铝质的情况下，其热膨胀系数约为7.3×10-6/℃，与平板显示器面板、背板等的玻璃材料的热膨胀系数8.0～9.3×10-6/℃之差很大。因此，在平板显示器的允许环境温度-30～50℃的范围内，在平板显示器的温度产生变动的情况下，平板显示器用隔板与面板以及背板之间的膨胀程度有很大差别，所以，会发生平板显示器变形等现象，因此会出现隔板排列不整齐或出现倾斜而导致发射的电子偏离方向，在显示器上出现肉眼能观察到的缺陷等情况。
本发明就是鉴于该问题而做出的发明，其目的在于，提供一种与面板、背板等玻璃材料的热膨胀系数大致相等，热膨胀系数约为8.0～9.3×10-6/℃左右的平板显示器用隔板，其制造方法，以及使用该隔板的平板显示器。
发明人等经过深入研究后发现，按照规定比例混合Al2O3(氧化铝)、TiC(碳化钛)、MgO(氧化镁)及TiO2(二氧化钛)而得到的复合陶瓷烧结体具有约8.0～9.3×10-6/℃的热膨胀系数，从而得到本发明。
本发明的平板显示器用隔板具有含Al2O3、TiC、MgO及TiO2的烧结体，该烧结体相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，含有35～55重量％的MgO。
本发明的平板显示器用隔板的制造方法包括混合Al2O3粉末、TiC粉末、MgO粉末及TiO2粉末，使MgO粉末相对于Al2O3粉末、TiC粉末、MgO粉末及TiO2粉末的总重量，为35～55重量％，从而形成混合物的工序；和烧制上述混合物得到烧结体的工序。
本发明的平板显示器具备具有阴极结构体的背板、具有荧光像素区域的面板、以及存在于上述背板和上述面板之间的平板显示器用隔板，该平板显示器用隔板由含有Al2O3、TiC、MgO及TiO2，并且相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，MgO含量为35～55重量％的烧结体形成。
根据上述发明，可得到热膨胀系数为8.0～9.3×10-6/℃左右的陶瓷制平板显示器用隔板。因此，可使平板显示器用隔板的热膨胀系数十分接近于玻璃制面板、背板等的热膨胀系数(8.0～9.3×10-6/℃)。因此，即使平板显示器的面板、背板、平板显示器用隔板的温度产生变动，热膨胀的比例也相互呈同等程度。因此，不易产生平板显示器所应杜绝的形变，不易导致隔板排列不整齐或出现倾斜的情况。结果就不易导致发射的电子发生偏离方向，从而能抑制显示器的图像质量变差。
在本发明中，烧结体相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量优选含有2.0～3.0重量％的TiO2。
上述组成的平板显示器用隔板的电阻率约为1.0×106Ω·cm～1.0× 1011Ω·cm左右。因此，可显示出适度的导电性，在施加电场时不易起静电，并可抑制因过电流流过而导致的热散逸，还可减少平板显示器中的图像失真等情况。在本发明中，当TiO2含量低于2.0重量％时，电阻率增加，施加电场时易引起静电。另外，当TiO2含量高于3.0重量％时，电阻率降低，施加电场时易流过过电流。
本发明中，烧结体相对于Al2O3c、TiC、MgO及TiO2的总重量，还优选含有7.0～8.0重量％的TiC。
由此就可得到具有足够强度、且经过充分烧结的平板显示器用隔板。在本发明中，当TiC含量低于7.0重量％时，有可能导致刚性降低、强度减弱。另外，当TiC含量高于8.0重量％时，有可能难于烧结，以致变脆，进而会导致强度进一步减弱。
根据本发明，可减少平板显示器中的图像劣化，提高图像质量。
图1为本实施方式的平板显示器的局部剖视模式图。
图2为图1的平板显示器沿II-II的剖视图。
图3为图1的平板显示器用隔板的立体图。
图4为图1的平板显示器沿IV-IV的剖视图。
图5为平板显示器用隔板的制造方法的示意图。
图6续图5，为平板显示器用隔板的制造方法的立体示意图。
图7续图6，为说明本实施方式的制造方法的立体图。
图8续图7，为说明平板显示器用隔板的制造方法的立体图。
图9续图8，为说明平板显示器用隔板的制造方法的立体图。
图10续图9，为说明平板显示器用隔板的制造方法的立体图。
图11续图10，为说明平板显示器用隔板的制造方法的立体图。
图12续图11，为说明平板显示器用隔板的制造方法的立体图。
图13续图12，为说明平板显示器用隔板的制造方法的立体图。
图14为表示实施例1～12和比较例1、2的组成、热膨胀系数、电阻率、3点弯曲强度的数据表。
图15为表示实施例1～12和比较例1、2的MgO添加量与热膨胀系数的关系的曲线图。
图16为表示实施例1～12和比较例1、2的TiO2添加量与电阻率的关系的曲线图。
图17为表示实施例1～12和比较例1、2的TiC添加量与3点弯曲强度的关系的曲线图。
符号说明10板；50隔板(烧结体)；100平板显示器；101面板；102黑色矩阵结构体；103平板显示器用隔板；105荧光像素区域；201背板；202阴极结构体。
具体实施例方式
下面，参照附图，详细说明本发明的优选实施方式。另外，在
中，同样的或相应的结构要件被赋予同样的符号，并省略其重复说明。
首先，概要说明本实施方式的平板显示器。
图1为本实施方式的平板显示器的平面图。图2为平板显示器沿II-II的剖视图。
本实施方式的平板显示器是FED(电场发射型显示器)，主要具有面板101、背板201和多个平板显示器用隔板103。
面板101为玻璃制，在该面板101上，具有格子状黑色矩阵结构体102和设在黑色矩阵结构体102的格子内的含有磷层的多个荧光像素区域105。荧光像素区域105的磷层与来自图2所示下方的高能电子碰撞而发光，形成可视显示器。由荧光像素区域105发出的光经黑色矩阵结构体102发射到外部(图中上方)。黑色矩阵结构体102发挥着作为用于抑制互相邻接的荧光像素区域105发出的光混合的格子状黑色结构体的作用。
背板201为玻璃板，背板201上形成有阴极结构体202。该阴极结构体202具有多个含有用于发射电子的突起的阴极(电场(电子)发射元件)206。
背板201中的阴极结构体202的形成区域小于背板201的面积。另外，面板101的黑色矩阵结构体102的形成区域也小于面板101的面积。在面板101的外围区域与背板201的外围区域之间，存在有玻璃垫圈203，从而在中央部分形成密闭室250。该密闭室250内减压至电子能够飞行的程度。玻璃垫圈203由熔融玻璃料形成。
在面板101的黑色矩阵结构体102与背板201的阴极结构体202之间，按照规定间隔安装有多个平板显示器用隔板103，它们是垂直于上述面板表面而竖立设置的壁体。后文将对该平板显示器用隔板103作出详细说明。
这些平板显示器用隔板103保持着与面板101和背板201之间相等的间隔。另外，在该密闭室250内，配置有阴极结构体202、黑色矩阵结构体102和平板显示器用隔板103。在本发明中，面板101和背板201的厚度例如分别为300μm、1000μm左右。
本发明中，作为面板101和背板201的玻璃材料可举出例如强化玻璃、化学强化玻璃。这些玻璃的热膨胀系数约为8.0～9.3×10-6/℃。
具体而言，例如，玻璃材料可举出PD200(旭硝子株式会社制)。该PD200的组成中，SiO2、Al2O3、ZrO2、Na2O、CaO、SrO、BaO、ZrO2、Na2O及K2O的重量比为58∶7∶2∶5∶7∶8∶3∶4∶6，热膨胀系数为8.3×10-6/℃。另外，在例如HDD用玻璃盘的情况下，还适合使用SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、Na2O、K2O和TiO2的重量比为54∶10∶4∶7∶3∶6∶9∶7的玻璃材料，该玻璃的热膨胀系数约为9.3×10-6/℃。另外，HDD用玻璃盘还适合使用SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、Na2O、K2O和TiO2的重量比为55∶13∶5∶5∶2∶6∶9∶6的玻璃材料，该玻璃的热膨胀系数约为8.7×10-6/℃。
接着，详细说明本实施方式的平板显示器100的平板显示器用隔板103。
图3为本发明的平板显示器用隔板103的立体示意图。该平板显示器用隔板103大致呈板状长方体，具有主面50A、50B，沿长度方向延伸的侧面50C、50D，长度方向两端的端面50E、50F。
该平板显示器用隔板103具有烧结陶瓷制矩形平板状底座(烧结体)50、形成在底座50的侧面50C上的金属膜42a、和形成在底座50的侧面50D上的金属膜40a。另外，在底座50的主面50A上形成有布线而成的金属膜65。该金属膜65沿平板显示器用隔板103的长度方向延伸，且金属模65使金属膜42a、金属膜40a等隔开而相互绝缘。另外，金属膜65沿长度方向分割成多个部分。该平板显示器用隔板103的底座50的外部形状例如具体约为0.08mm×1.2mm×120mm左右。
在本发明中，金属膜40a和42a可降低与背板201的阴极结构体202、面板101的黑色矩阵结构体102等的接触电阻的面内不均匀性。另外，金属膜65用于适当形成平板显示器用隔板103的内部电场分布。
如图4所示，该平板显示器用隔板103利用设在其长度方向两端的粘合剂301、302，与面板101、背板201固定。本例的粘合剂301、302的材料为UV固化性聚酰亚胺粘合剂，还可使用热固性粘合剂或无机粘合剂。另外，粘合剂301、302配置在黑色矩阵结构体102、阴极结构体202的外侧。此时，所配置的平板显示器用隔板103的金属膜40a、42a分别与背板201的阴极结构体202、面板101的黑色矩阵结构体102接触。
然后，由含有Al2O3(氧化铝)、TiC(碳化钛)、MgO(氧化镁)及TiO2(二氧化钛)，且所含的MgO相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量为35～55重量％的复合陶瓷烧结体形成本实施方式的平板显示器用隔板103的底座50。
该平板显示器用隔板103的热膨胀系数为8.0～9.3×10-6/℃左右。因此，可使平板显示器用隔板103的热膨胀系数十分接近玻璃制面板101、背板201的热膨胀系数(约为8.0～9.3×10-6/℃)。
这样，即使平板显示器的面板101、背板201、平板显示器用隔板103的温度产生变动，各部件热膨胀的比例也呈同等程度。所以，即使平板显示器100的面板101、背板201以及平板显示器用隔板103的温度产生变动，热膨胀的比例也相互呈同等程度。因此，不易产生平板显示器所应杜绝的形变，不易导致平板显示器用隔板103在面板101和背板201之间的排列不整齐或出现倾斜的情况。结果就能避免由阴极结构体202的阴极206发射的电子产生偏离方向等不利情况，而能到达黑色矩阵结构体102的荧光像素区域105，抑制平板显示器100的图像质量变差。
另外，由于该平板显示器用隔板103的底座50是含有TiC和Al2O3的复合陶瓷烧结体，因此显示出高硬度的导电性陶瓷铝钛碳(AlTiC)的性质，具有高强度。
并且，通常，平板显示器100内呈减压状态，由大气压给平板显示器用隔板103施加较大负载，但本实施方式的平板显示器用隔板103可承受该压缩力而不致变形，能维持面板101和背板201之间的间隔为规定的间隔。
在本发明中，当平板显示器用隔板103的底座50的MgO含量低于35重量％时，热膨胀系数有可能变得过低。而当MgO含量高于55重量％时，热膨胀系数有可能变得过高。
因而，例如，当平板显示器用隔板103的底座50的热膨胀系数远高于9.3×10-6/℃或远低于8.0×10-6/℃时，它与玻璃制面板101、背板201的热膨胀系数之差增大，随着温度变化，平板显示器100易发生变形等，从而导致图像质量变差。
在本发明中，更优选底座50的MgO含量相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，为40～50重量％，这样，将能使其热膨胀系数更接近于面板101、背板201的热膨胀系数，因此，可进一步抑制平板显示器100的变形。具体而言，由于热膨胀系数为8.5～9.0×10-6/℃左右，所以特别优选使用同样热膨胀系数的玻璃。
另外，底座50的TiO2含量优选相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2总重量，为2.0～3.0重量％。这样，将底座50的电阻率控制在1.0×106Ω·cm～1.0×1011Ω·cm左右。所以，可显示出适度的导电性，施加电场时不易起静电，并可抑制过电流流过而导致的热散逸，还可减少平板显示器100中的图像失真等情况。在本发明中，当TiO2含量低于2.0重量％时，电阻率增加，施加电场时易引起静电。而当TiO2含量高于3.0重量％时，电阻率降低，施加电场时易流过过电流。
并且，优选TiC含量相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，为7.0～8.0重量％。由此就可得到具有足够强度、且经过充分烧结的平板显示器用隔板103。在本发明中，当TiC含量低于7.0重量％时，有可能导致刚性降低、强度充分减弱。另外，当TiC含量高于8.0重量％时，有可能难于烧结，以致变脆，从而导致强度进一步减弱。
下面说明如上所述的平板显示器用隔板103的制造方法。
首先，如图5(a)所示制作含有平板显示器用隔板的材料的Al2O3(氧化铝)、TiC(碳化钛)、MgO(氧化镁)及TiO2(二氧化钛)，且所含的MgO相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量为35～55重量％的复合陶瓷烧结体板10。
该板10通过混合Al2O3粉末、TiC粉末、MgO粉末及TiO2粉末而成形，在规定温度下烧制成形体，再自然冷却而得到。
首先，准备原料Al2O3粉末、TiC粉末、MgO粉末及TiO2粉末。在本发明中，原料Al2O3粉末优选为微细粉末，平均粒径优选为0.1～1μm，特别优选为0.4～0.6μm。而TiC粉末优选为微细粉末，平均粒径优选为0.1～3μm，特别优选为0.5～1.5μm。而MgO粉末优选为微细粉末，平均粒径优选为0.1～3μm，特别优选为0.5～1.5μm。另外，TiO2粉末优选为微细粉末，平均粒径优选为0.1～3μm，特别优选为0.5～1μm。
然后将这些粉末混合，得到混合粉末。混合这些粉末时，使MgO粉末含量相对于Al2O3粉末、TiC粉末、MgO粉末及TiO2粉末总重量为35～55重量％。另外，优选为MgO粉末含量在40～50％左右。
另外，尽管对TiO2的含量没有特别限定，但如上所述，为了使电阻率在适度范围之内，优选为将这些粉末混合，使TiO2含量为2.0～3.0重量％。
另外，尽管对TiC的含量没有特别限定，但如上所述，为了得到具有足够强度隔板，优选为将这些粉末混合时，使TiC含量为7.0～8.0重量％。
在本发明中，优选在球磨机或超微磨碎机中进行粉末混合。另外，为了适当地混合，优选将水以外的溶剂，例如乙醇、IPA、95％改性乙醇等作为溶剂使用。另外，混合时间优选为10～100小时左右。另外，球磨机、超微磨碎机中的混合介质优选使用例如直径1～20mm左右的氧化铝球、氧化锆球。
然后对经过混合的混合粉末实施喷射造粒。在本发明中，优选在例如60～200℃左右的几乎不含氧的氮气、氩气等不活泼气体热风中进行喷雾干燥，这样，就得到上述组成的混合粉末的造粒产物。在本发明中，例如造粒产物的粒径优选为50μm～200μm左右。
然后，根据需要，添加溶剂等以调节造粒产物的液体含量，使造粒产物中含有约0.1～10重量％左右的溶剂。
然后，在规定的模具内填充该造粒产物，利用冷轧工艺实施初次成型，得到成型体。在本发明中，可在例如内径150mm的用于形成圆板的金属制或碳制模具内填充造粒产物，在例如5～15MPa(50～150kgf/cm2)左右的压力下进行冷轧。
接着对初级成型而得的成型体进行热轧，得到烧结体。在本发明中，优选例如在烧制温度1200～1700℃、压力10～50MPa(100～500kgf/cm2)、氛围气为真空、氮气、氩气的条件下实施。另外，在非氧化性氛围中实施是为防止TiC的氧化。另外，优选使用碳制模具。烧结时间优选为1～3小时左右。
然后，在检查了外观等之后，用金刚石磨刀石等进行机械精加工，制得形成平板显示器用隔板材料的板10。板10的最终具体形状如图5所示，为长134mm、宽67mm、厚2.5mm的矩形平板状。另外，也可以例如是直径6英寸、厚2mm左右的圆板状基板。
下面说明由该板10切断出平板显示器用隔板103的底座50的工艺。首先，由该板10制成具有主面10A、10B，平行于长度方向的侧面10C、10D，以及垂直于长度方向的端面10E、10F的矩形平板。
首先，如图6(a)所示，沿着垂直于板10的主面10A、且平行于板10的侧面10C、10D的多个第一剖面91，按照规定间隔将复合陶瓷烧结体板10切断。这样，如图6(b)所示，形成第一切片530。该第一切片530具有分别对应于板10的主面10A、10B的主面530A、530B，对应于各第二剖面92的侧面530C、530D，以及对应于复合陶瓷烧结体的板10的端面10E、10F的端面530E、530F。然后，对第一切片530的侧面530C、530D进行研磨。
然后，如图7(a)所示，以规定间隔沿着平行于第一切片530的主面530A的多个第二剖面92切断第一切片530，得到如图7(b)所示的第二切片560。
在本发明中，第二切片560具有对应于第二剖面92的主面560A、560B，沿长度方向延伸的侧面560C、560D，长度方向两端的端面560E、560F。并且，切断第一切片530，使第二切片560的主面560A与主面560B之间的间隔560W比第一切片530的宽度530W窄。
然后，如图8所示，在第二切片560的主面560A上，按照规定间隔，从端面560E至端面560F，在沿着与侧面560C、560D的延长方向平行的方向形成多个延长的槽570。在本发明中，槽570之间的距离W2、与侧面560D最近的槽570和侧面560D之间的距离W3、以及与侧面560C最近的槽570和侧面560C之间的距离W1均为相同的距离。另外，由与侧面560D平行的侧壁570A及侧壁570B，和使侧壁570A和侧壁570B的下端互相连接的底面570C形成剖面呈矩形的各槽570。该槽570具有规定的宽度WS和规定的深度D。例如，可设定宽度WS为10～200μm左右，深度D为100～200μm左右。
然后，如图9所示，向第二切片560上形成槽570的主面560A侧吹送Ti、Au、Cr、Pt等金属原子、金属微小颗粒等。这样，就能遍布第二切片560的侧面560C、560D、主面560A、槽570内的各表面形成膜厚几nm～1.0μm的金属膜580。
然后，如图10所示，在金属膜580内、对应于第二切片560的主面560A上的面上，热压接抗蚀剂膜590。然后，利用规定的掩模，对抗蚀剂膜590进行曝光、显像，如图11所示，用抗蚀剂膜590制作布线图案，形成抗蚀剂布图591，从而露出部分金属膜580。
而且，将制成布线图案的抗蚀剂布图591用作掩模，如图12所示，利用离子铣削等将金属膜580除去规定的厚度。在本发明中，该规定厚度设定为可完全除去金属膜580中形成于主面560A上的部分。这样，同时也除去了金属膜580的设在槽570的底面570C上的部分。而且，这样就分别在第二切片560的侧面560C上形成金属膜580C、在侧面560D上形成金属膜580D、在槽570的侧壁570A上形成金属膜40a、在槽570的侧壁570B上形成金属膜42a。另外，在第二切片560的主面560A上，形成经布线制作而得到的金属膜65。
接着，从第二切片560的背面、即主面560B一侧研磨第二切片560直至槽570为止，如图13所示，将该第二切片560分割成多个部分，得到平板显示器用隔板103。在本发明中，在该研磨过程中，金属膜580C形成金属膜42a，金属膜580D形成金属膜40a，另外，第二切片560分割形成底座50。
然后，在面板101的黑色矩阵结构体102与背板201的阴极结构体202之间，可将该平板显示器用隔板103垂直这些面而竖立，利用粘合等制作上述平板显示器100。在本发明中，具有黑色矩阵结构体102的面板101、具有阴极结构体202的背板201可利用公知方法制成。
实施例下面，说明本实施方式的实施例实施例1首先，按照规定量分别称量Al2O3粉末(平均粒径0.5μm，纯度99.9％)、TiC粉末(平均粒径0.5μm，纯度99％，含碳量19％以上，其中1％以下为游离石墨)、MgO粉末(平均粒径0.1μm)及TiO2粉末(平均粒径0.1μm)，在球磨机中，与乙醇一起进行30分钟的粉碎混合，在氮气中，在150℃下进行喷射造粒，得到造粒产物。在本例中，相对于Al2O3粉末、TiC粉末、MgO粉末及TiO2粉末的总重量，将造粒产物的组成调节为，Al2O3粉末的含量为55.5重量％，TiC粉末的含量为7.0重量％，MgO粉末的含量为35.0重量％，TiO2粉末的含量为2.5重量％。
接着，分别在约0.5MPa(50kgf/cm2)下使这些混合物初级成型，用热轧法在真空氛围中，在烧结温度1600℃、轧制压力约30MPa(约300kgf/cm2)下烧制1小时，得到各实施例1的隔板用板。
实施例2～5除Al2O3粉末的含量为50.5重量％、MgO粉末的含量为40.0重量％之外，与实施例1一样实施，得到实施例2的隔板用板。另外，除Al2O3粉末的含量为45.5重量％、MgO粉末的含量为45.0重量％之外，与实施例1一样实施，得到实施例3的隔板用板。除Al2O3粉末的含量为40.5重量％、MgO粉末的含量为50.0重量％之外，与实施例1一样实施，得到实施例4的隔板用板。另外，除Al2O3粉末的含量为35.5重量％、MgO粉末的含量为55.0重量％之外，与实施例1一样实施，得到实施例5的隔板用板。
比较例1、比较例2除Al2O3粉末的含量为60.5重量％、MgO粉末的含量为30.0重量％之外，与实施例1一样实施，得到比较例1的隔板用板。另外，除Al2O3粉末的含量为30.5重量％、MgO粉末的含量为60.0重量％之外，与实施例1一样实施，得到比较例2的隔板用板。
实施例6～9除Al2O3粉末的含量为51.5重量％、TiO2粉末的含量为1.5重量％之外，与实施例2一样实施，得到实施例6的隔板用板。另外，除Al2O3粉末的含量为51.0重量％、TiO2粉末的含量为2.0重量％之外，与实施例2一样实施，得到实施例7的隔板用板。除Al2O3粉末的含量为50.0重量％、TiO2粉末的含量为3.0重量％之外，与实施例2一样实施，得到实施例8的隔板用板。另外，除Al2O3粉末的含量为49.5重量％、TiO2粉末的含量为3.5重量％之外，与实施例2一样实施，得到实施例9的隔板用板。
实施例10～12除Al2O3粉末的含量为51.5重量％、TiC粉末的含量为6.0重量％之外，与实施例2一样实施，得到实施例10的隔板用板。另外，除Al2O3粉末的含量为49.5重量％、TiC粉末的含量为8.0重量％之外，与实施例2一样实施，得到实施例11的隔板用板。另外，除Al2O3粉末的含量为48.5重量％、TiC粉末的含量为9.0重量％之外，与实施例2一样实施，得到实施例12的隔板用板。
实施例1～12、比较例1～2中各成分的添加量，以及热膨胀系数、电阻率、3点弯曲强度值示于图1的表中。而MgO的添加量与热膨胀系数的关系如图14所示，TiO2的添加量与电阻率的关系如图15所示，TiC的含量与3点弯曲强度的关系如图16所示。
另外，使用ADVANTEST制数字式多用途测量仪，给隔板用板施加10000V/mm的电场来测量电阻率。并使用岛津制作所制万能精密材料试验机，在跨距30mm、十字头(cross head)速率0.1mm/min的条件下测量3点弯曲强度。
由图15所示可知，如实施例1～12所示，当MgO含量为35～55重量％时，热膨胀系数在8.0～9.3×10-6/℃左右。另外，由图15所示可知，如实施例1～5、7、8、10～12所示，当TiO2含量为2.0～3.0重量％时，电阻率在1.0×106～1.0×1010Ω·cm左右。另外，由图16所示，并且为得到通常优选的400MPa以上强度的隔板，优选为TiC的含量为7～8％。另外，发明人认为，如果TiC的浓度过高，会导致烧结性降低，进而导致强度降低。
权利要求
1.一种平板显示器用隔板，其特征在于具有含Al2O3、TiC、MgO及TiO2的烧结体，所述烧结体相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，含有35～55重量％的MgO。
2.如权利要求1所述的平板显示器用隔板，其特征在于所述烧结体相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，含有2.0～3.0重量％的TiO2。
3.如权利要求1或2所述的平板显示器用隔板，其特征在于所述烧结体相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，含有7.0～8.0重量％的TiC。
4.一种平板显示器用隔板的制造方法，其特征在于，包括混合Al2O3粉末、TiC粉末、MgO粉末及TiO2粉末，使MgO粉末相对于Al2O3粉末、TiC粉末、MgO粉末及TiO2粉末的总重量为35～55重量％的工序；和烧制所述混合物得到烧结体的工序。
5.一种平板显示器，其特征在于，具备具有阴极结构体的背板；具有荧光像素区域的面板；和存在于所述背板和所述面板之间的平板显示器用隔板，该平板显示器用隔板由含有Al2O3、TiC、MgO及TiO2，并且相对于Al2O3、TiC、MgO及TiO2的总重量，MgO含量为35～55重量％的烧结体形成。
全文摘要
本发明涉及一种平板显示器用隔板，其特征在于，具有含Al
文档编号H01J9/24GK1836306SQ20048002365
公开日2006年9月20日 申请日期2004年7月28日 优先权日2003年8月19日
发明者川口行雄, 人见笃志, 田中一满, 松本孝雄, 伊东正弘, 神宫寺贤一, 小柳勤, 仓知克行 申请人:Tdk株式会社