图像显示装置的制作方法

专利名称：图像显示装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及使用电子发射元件的图像显示装置。
背景技术：
在将作为电子源的多个电子发射元件排列于平面基板上、向对置基板上的作为图像形成构件的荧光体照射从电子源发射出来的电子束、从而使荧光体发光以显示图像的平面显示器中，必须将内置电子源和图像形成构件的真空容器的内部保持为高真空。这是因为如果在真空容器内部产生了气体导致压力上升，则虽然其影响的程度因气体的种类而不同，但是，都会给电子源造成坏影响而使电子发射量降低，从而不能显示明亮的图像。
特别是在平面显示器中成为特征性问题的是，图像显示构件产生的气体，在到达设置在图像显示区域外的吸气剂之前将聚集在电子源附近，从而导致局部压力上升并伴随着电子源恶化。在特开平9-82245号公报中记载了把吸气剂配置在图像显示区域内，即时吸附所发生的气体以抑制元件劣化或损坏等的技术。此外，在特开2000-133136号公报中，则示出了在图像显示区域内设置非蒸发型吸气剂，把蒸发型吸气剂配置在图像显示区域外的构成。再有，如在特开2000-315458号公报中所示，人们也考虑了通过一系列操作在真空室内进行脱气、吸气剂形成、密封(真空容器化)的方案。
吸气剂有蒸发型吸气剂和非蒸发型吸气剂，虽然蒸发型吸气剂对水或氧气的排气速度极大，但是对氩(Ar)之类的惰性气体，蒸发型吸气剂和非蒸发型吸气剂都几乎没有排气速度。氩气体被电子束电离后成为正离子，通过用于加速电子的电场加速该正离子并轰击电子源，从而给电子源造成损伤。此外，有时在内部会产生放电，从而破坏装置。
另一方面，在特开平5-121012号公报中记载了把溅射离子泵连接于平面显示器的真空容器来长时间维持高真空的方法。

发明内容
本发明的目的在于在把离子泵用于图像显示装置的情况下，借助于效率良好的离子泵的驱动方式，提供对电源或周边电路的影响小，长期间地保持稳定的辉度而且在图像形成区域内的辉度不均匀少的图像显示装置。
本发明是一种一种图像显示装置，至少具有内置电子源和与该电子源对置的阳极电极且保持为减压的真空容器、向上述阳极电极施加电压的阳极电源和被设置为与上述真空容器连通的离子泵，其特征在于具有相对于驱动上述离子泵的电源与上述离子泵串联连接的第1电阻。
此外，本发明是一种图像显示装置，至少具有内置电子源和与该电子源对置的阳极电极且保持为减压的真空容器、向上述阳极电极施加电压的阳极电源和被设置为与上述真空容器连通的离子泵，其特征在于具有相对于驱动上述离子泵的电源与上述离子泵串联连接的第1电阻、和与上述离子泵并列连接的第2电阻。


图1的斜视图示意性示出了本发明的图像显示装置的一个例子。
图2的剖面图示意性示出了本发明的图像显示装置的一个例子。
图3A、3B的示意图示出了把表面传导型电子发射元件配置成简单矩阵的一个例子。
图4A、4B是用来说明成形、激活工序的说明图。
图5的示意图示出了在本发明的图像显示装置的一个例子中布线和隔片的配置。
图6的示意图示出了在形成图像显示装置时，用来进行烘焙、吸气剂速吸(getter flashing)、密封的真空排气装置。
图7A、7B、7C、7D用来说明进行图像显示装置的形成时的烘焙、吸气剂速吸和密封工序。
图8的示意图示出了本发明的图像显示装置的一个例子。
图9的示意图示出了本发明的图像显示装置的一个例子。
图10的示意图示出了本发明的图像显示装置的一个例子。
图11的示意图示出了本发明的图像显示装置的一个例子。
图12的示意图示出了本发明的图像显示装置的一个例子。
图13的示意图示出了本发明的图像显示装置的一个例子。
图14的示意图示出了本发明的图像显示装置的一个例子，示出了使用Spindt型电子发射元件的例子。
具体实施例方式
本发明涉及图像显示装置，这是一种至少具有内置电子源和与该电子源对置阳极电极并保持为减压的真空容器、向上述阳极电极施加电压的阳极电源、被设置为与上述真空容器连通的离子泵的图像显示装置，其特征在于具有对于驱动上述离子泵的电源，与上述离子泵串联地连接起来的第1电阻。
本发明的不同的形态，涉及图像显示装置，这是一种至少具有内置电子源和与该电子源对置阳极电极并保持为减压的真空容器、向上述阳极电极施加电压的阳极电源、被设置为与上述真空容器连通的离子泵的图像显示装置，其特征在于具有对于驱动上述离子泵的电源，与上述离子泵并联地连接起来的第1电阻，和与上述离子泵并列地连接起来的第2电阻。
在本发明中，作为驱动上述离子泵的电源，优选的是使用上述阳极电源。
此外，在本发明中，作为上述第1电阻(包括使用第2电阻的形态)和第2电阻，可以使用在真空容器的内部形成的薄膜。
倘通过本发明，则在把离子泵用于图像显示装置的情况下，借助于效率良好的离子泵的驱动方式，可以提供对电源或周边电路的影响小，长期间地保持稳定的辉度而且在图像形成区域内的辉度不均匀少的图像显示装置。
以下，作为图像显示装置，以具有排列有电子发射元件的电子源基板(以下，叫做背板)和与该电子源基板对应地配置且具有荧光膜和作为上述阳极电极的阳极电极膜的图像形成基板(以下，叫做面板)的构成为例进行说明。
<应用本发明的图像显示装置的概要说明>
首先，图1和图2示意性示出了本发明的图像显示装置的构成的一个例子。在面板102上形成有荧光体106和作为阳极电极膜的金属背107，端子部分112为了给金属背施加高电压被引出到真空容器外。在背板101上，在基板上配置多个电子发射元件，形成已实施了适当布线103、104的电子源105。此外，在金属背上形成有蒸发型吸气剂108。面板和背板与框部件109一起构成真空容器，为了可以承受大气压，在背板与面板之间设置有支持构件(隔片)110。
图3A、3B示意性示出了二维配置的电子发射元件用矩阵布线连接起来的构成。作为电子发射元件，虽然示出的是平面导电型电子发射元件的例子，但是即便是使用以Spindt型为代表的FED或平面型的场效应型电子发射元件也可以得到同样的效果。以下以平面导电型电子发射元件为例继续进行说明。图3A是平面图，图3B示出了沿着3B-3B的剖面的构成。
334是Y布线(上布线)、332是X布线(下布线)，通过元件电极330、331分别连接到电子发射元件336上。X布线332被配置在绝缘性基体301上，并依次形成绝缘层333、Y布线334和电子发射元件336。作为对置的元件电极330、331的材料，可以使用一般的导体材料。
为了得到良好的电子发射特性，导电薄膜335优选的是使用由微粒子构成的微粒子膜。其膜厚虽然可在考虑到对元件电极330、331的台阶覆盖、元件电极间的电阻值以及后述的成形条件等进行适宜设定，但是，通常做成为0.1nm的几倍到几百nm的范围是优选的，更为优选的是做成为1nm～50nm的范围。其电阻值Rs为100～10MΩ/□的值。另外，Rs是将厚度为t、宽度为w、长度为l的薄膜的电阻R表示为R＝Rs(l/w)时的量。在本说明书中，就成形处理来说，虽然是把通电处理作为例子进行说明，但成形处理并不限于此，也包括使膜产生龟裂以形成高电阻状态的处理。
电子发射部分336由形成于导电薄膜335的一部分上的高电阻的龟裂构成，并依赖于导电薄膜335的膜厚、膜质、材料和后述的通电成形等的方法。在电子发射部分336的内部，有时候也存在着粒径为0.1nm的几倍到几十nm范围的导电微粒子。该导电微粒子含有构成导电薄膜335的材料元素的一部分或全部元素。此外，通过进行电激活处理等的处理使电子发射部分336及其附近的导电薄膜335中具有碳或碳化合物，可以提高电子发射效果。
把以上那样形成的面板102、背板101、电子源105以及其它的构造体组合起来，并把支持框109接合于面板102与背板101之间。例如将面板与支持框用熔融玻璃预先固定起来，接着在真空室内脱气、形成蒸发型吸气剂，之后，不破坏真空地进行密封(真空容器化)。如在特开2000-315458号公报中所示，背板与带支持框的面板的接合用In及其合金等进行。
本发明的图像显示装置，除去电视播放的显示装置、电视会议系统或计算机等的显示装置之外，也可以用作为使用感光性鼓等构成的光打印机等的图像形成装置等。
<离子泵的构成和将要进行连接的电阻的说明>
在本发明中，为了维持真空，已通过把离子泵114设置在面板或背板上的离子泵用开口部分111连通到图像显示装置上。离子泵具备磁铁116、离子泵阴极117、离子泵阳极118、阴极端子119和阳极端子120。从阳极电源124通过高压端子112给阳极107施加高电压。图1示出了形态1，要通过第1电阻125从阳极电源124给离子泵阳极端子120施加高电压。
用图1和图2，概念性地说明设置在图像显示部分上的吸气剂，和设置在图像显示区域外的离子泵的作用。当向面板构件106、107(荧光体·金属背等)照射因驱动图像显示装置113而放出的电子121时就要放出气体。其中易于给电子发射元件造成损伤的水·一氧化碳·二氧化碳等氧化物气体122，大部分被吸气器108吸收。除此之外易于给电子发射元件造成损伤的气体还有惰性气体(特别是氩气)123。惰性气体与氧化物气体比虽然难于被吸气器吸收，但是，由于放出比率小，故当被处于图像显示区域外的离子泵114吸收时可以把压力抑制得低。其结果是在可以效率良好地减少将成为元件劣化的主要原因的氧化物气体122的同时，由于可以抑制氩气等的气体的显著的压力上升，故可以抑制元件特性的不稳定。
在这里，先记载已安装到图像显示装置上的离子泵的概略性的动作。首先当离子泵进入正常的动作后就会表现出恒定的排气速度，此外还会流动与压力成比例的电流(叫做离子泵电流)。另一方面，在要安装离子泵的图像显示装置内，在刚刚制造后就成为静压高的状态。为此，当驱动离子泵开始正常动作后，在初期就会流动大的离子泵电流，然后，按照由图像显示装置内部体积和离子泵排气速度决定的时间常几指几式地进行衰减。以下，虽然经常要使用离子泵正常动作时这样的单词，但是，这个单词规定为定义在离子泵起动后到达正常动作的初期的定时的概念。
其次，对作为本发明的特征的离子泵的驱动方法进行说明。离子泵从1kV前后开始动作，施加电压越上升则排气能力也越上升。但是当施加电压上升后，则电力消耗增大，或必须确实地采取绝缘对策等的弊端就会凸显出来。于是，作为效率良好地驱动离子泵的电压(以下用Vip表示离子泵驱动电压)，人们一直使用的是3～5kV的值。但是，在使离子泵起动时，通过用于离子泵内的阳极或阴极的电极表面的氧化等，有时候若不施加比正常动作时更高的电压则不能起动，故实际上优选的是要准备能提供比3～5kV更高的电压的电源。
另一方面，当离子泵主要多吸入氩气时，已注入到离子泵内的阴极(用Ti等制作)内的氩气的离子或原子就会再次放出，偏离正常动作。再次放出的离子或原子虽然会被取入到从阴极溅射到阳极上的Ti膜内，但是，这时离子泵电流成为比正常动作时大1～2个数量级的值。在该情况下，Vip变低是优选的。
如上所述，在离子泵阳极与阴极间流动的电流，在施加电压相同的情况下，因电极的表面状态或气氛不同而不同，从电路上说，离子泵的阳极和阴极间可以等效地看作是已成为可变电阻。决定把该可变电阻叫做等效离子泵电阻Rip，如设Ripm正常动作时的等效离子泵电阻；Riph起动时的等效离子泵电阻；Ripl氩气在放出时的等效离子泵电阻则等效离子泵电阻Rip就如可用公式Ripl＜＜Ripm＜＜Riph表示的那样进行数量级差异的变化。
于是，在本发明的形态1中，对于阳极电源，要串联地把第1电阻连接到离子泵上。即通过第1电阻从阳极电源向离子泵施加电压的办法，即便离子泵电阻通过状态而进行数量级差异的变化，也可以因抑制消耗电流而可以效率良好地驱动离子泵。
即如设R1第1电阻的电阻值，则要加到离子泵上的电压Vip就将成为用等效离子泵电阻和第1电阻体对阳极电压(定为Va)进行分割的值。即成为Vip＝Va×Rip/(Rip+R1)。这时，如果把电阻R1预先做成为与正常动作时的等效离子泵Ripm同等程度的电阻值(R1Ripm)，由于Ripl＜＜Ripm＜＜Riph，故在各个状态中以下的关系成立。
(i)正常动作时在正常动作时要施加的电压(Vipm)，将成为Vipm＝Va×Ripm/(Ripm+R1)。
(ii)起动时在起动时要施加的电压(Viph)，将成为ViphVa×Riph/(Riph+R1)。
(iii)氩气放出时在氩气放出时要施加的电压(Vipl)，将成为Vipl＝Va×Ripl/(Ripl+R1)。
例如，在设Va为10kV，正常动作时的等效离子泵电阻Ripm为1000MΩ的情况下，如果把1000MΩ的电阻用串联的方式连接到阳极电源与离子泵之间，则就要自我控制性地给离子泵施加使得Vipm5kV，Viph10kV，Vipl0kV那样的合适的电压。由于其结果成为仅仅在必要的状况下才流动多的电流，故与消耗电流的节约连在了一起，还与作为图像显示装置的系统小型而且低价格化地实现连在了一起。
在上述的说明中，虽然说明的是第1电阻R1的值与正常动作时的等效离子泵电阻Ripm大致相等，但是，即便是R1小，只要串联地插入电阻就可以恰好与该电阻的量的大小相对应地抑制氩气再放出时的功耗。但是，实质上有效的是Ripm的0.05倍以上，优选的是0.1倍以上，特别优选的是0.5倍以上。此外，由于如果对于Ripm来说R1的值过大则在正常动作时要施加到离子泵上的电压就要降低，作结果就必须准备高电压的电源电压，在有的情况下就不能再使用图像显示装置的阳极电源，故R1要小于等于Ripm的20倍，优选的是小于等于10倍，特别优选的是小于等于3倍。R1的最优选的范围是Ripm的1倍～2倍。
在这里，电阻Ripm是离子泵的构造的固有值，可以根据离子泵的起动后不久出现的恒流动作时的电流求得。可在本发明的图像显示装置中使用的离子泵的Ripm，例如是10MΩ～1000MΩ，更为具体地说是100MΩ～1000MΩ。
本发明的第2形态，除去在阳极电源与离子泵之间串联地连接第1电阻R1之外，还要在R1与GND之间与离子泵并联地连接第2电阻R2。在仅仅设置上述第1电阻R1的形态中，特别是在起动时在配置在离子泵框体上的离子泵阳极连接端子与离子泵阴极连接端子(接地)之间会产生大的电压差。在该形态中，重视在离子泵端子部分处的绝缘对策，并做成为使得在氩气的再放出之外尽可能地给离子泵施加恒定的电压。要想使施加到离子泵上的电压在起动时和正常状态下成为同种程度大小，就要并列配置比正常动作时的等效离子泵电阻Ripm小一个数量级左右的电阻。这样一来，在起动时和正常状态下，离子泵端子间的电压，就大致成为用R1和R2对阳极电压进行电阻分割的量。如设Ripm为1000MΩ，则要连接R1R2几100MΩ左右。在该情况下，则结果成为要消耗1W弱的电力，但是，由于要加到向离子泵导入电压的端子上的电压Vip总是可以保持为比阳极电压更低，故可以减轻离子泵部分的绝缘对策。此外，由于在该情况下也要进行氩气再放出时的电流抑制，故可以某种程度地期待功耗的减轻效果。
在本发明的形态2中，在上述的说明中，虽然做成为r1＝r2＝Ripm/10，但是，由于当R2比Ripm过小时电流的消耗就会增大，故R2应是Ripm的0.01倍以上，优选的是0.05倍以上，特别优选的是0.07倍以上。此外，由于即便是过大也不会参与离子泵的端子间的绝缘对策，故R2应小于等于Ripm的1倍，优选的是小于等于0.5倍，特别优选的是小于等于0.2倍。此外，R1应是R2的0.5～10倍，优选的是0.7～0.5倍，特别优选的是1～3倍。
此外，在第1和第2形态中，如上所述，虽然最简便而且优选的是共通地使用离子泵电源和图像显示装置的阳极电源，但是，也可以根据需要使用离子泵专用的电源。
再有，离子泵也可以安装到背板一侧。此外，形态1中的第1电阻以及形态2中的第1和第2电阻虽然也可以通过外加的方式配置作为电部件的电阻，但是也可以利用在真空容器内部使用着的构件，特别是可以利用带电防止膜等。在该情况下，由于在图像显示装置的外部不需要安装多余的部件，故可以实现小型化。
倘通过以上的构成，则可以借助于效率良好的离子泵的驱动方式，提供对电源或周边电路的影响小，长期间地保持稳定的辉度而且在图像形成区域内的辉度不均匀也少的图像显示装置。
以下，举出优选的实施例，更为详细地记载本发明，但是，本发明并不限定于这些实施例，也包括在本发明的要旨的范围内进行了各个要素的置换或设计变更的实施例。
<实施例1>
本实施例的图像显示装置的构成，与在图1和图2的示意图中所示的构成是同样的。本实施例的图像显示装置，在基板上具备对多个(768行×3840列)的表面传导型电子发射元件进行简单矩阵布线的电子源105。如图1所示，离子泵114在图像显示区域外安装到面板上，并通过在面板上预先开好的离子泵用开口部分111与真空容器内部连接了起来。离子泵在玻璃容器(框体)115之内设置圆筒形的阳极118和配置在圆筒的平面部分两侧上的阴极117，在玻璃容器的外侧上把磁铁板116紧密配置为使得与阴极平行。阳极·阴极被连接到贯通玻璃容器埋进了的端子120·119上。
图1示出了本发明的形态1，阴极端子120通过外加的第1电阻125被连接到面板的阳极电源124上，阴极端子119则被接地。
在面板102上，在金属背107上，用速吸成膜施加Ba膜108。此外，在上布线上隔40条(5、45、85......765)地安置隔片110。
图3A示意性示出了把图1中的矩阵布线、元件电极和元件连接起来的样子。图3A是平面图，图3B是图中3B-3B剖面图。在这里301是玻璃基体的电子源基板Y布线或上布线，332是X布线或下布线，335是包括电子发射部分的导电膜，330、331是元件电极，333是层间绝缘层。
以下，边参看图2、图3A和图3B边对本实施例的图像形成装置的制造方法进行说明。
工序-a1(玻璃基板和元件电极的形成)用清洗剂、纯水和有机溶剂充分清洗2.8mm厚的PD-200(旭硝子(株)社生产)玻璃基板301。在其上用溅射法成膜厚度0.1微米的SiO2。接着，在成膜于玻璃基板301上的SiO2膜上，用溅射法作为基底层先成膜钛(Ti)5nm，再在其上成膜铂(Pt)40nm后，涂敷光刻胶(AZ1379Hoechst公司生产)，借助于曝光、显影、刻蚀这样的一系列光刻法进行构图来形成元件电极330、331元件电极形状是间隔10微米，对置的长度是100微米。
工序-b1(下布线的形成)关于X布线和Y布线的布线材料，优选的是具有向多个表面传导型元件供给大致均等的电压的低电阻，适宜设定材料、膜厚和布线宽度等。作为公共布线的X布线(下布线)332，用线状的图形形成为接连到元件电极的一个330上并把这些阳极电极连接起来。材料使用银(Ag)感光膏状油墨，丝网印刷后使之干燥并曝光显影成规定的图形。之后，在480℃左右的温度下进行烧结形成布线。布线的厚度约10微米，线条宽度为50微米。另外，为了把终端部分用做布线取出电极，增加了该部分的线条宽度。
工序-c1(绝缘膜的形成)为使上、下布线绝缘，配置了层间绝缘层。该层间绝缘层形成于后述的Y布线(上布线)334的下方，以覆盖与预先形成的X布线(下布线)332之间的交叉部分，并且在连接部分中形成接触孔，使得上布线(Y布线)334与另一个元件电极331之间的电连成为可能。工序是在丝网印刷以PbO为主成分的感光性玻璃膏后，进行曝光和显影。这个过程重复进行4次，最后在480℃左右的温度下进行烧结。该层间绝缘层的厚度为4层约30微米，宽度为150微米。
工序-d1(上布线的形成)Y布线(上布线)334的形成为，在预先形成的绝缘膜上丝网印刷AgO膏状油墨后使之干燥，在其上再次进行同样的处理，进行了这样的两次涂敷后，在480℃左右的温度下进行烧结。隔着上述绝缘膜与X布线(下布线)332交叉，在绝缘膜的接触孔部分处与元件电极的另一个也连接起来。借助于该布线与另一个元件电极331连接起来，在面板化之后起着扫描电极的作用。该Y布线334的厚度约为15微米。虽然没有画出来，也用与此同样的方法形成了引出到外部驱动电路的引出端子。由此形成了具有XY矩阵布线的基板。
工序-e1(元件膜的形成)在充分清洗上述基板后，用含有防水剂的溶液对表面进行处理，使得表面成为疏水性。所使用的防水剂是DDS(二甲基二乙氧基硅烷信越化学社制)的乙醇稀释溶液，用喷射法散布到基板上，在120℃下温风干燥。然后，用喷墨涂敷方法在元素电极间形成元件膜335。在本实施例中，作为元件膜为了形成钯膜，首先向由水85异丙醇(IPA)15构成的水溶液内溶解钯-脯氨酸络合物0.15重量％，得到有机含钯溶液。除此之外还添加了少量添加剂。作为液滴赋予装置，使用的是使用压电元件的喷墨喷射装置。然后在空气中在350℃对该基板加热烧结处理10分钟使之成为氧化钯(PdO)。所得到的PdO膜的点径约60微米，最大厚度为10nm。
工序-f1(还原成形(罩成形))在表面传导型电子发射元件中，在被叫做成形的工序中，通过对上述导电薄膜进行通电处理使内部产生龟裂来形成电子发射部分。装置和方法概略如图4所示，首先用罩状的帽盖402覆盖除上述基板周围的取出电极部分之外的整个基板，用排气装置403在帽盖与基板之间形成真空空间。接着，通过从连接到外部电源上的电极端子部分401向XY布线间施加电压以给元件电极间通电，使导电膜425局部破坏、变形或变质，从而形成高电阻的状态的电子发射部分426。关于施加电压等的成形条件，由于已详细记载于特开2000-311599号公报中，故从其中选择适当的条件。
在成形工序中，用在含有少量氢气的真空气氛下的通电加热促进还原，使氧化钯(PdO)变化成钯(Pd)膜。这时，由于膜的还原收缩导致部分发生龟裂。此外，所得到的导电薄膜425的电阻值Rs是从100到10M欧姆的值。
进行元件电阻的测定来判断成形处理的结束，在该情况下，当电阻大于等于成形处理前电阻的1000倍时判定为成形结束。
工序-g1(激活-碳淀积)
在成形后的状态下由于电子发射效率非常低，故为了提高电子发射效率，对上述元件进行称为激活的处理。在存在有机化合物的适当的真空度的基础上，与上述成形同样，采用盖上罩状的帽盖在与基板之间在内部形成真空空间，从外部通过XY布线给元件电极反复施加脉冲电压的办法进行该处理。然后，导入含有碳原子的气体，在上述龟裂附近把源于上述导入的碳或碳化合物淀积为碳膜426。
在本工序中，作为碳源使用甲苯甲腈，通过慢漏泄阀504导入到真空空间内，维持1.3×10-4Pa。导入的甲苯甲腈的压力虽然取决于真空装置的形状或在真空装置内使用的构件等会有少量影响，但是，1×10-5Pa～1×10-2Pa左右是合适的。本工序中的电压施加等条件也可以从特开2000-311599号公报中所讲述的内容中加以适当选择。
由于元件电流If在约60分钟后大致达到饱和，故停止通电并关闭慢泄漏阀，结束激活处理。用以上的工序制成了电子源基板。
工序-h1(配置支持框)其次，如图5所示，向背板上的规定位置上涂敷熔融玻璃，进行位置对准后把支持框516临时固定到面板上。然后在390℃下烧结30分钟，把支持框配置到背板上。
工序-i1(垂直安置隔片)如图6所示，在电子源基板101的Y布线(上布线)之中的一部分线(5，45，85，125，165，205，245，285，325，365，405，445，485，525，565，605，645，685，725，765)上设置隔片110。隔片在具有元件的区域(像素区域)外，以绝缘性基台(薄板玻璃)515作为支持，用陶瓷粘接剂(东亚合成社生产，商品名为Aron Ceramic W)进行固定。
工序-j1(面板的形成)首先，在玻璃基板(2.8mm厚的PD-200(旭硝子(株)生产)上形成阳极连接端子用孔和离子泵用开口部分111。孔既可以通过制作模具预先形成，也可以之后在平板上开孔。开孔的场所设置在图像显示区域外。接着，用导电的熔融玻璃埋入阳极连接端子，进行420℃、1个小时的烧结后使熔融玻璃固化，形成阳极连接端子部分112。阳极连接端子部分不使电极突出到在之后将成为内面的部分中。用清洗剂、纯水和有机溶剂对该基板进行充分地清洗。其次，向阳极连接端子部分、In填充的基底部分等的图形上涂敷银膏，用480℃左右的温度进行烧结。接着借助于印刷法涂敷荧光膜106，进行表面的平滑化处理(通常，叫做“成膜”)来形成荧光体部分。另外，荧光膜106做成为使条带状的荧光体(R、G、B)和黑色导电材料(黑色条带)交互地排列的荧光膜。此外，在荧光膜1 06上用溅射法形成50nm厚的由铝薄膜构成的金属背107。这些膜106、107虽然与阳极连接端子112或离子泵用开口部分111的孔不接触，但是，未画出的银膏图形却把金属背107与阳极连接端子112连接起来。
工序-x1(离子泵的安装)首先，进行图2所示那样的离子泵的组装。在制作离子泵的玻璃容器时，在规定的位置上开出阳极和阴极端子用孔，并且埋入离子泵阳极和阴极支持用金属支持部件(未画)。接着，把离子泵阴极和阳极固定到金属支持部件上，使电极在端子用孔内通过后与阳极和阴极进行连接。然后，用熔融玻璃临时固定通过了阳极和阴极用孔的电极，同时，把组装好的离子泵玻璃容器115临时固定到在面板上设置的开口部分111的位置上。用420℃、1个小时的条件烧结该带离子泵的面板，进行离子泵阳极端子120、阴极端子119的形成和离子泵114的固定。
工序-k1(In涂敷)如在特开2001-210258号公报中所记载的那样，向在面板周缘部分上预先设置的银膏印刷部分上填充In。
工序-l1(真空脱气、吸气剂速吸、密封)其次，把在上述工序中形成的背板和面板放置到图6所示的真空室内，制作成真空容器。如图6所示，真空室大致分成装载室601和进行烘焙、吸气剂速吸、密封等工艺的真空处理室，通过门控阀603等加以连接。对于各个工艺来说，虽然可以设置各自的处理室，但是，在本例中做成为用1个处理室602进行上述一系列工艺的例子。在装载室、处理室内分别具备排气泵604、605。背板和面板以及装载它们的夹具606，按箭头方向投入到装载室内后被送到处理室，在处理结束后通过装载室运送到真空室外。
在图7A、7B、7C、7D中示出了真空处理室内的各工艺的概略图。图7A示出的是烘焙的状态，图7B示出的是吸气剂速吸，图7C示出的是密封的状态，图7D示出的是搬出准备状态。烘焙是用热板703、704对用运送夹具700运送来的背板701、面板702进行加热。此外，配备于运送夹具700所附随的吸气剂速吸用(盖状)夹具705中的电流导入线707与引出到外部的电极708连接，通过通电过热使吸气剂速吸。在密封时，与烘焙时同样使盖状夹具705移动到两侧，边用热板加热基板边施加负重，用In把2块基板彼此安装起来。密封结束后，使热板向上下退避，完成任务后的真空容器与夹具一起被运送出来。除此之外，为了提高面板的脱气效果，可以边扫描电子束边照射来进行构图，也可以进行电子束照射清洗等的工序。
以下简单地说明各工序的内容。烘焙使热板704、703向装载到运送夹具700上的面板702与背板701的上下移动，在约300℃下保持1个小时。在前后要施加3个小时的升温和约12个小时的降温(图7A)。
其次，使背板701和支持它的运送夹具的一部分与上侧热板一起上升约50cm。接着，使盖状夹具705向背面、正面两基板之间的空间移动，使之与面板接触。夹具构成为盒状，在内部的天花板上设置18个环状的钯吸气剂环，分别连接到电流导入端子上用电流加热进行速吸(图7B)。吸气剂的配置预先根据在面板上以约50nm的厚度均匀成膜的条件来确定。实际上，使12A的电流每次12秒在各个吸气剂内流动，依次进行速吸。
然后，使吸气剂速吸用夹具返回到原来的位置，从背板和面板间的空间内卸下来。接着，使背板701与支持夹具、上侧热板703下降到原来的位置(图7C)，用约1个小时的升温把热板加热到180℃。然后，在180℃下保持约3个小时后，使背板支持夹具一点点下降，给背板和面板间施加约60kgf/cm2的负重。保持该状态使热板自然冷却，达到室温后结束密封。
工序-m1(安装和系统化)对在上述工序中形成的真空容器安装柔性电缆，同时进行离子泵的连线。离子泵的阳极端子部分120，与图像显示部分的阳极连接端子部分112同样，进行叫做铸封的用耐湿性高电阻树脂进行的固化处理，把高压电缆连接起来。图像显示部分的高压电缆虽然要直接连接到阳极电源124上，但离子泵高压电缆在途中夹持1000MΩ的第1电阻125那样地连接于阳极电源124。用绝缘带将电阻部分处置成不会与周边的导体短路。此外，根据必要连接到专用的驱动器装置上，使之通过前驱动和老化等的元件特性稳定化工序。此时从阳极电源向离子泵施加电压，驱动离子泵。之后组装驱动器IC和框体等，完成图像显示装置的形态。
在上述工序-m1及其之后完成的图像显示装置的驱动中，把微安表连接到离子泵阴极端子120与第1电阻125之间，对阳极电源124施加10kV的电压来观测电流变化。当施加电压后立刻就开始流动约5微安的电流，在大约1分钟内下降到小于等于0.1微安。在刚刚施加电压后，在离子泵中施加了大约10kV而立即开始起动，在离子泵起动后则施加了与等效离子泵电阻和串联电阻之间的电阻分割比对应的电压。该结果表明已效率良好地进行了真空排气。此外，如果连续驱动大于等于1000个小时，虽然能够看到电流瞬间增加的现象，但是，电流值被抑制到小于等于10微安。表明得益于串联电阻而不会从电源流出过剩的电流。此外，本实施例的图像显示装置，把离子泵内置于用玻璃熔融体连接到面板背面上的玻璃容器内，实现了小型、轻重量、高可靠性和低成本化。
<实施例2>
本实施例是本发明的形态2的具体例。以下参看图8对本实施例的图像形成装置和制造方法进行说明。
工序-a2～l2
重复进行与在实施例1中所说明的工序a1～j1、x1以及k1～l1同样的工序。
工序-m2(安装和系统化)对在上述工序中形成的真空容器安装柔性电缆，同时进行离子泵的连线。离子泵的阳极端子部分120，与图像显示部分的阳极端子部分112同样，进行叫做铸封的用耐湿性高电阻树脂进行的固化处理，把高压电缆连接起来。图像显示部分的高压电缆虽然要直接连接到阳极电源124上，但离子泵高压电缆在途中与200MΩ的第1电阻125串联连接后连接于阳极电源124。之后，从阳极电源124和电阻125来看，在与地之间插入与离子泵并联的100MΩ的第2电阻126。用绝缘带将电阻部分处置成不会与周边的导体短路。此外，根据必要连接到专用的驱动器装置上，使之通过前驱动和老化等的元件特性稳定化工序。此时从阳极电源向离子泵施加电压，驱动离子泵。之后组装驱动器IC和框体等，完成图像显示装置的形态。
在上述工序-m2及其之后完成的图像显示装置的驱动中，把微安表连接到离子泵阴极端子120与电阻125之间，对阳极电源124施加10kV的电压来观测电流变化。施加电压后总是流动约30微安的电流，表明离子泵上所施加的电压为由电阻分割比所决定的3.3kV。即表明通过适当的电压正常地进行了真空排气。此外，如果连续驱动大于等于1000个小时，虽然能够看到电流瞬间增加的现象，但是，电流值被抑制到小于等于50微安。表明得益于串联电阻而不会从电源流出过剩的电流。在实施例2的情况下，由于要给离子泵阳极端子部分120施加的电压总是保持为阳极电压的大约1/2，故在离子泵阳极端子部分120处的绝缘对策，其安全性比面板阳极连接端子部分112更高。本实施例的图像显示装置也把离子泵内置于用玻璃熔融体连接到面板背面上的玻璃容器内，实现了小型、轻重量、高可靠性和低成本化。
<实施例3>
在上述实施例中示出了把离子泵安装到面板上的形态，以下参看图9说明把离子泵安装到背板上的例子。
工序-a3(玻璃基板和元件电极的形成)使用在图5所示的位置上预先形成有开口112的玻璃基板。至于清洗和膜形成与实施例1是同样的。
工序-b3～e3重复进行与在实施例1中所说明的工序b1～e1同样的工序。
工序-x3(阳极连接端子和离子泵的安装)首先，用与实施例1同样的工序进行离子泵的组装。接着，用熔融玻璃临时固定连接于离子泵阳极和阴极上的电极，同时如图9所示，把组装好的离子泵的玻璃容器115临时固定到背板的离子泵用开口部分的位置上。然后，用熔融玻璃把阳极连接端子112临时固定到设置在背板上的孔内。用420℃、1个小时的条件烧结该带离子泵的背板，进行离子泵阳极端子120、阴极端子119的形成、离子泵114的固定以及之后阳极连接端子112的安装。
工序-f3～i3重复进行与在实施例1中所说明的工序f1～i1同样的工序。
工序-j3(面板的形成)用清洗剂、纯水和有机溶剂对玻璃基板(2.8mm厚的PD-200(旭硝子(株)制))进行充分地清洗。其次，向来自阳极端子部分的引出线(未示出)、In填充的基底部分等的图形上涂敷银膏，用480℃左右的温度进行烧结。接着借助于丝网印刷法涂敷荧光膜106，进行表面的平滑化处理(通常，叫做“成膜”)来形成荧光体部分。另外，荧光膜106做成为使条带状的荧光体(R、G、B)和黑色导电材料(黑色条带)交互地排列的荧光膜。此外，再在荧光膜106上用溅射法形成50nm厚的由铝薄膜构成的金属背107。
工序-k3～m3重复进行与在实施例1中所说明的工序k1～m1同样的工序。
在上述工序-m3及其之后完成的图像显示装置的驱动中，把微安表连接到离子泵阳极端子120与电阻体125之间，给阳极电源124施加10kV的电压观测电流变化的结果，确认表现出与实施例1大致相同的举动，得到了同样的效果，此外，在本实施例的图像显示装置中，把离子泵内置于用玻璃熔融体连接到背板背面上的玻璃容器内，实现了小型、轻重量、高可靠性和低成本化。
<实施例4>
在迄今为止的实施例中，电阻体使用的是市售的电阻部件，在本实施例中对在真空容器内形成高电阻薄膜，将之用做第1电阻的例子进行说明。在本实施例中，边参看图10边对把在形态1中在面板一侧形成的薄膜用做第1电阻的例子进行说明。
工序-a4～i4重复进行与在实施例1中所说明的工序a1～i1同样的工序。
工序-j4(面板形成)首先，在玻璃基板(2.8mm厚的PD-200(旭硝子(株)生产))上形成阳极连接端子用孔、离子泵阳极端子用孔、离子泵用开口部分。孔既可以通过制作模具预先形成，也可以之后在平板上开孔。开孔的场所是图像显示区域外的周边部分。接着，用导电的熔融玻璃埋入阳极连接端子、离子泵阳极端子，进行420℃、1个小时的烧结后使熔融玻璃固化，形成阳极连接端子部分112、离子泵阳极端子部分120。这时，离子泵阳极连接端子的电极贯通面板。用清洗剂、纯水和有机溶剂进行充分地清洗该基板。其次，向来自阳极连接端子部分的引出线、In填充的基底部分等的图形上涂敷银膏，用480℃左右的温度进行烧结，接着，借助于喷射吹附涂敷3层把掺锑的氧化锡微粒子分散到乙醇内的溶液，在380℃下对之进行20分钟的烧结后作为第1电阻125形成导电高电阻膜(ATO膜)。
借助于此，阳极连接端子部分和离子泵阳极端子部分(120)间的电阻就成为大致100M欧姆。要想更为正确地控制电阻，就要通过所希望的形状的金属掩模进行喷射吹附来限定膜的形状。接着借助于丝网印刷法涂敷荧光膜106，进行表面的平滑化处理(通常，叫做“成膜”)来形成荧光体部分。另外，荧光膜106做成为使条带状的荧光体(R、G、B)和黑色导电材料(黑色条带)交互地排列的荧光膜。此外，再在荧光膜106上用溅射法形成50nm厚的由铝薄膜构成的金属背107。
工序-x4(离子泵的安装)由于离子泵的构成与实施例1稍有不同，故简单地说明离子泵的组装。在制作离子泵的玻璃容器时，在规定的位置上开出阴极端子用孔，并且埋入离子泵阳极和阴极支持用金属支持部件(未画)。接着，把离子泵阴极和阳极固定到金属支持部件上，使电极在阴极端子用孔内通过后与阴极进行连接。然后，用熔融玻璃临时固定通过了阴极用孔的电极，同时，把组装好的离子泵玻璃容器115临时固定到在面板上设置的开口部分111的位置上。用420℃、1个小时的条件烧结该带离子泵的面板，进行阴极端子119的形成和离子泵114的固定。
工序-y4(离子泵阳极与阴极端子的连接)接着，在离子泵阳极与离子泵阳极端子120之间搭接上不锈钢薄板，用点焊进行连接，把作为第1电阻125的导电高电阻膜和离子泵的阳极电连起来。
工序-k4～m4重复进行与在实施例1中所说明的工序k1～m1同样的工序。
在上述工序-m4中，在进行元件的前处理之前仅仅对离子泵进行驱动。这时，把微安表连接到阳极电源124与阳极端子112之间，给阳极电源124施加10kV的电压观测了电流变化。电流变化与实施例1的情况大致相同，确认离子泵的驱动已效率良好地进行。此外，本实施例的图像显示装置也把离子泵内置于用玻璃熔融体连接到面板背面上的玻璃容器内，实现了小型、轻重量、高可靠性和低成本化。
<实施例5>
在本实施例中，边参看图11边对在形态2中作为第1和第2电阻使用设置在真空容器内的薄膜的例子进行说明。
工序-a5～b5重复进行与在实施例4中所说明的工序a4～b4同样的工序。
工序-c5(绝缘膜的形成)为使上、下布线绝缘，配置了层间绝缘层。该层间绝缘层形成于后述的Y布线(上布线)324的下方，以覆盖与预先形成的X布线(下布线)322之间的交叉部分，并且在连接部分中形成接触孔，使得上布线(Y布线)324与另一个元件电极321之间的电连成为可能。但是，在本实施例中，除去实施例4的结构之外，挨着上布线的最终(768)行还设置了另外一条上布线，并且追加了不与下布线连接的绝缘层图形。
工序是在丝网印刷以PbO为主成分的感光性玻璃膏后，进行曝光和显影。这个过程重复进行4次，最后在480℃左右的温度下进行烧结。该层间绝缘层的厚度为4层约30微米，宽度为150微米。
工序-d5(上布线的形成)Y布线(上布线)324的形成为，在预先形成的绝缘膜上丝网印刷AgO膏状油墨后使之干燥，在其上再次进行同样的处理，进行了这样的两次涂敷后，在480℃左右的温度下进行烧结。隔着上述绝缘膜与X布线(下布线)322交叉，在绝缘膜的接触孔部分处与元件电极的另一个也连接起来。
借助于该布线与另一个元件电极321连接起来，在面板化之后起着扫描电极的作用。但如上所述追加了第769行。该Y布线324的厚度约为15微米。虽然没有画出来，也用与此同样的方法形成了引出到外部驱动电路的引出端子。由此形成了具有XY矩阵布线的基板。
工序-e5～h5重复进行与在实施例4中所说明的工序e4～h4同样的工序。
工序-i5(垂直安置隔片)如图5所示，在电子源基板101的Y布线(上布线)之中的一部分线(5，45，85，125，165，205，245，285，325，365，405，445，485，525，565，605，645，685，725，765)上设置隔片110。隔片在具有元件的区域(像素区域)外，以绝缘性基台(薄板玻璃)515作为支持，用陶瓷粘接剂(东亚合成社生产，商品名为Aron Ceramic W)进行固定。此外，在本实施例中，在第769行上也要另外设置隔片(第2电阻126)。仅仅向该隔片的整个面上涂敷ATO膜(锑-锡-氧化物)，使上下间的电阻成为100M欧姆。
工序-j5(面板的形成)与实施例4的工序-j4大致同样地形成面板。但是，氧化锡粒子分散液的吹附把导电高电阻膜(ATO膜)形成为4层并且也展宽面积使得第1电阻125的电阻值成为200M欧姆。此外，除去阳极连接端子部分、In基底部分之外，在离子泵端子部分120和带ATO的隔片(第2电阻126)的接触部分上也设置银膏涂敷部分。
工序-x5，y5，k5，l5重复进行与在实施例4中所说明的工序x4，y4，k5和l5同样的工序。用这些的工序，如图11所示，使导电高电阻膜(第1电阻125)与形成了高电阻膜的隔片(第2电阻126)进行接触，此外，还进行这两者与离子泵阳极的电连。
工序-m5(安装、系统化)对在上述工序中形成的真空容器实施柔性电缆安装，对图像显示部分的高压端子部分112进行铸封处理，把高压电缆连接起来。高压电缆连接到阳极电源124上。此外，已装载上涂敷有ATO膜的隔片126的上布线直接接地。其结果是高压电源的输出电压虽然保持该状态加到图像显示部分的阳极107上，但是，却给离子泵的阳极施加了用高电阻导电膜125和隔片126的ATO膜电阻分割后的电压。向元件部分上根据需要连接到专用的驱动器装置上，使之通过前驱动和老化等的元件特性稳定化工序。这时，驱动离子泵以真空良好的状态进行特性稳定化工序。在这些处理结束后组装上驱动器IC、框体等，完成图像显示装置的形态。
与实施例4同样，在上述工序-m5中，在进行元件的驱动前使离子泵起动。把微安表连接到阳极电源124与高压端子112之间，给阳极电源124施加10kV的电压观察电流变化，也与实施例4是同样的。电流变化呈现出与实施例2大致相同的举动，表明已给离子泵施加了3.3kV的电压并进行了正常的排气。此外，如果连续驱动大于等于1000个小时，虽然能够看到电流瞬间增加的现象，但是，电流值被抑制到小于等于50微安。表明得益于串联电阻而不会从电源流出过剩的电流。此外，本实施例的图像显示装置也把离子泵内置于用玻璃熔融体连接到面板背面上的玻璃容器内，实现了小型、轻重量、高可靠性和低成本化。
<实施例6>
在实施例4中，虽然把形态1的第1电阻设置在了面板一侧，但是，如图12所示，在形态1中，也可以把第1电阻设置在背板一侧。该构成是一种把实施例3(图9)和实施例4(图10)组合起来的形态，制造方法从略。
<实施例7>
在实施例5中，在形态2中，示出的是作为第1电阻使用在面板上形成的薄膜，作为第2电阻使用在隔片表面上形成的薄膜的例子，但是，在本实施例中，使用在背板上形成了第1和第2电阻这两个薄膜。
如图13所示，把阳极电源连接到在背板一侧上设置的阳极连接端子112上，并与面板上的金属背107进行连接，这一点与实施例3是相同的，在实施例5中设置在面板上的高电阻膜，在本实施例中则设置在背板上。然后，把高电阻膜和阳极连接端子112电连起来，把该高电阻膜分割成第1电阻125和第2电阻126使用。即如图13所示，连接到与阳极连接端子112相反一侧的末端附近的高电阻膜上来设置中继端子120，并将之接地。然后，当把离子泵阳极端子120设置在中央附近的位置上，用例如不锈钢薄板将之和离子泵阳极118连接起来后，结果成为高电阻膜就分别被分割成第1电阻125和第2电阻126，第1电阻与离子泵串联地进行连接，而第2电阻则与离子泵并联地进行连接。制造方法是已经说明过的方法的组合，故说明从略。
另外，在本实施例中所示那样的把薄膜分割开来用做第1电阻和第2电阻的方法，在设置在面板上的高电阻膜中也可以应用。在该情况下，也可以不使用在实施例5(图11)中使用的那样的设置在隔片表面上的高电阻膜。
<实施例8>
其次，边参看图14边说明使用不同的电子发射元件的例子。
工序-a8(阴极的形成)首先，充分清洗2.8mm厚的玻璃基板PD-200(旭硝子(株)制)。在其上用溅射法成膜厚度0.25微米的Mo膜，用通常的光刻法形成兼用做X布线的阴极电极(1403)。
工序-b8(绝缘层和栅极的形成)在其上用溅射法成膜厚度1微米的二氧化硅膜(1404)，接着，成膜厚度0.25微米的Mo膜。然后，用通常的光刻法在Mo膜及二氧化硅膜上开直径1.5微米的孔，形成兼用做Y布线的栅极电极(1405)和发射极形成孔。
工序-c8(发射极的形成)接着在其上用溅射法成膜厚度1.5微米的二氧化硅膜，深刻蚀1.2微米。接着，成膜厚度1微米的W，剥离剩下的0.3微米的二氧化硅膜，形成锥状的发射极电极(1406)。
工序-d8(支持框的配置)该工序与实施例1的工序-h1同样地进行。
工序-e8(垂直安置隔片)该工序与实施例1的工序-i1是同样的。借助于此，制作把Spindt型电子发射元件排列起来的背板。
工序-f8(面板的形成)该工序与实施例1的工序-j1同样地进行。
工序-x8(高压导入端子和离子泵的安装)该工序与实施例1的工序-x1同样地进行。
工序-g8(In涂敷)该工序与实施例1的工序-k1同样地进行。
工序-h8(真空脱气、吸气剂速吸、密封)该工序与实施例1的工序-l1同样地进行。
工序-i8(安装和系统化)该工序与实施例1的工序-m1同样地进行。
在上述工序-i8及其之后完成的图像显示装置的驱动中，把微安表连接到离子泵阳极端子120与电阻体125之间，给阳极电源124施加10kV的电压观测电流变化的结果，确认表现出与实施例1大致相同的举动，得到了同样的效果，此外，在本实施例的图像显示装置中，把离子泵内置于用玻璃熔融体连接到面板背面上的玻璃容器内，实现了小型、轻重量、高可靠性和低成本化。
<比较例1>
在该比较例中，除去不使用实施例1中的第1电阻以外，重复进行实施例1。即把实施例1的工序-m1变更为下面的工序-M1。
工序-M1(安装和系统化)对在实施例1的工序-m1之前形成的真空容器实施柔性电缆安装，同时进行离子泵的连线。离子泵的阳极端子部分120，与图像显示部分的高压端子部分112同样，进行叫做铸封的用耐湿性高电阻树脂进行的固化处理，把高压电缆连接起来。虽然在图像显示部分的高压电缆直接连接到阳极电源124上这一点是相同的，但是离子泵的高压电缆也直接连接到阳极电源124上。此外，根据必要连接到专用的驱动器装置上，使之通过前驱动和老化等的元件特性稳定化工序。此时从阳极电源向离子泵施加电压，驱动离子泵。在这些处理结束后，组装驱动器IC和框体等，完成图像显示装置的形态。
在上述工序-M1及其后完成的图像显示装置的驱动中，把微安表连接到离子泵高压端子120与阳极电源124之间，首先给阳极电源124施加5kV的电压来观察电流变化。当离子泵起动后电流就表现出大致指数性地减少，1分钟后的电流值与实施例1比大到约5倍。即表明起动后的排气慢。接着，在施加了10kV的电压时，长时间驱动后就发现了频繁流动超过了1mA的大电流的现象。该现象具有增大阳极电源的负担，给图像显示用的驱动器造成坏影响的可能性。
<比较例2>
在本比较例中，除去不使用实施例8中的第1电阻之外，重复进行实施例8。即把实施例8的工序-i8(安装和系统化)变更为比较例1的工序-M1，制作了图像形成装置。
但是，在与上述工序-M1对应的工序和之后完成的图像显示装置的驱动中，也发现了与比较例1相同的现象。
如上所述，由于实施例与比较例相比，离子泵的动作稳定而且对电源或周边电路等的影响也小，故当驱动图像显示装置以比较辉度的变化时，相对于比较例1、2的辉度的不稳定，在实施例1～8中辉度是稳定的而且随时间变化小。此外，把离子泵内置于已用熔融玻璃连接到了面板或背板背面上的玻璃容器内，实现了小型、轻重量、高可靠性、低成本化。
权利要求
1.一种图像显示装置，至少具有内置电子源和与该电子源对置的阳极电极且保持为减压的真空容器、向上述阳极电极施加电压的阳极电源和被设置为与上述真空容器连通的离子泵，其特征在于具有相对于驱动上述离子泵的电源与上述离子泵串联连接的第1电阻。
2.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于驱动上述离子泵的电源是上述阳极电源。
3.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻的电阻值R1是上述离子泵的正常动作时的电阻值Ripm的0.05倍～20倍。
4.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻设置在上述真空容器的外部。
5.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻是形成于上述真空容器内部的薄膜。
6.根据权利要求1所述的图像显示装置，其特征在于上述真空容器具有排列有作为上述电子源的多个电子发射元件的电子源基板、和与该电子源基板对应配置且具有荧光膜和作为上述阳极电极的阳极电极膜的图像形成基板。
7.根据权利要求6所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻是在真空容器内部的上述电子源基板和上述图像形成基板中的至少一个基板上设置的薄膜。
8.一种图像显示装置，至少具有内置电子源和与该电子源对置的阳极电极且保持为减压的真空容器、向上述阳极电极施加电压的阳极电源和被设置为与上述真空容器连通的离子泵，其特征在于具有相对于驱动上述离子泵的电源与上述离子泵串联连接的第1电阻、和与上述离子泵并列连接的第2电阻。
9.根据权利要求8所述的图像显示装置，其特征在于驱动上述离子泵的电源是上述阳极电源。
10.根据权利要求8所述的图像显示装置，其特征在于上述第2电阻的电阻值R2是上述离子泵正常动作时的电阻值Ripm的0.01倍～1倍，上述第1电阻的电阻值R1是R2的0.5倍～10倍。
11.根据权利要求8所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻和上述第2电阻设置在上述真空容器的外部。
12.根据权利要求8所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻和上述第2电阻是形成于上述真空容器内部的薄膜。
13.根据权利要求8所述的图像显示装置，其特征在于上述真空容器具有排列有作为上述电子源的多个电子发射元件的电子源基板、和与该电子源基板对应配置且具有荧光膜和作为上述阳极电极的阳极电极膜的图像形成基板。
14.根据权利要求13所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻和上述第2电阻中的至少一个是在真空容器内部的上述电子源基板和上述图像形成基板中的至少一个基板上设置的薄膜。
15.根据权利要求13所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻和上述第2电阻中的至少一个是设置在配置于上述电子源基板和上述图像形成基板之间的隔片的侧面上的薄膜。
16.根据权利要求13所述的图像显示装置，其特征在于上述第1电阻和上述第2电阻，通过将在真空容器内部的上述电子源基板和上述图像形成基板中的至少一个基板上设置的薄膜顺序电连接于上述阳极电源、上述离子泵的阳极和地而构成。
全文摘要
在具备内置电子源进行图像显示的真空容器和与真空容器连通起来进行排气和减压的离子泵的图像显示装置中，具有相对于驱动离子泵的电源与离子泵串联连接的电阻。借助于此，在离子泵驱动时，即便是离子泵的内部电阻与动作状态相对应地进行数量级不同的变动，也因可以抑制消耗电流而可以效率良好地驱动离子泵。
文档编号H01J29/00GK1741240SQ200510096710
公开日2006年3月1日 申请日期2005年8月26日 优先权日2004年8月27日
发明者五福伊八郎, 神尾优, 津田尚德, 佐藤安荣, 岛田佳之, 三谷浩正, 清野和之, 西村孝司 申请人:佳能株式会社, 株式会社东芝