专利名称：等离子显示屏前基板的制作方法
技术领域：
本发明属于等离子显示屏平板显示技术领域，具体涉及一种等离子显示屏中前基板的制作方法。
背景技术：
近年来，作为大且薄的彩色图像显示装置的表面放电式交流型等离子显示面板(称作PDP)已经逐渐成为家用普及型消费品。
由于要保证像素开口率和使放电着火电压最低，这种三电极表面放电的彩色交流等离子显示屏在放电时对透明电极ITO薄膜层有所依赖，可是溅射透明电极ITO薄膜这种透过率好且导电的薄膜层成本较高。
为了不影响像素开口率和保证放电着火电压最低，就要使汇流bus电极满足一定的宽度，同时也要使汇流bus电极的x电极和y电极达到最佳的距离，但目前由于感光性汇流bus电极的材料极限造成了工艺的局限是当前最大的难题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种等离子显示屏前基板的制作方法，该方法在保证像素开口率和放电着火电压最低的条件下，解决了现有技术中由于使用透明电极ITO薄膜造成成本较高的问题。
本发明所采用的技术方案是，等离子显示屏前基板的制作方法，按以下步骤进行
首先将有孔汇流电极或T形汇流电极的电极图形光刻在前玻璃基板上；再用光刻法在已有电极图形的前玻璃基板上制作黑条；最后在制作好黑条的汇流电极图形上涂敷介质层和蒸镀保护层；所述将有孔汇流电极或T形汇流电极的电极图形光刻在前玻璃基板上包括以下步骤当采用有孔汇流电极时首先将经退火处理的前玻璃基板清洗后印刷感光性浆料，干燥，用被分解了有孔汇流电极图形的母版A曝光，然后显影、烧成；将经上述处理后有部分汇流电极图形的前玻璃基板再次清洗，印刷感光性浆料，干燥，用被分解了有孔汇流电极图形的母版B曝光，然后显影、烧成，即完成完整的汇流电极制作；或采用T形汇流电极时首先将经退火处理的前玻璃基板清洗后印刷感光性浆料，干燥，用被分解了T形汇流电极图形的母版C曝光，然后显影、烧成；将经上述处理后有部分汇流电极图形的前玻璃基板再次清洗，印刷感光性浆料，干燥，用被分解了T形汇流电极图形的母版D曝光，然后显影、烧成，即完成完整的汇流电极制作。
本发明的特点还在于母版A的电极图形组成为矩形的有孔汇流x电级图形和锯齿形有孔汇流y电级图形，有孔汇流x电级与有孔汇流y电级的间距为ha，所述母版B的电极图形组成为矩形的有孔汇流y电级图形和锯齿形有孔汇流x电级图形，有孔汇流y电级与有孔汇流x电级的间距为hb，ha与hb相等，取值为80um～160um。
母版C的电极图形组成为矩形的x电级图形和T形y电级图形，矩形的x电级和T形y电级的间距为ha，所述母版D的电极图形组成为矩形的y电级图形和T形x电级图形，矩形的y电级和T形x电级的间距为hb，ha与hb相等，取值为80um～160um。
本发明的方法不改变三电极表面放电彩色交流等离子体显示屏的放电原理，不影响像素开口率和保证放电着火电压最低的情况下，省略透明ITO电极，采用有孔汇流bus电极或T形电极，将有孔bus电极或T形电极用两块母版分步光刻的方法形成，使电极图形为两次光刻所形成图形的叠加，可控制x电极和y电极之间的宽度，也可以控制x电极和y电极的孔径大小。避开了材料极限所造成的工艺局限，保证了像素的开口率，降低了着火电压，降低了成本。
图1是本发明前基板采用有孔汇流电极的部分截面图；图2是本发明前基板采用有孔汇流电极的x电极和y电极的部分平面图；图3是本发明前基板采用有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后母版A的部分平面图；图4是本发明前基板采用有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后母版B的部分平面图；图5是本发明前基板采用T形汇流电极的x电极和y电极的部分平面图；图6是本发明前基板采用T形汇流电极的x电极和y电极被分解后母版C的部分平面图；图7是本发明前基板采用T形汇流电极的x电极和y电极被分解后母版D的部分平面图；
图8是本发明采用有孔汇流电极制作过程中基板与母版对位方法示意图，其中，a是有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后的母版A，b是有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后母版A曝光、显影后的图形，c是有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后的母版B，d是有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后经两次光刻后的图形。
图中，01.一个像素，30.前玻璃基板，32.有孔汇流x电极，33.有孔汇流y电极，34.黑条，35.介质层，36.保护膜，42.T形x电极，43.T形y电极，321A.A母版的部分x电级图形，331A.A母版的部分y电级图形，322B.B母版的部分x电级图形，332B.B母版的部分y电级图形，421C.C母版的部分x电级图形，431C.C母版的部分y电级图形，422D.D母版的部分x电级图形，432D.D母版的部分y电级图形。
具体实施例方式
下面结合附图和具体实施方式
对本发明进行详细说明。
本发明的等离子显示屏前基板的制作方法，按以下步骤进行首先，省略透明电极，采用有孔汇流电极或T形汇流电极，将有孔汇流电极或T形汇流电极的电极图形光刻在前玻璃基板30上；当采用有孔汇流电极时首先将经退火处理的前玻璃基板30清洗后印刷感光性浆料，干燥，用被分解了汇流电极图形的母版A曝光，然后显影、烧成，母版A的电极图形组成为矩形的有孔汇流x电级321A图形和锯齿形有孔汇流y电级331A图形，有孔汇流x电级321A与有孔汇流y电级331A的间距为ha；将经上述处理后有部分汇流电极图形的前玻璃基板30再次清洗，印刷感光性浆料，干燥，用被分解了汇流电极图形的母版B曝光，然后显影、烧成，母版B的电极图形组成为矩形的有孔汇流y电级332B图形和锯齿形有孔汇流x电级322B图形，有孔汇流y电级332B与有孔汇流x电级322B的间距为hb，控制ha与hb相等，取值为80um～160um，即完成完整的汇流电极制作；或采用T形汇流电极时首先将经退火处理的前玻璃基板30清洗后印刷感光性浆料，干燥，用被分解了汇流电极图形的母版C曝光，然后显影、烧成，母版C的电极图形组成为矩形的x电级421C图形和T形y电级431C图形，矩形的x电级421C和T形y电级431C的间距为ha；将经上述处理后有部分汇流电极图形的前玻璃基板30再次清洗，印刷感光性浆料，干燥，用被分解了汇流电极图形的母版D曝光，然后显影、烧成，母版D的电极图形组成为矩形的y电级432D图形和T形x电级422D图形，矩形的y电级432D和T形x电级422D的间距为hb，即完成完整的汇流电极制作，控制ha与hb相等，取值为80um～160um；再用光刻法在已有电极图形的前玻璃基板30上制作黑条34；最后在制作好黑条34的汇流电极图形上涂敷介质层35和蒸镀保护层36，即完成前基板的制作。
图1显示的本发明前基板采用有孔汇流电极的部分截面图。在前玻璃基板30上设置有多对有孔汇流x电极32和y电极33以及黑条34，有孔汇流x电极32由利用A母版光刻的部分x电极图形321A和利用B母版光刻的部分x电极图形322B叠加而成，有孔汇流y电极33由利用A母版光刻的部分x电极图形331A和利用B母版光刻的部分x电极图形332B叠加而成。
图2是本发明前基板采用有孔汇流电极的x电极和y电极的部分平面图。一个像素01包括有孔汇流x电极32和有孔汇流y电极33，有孔汇流x电极32和有孔汇流y电极33的间距为h。
图3是本发明前基板采用有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后母版A的部分平面图。A母版图形包括部分y电级图形和部分x电级图形，标注的321A和331A为露光部分，A母版的部分x电级图形321A与A母版的部分y电级图形331A之间的间距为ha。
图4是本发明前基板采用有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后母版B的部分平面图。B母版图形包括部分y电级图形和部分x电级图形，B母版的部分x电级图形322B与B母版的部分y电级图形332B之间的间距为hb。
本发明将有孔汇流bus电极图形采用两次光刻所形成叠加图形的方法，其目的是可以控制汇流bus电极的x电极32和y电极33之间的宽度，也可以控制有孔汇流x电极32和有孔汇流y电极33的孔径大小。通过改变有孔汇流x电极32和有孔汇流y电极33的宽度h，也就是控制ha和hb的宽度，ha为A母版的部分x电级图形321A与A母版的部分y电级图形331A之间的间距，hb为B母版的部分x电级图形322B与B母版的部分y电级图形332B之间的间距，ha和hb根据所作屏的分辨率不同而等间距变化，ha和hb保持相等，若增加x电极32和y电极33的宽度h，就要增加A母版的部分x电级图形321A和A母版的部分y电级图形331A的距离ha，同时增加B母版的部分x电级图形322B和B母版的部分y电级图形332B的距离hb；若增加x电极32和y电极33的孔径大小且保证h不变，也要增加A母版的部分x电级图形321A和A母版的部分y电级图形331A的距离ha，同时增加B母版的部分x电级图形322B和B母版的部分y电级图形332B的距离hb。ha和hb同时也受到h的制约，h由帕邢定律取得最佳值，也就是以XGA为例实验结论ha和hb的取值为80um～160um。
该方法避开了材料极限所造成的工艺局限，也就是说利用分步光刻的方法可以使有孔汇流x电极32和有孔汇流y电极33的孔径大小、有孔汇流x电极32和有孔汇流y电极33的宽度h达到20um～80um区间的任意数值。保证了像素的开口率，降低了着火电压，降低了成本。
图5是本发明前基板采用T形汇流电极的x电极和y电极的部分平面图。包括T形x电极42和T形y电极43。
图6是本发明前基板采用T形汇流电极的x电极和y电极被分解后母版C的部分平面图。母版C图形包括C母版的部分x电级图形421C和C母版的部分y电级图形431C。
图7是本发明前基板采用T形汇流电极的x电极和y电极被分解后母版D的部分平面图。母版D图形包括D母版的部分x电级图形422D和D母版的部分y电级图形432D。
T形汇流电极与有孔汇流电极制作方法相同，只是母版A和母版B为有孔汇流电极图形，母版C和母版D为T形汇流电极图形。
图8是本发明采用有孔汇流电极制作过程中基板与母版对位方法示意图。a是一对有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后的母版A，空心十字为母版上的对位标记，图形部分如图3所示，空心十字部分是露光的，也就是在曝光时光可以从此通过，照射在前玻璃基板30上的感光性汇流BUS电极的银浆料表面，使其固化。将此曝光后的基板显影后，形成与母版A对应的汇流BUS图形，同时在基板的四角上形成如图8b所示的实心十字对位标记，再经过烧成工序，为第二次用母版B曝光时对位做准备。
b是有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后母版A曝光、显影后的第一次光刻后一对不完整汇流电极的一部分图形，其中四角的实心十字为基板上的对位标记。
c是有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后的母版B，将图8b基板表面再印刷一层感光性的银浆料，保证基板图8b四角的十字对位标记裸露，将基板干燥后，用母版B的c图形曝光，此时曝光机的CCD对位系统会经过母版B的空心十字对位标记寻找基板上的实心十字对位标，寻找完成后会自动补偿，精确对位后开始曝光，光线经过如图4所示的露光部位322B、332B照射在图8b基板表面印刷的一层感光性的银浆料上，显影、烧成后，两次光刻形成的图形按照工艺参数准确的重叠在一起，形成所要的汇流BUS图形，如图8d所示。
d是有孔汇流电极的x电极和y电极被分解后经两次光刻后一对完整汇流电极的图形。也就是图4所示的汇流BUS电极图形。
若制作的母版为中心对称图形，则母版A与母版B用一块即可，例如用A母版，第一次光刻，那么在第二次光刻时将母版A顺时钟旋转180度角曝光即可。
权利要求
1.等离子显示屏前基板的制作方法，其特征在于，该方法按以下步骤进行首先将有孔汇流电极或T形汇流电极的电极图形光刻在前玻璃基板上；再用光刻法在已有电极图形的前玻璃基板上制作黑条；最后在制作好黑条的汇流电极图形上涂敷介质层和蒸镀保护层；所述将有孔汇流电极或T形汇流电极的电极图形光刻在前玻璃基板上包括以下步骤当采用有孔汇流电极时首先将经退火处理的前玻璃基板清洗后印刷感光性浆料，干燥，用被分解了有孔汇流电极图形的母版(A)曝光，然后显影、烧成；将经上述处理后有部分汇流电极图形的前玻璃基板再次清洗，印刷感光性浆料，干燥，用被分解了有孔汇流电极图形的母版(B)曝光，然后显影、烧成，即完成完整的汇流电极制作；或采用T形汇流电极时首先将经退火处理的前玻璃基板清洗后印刷感光性浆料，干燥，用被分解了T形汇流电极图形的母版(C)曝光，然后显影、烧成；将经上述处理后有部分汇流电极图形的前玻璃基板再次清洗，印刷感光性浆料，干燥，用被分解了T形汇流电极图形的母版(D)曝光，然后显影、烧成，即完成完整的汇流电极制作。
2.按照权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述母版(A)的电极图形组成为矩形的有孔汇流x电级图形和距齿形有孔汇流y电级图形，有孔汇流x电级与有孔汇流y电级的间距为ha，所述母版(B)的电极图形组成为矩形的有孔汇流y电级图形和距齿形有孔汇流x电级图形，有孔汇流y电级与有孔汇流x电级的间距为hb，ha与hb相等，取值为80um～160um。
3.按照权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述母版(C)的电极图形组成为矩形的x电级图形和T形y电级图形，矩形的x电级和T形y电级的间距为ha，所述母版(D)的电极图形组成为矩形的y电级图形和T形x电级图形，矩形的y电级和T形x电级的间距为hb，ha与hb相等，取值为80um～160um。
全文摘要
本发明公开了一种等离子显示屏前基板的制作方法，该方法包括将有孔汇流电极或T形汇流电极的电极图形光刻在前玻璃基板上、用光刻法在已有电极图形的前玻璃基板上制作黑条、在制作好黑条的汇流电极图形上涂敷介质层和蒸镀保护层，本发明的特点在于，分别用两块母版将有孔汇流电极或T形汇流电极图形光刻在前玻璃基板上来完成汇流电极的制作。本发明的方法省略了透明ITO电极，通过控制x电极和y电极之间的宽度或孔径大小，保证了像素的开口率，降低了着火电压，降低了成本。
文档编号H01J9/02GK1870205SQ20061004305
公开日2006年11月29日 申请日期2006年6月29日 优先权日2006年6月29日
发明者刘君民 申请人:彩虹集团电子股份有限公司