专利名称：一种用于离子注入机的高压自动放电装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种用于快速释放残余高压和静电的装置，用于离子注入机中高压仓或高压区机房架残余高压和静电释放，属于半导体设备领域。
技术背景离子注入机属于粒子加速器的一种，有部分设备处在一高电位工作区，其电位基本与加速能量相关，需要从高压区中快速释放残余高压以及由于高压而产生的静电，残余高压未释放可能会击伤工作人员。现在国内大多数离子注入机都是采用手持式接地放电棒，在高电位区工作的同时，必须手握接地放电棒以释放残余高压和静电。
实用新型内容本实用新型是针对手持放电棒操作使用不方便，安全可靠性不太高的缺点。设计能安全自动放电的开门自动连锁的气动放电装置。提高注入机的安全性和可靠性。
本实用新型通过以下技术方案实现一种高压自动放电装置，包括底板1，压块2，推块3，固定座4，放电杆5，盘头螺钉6，盘头螺钉7，内六角圆柱头螺钉8，气缸9，如图1所示。
所述的底板1是将整个放电装置固定在机房上，同时将压块2和固定座4固定在底板1上。
所述的压块2通过盘头螺钉6连接到底板1上，将放电杆5限制在底板1与压块2贴合面的孔内。
所述的固定座4通过盘头螺钉7连接在底板1上，固定座4做成剖分式，通过内六角圆柱头螺钉8将固定座4的上剖分块和下剖分块连接，中间留有圆孔，将气缸9固定在圆孔内。
所述的推块3通过螺纹与气缸9相连，当气缸9伸长时，推动放电杆5转动。
图1是本实用新型一种离子注入机的高压自动放电装置俯视图；图2是本实用新型一种离子注入机的高压自动放电装置主视图。
图中个部件介绍如下底板1，压块2，推块3，固定座4，放电杆5，盘头螺钉6，盘头螺钉7，内六角圆柱头螺钉8，气缸9。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。
当离子注入机高压区处于工作状态时，高压区门关闭，放电装置的气缸9伸出，通过推块3推动放电杆5转动，离开放电位置。当高压区门打开时，在气动连锁条件下气缸9放气，推块3退回，放电杆5在自重力作用下摆到与地线短接，放电。推块3用尼龙6做成，起到耐磨和绝缘作用。
本实用新型的高压自动放电装置由气缸行程转换为放电杆的转动，且能实现自动气动连锁控制。
权利要求1.一种用于离子注入机的高压自动放电装置，其特征在于，包括底板(1)，压块(2)，推块(3)，固定座(4)，放电杆(5)，盘头螺钉(6)，盘头螺钉(7)，内六角圆柱头螺钉(8)，气缸(9)；所述的底板(1)是将整个放电装置固定在机房上，同时将压块(2)和固定座(4)固定在底板(1)上；所述的压块(2)通过盘头螺钉(6)连接到底板(1)上，将放电杆(5)限制在底板(1)与压块(2)贴合面的孔内；所述的固定座(4)通过盘头螺钉(7)连接在底板(1)上，固定座(4)做成剖分式，通过内六角圆柱头螺钉(8)将固定座(4)的上剖分块和下剖分块连接，中间留有圆孔，将气缸(9)固定在圆孔内；所述的推块(3)通过螺纹与气缸(9)相连，当气缸(9)伸长时，推动放电杆(5)转动。
专利摘要本实用新型是一种用于快速释放残余高压和静电的装置，用于离子注入机中高压仓或高压区机房架残余高压和静电释放，包括底板、压块、推块、固定座、放电杆、盘头螺钉、内六角圆柱头螺钉和气缸组成。
文档编号H01J37/317GK2935709SQ20062000818
公开日2007年8月15日 申请日期2006年3月17日 优先权日2006年3月17日
发明者彭立波, 孙雪平, 何科峰, 文超 申请人:北京中科信电子装备有限公司