放电灯的制作方法

专利名称：放电灯的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在液晶、半导体、印刷基板等的曝光装置的光源
所使用的放电灯。尤其是涉及密封部被由钼(Mo)构成的金属箔密封的
箔密封构造的放电灯。
背景技术：
已知作为放电灯的供电构造，电极与埋设于密封管中的金属箔连 接，在金属箔的另一端连接外部引线，以达成导通。具有这种箔密封 构造的密封部的放电灯，会因为构成密封管的石英玻璃、与构成外部
引线的钼(Mo)或钨(W)的膨胀系数不同，导致在密封管与外部引线的外 周之间形成细微的间隙。因为该间隙的存在，大气会进入到金属箔或 外部引线的表面，亮灯时会大幅促进金属箔或外部引线的氧化。结果， 密封管会产生裂缝、金属箔会熔断等，放电灯的使用寿命变短。
作为解决该问题的手段，已知在JP特开2004-319177号公报所公 开的技术。如图6所示，在液晶投影仪所使用的放电灯中，在密封管2、 外部引线9和金属箔5的外周所形成的间隙中，充填由氧化铷(Rb20) 构成的密封材料22，在密封管2的外端部附着有以氧化硼与氧化铋 为主成分的低熔点玻璃20。通过这种构造，能将密封管2的外端面的 大气的进入口堵住而从外气阻隔外部引线9及金属箔5，能提升密封部 的耐热温度。并且，也能延长在高温状况下的使用寿命。
专利文献l: JP特开2004-319177公报
可是，在曝光装置的光源所使用的大型的放电灯中，即使是用上 述构造，也就是在密封管2、外部引线9与金属箔5的外周所形成的间
隙中充填密封材料22，且在密封管2的外端面附着低熔点玻璃20的构
造，仍会产生无法防止大气进入这样的问题。与液晶投影仪所使用的
放电灯相比，曝光装置的光源所使用的放电灯较大，所以在外部引线9
的外周所形成的间隙也变大。而且，曝光装置的光源所使用的放电灯，
其密封管2的外端面远离电极，即使放电灯点亮时温度也不会变得更 高。因此，低熔点玻璃20在放电灯点亮时也维持着软化点以下的温度， 而表面会产生细微的裂缝。
在曝光装置的光源所使用的大型放电灯，由于在低熔点玻璃20的 表面有细微的裂缝，所以只在密封管2的外端面附着低熔点玻璃20， 无法完全将在外部引线9的外周所形成的间隙予以密封，会因为外气 流入而导致金属箔5氧化。

发明内容
本发明鉴于上述问题，其目的在于提供一种放电灯，其在曝光装 置的光源所使用的放电灯中，用低熔点玻璃密封大气的进入口，能从 外气阻隔金属箔。
第1发明的放电灯，具有在发光管的两端连设有密封管而成的 放电容器、在上述发光管的内部配置的电极、在上述密封管的内部配 置的玻璃构件、在上述玻璃构件的外周面配置的金属箔、以及与上述 金属箔电连接且插通于外部石英管的贯穿孔中的外部引线，其特征在 于，在上述外部石英管的贯穿孔的内周面、与上述外部引线的外周面 之间所形成的间隙中，具有低熔点玻璃，在该贯穿孔的外端具有将该 贯穿孔扩张所设置的凹部。
第2发明的放电灯的特征在于，在第l发明中，上述凹部通过朝 上述贯穿孔的开口侧扩张的锥状面形成。
第3发明的放电灯的特征在于，在第l发明中，上述凹部通过在
上述贯穿孔的内表面设置台阶部而形成。
第4发明的放电灯的特征在于，在第1发明中，上述低熔点玻璃 是环状的固体物，通过在上述外部引线贯穿并且配置于上述石英管的 外端面的状态下加热熔融而形成。
第5发明的放电灯的特征在于，在第1发明中，上述低熔点玻璃 是环状的固体物，通过在上述外部引线贯穿并且配置于上述凹部的内 部的状态下加热熔融而形成。
第6发明的放电灯的特征在于，在第1发明中，上述密封管通过 形成为从上述外部石英管的外端面朝管轴方向突出，而形成该外部石 英管的外周壁。
第7发明的放电灯的特征在于，在第1发明中，在上述外部引线 的外周面，在相当于上述间隙的部位形成巻箔。
发明效果
根据第1发明的放电灯，通过在贯穿孔的外端具有将该贯穿孔扩 张所设置的凹部，能使低熔点玻璃进入到在外部石英管的贯穿孔的内 周面与上述外部引线的外周面之间所形成的间隙中，将大气的进入口 密封，从外气阻隔集电板以及与其焊接的部分的金属箔，能够防止氧 化。
根据第2或3发明的放电灯，通过朝贯穿孔的开口侧扩张的锥状
面、或在贯穿孔的内表面设置的台阶部，来形成凹部，从而能在贯穿 孔的轴方向上较长地形成低熔点玻璃，而能确实地将大气的进入口密 封，从外气阻隔集电板以及与其焊接的部分的金属箔，能够防止氧化。
根据第4发明的放电灯，通过使外部引线贯穿环状的固体物且配
置在外部石英管的外端面，而能容易地定位，通过在该状态下将其加 热熔融，而能用低熔点玻璃确实地密封间隙的开口部。
根据第5发明的放电灯，预先将低熔点玻璃充填在放电灯的凹部 的内部并加热熔融，所以能确实地用低熔点玻璃将间隙密封。
根据第6发明的放电灯，从外部石英管的外端面朝管轴方向突出 形成，而形成外部石英管的外周壁，从而当将低熔点玻璃加热熔融时， 不会产生朝密封管的外侧流出的滴液现象。
根据第7发明的放电灯，在外部引线的外周面，在相当于间隙的 部位形成巻箔，从而由石英玻璃构成的外部石英管、与由钩ov)构成的 外部引线不会直接接触。虽然石英玻璃与外部引线的线膨胀率不同， 仍能通过巻箔来抑制互相的缓冲。


图l是表示本发明的放电灯的概略构造的剖面图。
图2是表示本发明的放电灯的密封部的外端侧的放大剖面图。
图3是表示本发明的放电灯的密封部的外端侧的放大剖面图。 图4是表示本发明的放电灯的密封部的外端侧的放大剖面图。 图5是表示本发明的放电灯的密封部的外端侧的放大剖面图。 图6是表示现有的放电灯的密封部的外端侧的放大剖面图。
具体实施例方式
对本发明的第一实施方式加以说明。图1是表示放电灯的概略构 造的剖面图。
放电灯，具备例如由石英玻璃等光透过性材料构成的放电容器1， 该放电容器1具有约球形的发光管3、和在其两端连续而朝外侧延伸的 密封管2，在发光管3的内部相对向配置有例如分别由钨(W)构成的阳
极6及阴极7。在放电容器l内，分别以预定的封入量封入有作为发 光物质的水银、及作为用于辅助起动的缓冲气体的例如氙气。水银的
封入量例如在1 70mg/cmS的范围内、例如22mg/cm3，氙气的封入量 例如在0.05-0.5MPa的范围内、例如O.lMPa。
在放电容器1内，在前端固定有阳极6或阴极7的内部引线8于 密封管2内沿着其管轴延伸配设。内部引线8的另一端部被支承在大 致圆柱状的玻璃构件4上，该玻璃构件4配设在密封管2内，例如由 石英玻璃构成。向放电容器1的外部导出、即从密封管2的外端向外 侧突出延伸设置的外部引线9的一端部由玻璃构件4支承。
在玻璃构件4的外周面，沿着放电灯的管轴方向互相平行地配设 有互相在外周方向分离的多枚例如6枚带状的金属箔5。金属箔5， 例如可以由钨(W)、钽(Ta)、钌(Ru)、铼(Re)等的高熔点金属或其合金 所构成，而根据焊接的容易度、焊接热的传导性优异程度等理由，优 选由以钼为主成分的金属构成。各金属箔5，厚度例如为0.02 0.06mm， 宽度例如是6 15mm。此外在玻璃构件4的外部石英管13侧的端面， 设置有用于插入直径6mm的外部引线9的孔部。
各金属箔5的一端与内部引线8电连接，另一端与外部引线9电 连接。放电容器1中的密封管2与玻璃构件4隔着金属箔5焊接而形 成气密密封构造。保持用筒体10，是在插通有内部引线8的状态下支 承该内部引线8的例如石英玻璃制的筒状的内部引线支承构件，与放 电容器1的密封管2焊接。
对电连接状态具体说明，内部引线8在插通于保持用筒体10的状 态被支承，在内部引线8的密封部侧固定有金属板11，通过将金属箔 5焊接到金属板11，而将内部引线8与金属箔5电连接。插入到玻璃 构件4中的外部引线9在插通于外部石英管13的状态被支承，以从外 部石英管13的发光管侧的端面覆盖外周面的方式设置集电板12，通过
将金属箔5焊接到集电板12的外周面，而将外部引线9与金属箔5电 连接。
在该放电灯中，通过省略图示的亮灯电源在阳极6及阴极7的电 极之间施加高电压例如20kV，在电极间产生绝缘破坏，接着产生放电 电弧，放射出例如包含波长365nm的i线、波长435nm的g线的光。
图2是表示放电灯的密封部的外端侧的放大剖面图。
将朝外侧开口的有底筒状的集电板12在外部引线9贯穿其底部的 状态下固定在外部引线9上，在该集电板12的外周面分别焊接着各个 金属箔5的另一端部，从而经由集电板12将外部引线9与金属箔5电 连接。这里作为构成集电板12的材料，例如用钼(Mo)等。在集电板12 的内部空间中配设有在插通有外部引线9的状态对其进行支承的例 如石英玻璃制的筒状的外部石英管13。
集电板12的外周面与金属箔5，各自在重叠的部位是通过点焊等 方式焊接而电连接。当焊接时是将金属箔5压紧，所以有时焊接部分 的金属箔5会变薄。若焊接部分的金属箔5变薄，则在金属箔5流动 的电流的通路会变窄，所以与集电板12焊接的部分上的金属箔5容易 温度上升。在温度较高的部分金属箔5容易氧化，而通过氧化的进行 导致可成为电流通路的剖面积渐渐减少，所以电阻变大而温度又变得 更高。因为产生这种现象，所以与集电板12焊接的部分上的金属箔5 是最需要抑制氧化的部分。
通过隔着金属箔5将密封管2与玻璃构件4焊接而密封，而分隔 成发光空间与外气空间。玻璃构件4的外端侧成为外气空间，在外部 石英管13的贯穿孔16的内周面与外部引线9的外周面之间形成的间 隙30与外部连通。钨(W)或钼(Mo)等金属的热膨胀率、与石英玻璃的 热膨胀率相差约一位数，所以为了让金属能热膨胀，需要在金属与石
英玻璃之间设置间隙30。并且为了让由石英玻璃构成的外部石英管13
与由钨(W)构成的外部引线9不直接接触，而在外部引线9的外周面设 置由钼(Mo)构成的巻箔15并插通于外部石英管13。
在外部石英管13的约中央所设的贯穿孔16，形成有朝开口侧扩 张的锥状面17。形成锥状面17的部位，外部石英管13的内周与外部 引线9的外周的距离变大，成为将贯穿孔16的外端扩张所设的环状的 凹部14。凹部14沿着外部引线9的外周在轴方向上形成，其最大外径 大于贯穿孔16的内径。在外部石英管13的贯穿孔16的内周面与外部 引线9的外周面之间，形成有朝外部引线9的轴方向延伸的间隙30, 通过将贯穿孔16扩张而形成凹部14，使贯穿孔16的外端的间隙30的 空间变大。
为了防止因为大气通过间隙30进入而将集电板12与金属箔5及 其焊接部分上的金属箔5氧化，在外部石英管13的贯穿孔16的内周 面与外部引线9的外周面之间所形成的间隙30中充填低熔点玻璃20， 使其充满将贯穿孔16外端扩张所设的凹部14。低熔点玻璃20的目的 是要抑制外气流入，所以在密封管2的直径方向上切断的剖面中紧密 地配设，以将在贯穿孔16的内周面与外部引线9的外周面之间形成的 间隙30密封。低熔点玻璃20以氧化硼和氧化铋为主成分，其主成分 的合计重量为全体重量的70%以上。
在放电灯点亮时的外部石英管13的外端的温度是150~250'C。低 熔点玻璃20的软化点为420°C，所以即使在放电灯点亮时，低熔点玻 璃20仍不具黏性，在表面存在有细微裂缝。因为形成于低熔点玻璃20 的细微裂缝，而让大气流通于外部石英管13的外端侧与间隙30的内 部之间，必须形成为能够切实防止与集电板12焊接的部分上的金属箔 5暴露于外气。因此，低熔点玻璃20相对于形成细微裂缝的长度必须 形成为足够的厚度，在贯穿孔16的轴方向需要形成为至少横跨2mm。
通过具有将贯穿孔16的外端扩张所设的凹部14，在外部石英管
13的贯穿孔16的内周面与外部引线9的外周面之间形成的间隙30， 在贯穿孔16的外端变大，能将低熔点玻璃20有效地注入。通过注入 于该间隙30中的低熔点玻璃20，将大气的进入口密封，从外气阻隔与 集电板12焊接的部分的金属箔5，而能防止氧化。
在玻璃构件4与外部引线9的外周所形成的间隙30中，形成有没 有设置低熔点玻璃20的空隙21。通过使放电灯的输入功率增大、或縮 短密封部的轴方向的长度，放电灯的亮灯条件变严格的话，则外部石 英管13的外端侧也容易变得高温。在这种条件下，低熔点玻璃20在 亮灯时与灯灭时相比上升了 40(TC以上的温度，而会产生相当于该温度 差的量的热膨胀。而只要在低熔点玻璃20的周围预先设置空隙21的 话，则低熔点玻璃20在外部引线9的外周，会具有因为热膨胀而能膨 胀的空间余量，对玻璃构件4或周围的低熔点玻璃20不会造成负荷。
即使在这种条件下将放电灯点亮，低熔点玻璃20即使温度升高也 不过在450'C左右，低熔点玻璃20虽然会软化，却不会熔融。因此， 低熔点玻璃20会保持在当初所设的位置，空隙21不会被熔融的低熔 点玻璃20埋住。
图3是用于表示低熔点玻璃20的形成方法的、表示在制造途中的 放电灯的密封部的外端侧的放大剖面图。图3表示在间隙30没有形成 低熔点玻璃20的放电灯中将环状的固体物24插通于外部引线9的状 态。
固体物24是将固状的低熔点玻璃成形而成。在凹部14上配置环 状的固体物24，并将固体物24加热熔融时，低熔点玻璃会注入到从外 部石英管13的外端沿着连通的贯穿孔16所形成的间隙30中。在向轴 方向延伸的宽度狭窄的间隙30中，在间隙30的直径方向剖面将低熔 点玻璃紧密配置，很难密封成确实地防止外气流入。可是，由于是将
固状的固体物24熔化配置成为间隙30的盖子，所以容易维持低熔点 玻璃的气密性，能确实地抑制外气的流入。
通过形成凹部14，从外部石英管13的外端沿着贯穿孔16通过的 间隙30的开口部会变宽，所以容易将低熔点玻璃注入到宽度狭窄的间 隙30。熔融的低熔点玻璃能选择性地有效注入到在外部石英管13的外 端面19低一阶层的凹部14。使外部引线9贯穿环状的固体物24，并 配置在外部石英管13的外端面19，从而能容易地定位，通过在该状态 下将其加热熔融，而能通过低熔点玻璃确实地密封间隙30的开口部。
也可不使用上述固体物而设置低熔点玻璃200。例如，也有将熔 融的低熔点玻璃从密封管2的外端面19注入到在外部石英管13与外 部引线9的外周形成的间隙30中的方法。为了有效地将液体注入到很 小的间隙，将间隙30中的空气向外排出的同时将低熔点玻璃滴下。当 注入足够量的低熔点玻璃并通过自然冷却使其固化后，低熔点玻璃20 充填到在外部石英管13与外部引线9的外周形成的间隙30中。
接下来对本发明的第二实施方式加以说明。图4是表示放电灯的 密封部的外端侧的放大剖面图。
取代在外侧开口的有底筒状的集电板12，使用在中央形成贯穿孔 的集电盘18。在玻璃构件4与外部石英管13之间配置集电盘18，外 部引线9例如通过压入方式而固定在集电盘18的贯穿孔中。作为构成 集电盘18的材料，例如包括钽(Ta)、铌(Nb)、钨(W)、钼(Mo)等的高熔 点金属。集电盘18的厚度例如为l~5mm。
在集电盘18的外周面，各个金属箔5的另一端部在各自重叠的部 位通过点焊方式焊接而电连接。由于利用这种方法接合，所以其特征 是焊接部分的金属箔5容易变薄，温度容易上升。在温度较高的部分 金属箔5容易氧化，此外会因为氧化的进行而使可成为电流通路的剖
面积渐渐减少，所以电阻变大，温度变得更高。由于产生这种现象， 在使用集电盘18来导通的情况下，也是与集电盘18焊接的部分上的 金属箔5是最需要抑制氧化的部分。
以将集电盘18与金属箔5的接合部、及集电盘18的外端覆盖的 方式，配置有底圆筒状的由钼(Mo)构成的盖子23。通过设置盖子23， 能防止由石英玻璃构成的外部石英管13、与由金属构成的集电盘18直 接接触，并且防止集电盘18的外周端面的角部与密封管2抵接。由于 集电盘18不会与外部石英管13、密封管2直接接触，所以能防止在构 成外部石英管13、密封管2的石英玻璃上产生龟裂的情形。而盖子23 不是通过焊接等固定在集电盘18或金属箔5上，而是被保持为在外部 石英管13与集电盘18之间不会移动的程度。
在设于外部石英管13的大致中央的贯穿孔16中，在其内表面形 成台阶部25。贯穿孔16的直径比外部引线9的直径大0.5mm左右， 而贯穿孔16的比台阶部25更外端侧的直径，比贯穿孔16的直径大 0.5mm 3mm。贯穿孔16的比台阶部25更外端侧，外部石英管13的内 周与外部引线9的外周的分离距离变大，而成为将贯穿孔16的外端扩 张所设的环状的凹部14。凹部14沿着外部引线9的外周在轴方向上形 成，其外径大于贯穿孔16的内径。在形成间隙30的外部石英管13的 贯穿孔16的内周面与外部引线9的外周面之间，将贯穿孔16扩张而 形成凹部14，从而使贯穿孔16的外端的间隙30变大。
通过具有将贯穿孔16的外端扩张所设置的凹部14，在外部石英 管13的贯穿孔16的内周面与外部引线9的外周面之间形成的间隙30， 在贯穿孔16的外端变大，而能将低熔点玻璃20有效地注入，将大气 的进入口密封，从外气阻隔与集电盘18焊接的部分的金属箔5，而能 防止氧化。
接着，表示低熔点玻璃20的形成方法。在贯穿孔16的内表面形
成台阶部25的凹部14，是能将固状的低熔点玻璃成型的固体物配置在
凹部14的内部的程度，能采取较大的内部空间。于是在间隙30中没 有形成低熔点玻璃20的放电灯中，能在将环状的固体物插通于外部引 线9的状态下配置于凹部14的内部。作为固状的低熔点玻璃成型的固 体物，使用外径稍小于凹部14的直径、内径稍大于外部引线9的直径 的构件。当在凹部14的内部配置固体物并将其加热熔融后，用低熔点 玻璃20充满其与凹部14的内径之间、及其与外部引线9的外径之间， 紧密地配设低熔点玻璃20，进行密封以确实地防止外气流入。
低熔点玻璃成型的固体物，只要加热到其外表面熔融的程度，就 能通过低熔点玻璃20将间隙30的开口部密封，能够减低熔融的低熔 点玻璃20朝其它地方流出的情形。在使固体物在其外表面以外的部分 不熔融的状态下，能用作低熔点玻璃20，所以能有效地防止因为在加 热熔融时所产生的气孔造成大气进入的情形。由于是将固体物预先充 填在放电灯的凹部14的内部并将其加热熔融，所以能通过低熔点玻璃 20确实地将间隙30的开口部密封。
接着对本发明的第三实施方式来说明。图5是表示以使密封管2 从外部石英管13的外端面19突出的方式形成的放电灯的密封部的外 端侧的放大剖面图。
在第一实施方式所示的放电灯中，形成为使密封管2向管轴方向 外侧延伸，且从外部石英管13的外端面19向管轴方向突出，从而形 成外部石英管13的外周壁26。外周壁26具有使流动体不朝外部流出 而保持的缘部的功能。因此，即使通过图3所示的方法，在将固体物 24配置于外部石英管13的外端面19的状态下使其加热熔融，由于固 体物24配置于外周壁26的内侧，所以熔融的低熔点玻璃20不会越过 外周壁26而漏出，不会产生低熔点玻璃20流出到密封管2的外侧的 滴液现象。
并且为了确实防止金属箔5接触到大气而氧化，在将金属箔5的 表面、尤其是在与集电板12焊接的部分的金属箔5的表面，形成由铷
复合氧化物(Rb2Mo04)构成的密封材料22。密封材料22是包含了铷 (Rb)、钼(Mo)的铷复合氧化物(Rb2Mo04)，是在高温下也很稳定的化合 物，所以即使在放电灯亮灯时也不会与金属箔5反应，不会腐蚀金属 箔5。除了低熔点玻璃20之外，通过在与集电板12焊接的部分的金属 箔5的表面形成密封材料22，能有效地从外气阻隔金属箔5而防止其 氧化。密封材料22形成为在其与低熔点玻璃20之间保留有成为空隙 21的空间。
由铷复合氧化物(Rb2Mo04)构成的密封材料22，在将低熔点玻璃 20形成于间隙30之前，能如下设置。
将调整过浓度的硝酸铷(RbN03)的水溶液，适量从密封管2的外端 面19的间隙30滴下。将在间隙30充填有硝酸铷的水溶液的放电灯加 热到约15(TC并使其干燥，使水分蒸发而生成硝酸铷。所蒸发的水分放 出到放电灯的外部。进一步用氢燃烧器加热后，放出NOx气体并生成 氧化铷(Rb20)，在高温下与由钼(Mo)构成的金属箔5反应，而生成由铷 复合氧化物(Rb2Mo(X0构成的密封材料22。
硝酸铷(RbN03)的水溶液，例如以使浓度为2mol/L的方式调配纯 水和硝酸铷，而使硝酸铷溶解于纯水中形成。将硝酸铷的水溶液注入 以得到均匀的被膜，当量不够时，也能在干燥后追加注入。将注入与 干燥动作重复多次，则能在金属箔5的表面制作出由铷复合氧化物 (Rb2Mo04)构成的密封材料22的较厚的被膜。
上述说明所用的附图中，将实际的放电灯的密封部予以简化，且 为了图示而将将金属箔5的厚度等夸张显示。此外，图2所示的使用 集电板12的密封形状、与图4所示的使用集电盘18的密封形状，可 相互自由地选择。
本发明的放电灯也可在超过低熔点玻璃20的软化点的温度区域 使用。在超过软化点的温度区域，低熔点玻璃20没有细微裂缝，能防 止外气流入，所以低熔点玻璃20能更有效地产生作用。
权利要求
1.一种放电灯，具有在发光管的两端连设有密封管而成的放电容器、在上述发光管的内部配置的电极、在上述密封管的内部配置的玻璃构件、在上述玻璃构件的外周面配置的金属箔、以及与上述金属箔电连接且插通于外部石英管的贯穿孔中的外部引线，其特征在于，在上述外部石英管的贯穿孔的内周面、与上述外部引线的外周面之间所形成的间隙中，具有低熔点玻璃，在该贯穿孔的外端具有将该贯穿孔扩张所设置的凹部。
2. 如权利要求l所述的放电灯，其特征在于，上述凹部通过朝上 述贯穿孔的开口侧扩张的锥状面形成。
3. 如权利要求1所述的放电灯，其特征在于，上述凹部通过在上 述贯穿孔的内表面设置台阶部而形成。
4. 如权利要求l所述的放电灯，其特征在于，上述低熔点玻璃是环状的固体物，通过在上述外部引线贯穿并且配置于上述石英管的外 端面的状态下加热熔融而形成。
5. 如权利要求l所述的放电灯，其特征在于，上述低熔点玻璃是 环状的固体物，通过在上述外部引线贯穿并且配置于上述凹部的内部 的状态下加热熔融而形成。
6. 如权利要求l所述的放电灯，其特征在于，上述密封管通过形 成为从上述外部石英管的外端面朝管轴方向突出，而形成该外部石英 管的外周壁。
7. 如权利要求l所述的放电灯，其特征在于，在上述外部引线的 外周面，在相当于上述间隙的部位形成巻箔。
全文摘要
本发明提供一种放电灯，在曝光装置的光源所使用的放电灯中用低熔点玻璃密封大气的进入口，能从外气阻隔金属箔。本发明的放电灯，具有在发光管(3)的两端连设有密封管(2)的放电容器(1)、在上述发光管(3)的内部配置的电极(6、7)、在上述密封管(2)的内部配置的玻璃构件(4)、在上述玻璃构件(4)的外周面配置的金属箔(5)、以及与上述金属箔(5)电连接且插通于外部石英管(13)的贯穿孔(16)中的外部引线(9)，其特征在于，在上述外部石英管(13)的贯穿孔(16)的内周面、与上述外部引线(9)的外周面之间所形成的间隙(30)中具有低熔点玻璃(20)，在该贯穿孔(16)的外端具有将该贯穿孔(16)扩张所设置的凹部(14)。
文档编号H01J61/36GK101364523SQ20081014532
公开日2009年2月11日 申请日期2008年8月7日 优先权日2007年8月8日
发明者千贺岳人, 安田幸夫 申请人:优志旺电机株式会社