专利名称：一种扫描电子显微镜镜筒的内部绝缘结构的制作方法
技术领域：
本实用新型属实验、分析仪器设备制造技术领域，具体涉及一种扫描电子显 微镜的镜筒结构设计改造和高电压绝缘技术。
二背景技术：
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM或扫描电镜)于 1965年发明问世，其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发 出次级电子，次级电子由探测体收集并用闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管 和放大器转变为电信号来控制焚光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫 描图像。扫描电子显微镜的特点是景深大，可获得三维图像，图像分辨率可达 6~10纳米，能用来对样品的形貌、成分、结晶学及其它性质进行观察和分析， 样品不需专门制备，原始状况不会受到破坏，是认识微观世界、进行科学研究和 产品研发所必备的现代化大型精密仪器。我国自二十世纪80年代开始，从国外 购买引进大批扫描电镜，这些设备在提高我国的科研水平和发展国民经济中起到 了很大的推动作用。
扫描电镜由真空系统，电子束系统以及成像系统三大部分组成，成像系统和 电子束系统均内置在真空柱中，电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主 要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像，电磁透 镜需要使用高达数万伏的直流电压驱动。
但是，由于设计和材料等方面的原因，现有扫描电镜经过一段时间(约5~ IO年)使用后，装有高压控制组件的镜筒内部绝缘材料开始老化、绝缘性能下 降，以致镜筒内产生高压放电，严重干扰扫描电镜的正常工作，轻则在荧光屏上 出现黑色不规则横向条紋，影响电镜的分析质量甚至无法成像，重则损坏镜筒内 的电子光学部件，甚至造成高压电源击穿。因此，扫描电镜镜筒的使用寿命普遍 较短，由生产厂家进行的维修或更换，不仅费用高昂(约为电镜总值的1/5左 右)，且修理时间较长，严重影响正常工作。
三、 发明内容
本实用新型的设计目的是改造原有电镜镜筒的内部结构，提高镜筒的内部绝 缘性能。
本实用新型的技术解决方案为 一种扫描电子显微镜镜筒的内部绝缘结构， 其特征是在填充胶6和隔离筒4之间增加一个胶片层9 ，并在隔离筒4的下部增 加一个绝缘垫圈7。胶片层9的材料为普通感光胶片片基，绝缘垫圏7的材料为聚四氟乙烯。 为了达到更好的绝缘效果，将原用的填充胶6改用室温硫化硅橡胶。 具体改造方法在实施例中详细叙述。
四
图1为改造后的电镜镜筒结构示意图。图中1为镜筒外壳，2为连接电缆，3 为灯丝电源控制电路板，4为隔离筒，5为高压控制组件，6为填充胶，7为绝缘 垫圏，8为灯丝座，9为月交片层。
五具体实施方式
菲利浦SEM 505型扫描电子显微镜，使用不到10年后，装有高压控制组件 的镜筒绝缘材料开始老化、绝缘性能下降，以致镜筒内产生高压^L电，靠近镜筒 甚至能听到内部的放电声，严重干扰扫描电镜的正常工作。
改造方法
取出高压控制组件5,清除原有的变质填充胶6,清除时注意保护好高压控 制组件5内的元器件，以防损坏。然后将高压控制组件5置于80'C烘箱内12小
时；
在隔离筒4的内部增加一个胶片层9,用8 ~ 10层感光胶片片基巻成； 隔离筒4的底部增加一个绝缘垫圏7，绝缘垫圏7的厚度为12mm,材料为聚 四氟乙烯；
高压控制组件5经烘干处理后，用国产704胶(单组份室温硫化硅橡胶，约 需500克)，代替原有的填充胶6均匀填充于高压控制组件5和胶片层9之间， 注意应将胶液均匀灌入高压控制组件5的内部空隙处。
待填充胶6全部固化后，装上电镜镜筒下部的灯丝座8，扫描电镜即可重新 恢复正常使用。
有益效果经过以上改造后的菲利浦SEM 505型扫描电镜镜筒，绝缘性能明 显上升，安装使用几十年，目前仍能正常工作，镜筒部件的使用寿命可延长10 年以上。
权利要求1. 一种扫描电子显微镜镜筒的内部绝缘结构，其特征是在填充胶(6)和隔离筒(4)之间增加一个胶片层(9)，并在隔离筒(4)的下部增加一个绝缘垫圈(7)。
2. 如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜镜筒的内部绝缘结构，其特征 是填充胶(6 )采用室温疏化硅橡胶。
3. 如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜镜筒的内部绝缘结构，其特征 是胶片层(9)的材料为普通感光胶片片基。
4. 如权利要求1所述的一种扫描电子显微镜镜筒的内部绝缘结构，其特征 是绝缘垫圏(7)的材料为聚四氟乙烯。
专利摘要一种对已有扫描电子显微镜镜筒内部绝缘的结构改造，其特征是在高压控制组件外的填充胶和隔离筒之间增加了一个胶片层，并在隔离筒的下部增加一个绝缘垫圈，填充胶改用室温硫化硅橡胶。经过以上改造后的扫描电镜镜筒，内部绝缘性能明显上升，使用寿命可延长10年以上。
文档编号H01J37/28GK201238024SQ20082003821
公开日2009年5月13日 申请日期2008年7月11日 优先权日2008年7月11日
发明者吉永安, 徐柏生, 静 杨 申请人:南京林业大学