专利名称：：可变孔隙粒子分析仪的制作方法
技术领域：
：可变孔隙粒子分析仪
技术领域：
：本实用新型涉及粒子分析仪，尤其涉及一种可变孔隙粒子分析仪。
背景技术：
：在半导体芯片生产制造过程中，经常会使用到各种粒子流，比如在离子注入、离子刻蚀等工艺中，都需要使用特定的高速粒子流对目标硅片进行轰击。而在对粒子流进行必要的分析检测的时候经常会用到一种设备SRA(selectableresolveaperture)，也称之为寿立子分^H义。粒子分析仪主要由入射粒子源1、偏转磁场2、孔隙板3组成，其工作原理是，利用偏转磁场对带电粒子流的电磁偏转作用，将不同质量的带电离子的轨迹分离。如图1所示，入射粒子源1将待分析的离子束射入偏转》兹场2，由于偏转磁场对于带电离子的作用，其运动轨迹必然由直线发生偏转，其偏转半径r取决于离子的质量，所以对于不同的离子，其偏转半径不同，经过偏转磁场2后，入射孔隙板3的位置也将不同，从而实现了离子束的轨道分离，当需要对于特定离子进行分析的时候只需要根据粒子流速度、磁场强度等固定参数计算其偏转半径r，入射孔隙板3对应的砚孔即可，挡住其他离子，避免分析时的交叉离子污染。现有的可选择粒子分析仪，其孔隙板3总是固定设置，比如在半导体制程中，一般对应常用的离子流As/PB/BF2，设有3个砚孔。每个砚孔的缝宽d根据分析仪的需要通过的离子流设置。设3有固定缝宽砚孔的孔隙板3无法满足其他粒子流的分析需要，而为此更换孔隙板将造成浪费和使用率低下的问题。所以需要一种可变孔隙的粒子分析仪来满足更多种粒子分析需要。
实用新型内容本实用新型的技术目的在于提供一种可变孔隙粒子分析仪，以解决现有的粒子分析仪，使用固定砚孔缝宽的孔隙板无法满足多种粒子流的分析需要的问题。本实用新型所述的可变孔隙粒子分析仪，包括入射粒子源、偏转i兹场、孔隙板，其特征在于所述孔隙板为长方形板状，板面上设有至少一个方形砚孔，在孔隙板上还设有至少一活动挡板，可在孔隙板的板面上滑动。作为优选方案，在于所述方形孔隙板两对应侧的边缘设有导轨，挡板可沿两对应侧的导轨在孔隙板板面上滑动。且将挡板设为方形，板宽大于砚孔的缝宽，以便挡板在孔隙板板面上滑动时，能够完全覆盖并挡住砚孔。作为优选方案，将所述挡板通过一绝缘的连杆与滑动变阻器的滑片固定连接，可实现对挡板位置的监测与调节。本实用新型所述的可变孔隙粒子分析仪，在孔隙板上设置可滑动的挡板，使用滑动变阻器控制挡板的精确移动，通过改变滑动挡板的位置，精确调节砚孔的缝宽大小。得以实现在粒子分析中，可根据实际需求选择通过不同的带电粒子，而无需更换孔隙板的目的。其选择灵活，配置简单。图1为现有的粒子分析仪的工作原理图2为本实用新型所述粒子分析仪的孔隙板可调节示意图。具体实施方式下面结合说明书附图对本实用新型的一个具体实施例作详细说明。本实用新型所述的可变孔隙粒子分析仪，在入射粒子源以及偏转磁场上与现有的磁场分析仪没有什么不同，但改进了起阻挡、分离粒子污染作用的孔隙板，如图2所示，本实用新型所述的粒子分析仪，其孔隙板3为长方形板状，板面设有方形砚孔3-1，在孔隙板3对应的两侧边缘还装有导轨7;一方形的挡板6设置于孔隙板3上，与导轨7连接，并沿着导轨7在板面上滑动(图中的左右方向)。挡板6的板宽D大于方形砚孔的缝宽d,这样挡板6在滑动时，可以完全覆盖遮挡砚孔3-l，使得砚孔的缝宽在Q-d之间调节，且可以根据粒子的偏转位置，选择从石见孔的左右两侧之一遮挡。可选的，本实施例还可以在孔隙板上设置一个以上的砚孔，通过挡板6的移动，调整砚孔的缝宽和位置。可选的，本实施例还可以在孔隙板上设置多个可沿导轨滑动的挡板，分别调整多个石见孔的缝宽以及位置。由于砚孔的缝宽存在，通过孔隙板3的粒子流，总是保持一定的质量范围，根据待分析的入射粒子流实际需要以及计算结果，使用挡板选取通过的石见孔和缝宽作为优选方案，将挡板6通过一绝缘的连杆5与滑动变阻器4的滑片固定连接，这样可以通过控制滑动变阻器4，精确调节挡板6的位移。从而实现对挡板位置的监测，进一步控制孔隙板对粒子的选择通过作用。同样还可以在孔隙板上设置多个由滑动变阻器控制的挡板，共同调节孔隙板的砚孔，起到选择、分离、通过多条粒子束的作用。以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案。不脱离本实用新型精神和范围的任何修改或局部替换，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。权利要求1、一种可变孔隙粒子分析仪，包括孔隙板，其特征在于所述孔隙板的板面上设有至少一个方形砚孔；还设有至少一挡板，在板面上滑动。2、如权利要求1所述的可变孔隙粒子分析仪，其特征在于所述孔隙板为长方形，对应的两侧边缘设有导轨；所述挡板也为长方形，与导轨滑动连接。3、如权利要求2所述的可变孔隙粒子分析仪，其特征在于所述挡板的板宽大于砚孔的缝宽。4、如权利要求2或3所述的可变孔隙粒子分析仪，其特征在于所述挡板通过一连杆与滑动变阻器的滑片固定连接。5、如权利要求4所述的可变孔隙粒子分析仪，其特征在于所述连杆为绝缘连杆。专利摘要本实用新型提供了一种可变孔隙粒子分析仪，包括入射粒子源、偏转磁场、孔隙板，其特征在于所述孔隙板为长方形板状，板面上设有至少一个方形砚孔，在孔隙板上还设有一活动挡板，沿方形孔隙板边缘的导轨在板面上滑动。通过改变滑动挡板的位置，精确调节砚孔的缝宽大小。得以实现在粒子分析中，可根据实际需求选择通过不同的带电粒子，而无需更换孔隙板的目的，选择灵活，配置简单。文档编号H01J49/26GK201282105SQ20082015425公开日2009年7月29日申请日期2008年10月21日优先权日2008年10月21日发明者张进创,蒙王,逄锦涛,阳厚国申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司