光照射装置的制作方法

专利名称：光照射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在半导体元件、印刷基板或液晶基板等的制造用的曝光装置中使用的
光照射装置，特别是关于具备多个灯的光照射装置。
背景技术：
作为在半导体元件、印刷基板或液晶显示基板的曝光装置中所使用的光源，一直以来主要使用从数kw至数10kw的大型的超高压水银灯。这些光源可靠性也较高，从以前开始就被使用。 近年来，液晶显示基板和印刷基板的大面积化发展，随之在曝光装置中也期望光照射区域的扩大，曝光用光源也被要求大型化。 作为具备大型的曝光用光源的光照射装置，例如专利文献1那样，提出一种光照射装置，由多个灯和对从该灯放射的光进行反射的反射镜(聚光镜)来构成光源。
图9表示专利文献1所记载的现有光照射装置的构成。 作为光源10例如使用2个灯la、lb及聚光镜2a、2b。 2个聚光镜2a、2b被配置为各自的第2焦点一致。 图10是表示图9所示的光源10的构成的图。如该图所示，聚光镜2a、2b被配置为，将其一部分相对于聚光镜2a、2b的光轴L倾斜地切取，使该切取的切断面S相互平行，而共有聚光镜2a、2b的第2焦点f 。 返回图9，来自光源10的光，由第1平面镜3折返，并入射至被放置于聚光镜2a、2b的第2焦点位置的积分透镜(integrator lens) 4。通过积分透镜4调整为在光照射面8上的照度分布均匀的光为，经由快门5并由第2平面镜6折返，通过准直透镜7使中心光线成为平行，而照射到光照射面8。 在具备由多个灯和聚光镜构成的光源的光照射装置中，如图10所示那样将聚光镜的一部分切口地配置的理由为，不使照射在光照射面8上的光的准直角(视角)e变大，而能够提高光的利用效率，并提高光照射面8上的照度。
专利文献1 :日本特开2004-245912号公报
专利文献2 :日本特开2008-83586号公报 但是，如图10所示，当将聚光镜切口地并列时，在相邻接的灯与灯之间，没有将彼此遮住的部件。 因此，可以认为，假设在点灯中1个灯产生破裂这种不良情况时，该破裂的灯的碎
片到达相邻的灯，根据情况不同会引起伤及其他灯这种二次的不良情况。 为了防止该不良情况，考虑到在并列配置的聚光镜及聚光镜之间设置隔壁，即使
例如灯破裂，其碎片也不会到达相邻的灯。 例如，在专利文献2记载的曝光用光源中，虽然设置的目的不同，但示出在聚光镜与聚光镜之间设置隔壁的情况。 但是，作为隔壁仅将板状部件配置在聚光镜之间，会产生以下的问题。
图11是表示对用作为隔壁的板状部件施加的力的图。 如图11(a)所示，当在聚光镜与聚光镜之间配置一个板状的部件100时，板状部件100为，在灯点灯中被从灯1被放射的光B加热，接近灯1的中央部(图中圆包围的斜线部)101成为高温，结果，中央部101产生要朝向外侧膨胀的力Fl。 另一方面，远离灯1的板状部件100的周边部102，与中央部101相比温度上升较少，热膨胀的量也小。 因此，如图ll(b)所示，在中央部101产生的要膨胀的力F1，被从不太膨胀的周边部102按压，中央部101从周边部102受到相反地压縮的力F2。因此，在中央部101产生相对于板状部件100的平面正交的方向的力F3，结果，中央部101产生向相对于板状部件100的平面正交的方向膨胀(翘曲)的被称为"压曲"的变形。 如上所述，在光照射装置的光源中，作为隔壁的板状部件配置在聚光镜与聚光镜之间。但是，为了减少来自灯的光不被反射的成分，配置该隔壁的聚光镜与聚光镜的间隔，优选尽可能窄。 因此，可以认为，在该狭窄的场所，当隔壁即板状部件产生压曲的变形时，变形的板状部件按压聚光镜的边缘并损伤聚光镜，根据情况不同会产生破损。

发明内容
本发明是考虑上述问题点而进行的，本发明的目的是提供一种光照射装置，在具备多个灯及反射镜的光照射装置中，在反射镜与反射镜之间设置隔壁的情况下，隔壁不会产生向相对于隔壁的平面正交的方向膨胀的变形(压曲)。 为了解决上述课题，在本发明中为一种光照射装置，具备多个灯；反射镜，设在该多个灯的各自的周围，对来自各灯的光进行反射；以及隔壁，设在该反射镜与反射镜之间；其特征在于，该隔壁具备在长度方向上对齐地并列的多个长方形状的板状部件；和对该多个板状部件进行支持的支柱；板状部件相对于支柱安装为，容许热膨胀导致的板状部件沿着长度方向的伸縮(移动)。 将板状部件支持在支柱上的具体方法如下所示。 在将板状部件配置为横长的情况下，在板状部件上形成沿着其长度方向的长孔。然后，将螺钉或销插入该长孔，并将插入的螺钉或销固定在支柱上，由此将板状部件支持在支柱上。 或者，在支柱上形成沿着板状部件的长度方向的长 L。然后，将螺钉或销插入该长
孔，并将插入的螺钉或销固定在板状部件上，由此将板状部件支持在支柱上。 通过如此进行支持，板状部件能够与形成在板状部件或支柱上的长孔相应、在其
长度方向上相对于支柱进行热膨胀因此的移动。 并且，在将板状部件纵长地配置的情况下，将其上端安装在支柱上，下端不固定。板状部件，能够在其长度方向即重力方向上进行热膨胀引起的移动。 另外，优选在长度方向上对齐地并列的板状部件，无论是在横长地配置的情况下，还是在纵长地配置的情况下，在与相邻的板状部件之间都形成间隙而支持在支柱上。
并且，在上述的光照射装置中，在作为光源而使用4个灯及反射镜的情况下，使隔壁在中央交叉而配置成十字型，在由该隔壁形成的4个象限中，设置各灯及对来自该灯的光进行反射的反射镜。 并且，在上述的光源中，各反射镜是将90°方向的2处切口 ，并将切口的部分彼此相对地配置，隔壁配置在该切口与切口之间。
发明的效果 在本发明的光照射装置中，在对来自灯的光进行反射的反射镜与反射镜之间设置的隔壁的、形成壁面的板状部件，由在长度方向上对齐地并列的多个长方形状的板状部件构成，由此使每一个板状部件的宽度变窄，减少各板状部件的宽度方向的温度差。由此能够将板状部件由于热膨胀而较大地延伸的方向，限定在板的长度方向上。 并且，将各板状部件安装为，相对于分别支持板状部件支持的支柱，容许热膨胀引起的向长度方向的延伸，因此，在灯点灯中，板状部件不会产生向相对于自身的平面正交的方向膨胀的变形(压曲)。 因此，即使将隔壁设在反射镜与反射镜之间的间隔较窄的部分，也不会损伤反射镜。 并且，使板状部件与相邻的板状部件之间形成间隙地安装在支柱上，由此在各板状部件热膨胀时，在相邻的板状部件中热膨胀的量(伸縮的长度)不同，但是相互不会磨擦，能够防止产生灰尘。并且，还作为对于板状部件向宽度方向的膨胀的余地起作用。
另外，在使用4个灯及聚光镜的光照射装置中，使隔壁交叉而配置成十字型，由此在将形成隔壁的长方形状的板状部件横长地配置的情况下，特别是在板状部件的一端侧(隔壁交叉一侧的相反侧)，容易形成板状部件由于热膨胀而能够延伸的自由的空间。
并且，上述的光照射装置的情况下，反射镜如果是将90°方向的2处切口 ，并使切口彼此相对地配置，则4个的反射镜成为相同形状并能够共通化。由此能够实现装置整体的成本下降。


图1是表示本发明的光照射装置的概略构成的图。图2是表示隔壁的第1实施例的构成的图。图3是将卡片板支持在支柱上的部分放大显示的图。图4是将隔壁适用在4灯式的光源的光照射装置中的图。图5是表示安装在4灯式的光源中的隔壁的图。图6是模式地表示灯点灯时的隔壁的状态的图。图7是表示第1实施例所示的隔壁的变形例的图。图8是表示周壁的第2实施例的图。图9是表示现有的光照射装置的构成的图。图10是表示图9所示的光源的构成的图。图11是表示对隔壁的板状部件施加的力的图。符号说明la、lb、lc、ld :灯2a、2b、2c、2d :聚光镜(反射镜)20 :隔壁
5[OO55] 21 :卡片板(长方形状的板状部件) 22、23、24、25 :支柱 30 :贯通孔 40 :螺钉 50 :销
具体实施例方式
图1是表示本发明的光照射装置的概略构成的图。另外，对于与图9相同者赋予 相同符号。 与图9的不同点为，在由多个灯构成的光源的聚光镜与聚光镜之间设置有隔壁 20，其他构成基本上相同。 图2是表示图1所示的隔壁的第1实施例的构成的图。 如该图所示，隔壁20包括多个(图中为8个)细长的长方形状的板(以下称为 卡片板)21 ;和在两端支持该多个卡片板21的2个支柱22、23。 用于防止灯破裂时的碎片到达相邻的灯的壁面的部分，通过将该卡片板的长度方 向为横向地对齐、并在上下方向上并列多个来构成。另外，在该图中，在壁面的下部还表示 出对支柱进行固定的框架。 卡片板21为，能够耐受来自灯的光的加热(推定的到达温度为400°C 600°C )， 且是比较便宜的素材，所以采用不锈钢板。 并且，当在卡片板21中残留有加工引起的内部应变时，容易发生压曲(翘曲)、且 其变形量也变大，因此用作为卡片板的不锈钢板进行退火(annealing)而除去应变。
另外，本实施例中的1个卡片板21的大小为，长度600mm，宽度30mm，厚度6mm。
在此，卡片板21的长度设计为，与形成于聚光镜上的切口的长度相对应，并为切 口的长度以上。 并且，厚度设计为，破裂的灯的碎片与卡片板碰撞时，计算该碎片不会穿过卡片板 的厚度。 并且，宽度设计为，在卡片板的厚度为上述厚度时，计算不产生在宽度方向上产生 压曲那样的温度分布的距离。 图3是将卡片板21支持在支柱22、23上的局部放大图。 如该图所示，在卡片板21的长度方向的端部，形成沿着其长度方向的长孔的贯通 孔30，将螺钉40或销50插入该贯通孔30。然后，将插入的螺钉4o或销50固定在支柱22、 23上。由此卡片板21被支柱22、23支持。 另外，如后所述，在卡片板21的两端形成贯通孔30的情况下，不需要使双方为长 孔，仅使形成于某一端的贯通孔为长孔即可。 图3(a)及图3(b)是表示通过螺钉40将卡片板21安装在支柱23上的例子的图。 图3(a)是其立体图，图3(b)是其剖面图。 在支柱23上形成支持卡片板21的螺钉40的螺纹孔60，并且在卡片板21上形成 贯通孔30。卡片板21在长度方向上热膨胀，因此贯通孔30考虑该热膨胀的量，成为在卡片 板21的长度方向上为数毫米长的长孔。
接着，在螺钉40的轴41上放入弹簧垫圈42及平垫圈43之后，通过被称为轴环44
的筒状的部件，并与该轴环44 一起将螺钉40插入贯通孔30，而螺纹固定在支柱23上。轴
环44比卡片板21的板厚(6mm)高，且贯通孔30的直径比轴环44的外径大。 螺钉40被紧固到垫圈42、43接触轴环44为止。如上所述，轴环44比卡片板21
的板厚高，所以卡片板21不会相对于支柱23完全被固定。卡片板21相对于支柱23被支
持为，容许形成的贯通孔30的长孔量的、热膨胀引起的伸縮的移动。 图3(c)是表示通过销50将卡片板21安装在支柱22上的例子的图。 在该例子中，支柱22为"- "字(U字)型，在两侧形成供销50通过而进行固定的
销孔70。在卡片板21上形成贯通孔30，但该贯通孔30与上述同样，考虑卡片板21的热膨
胀引起的伸縮，成为在卡片板21的长度方向上为数毫米长的长孔。 将卡片板21插入支柱22的"-"字(U字)的凹部71，按照支柱22的一个销孔 70 —卡片板21的贯通孔30 —支柱22的另一个销孔70的顺序通过销50。
另外，支柱22的"- "字(U字)的凹部71的宽度，比卡片板21的厚度稍大。并 且，"- "字(U字)较深地形成，以便卡片板21的长度方向的侧面，不与支柱22的"- "字 (U字)的底面碰撞。 如此，与上述使用螺钉的例子同样，卡片板21相对于支柱22未完全地固定，卡片 板21相对于支柱22被支持为，容许形成的贯通孔30的长孔量的、热膨胀引起的伸縮。
另外，作为将卡片板21的两端支持在支柱22、23上的方法，可以是两端都使用螺 钉或两端都使用销，也可以是一方使用螺钉而另一方使用销。 另外，如上所述，在如本实施例那样，使卡片板21横长地并列，并通过支柱22、23 支持其两端的情况下，不需要使形成于卡片板21的两端的供螺钉40或销50通过的贯通孔 30双方都为长 L。至少一端的贯通孔30是与卡片板21的热膨胀引起的伸縮相当的长度的 长孔即可。 如上所述，使多个卡片板21分别独立，而将多个长度方向对齐并在上下方向上并
列地安装在支柱22、23上。由此，各卡片板21与相邻的上下的卡片板相独立，而能够进行
热膨胀引起的伸縮，并且还能够每次一个地进行安装、拆卸。 并且，将卡片板21向上并列到未切除聚光镜时的周缘的高度为止。 在本实施例中，如图2所示，并列(堆高)有8个卡片板。由此，假设即使l个灯
破裂，其碎片也会被隔壁遮挡，不会到达相邻的灯。 图4是将如此构成的隔壁20适用于4灯式光源(具备4个灯la、lb、lc、ld及将
来自各灯的光反射并聚光的聚光镜2a、2b、2c、2d的光源)的光照射装置的图。 并且，图5是表示安装在4灯式光源中的隔壁的图，是从图4将灯及聚光镜去除的图。 如图5所示，在4灯式光源中，使4个隔壁在中央交叉而配置成十字型。并且，如 图4所示，在通过交叉为十字型地配置的隔壁产生的、被分割为90°的4个象限中，每个象 限1个地配置灯la、lb、lc、ld和将从该灯放射的光反射并聚光的反射镜(聚光镜)2a、2b、 2c、2d。 各聚光镜2a、2b、2c，2d为，将90。方向的2处切口 ，并将切口的部分彼此相对地配 置。由此，与不将聚光镜切口的情况相比，灯彼此接近，将4个灯及聚光镜看作为一个光源时的亮度变高，如上所述，不增大准直角(视角)e ，就能够提高光的利用效率。 并且，通过将灯及聚光镜如上述那样地配置，4个聚光镜2a、2b、2c、2d都是成为切 口在相同方向且为相同形状，作为部件能够共通化。由此，能够实现装置整体的成本下降。
并且，隔壁20配置在这些聚光镜2a、2b、2c、2d的切口与切口之间。聚光镜彼此的 间隔，当较大时，来自灯的光之中不被反射的成分变多相应量，因此优选尽可能窄，在本实 施例中为约14mm。 在本实施例中，如图5所示，对隔壁20的卡片板21进行支持的支柱22、23，在中央 设置1个、在周边部设置4个。在中央的支柱22上，以朝向4个方向延伸的方式安装卡片 板21的一端，卡片板21的另一端安装在设在周边部的支柱23上。由此构成交叉为十字型 的隔壁。 另外，通过如此将4个隔壁20交叉为十字型地配置，各隔壁20的卡片板21，在由 于热膨胀而延伸时，不能够向4个隔壁20相接的内侧(中央的支柱22的方向)延伸，但是 容易形成能够向外侧方向(周边部的支柱23的方向)延伸的自由的空间。
因此，在为了将卡片板21固定在支柱22、23上而形成的贯通孔30之中，使中央的 支柱22侧的贯通孔不为长孔，而仅使周边部的支柱23侧的贯通孔为长孔，而使卡片板21 在热膨胀时向外侧延伸。另外，长孔的形状是考虑卡片板21的热膨胀的伸縮而形成的。
图6是模式地表示灯点灯时的隔壁的状态的图，使用该图说明灯点灯时的由卡片 板构成的隔壁的状态。在该图中，隔壁的壁面由用A至E表示的5个卡片板构成，省略表示 支柱。 当灯进行点灯时，卡片板A E的中央部(接近灯的部分)上升到约40(TC至 60(TC。在该图中，各卡片板的温度变高的部分用斜线表示。接近灯的发光点的中央的卡片 板C为，温度变高的区域较大，其上下的卡片板，随着远离灯的发光点而温度变高的区域变窄。 此时，将在卡片板A E上产生的力分为在上下方向上产生的力和在左右方向上 产生的力的2个进行考虑。 首先，对于卡片板的上下方向，如上所述，卡片板将宽度变窄，以便尽可能不产生 上下方向的温度差。因此，在l个卡片板中，上下方向的温度差较小，对于上下方向难以产 生热的部分(热膨胀大的部分)及冷的部分(热膨胀少的部分)。因此，不产生对温度较高 的部分从上下方向进行压縮的力。 并且，卡片板的宽度较窄，所以即使温度较高的部分向宽度方向进行了热膨胀，其 量也较少、为lmm以下，通过形成于各卡片板的供螺钉或销通过的贯通孔的直径的游隙量， 能够进行吸收。 另一方面，对于卡片板的左右方向，由于将卡片板横长地配置，所以与上下方向不 同，在左右方向(卡片板的长度方向)上，产生热的部分(热膨胀较大的部分)及冷的部分 (热膨胀较少的部分)。热的部分进行热膨胀，由此卡片板在左右方向上延伸数毫米程度， 但是该延伸如上所述那样通过形成于卡片板的长孔而被吸收。 g卩，由于是长方形状的卡片板，所以板状部件(卡片板)的热膨胀方向被限定在其 长度方向，因此能够通过长孔来吸收板的热膨胀和伸縮。 卡片板为，在接近灯的卡片板(例如卡片板C)、远离灯的卡片板(例如卡片板A、
8卡片板E)、或处于其中间的卡片板(例如卡片板B、卡片板D)中，成为高温的区域(图中斜 线的区域)的面积不同，因此热膨胀引起的延伸量FL分别不同。S卩，卡片板C较长地延伸， 但是卡片板A、卡片板E的延伸量较短，卡片板B和卡片板C为其中间。
对此，如上所述，各卡片板独立而容许热膨胀的伸縮地相对于支柱安装。因此，A 至E的各卡片板能够对应于各自的热膨胀进行延伸或收縮的移动。因此，在左右方向上也 不产生对温度较高的部分进行压縮的力。 如以上那样，卡片板的宽度被制作为较窄，以便在其上下方向上不产生温度差，并 且虽然在左右方向上产生温度差，但是容许热膨胀引起的伸縮(移动)地安装在支柱上，因 此无论是在上下方向还是在左右方向上，都不会产生对温度较高的部分进行压縮的力。
因此，在各卡片板A E中不会产生朝向相对于自身的板面正交的方向的力，而
在并列多个卡片板的隔壁上，不会产生朝向相对于隔壁的平面正交的方向膨胀的变形(压 曲)。 另外，在将各卡片板并列地配置时，优选以能够在相邻的卡片板之间隔开lmm或
其以下的间隙地安装的方式，设置形成于支柱的固定用的螺纹孔或销孔。 原因为，如图6所示，卡片板在其长度方向上热膨胀，但其延伸量FL在各卡片板中
不同。因此，如果在相邻的卡片板之间存在间隙，则在各卡片板进行与各自相应的热膨胀伸
縮时，相邻的卡片板彼此之间不会相互磨擦。 结果，各卡片板能够顺畅地伸縮，并且也能够防止相互磨擦而产生灰尘。并且，还 能够吸收上下方向(卡片板的宽度方向)的膨胀。另外，如果是lmm或其以下的间隙，则即 使假设灯破裂而碎片通过该间隙，也不会成为损伤相邻的灯的程度。 另外，在上述第1实施例中，在卡片板上形成长孔，在支柱上形成固定螺钉的螺纹 孔或固定销的销孔。但是，也可以在卡片板上形成固定螺钉或销的孔，将长孔形成在支柱 图7表示上述第1实施例所示的隔壁的变形例。该图与图3同样，是将卡片板支 持在支柱上的部分的放大图。 该图是将卡片板21通过螺钉40安装在支柱24上时的例子。在卡片板21上形成 固定螺钉40的螺纹孔60，在支柱24上形成沿着卡片板21的长度方向的长孔的贯通孔30。 考虑卡片板21的热膨胀引起的伸縮来形成长孔的长度。 将螺钉40插入该长孔30并将卡片板21安装在支柱上。另外，在螺钉40的轴上， 即使如上述第1实施例所示通过有垫圈及轴环并紧固螺钉40，卡片板21也容许形成在支柱 24上的长孔量的、热膨胀引起的伸縮。 在上述第1实施例中，使卡片板为横长地配置，并在上下方向上并列多个而作为
壁面。但也可以使卡片板为纵长地配置，并在左右方向上并列多个而作为壁面。 图8表示设在本发明的光照射装置中的隔壁的第2实施例的构成。 该图表示的例子为，使A至E的5个卡片板纵长地配置，通过支柱25支持各卡片
板A E的上端侧，并且将各卡片板在左右方向上并列而构成隔壁。 如该图所示，在使卡片板为纵长地配置时，对卡片板A E进行支持的支柱25设 置为横向(左右方向)。各卡片板A E为，上方端通过螺钉40螺纹固定在设置为横向的 支柱25上，悬吊地安装。将如此安装的多个卡片板在长度方向对齐而左右并列，作为壁面。
如此，在将卡片板纵长地配置时，支柱25仅为支持各卡片板A E的上部的1个 即可，卡片板A E的下部不需要支持。即，卡片板以所谓"悬臂"的方式被支柱25支持。 各卡片板A E下方的端自由，在热膨胀时，各卡片板能够对应于各自的延伸量FL，向卡片 板的长度方向即重力方向下方自由延伸。 因此，在如此以悬臂的方式支持卡片板时，在卡片板或支柱上，不需要形成如上述 第1实施例所示那样的长孔的贯通孔。 另外，如第1实施例所示，优选在相邻的卡片板之间设置间隙，在热膨胀时使卡片 板彼此不会相互磨擦。 另外，在上述第1及第2实施例中，表示使卡片板为板状的部件，但也可以由网眼 状的部件例如金属网构成。但是，网眼的大小需要为较小，以便灯破裂时，损伤相邻的灯的 程度大小的碎片不会通过。
权利要求
一种光照射装置，具备多个灯；反射镜，分别设在该多个灯的周围并对来自各灯的光进行反射；以及隔壁，设在该反射镜与反射镜之间；该光照射装置的特征为上述隔壁具备将长度方向对齐地并列的多个长方形状的板状部件；和对该板状部件进行支持的支柱，上述板状部件为，容许热膨胀引起的向长度方向的延伸地被上述支柱支持。
2. 如权利要求l所述的光照射装置，其特征为，上述板状部件为，与相邻的板状部件之间形成间隙地被上述支柱支持。
3. 如权利要求1或权利要求2所述的光照射装置，其特征为，上述板状部件横长地配置，并且在该板状部件上形成有沿着该板状部件的长度方向的 长孔；通过将螺钉或销插入上述长孔，并将该插入的螺钉或销固定在上述支柱上，由此该板 状部件被支持。
4. 如权利要求1或权利要求2所述的光照射装置，其特征为，上述板状部件横长地配置，并且在上述支柱上形成有沿着上述板状部件的长度方向的 长孔；通过将螺钉或销插入上述长孔，并将该插入的螺钉或销固定在上述板状部件上，由此 上述板状部件被支持。
5. 如权利要求1或权利要求2所述的光照射装置，其特征为，上述板状部件纵长地配置，并且该板状部件通过将其上端固定在支柱上而被支持。
6. —种光照射装置，具备4个灯；反射镜，分别设在该灯的周围并对来自各灯的光进 行反射；以及隔壁，设在该反射镜与反射镜之间；该光照射装置的特征为设有在中央交叉而配置为十字型的隔壁；和在由上述隔壁形成的4个象限中各1个 的灯和对来自该灯的光进行反射的反射镜。
7. 如权利要求6所述的光照射装置，其特征为，上述反射镜将90°方向的2处切口 ，上述隔壁配置在上述切口与切口之间。
全文摘要
提供一种光照射装置，具备多个灯和聚光镜，在灯与灯之间设置隔壁的情况下，隔壁不会产生向相对于隔壁的平面正交的方向膨胀的变形(压曲)。隔壁具备将长度方向对齐地并列的多个长方形状的板状部件、和对板状部件进行支持的支柱，板状部件容许热膨胀引起的向板状部件的长度方向的延伸地支持在支柱上。板状部件可以横长地配置、也可以纵长地配置，但是将长度方向对齐地并列的板状部件，优选与相邻接的板状部件之间设置微小间隙。
文档编号F21V7/04GK101737732SQ20091021211
公开日2010年6月16日 申请日期2009年11月10日 优先权日2008年11月13日
发明者百地伸元, 铃木一好, 铃木航太 申请人:优志旺电机株式会社