用于局部区域导航的高精确度射束放置的制作方法

专利名称：用于局部区域导航的高精确度射束放置的制作方法
技术领域：
本发明涉及粒子束系统中的工作台(stage)导航和射束放置，并且特别地涉及使用由FIB或SEM装置进行的高分辨率图像的获取的到样本表面上的感兴趣位点的高精确度局部区域导航。
背景技术：
诸如集成电路制造的半导体制造通常伴随有光刻法的使用。用在被暴露于辐射时改变可溶性的诸如光致抗蚀剂的材料来涂敷正在其上面形成电路的半导体衬底(通常为硅晶片)。位于辐射源与半导体衬底之间的诸如掩模或中间掩模的平版印刷工具投射阴影以控制衬底的哪些区域将被暴露于辐射。在暴露之后，从已暴露或未暴露区域去除光致抗蚀剂，在晶片上留下图案化光致抗蚀剂层，其在后续的蚀刻或扩散过程期间保护晶片的各部分。光刻法过程允许在每个晶片上形成常常也称为“芯片”的多个集成电路器件或机电器件。然后将晶片切割成单独的管芯，每个管芯都包括单个集成电路器件或机电器件。最后，这些管芯经受附加操作并被封装到单独的集成电路芯片或机电器件中。在制造过程期间，暴露和焦点的变化要求连续地监视或测量由平版印刷过程显影的图案以确定图案的尺寸是否在可接受范围内。常常称为过程控制的此类监视的重要性随着图案尺寸变小而显著地增加，尤其是随着最小特征尺寸接近平版印刷过程可获得的分辨率的极限。为了实现更高的器件密度，要求越来越小的特征尺寸。这可以包括互联线的宽度和间距、接触孔的间距和直径以及诸如各种特征的拐角和边缘的表面几何结构。结果，表面特征的仔细监视变得越来越重要。随着设计规则的缩小，用于处理中的误差的裕度变小。与设计维度的甚至小的偏差可能不利地影响完成的半导体器件的性能。因此，半导体客户要求高精确度射束放置以对诸如存储器阵列中的单个位误差或用于电路修正的位置之类的特征进行定位。射束移位导航系统遭受样本漂移、位移的非线性性，并且通常在视场方面受到限制。在粒子束系统上使用的典型样本工作台仅仅精确到士 1-2 Mm。在没有高精确度工作台(类似于激光编码工作台)的情况下，不可能以100 nm或以下的精确度将该工作台直接驱动至感兴趣的位置。激光器工作台可以具有用于IOOnm精确度的能力，但是是昂贵的，并且限制系统灵活性，因为该工作台通常不能倾斜，从而损失功能。此外，期望的是在约30nm的精确度内驱动样本工作台，其甚至超过典型激光器工作台的能力。因此，仍存在对一种用于到半导体表面上的局部区域内的感兴趣位点的高精确度导航的改进方法的需要，其将允许以超过样本工作台的位置精确度的精确度的射束放置。 此外，存在对此类改进的方法适合于完全或部分自动化的需要。

发明内容
因此，本发明的目的是提供一种用于到半导体表面上的局部区域内的感兴趣位点的高精确度导航的改进的方法，特别是在诸如FIB或SEM的粒子束系统中。本发明举例说明一种其中倘若在局部区域内存在具有到目标位点的已知坐标关系的可见参考标记则使用成像/图案化技术有可能进行到局部区域内(例如侧面上的200 um)的感兴趣位点的高精确度导航的方法。首先获取约4096像素宽的目标区域的高分辨率图像。两个或更多对准特征位于目标区域附近。用CAD多边形将感兴趣的区域覆盖到图像上。利用数字变焦来精确地对对准点进行定位并执行两个或三个点CAD多边形重新配准。一旦已经适当地对准了图像和坐标系，则能够经由一个或多个传递基准将该对准传递至样本本身。选择感兴趣特征附近的样本上的一个或多个可容易识别的特征并记录 (多个)传递基准与感兴趣特征之间的偏移。然后能够基于坐标系对准以小得多的视场对样本进行重新成像。一旦在第二图像中识别了传递基准，则可以使用记录的偏移来对感兴趣特征进行定位并准确地安置粒子束。根据本发明的优选实施例，大的区域、高分辨率扫描、数字变焦和图像到理想化坐标系的配准的组合使得能够在不依赖于工作台移动的情况下在局部区域周围实现导航。一旦获取了图像，则任何样本或射束漂移将不影响对准。前述内容已相当广泛地概述了本发明的特征和技术优点，以便可以更透彻地理解随后的本发明的详细说明。下面将描述本发明的附加特征和优点。本领域的技术人员应认识到可以容易地利用所公开的概念和特定实施例作为用于修改或设计用于执行本发明的相同目的的其它结构的基础。本领域的技术人员还应实现的是此类等效构造不脱离如所附权利要求所阐述的本发明的精神和范围。


为了更完全地理解本发明及其优点，现在对结合附图进行的以下描述进行参考， 在附图中。图1是示出根据本发明的优选实施例的用于利用无工作台导航的局部区域导航的高精确度射束放置的步骤的流程图。图2示出根据本发明的优选实施例的包括将在初始图像/CAD覆盖图配准中使用的目标和对准特征的样本的图像。图3示出具有覆盖图的图2的图像，该覆盖图示出由被叠加在图像上的CAD数据制备的CAD多边形。图4示出使用数字变焦的较高放大倍率下的图3的图像和CAD覆盖图。图5示出图4的图像，其中，已经选择了 CAD覆盖图中的第一点和图像中的相应特征以用于图像和CAD覆盖图的配准。图6示出图4的图像，其中，已经选择了 CAD覆盖图中的第二点和图像中的相应特征以用于图像和CAD覆盖图的配准。图7示出图4的图像，其中，已经选择了 CAD覆盖图中的第三点和图像中的相应特征以用于图像和CAD覆盖图的配准。
图8示出已经完成3点配准之后的图像和CAD覆盖图。图9示出根据本发明的第二带电粒子束图像，其中，该图像具有较小的视场并包括能够被用作传递基准的至少一个特征和感兴趣特征的位置。图10示出根据本发明的带电粒子束图像，其中，已经在感兴趣特征的位置周围对基准框架进行研磨。图11是示出根据本发明的优选实施例的用于局部区域导航的高精确度射束放置的步骤的流程图。图12示出可以用来实现本发明的方面的典型双射束FIB/SEM系统。附图并不意图按比例描绘。在附图中，用相同的数字来表示在各种图中举例说明的每个相同或几乎相同的组件。出于明了的目的，并不是在每个图中都标记了每个组件。
具体实施例方式本发明的优选实施例是针对半导体芯片制造领域中的用于针对局部区域导航的高精确度射束放置的方法。本发明举例说明了其中即使在工作台/导航系统正常地不能进行高精确度导航的情况下也有可能实现到相对较大的局部区域(例如区域 200 μ mX200 μ m)内的感兴趣位点的这种高精确度导航的方法。根据本发明的优选实施例，首先获取相对较大的目标区域(包括一个或多个适当对准标记和感兴趣特征的位置和一个或多个适当对准标记的较大区域)的高分辨率图像。 例如，适当地高分辨率的区域可能是250 μ m宽，具有约4096像素宽的分辨率。根据一个优选实施例，用CAD多边形来覆盖感兴趣的区域并执行两个或三个点CAD多边形重新配准。然后利用数字变焦来精确地对包含感兴趣特征的区域进行定位。能够针对更大的精确度来执行附加CAD配准过程。然后在感兴趣特征附近定位或产生一个或多个适当的传递基准，并记录基准与大视场图像中的感兴趣特征之间的偏移。然后获取适合于执行检查/调查的较小视场图像。在此图像中识别传递基准并使用偏移来准确地定位感兴趣特征。大的区域、高分辨率扫描、数字变焦和图像到理想化坐标系的配准的组合使得能够在不依赖于工作台移动的情况下在局部区域周围实现导航。一旦获取了图像，则任何样本或射束漂移将不影响对准。优选实施例因此允许具有低于IOOnm精确度的到样本上的位点的精确导航一其中某些优选实施例允许30nm内的导航一甚至在没有高精确度工作台 /导航系统的情况下。换言之，根据本发明的优选实施例，样本工作台可以具有士500nm或更大的定位精确度或误差，同时能够对感兴趣特征进行定位，并且能够以士 100 nm或更好的定位精确度(即，在100 nm或更小内)相对于样本来安置粒子束。更优选地，能够以士30 nm或更好的内的精确度对感兴趣特征进行定位(即，粒子束系统能够导航到样本上的感兴趣特征的位置)。即使在样本工作台具有士 100 nm或更大的定位精确度或误差的情况下， 本发明的优选实施例也允许对感兴趣特征进行定位并以士300 nm或更好的定位精确度相对于样本来安置粒子束。 本发明的优选方法或设备具有多个新型方面，并且由于能够出于不同的目的在不同的方法或设备中体现本发明，所以不是每个方面都需要存在于每个实施例中。此外，所述实施例的多个方面可以是可单独获得专利的。 图1示出了示出根据本发明的优选实施例的用于局部区域导航的高精确度射束放置的步骤的流程图。在步骤10中，通过将样本安装在系统工作台上来将样本加载到典型的现有技术带电粒子束系统(诸如在图12中举例说明且下文描述的FIB/SEM)中。根据本发明的优选实施例的带电粒子束系统可以是聚焦离子束系统、电子束系统或双射束FIB/ SEM系统。能够手动地或自动地(例如通过自动搬运器系统)加载样本。本发明的优选实施例不要求使用诸如激光器工作台的高精确度工作台。当样本或工件被加载到带电粒子束系统中以进行分析或处理时，将工作台驱动至感兴趣特征的精确位置可能是非常具有挑战性的。典型的样本工作台具有约1 一 2Mm的精确度。换言之，当此类典型工作台被移动至特定坐标时，位置误差可能达到士1 一 2Mm。(当以这种方式来表达时，较大的数字意味着较不精确的工作台。)先进的高精确度工作台是非常昂贵的，诸如能够实现100 nm或以下的精确度内的导航的激光干涉仪工作台(在下文中为“激光器工作台”)。激光器工作台还具有某些显著的缺点，在于其通常不倾斜且其在当前使用中的大多数带电粒子束系统上是不可用的。本发明提供了具有低于IOOnm精确度的导航方法，其不要求高精确度激光器工作台。优选地，本发明的实施例提供了一种使用具有士500 nm的精确度(位置误差)的样本工作台的低于IOOnm导航或射束放置的方法。更优选地，本发明的实施例提供了使用具有士 1 一 2Mm或更大的精确度(位置误差)的样本工作台的低于IOOnm 导航或射束放置的方法。在加载样本之后，在步骤12中，使用已知方法来对准样本，例如通过管芯拐角上的典型的三点锁。还可以手动地(例如通过操作员使用光学显微镜)或者自动地(例如通过使用对样本的凹口或扁平边缘进行定位以便确定适当取向的自动搬运器机器人)实现此对准。在步骤14中，对所述工作台进行定位，使得感兴趣特征的位置在将被带电粒子束扫描的目标区域(视场)内。(在某些情况下，感兴趣特征可以实际上在图像中是不可见的，诸如当感兴趣特征被掩埋时。)能够例如通过存储并使用位置坐标或计算机辅助设计 (CAD)数据来实现此定位。视场应是足够大的，使得考虑到正在使用的工作台/系统的精确度，保证感兴趣特征在将被成像的区域内，优选地连同适合于在使图像与表示特征在样本表面上的位置的坐标系配准中使用的一个或多个适当对准特征一起(如下文更详细地讨论的)。更优选地，视场将包括适合于用作对准特征的至少三个特征。在样本图像中和坐标系覆盖图中，适当的特征应是可容易地识别的。在步骤16中，用带电粒子束以高分辨率对样本进行成像。图像必须具有充分(足够高)的分辨率，使得像素尺寸与要求的放置精度相当。图像分辨率优选地是足够高的，使得像素尺寸允许识别对准标记并准确地确定其位置。更优选地，分辨率是足够大的，使得像素尺寸是比对准特征的尺寸更小的相同尺寸。例如，在本发明的优选实施例中，这意味着对于250 μ m宽的图像而言，可以使用4096 (或更多)像素的分辨率，结果得到尺寸为约50 — 60 nm的像素。结果，可以容易地识别大于50 — 60 nm的对准特征。本发明的其它优选实施例使用结果得到的10 - 100 nm的像素尺寸、更优选地30 — 60 nm的像素尺寸的图像分辨率。在某些优选实施例中，还可以使用结果得到的比感兴趣特征的尺寸更大的像素尺寸的分辨率，虽然较大的像素尺寸将对位置误差有所贡献。例如，如果在尺寸为30 nm的对准特征的情况下使用在前一段中所述的实施例中的像素尺寸(50 - 60 nm)，则将不可能确定对准特征位于像素内的什么位置。结果，对准特征的位置误差(单独地由像素尺寸产生) 可以大到20 - 30 nm (50 一 60 nm减30 nm)。由于此精确程度仍比甚至用典型的激光器工作台能够实现的更大，所以在多个情况下此精确程度将是可接受的。在某种形式的坐标系中，目标(感兴趣特征)的位置和优选地对准特征的位置也应是已知的。在优选实施例中，能够从CAD覆盖图(如下文更详细地描述的)或x、y坐标来确定位置，否则，该结构是重复阵列。图像应具有足够的分辨率，使得像素尺寸至少与要求的精度相当。例如，在一个优选实施例中，250 μ m宽的图像将是约4096像素宽，结果得到尺寸约为60纳米的像素。这将适合于对尺寸为60纳米或更大的特征(诸如对准点)进行成像或处理。然而，对于小于60nm 的特征而言，将要求较高的分辨率(和结果得到的较小的像素尺寸)。存在视场(也称为水平场宽度或HFW)图像分辨率与像素间距之间的直接平衡 HFW =(像素间距)*(像素数目)。为了在比250 μπιΧ 250 μ m大得多的区域上导航，在这里举例说明的一些将导致由于较大像素间距和可能扫描失真而引起的可获得的精确度的可能降低，除非图案化引擎的分辨率增加至池或16k宽的图像。在某些情况下，可能要求映射来理解任何扫描失真/非线性度。图2示出了如上所述的通过将工作台驱动至用于感兴趣特征和将在初始图像/ CAD覆盖图配准(下文描述)中使用的三个对准特征的坐标获得的样本的图像。如图2所示， 目标201 (包含感兴趣特征)和三个对准特征(202、203、204)全部是已经通过经由表面层来研磨而部分地暴露在半导体表面上的过孔区。视场应是足够大的，使得考虑到正在使用的工作台/系统的精确度，确保感兴趣特征的位置在将被成像的区域内。例如，在具有样本工作台(其具有士2Mm的精确度)的粒子束系统中，用于感兴趣特征和分开约2000 nm的三个对准特征的视场应至少为8 MfliXS Mm以保证感兴趣特征在被成像的视场内。然而，通常， 根据本发明，可以使用约125MfflX125Mffl的大得多的视场。再次参考图1，在步骤17中，能够由用于半导体样本上的元件/特征的计算机辅助设计(CAD)数据来构造示出CAD多边形330 (表示样本或工件上的特征位置的理想化几何形状)的覆盖图并将其叠加在样本的带电粒子束图像上。在图3中示出了此类坐标系覆盖图。如果需要，可以如下所述地执行CAD覆盖图与图像之间的初始配准。注意，在图3中， 由CAD多边形指示的多个半导体特征没有被暴露并仍被掩埋在表面层下面。通常，如图3和4所示，覆盖图相对于图像的初始定位将可能是稍微不准确的。在可选步骤18中，可以使用数字放大来在目标和对准点上进行变焦。一旦已经扫描了目标区域，则数字变焦的使用允许用户“导航”已扫描的图像以对基准或感兴趣特征进行定位。与将通过移动工作台并对样本进行重新成像来进行导航相比，在图像周围进行导航更快且更加容易得多。数字变焦(例如，图4中的约8:1变焦)允许用户快速地对包含感兴趣特征的大体区域进行定位并然后放大以更准确地对感兴趣特征、与坐标覆盖图一起使用的对准特征和/或如下所述的传递基准进行定位。在图4中，已放大图像使得很明显过孔340未适当地与CAD多边形330对准。在本发明的优选实施例中，数字变焦的使用允许操作员在感兴趣特征处或附近的图像(和CAD覆盖图)上进行放大以便执行图像和覆盖图之间的坐标系配准以便更准确地使图像与CAD覆盖图对准。如本领域的技术人员将认识到的，数字变焦的使用帮助克服了能够例如在计算机监视器上在视觉上向操作员显示的细节的水平方面的固有限制。然而，在本发明的某些实施例中，可以使用自动化计算机控制来代替操作员，例如通过使用图像识别/机器视觉。对于自动化实施例而言，将很明显不需要数字变焦的使用。然后可以例如通过使用诸如鼠标和屏幕上光标的计算机定位设备来识别坐标系覆盖图上的对准点和相应元素。图5示出重新配准过程中的第一步骤。使用数字放大，用户能够在图像和CAD覆盖图上放大，并指定用于图像内的各种区域的局部偏移。正在被数字放大的区域在缩略图551中被示为正方形550。如图5所示，图像已在对准点202处被数字地变焦。再次参考图1，在步骤20中一如图5所示一操作员可以(用鼠标或其它适当的定位设备)点击CAD多边形330中的一个的中心544并然后点击样本图像中的相应特征(过孔 340)的中心M2。然后针对如图6所示的对准特征204 (步骤22)和如图7所示的对准特征203 (步骤24)重复该过程。一旦已经识别了坐标系覆盖图中的对准特征和相应元素的位置，则然后可以在步骤26中测量图像上的对准点与CAD覆盖图之间的目标区域中的偏移或覆盖图误差。图4 中的误差在目标区域中约为1. 4um。为了修正此误差，将在步骤观中执行三点重新配准，并对CAD覆盖图进行拉伸、旋转和/或移位以产生与图像的匹配。如本领域的技术人员将认识到的，CAD覆盖图与图像之间的偏移误差可能起因于许多源仅举几个例子，原始工作台锁中的操作员误差、FIB图像的不精确校准(放大和/或旋转)、局部管芯变形或离子柱偏转系统中的非线性度。无论误差源是什么，通常不可能实现CAD覆盖图与大视场FIB图像内的每个点之间的完美的对应。此问题的一个解决方案是执行根据需要对CAD覆盖图进行拉伸、移位和/或旋转以产生特定FIB图像的自定义匹配的3点重新配准。在授予俄勒冈州希尔巴罗市的FEI公司(也是本发明的受让人)且通过引用结合到本文中的授予Lindquist等人的美国专利No. 5，541, 411 (对于“Image-to-image Registration Focused Ion Beam System”)中详细地讨论了这种类型的图像配准。如Lindquist所述和图5 — 8所示，配准操作包括选择例如粒子束图像上的三个点和将被对准的另一图像(根据本发明的优选实施例，诸如CAD覆盖图)上的三个相应点。 可以经由与来自显示器的视觉反馈相结合的鼠标的使用来交互地选择对准点。例如，如果对准点R1、R2和R3被选择为粒子束图像中的可见的对准点，则在期望其配准的坐标系覆盖图上选择三个相应的点(Cl、C2、C3)。一旦选择了图像和坐标系中的相应点，则该过程确定参考图像的点(Rl、R2、R3)与在先图像上的点(Cl、C2、C3)之间的变换T，使得T (Cl) =R1、 仪〇2)=1 2且11(03)=1 3。由于在屏幕的特定坐标系内点的坐标位置是已知的，所以容易地用线性代数方法来确定点之间的变换。一旦已经确定了变换操作T，则创建新的空(即空白)图像，然后进入循环并在新的图像中选择第一像素。一旦选择了像素，则进行关于是否所有像素已被处理的确定。如果已经处理了所有像素，则完成配准并退出该过程。然而，如果尚未处理所有像素，则该过程使用坐标变换T来继续并从在先图像中选择相应的像素。然后将来自在先图像的所选像素数据从在先图像读取到新图像的所选像素位置中。如果变换已经映射了处于在先图像边界之外的新图像的所选位置，则在新的图像位置中放置空数据。此空数据可以包括例如空白表示或黑色背景表示。接下来，该过程循环返回，以再次选择新图像中的下一个像素，并且该过程以迭代的方式继续，直至新图像中的所有像素都已被处理的那一时间为止。
在优选实施例中，借助于自动化计算机脚本来执行图像和CAD多边形的配准和偏移计算。在配准完成之后，如图8所示，现在适当地对准覆盖图和目标过孔。新的图像可以相对于原始图像稍微倾斜，因为变换操作将容纳图像之间的平移、 旋转、缩放和倾角差。根据上述步骤，优选地通过选择带电粒子图像和坐标系中的三个相应对准点来实现图像至图像配准，虽然可以使用不同数目的对准点，其中更多的点提供更准确的对准。相应对准点之间的变换被确定并施加于将被配准的图像以产生被适当配准的输出图像。可替换地，改善精确度的可选步骤是对具有接近于目标位点的其它对准特征的附加位点进行成像。然后通过对由单独图像所指示的位置取平均值来确定目标位点。此步骤是尤其期望的，以在每个图像使用单个对准特征时提供良好的精确度。由计算机处理器来适当地执行该步骤，其中，各种图像是存储在图像缓冲器中并在适当的显示器上示出的位映射图像。一旦已经适当地对准了图像和坐标系，则需要将该对准“传递”至样本本身。根据本发明的优选实施例，这可以通过使用传递基准来实现。诸如改变视场时的系统漂移和图像移位及缩放差之类的因素使得带电粒子束的定位在纳米尺度是稍微可变的。传递基准的使用允许独立参考点快速地且精确地对感兴趣特征进行定位。传递基准可以是样本上的现有且可容易地识别的特征(如在图像中看到的)，或者是作为对准过程的一部分由FIB/SEM 产生的一个。适合于用作传递基准的现有特征应是能够被一致地识别的视场内的唯一特征。优选基准还将允许沿着χ和y两个方向将射束位置精确地定位。例如，一个适当的基准可能是两条线的交叉点(十字形基准)。适当的基准还可以是样本中的不规则，或者甚至是位于视场内的一块污垢或碎屑。再次参考图1，在步骤30中，在导航到图像内的感兴趣特征的位置之后，在图像中识别一个或多个适当的传递基准，并记录图像内的感兴趣特征与(多个)基准之间的偏移。 再次，数字变焦可以用来将感兴趣特征的位置处的区域的图像放大以帮助适当传递基准的定位。优选地，将使用两个或更多传递基准。通常，使用传递基准的数目越大，感兴趣特征的定位精确度越大。如果适当的结构未出现在样本的表面上，则在步骤32中，可以在视场内但与感兴趣特征分离的位置处、优选地在将不损坏感兴趣点的位置中产生基准标记。例如，可以通过接近于目标位点的FIB研磨或FIB/SEM沉积来在样本上产生基准标记。可以使用任何适当的方法来产生基准，包括例如聚焦离子束溅射、用离子束进行表面着色、气体辅助蚀刻或沉积或电子束诱导气体辅助蚀刻或沉积。在许多情况下，通过沉积进行的基准形成将是优选的，因为其具有较小的侵入性(产生对样本表面的较少损坏)并提供更好的对比度(因为使用不同的材料)。基准可以由可容易地区别的形状制成，以使得其能够被一致地识别和定位。在产生了适当基准的情况下，在步骤33中，应在产生基准之后对样本表面重新成像。然后可以用新的图像来重复上述对准步骤16—观。在步骤34中，一旦识别了适当的传递基准，则确定并记录传递基准与感兴趣特征之间的偏移(优选地在计算机存储器中)。图9示出其中已经使用上述方法和两个研磨基准 104和106来对十字图案的拐角102进行定位的样本。使用本文所述的方法，以实验方式来确定在<100 nm内的拐角102的位置。
再次地，产生并使用的基准的数目越大，相对于感兴趣特征的射束放置的精确度越大。在优选实施例中，可以例如通过离子研磨完全在感兴趣特征的位置周围产生框架或方框(虽然如图9所示，在对准标记106而不是感兴趣特征102周围研磨框架基准104)。在图10中示出了此类研磨基准框架，其中，感兴趣掩埋特征(由于表面层而尚不可见)位于基准框架404内。对准特征402、403、404 (其已被暴露)在图10中也是可见的。通过使用如图10所示的框架基准，一旦框架内的感兴趣特征被暴露(优选地通过框架内的离开表面层的研磨/蚀刻)，可以针对沿着框架的任何点来确定特征偏移，本质上提供能够用来确定偏移的无限数目的基准位置。这提供基准与感兴趣特征之间的偏移的更准确确定。再次参考图1，一旦已经选择或产生了适当的基准，则在步骤36中，在感兴趣特征的位置处对样本进行重新成像。优选地，将显著较小的视场用于此成像步骤。通常，视场将是对于感兴趣特征的期望处理而言典型的一个，例如，IOymXlOym视场。能够以较大的置信度来使用此较小视场，因为在上述配准步骤之后，以足够的精确度知道特征的位置以保证特征将在较小的视场内。然后能够在步骤38中在新图像中容易地识别(多个)传递基准。并且在步骤40中，使用(多个)记录的偏移来容易地且准确地对感兴趣特征进行定位。 一旦射束被正确地安置，则在步骤42中，可以使用粒子束通过例如研磨样本、向样本上沉积材料或对样本进行成像和执行度量衡学来处理样本。图11是示出根据本发明的另一优选实施例的产生一个或多个样本的步骤的流程图(不使用CAD多边形的视觉覆盖图)。优选地，图11中描述的过程可以是完全或部分地自动化的。在步骤110中，将样本加载到粒子束系统中。例如，适当的样本可以是半导体晶片，其可以被以仅1 一 2 μ m的精确度加载到具有样本工作台的双射束FIB/SEM中。然后使用感兴趣特征的已知坐标来对工作台进行定位，使得感兴趣特征在粒子束的视场内。由于典型样本工作台的低精确度，不能单独使用坐标以足够的精确度来识别感兴趣特征的精确位置。在步骤111中，获取目标区域的高分辨率图像(例如4096像素宽)图像，包括两个或更多对准点(例如，诸如200 μ mX200 μ m正方形区域的拐角的可识别特征)。在步骤112 中，对适当对准点进行定位。如上所述，可以在样本图像中识别适当的对准特征并在指定特征在样本上的位置的坐标系数据中识别相应的元素(诸如用于特定半导体晶片的CAD数据)。根据本发明的优选实施例，还可以使用图像识别软件来自动地选择适当的对准特征。适当的图像识别软件可从例如马萨诸塞州内蒂克的Cognex公司获得。可以“训练”图像识别软件以通过使用类似特征的样本图像或通过使用来自CAD数据的几何信息来对适当的对准特征进行定位。这在要处理多个类似样本(例如，具有相同设计的大量半导体晶片)的情况下可能是尤其期望的。还可以使用自动化FIB或SEM度量衡学来识别或帮助识别对准特征。度量衡学可以由基于图像的图案识别、边缘发现、ADR、质心计算、斑点等组成。 根据本发明的将实现完全或部分自动化图像处理、度量衡学和机器控制的适当软件优选地提供图案识别和边缘检测工具以及“do while (循环结构)”循环能力，诸如也可从本发明的受让人FEI公司获得的IC3D 软件。在步骤114中，如上文更详细地描述的，基于偏移的计算来将对准点的坐标系与图像对准。在步骤116中，使用此对准来计算图像中的期望感兴趣特征的位置。在可选步骤118中，在感兴趣特征的附近执行重新配准。在步骤120中，确定适当的传递基准是否存在于样本表面上。再次地，可以使用图像识别软件来自动地选择传递基准。可替换地，可以最初由“训练的”图像识别软件和操作员来选择适当的传递基准以在后续的样本中对适当的传递基准进行定位。如果不存在适当的传递基准，则在步骤122中，产生物理基准以允许目标定位。可以例如用如上所述的FIB、SEM或其它已知方法向目标区域的侧面产生基准。与标记的偏移应是足够大的，以保证目标位点将不会被标记损坏或模糊。根据工作台的精确度，可能需要远离感兴趣特征若干ym来形成基准。可以由操作员来指定用于产生的传递基准的位置，例如通过使用鼠标来在期望的基准位置周围拖曳虚拟框。然后，自动化度量衡学软件可以精确地测量基准相对于样本位置处的可识别特征的位置(例如，距离特定特征的右边缘 15nm)。为了处理后续样本，然后在指定的精确位置处自动地产生基准。还可以使用CAD数据来指定基准位置以指定基准相对于晶片表面上的特定结构的位置。只要传递基准距离感兴趣特征足够远地产生(考虑工作台导航的精确度)，就可以用这种类型的自动化过程来安全地产生适当的传递基准。在产生了传递基准的情况下，可以获取第二高分辨率图像并重复过程步骤111 -118以便适当地使第二图像(示出传递基准)与坐标系配准。在步骤124中，然后识别适当的传递基准(预先存在或产生的)并记录传递基准与感兴趣特征之间的(多个)偏移。在步骤126中，使用所记录的基准偏移来精确地对感兴趣特征进行定位，使得能够精确地安置粒子束。执行最终对准的一个方法将是例如通过绘制图案框来在高分辨率图像中的基准上产生覆盖图。如果用户现在以较高的放大倍率来获取图像，则能够通过将标记和图案对准(例如通过使用射束移位)来找到目标位点。通过使用此新型工艺，能够对感兴趣特征进行定位并将粒子束放置控制在士30 nm或者甚至更小以内。这允许在步骤128 中以非常精确的射束放置来处理样本，即使样本工作台单独地不能实现此类精确导航。在步骤130中，确定是否要处理其它样本。如果是，则将后续样本加载到粒子束系统中并重复步骤111 一 130 (优选地如上所述自动地)。如果不是，则该过程停止。图13示出可以用来实现本发明的优选实施例的典型双射束FIB/SEM系统210。本发明的一个实施例利用使用垂直于样本表面的平面或倾斜几度的离子束和具有还从离子束的轴倾斜例如52度的轴的电子束的双射束FIB/SEM系统210。在某些实施例中，离子束和电子束能够对准，使得两个射束的视场重合至几微米或更小以内。离子束通常用来对工件进行成像和机械加工，并且电子束主要用于成像，但是还可以用于工件的某些修改。电子束通常将产生比离子束图像更高的分辨率的图像，并且将不损坏类似于离子束的观察表面。由两个射束形成的图像可能看起来不同，并且两个射束因此能够提供比单个射束更多的信息。此类双射束系统可以从单独的组件实现，或者替换地，可以源自于诸如Altura 或Expida (可从俄勒网州希尔巴罗市获得的系统)的常规设备。还可以使用其它粒子束系统来实现本发明，包括例如诸如仅FIB或SEM系统的单射束系统或具有两个FIB镜筒的双射束系统。
聚焦离子束系统210包括具有上颈部212的抽空外壳211，包括提取器电极和静电光学系统的聚焦镜筒216和离子源214位于所述上颈部212内。粒子束218从离子源214 通过镜筒216并在示意性地在220处朝着样本222指示的静电偏转装置之间通过，样本222 例如包括位于下室226内的可活动X-Y-Z工作台2M上的半导体器件。可以采用离子泵或其它泵送系统(未示出)来抽口颈部212。在真空控制器232的控制下用涡轮分子和机械泵送系统230来抽口室226。真空系统在室226内提供在约1 X 10_7托和5X 10_4托之间的真空。如果使用辅助蚀刻、蚀刻阻燃气体或沉积前体气体，则室背景压力可能上升，通常至约 1Χ1(Γ5 托。高压电源234被连接到离子源214以及聚焦镜筒216中的适当电极以便形成离子束218并将其向下指引。依照由图案发生器238提供的规定图案操作的偏转控制器和放大器236被耦合到偏转板220，从而可以控制射束218在样本222的上表面上描绘出相应的图案。在某些系统中，如本领域中众所周知的，将偏转板放置在最终透镜之前。离子源214通常提供镓的金属离子束，虽然可以使用其它离子源，诸如多会切或其它等离子体离子源。离子源214通常能够被聚焦到样本222处的亚十分之一微米宽射束以便通过离子研磨、增强型蚀刻、材料沉积来修改样本222或出于对样本222进行成像的目的。用于检测用于成像的二次离子或电子发射的带电粒子倍增器240被连接到信号处理器 Μ2，在那里，来自带电粒子倍增器240的信号被放大、转换成数字信号并经受信号处理。结果得到的数字信号是在监视器244上显示样本222的图像。扫描电子显微镜Ml以及电源和控制单元245还提供有FIB/SEM系统210。通过在阴极252与阳极2Μ之间施加电压来从阴极252发射电子束Μ3。借助于聚光透镜256 和物镜258将电子束243聚焦到细微斑点。借助于偏转线圈260在样本上二维地扫描电子束对3。由电源和控制单元245来控制聚光透镜256、物镜258和偏转线圈沈0的操作。可以将电子束243聚焦到样本222上，其在下室226内的能活动Χ_Υ_Ζ工作台224 上。扫描电子显微镜241产生被跨越结构的表面(优选地以光栅图案)扫描的细微聚焦电子束对3。当电子束对3中的电子撞击在工件222的表面上时，发射二次电子和背散射电子。 分别地，由二次电子检测器240或背散射电子检测器262来检测这些电子。由二次电子检测器240或背散射电子检测器262产生的模拟信号被信号处理器单元242放大并转换成数字亮度值。可以将结果得到的数字信号作为样本222的图像显示在监视器244上。打开门270以便将样本222插到可以被加热或冷却的工作台2Μ上，并且还用于对内部气体供应贮存器进行维修(如果使用一个的话)。门被联锁，使得如果系统处于真空下，则其不能被打开。高压电源向离子束镜筒216中的电极提供适当的加速电压以便激励离子束218并使其聚焦。气体递送系统246延伸至下室226中以便引入并朝着样本222指引气态蒸气。转让给本发明的受让人的授予Casella等人的美国专利No. 5，851，413(对于“feis Delivery Systems for Particle Beam Processing”)描述了适当的气体递送系统M6。在也转让给本发明的受让人的授予Rasmussen的美国专利No. 5, 435, 850 (对于“Gas Injection System”)中描述了另一气体递送系统。例如，可以递送碘以增强蚀刻，或者可以递送金属有机化合物以沉积金属。系统控制器219控制双射束系统20的各种部分的操作。通过系统控制器119，用户能够通过输入到常规用户接口(未示出)中的命令以期望的方式来促使扫描离子束218或电子束143。系统控制器119还可以包括计算机可读存储器221且可以依照存储在存储器 221中的数据或编程指令来控制双射束系统110。存储在存储器221中的关于样本/半导体的CAD数据可以用来产生CAD多边形覆盖图或用来对如上所述的感兴趣特征和对准点或传递基准进行定位的其它位置数据。虽然本发明的以上描述主要针对用于局部区域导航的高精确度射束放置的方法， 但应认识到执行本方法的操作的设备将进一步在本发明的范围内。此外，应认识到可以经由计算机硬件或软件或两者的组合来实现本发明的实施例。根据本说明书所述的方法和图，可以使用标准编程技术(包括配置有计算机程序的计算机可读存储介质)以计算机程序实现所述方法，其中，这样配置的存储介质促使计算机以特定和预定义的方式进行操作。可以以高级面向程序或对象编程语言来实现每个程序以与计算机系统通信。然而，如果需要， 可以以汇编或机器语言来实现程序。在任何情况下，语言可以是编译或解释语言。此外，程序可以在专用集成电路上运行，出于该目的来对所述专用集成电路编程。此外，可以在任何类型的计算平台中实现方法，包括但不限于个人计算机、微型计算机、主机、工作站、联网或分布式计算环境、单独地、被集成到带电粒子工具或其它成像设备的计算机平台或与之通信的计算机平台等。可以以存储在存储介质或器件上的机器可读代码来实现本发明的方面，无论其是能移动的还是被集成到计算平台的，诸如硬盘、光学读和/或写存储介质、RAM、ROM等，使得其可被可编程计算机读取，以便在由计算机读取存储介质或器件以执行本文所述过程时配置和操作计算机。此外，可以通过有线或无线网络来传送机器可读代码或其各部分。本文所述的发明包括这些及其它各种类型的计算机可读存储介质(当此类介质包含用于与微处理器或其它数据处理器相结合地实现上述步骤的指令或程序时)。本发明还包括根据本文所述的方法和技术被编程时的计算机本身。可以将计算机程序应用于输入数据以执行本文所述的功能并从而对输入数据进行变换以生成输出数据。输出信息被应用于诸如显示监视器的一个或多个输出设备。在本发明的优选实施例中，变换数据表示物理和有形对象，包括在显示器上产生物理和有形对象的特定视觉描述。本发明的优选实施例还利用诸如FIB或SEM的粒子束设备以便使用粒子束对样本进行成像。用来对样本进行成像的此类粒子固有地与样本相交互，从而导致一定程度的物理转变。此外，遍及本说明书，利用诸如“计算”、“确定”、“测量”、“生成”、“检测”、“形成”等术语的讨论还指的是计算机系统或类似电子设备的操纵被表示为计算机系统内的物理量的数据并将其变换成被类似地表示为计算机系统或其它信息存储、传输或显示设备内的物理量的其它数据的动作和过程。本发明的优选实施例因此提供用于到样本表面上的局部区域内的感兴趣特征的高精确度射束放置和导航的方法，包括
将样本加载到粒子束系统中；
使用第一视场来获取样本表面上的局部区域的第一图像，第一视场足够大以保证感兴趣特征的位置被包括在图像中(基于其来考虑成像系统的精确度)，第一图像包括感兴趣特征的位置和在感兴趣特征附近的一个或多个对准点，并且所述第一图像还具有使得图像像素尺寸等于或小于对准点的分辨率； 将坐标系覆盖图叠加在第一图像上，坐标系覆盖图表示样本表面上的特征的理想化坐标；
使用第一图像中的多个对准点和坐标系覆盖图中的相应理想化元素使第一图像与坐标系配准；
在图像和坐标系已被配准之后，使用来自坐标系的已知坐标导航到所获取的第一图像中的感兴趣特征的位置；
识别第一图像中的一个或多个传递基准，其中，所述传递基准包括能够被容易地识别的样本表面上的唯一可见特征；
记录传递基准与感兴趣特征之间的偏移；
使用第二视场来获取样本表面的第二图像，所述第二视场小于第一视场且包括感兴趣特征和所述一个或多个传递基准；
识别第二图像中的所述一个或多个传递基准；
使用传递基准与感兴趣特征之间的记录偏移来精确地导航到感兴趣特征的位置。此外，所述方法可以包括在产生所述一个或多个期望传递基准之后对局部区域重新成像并重复以下步骤
将坐标系覆盖图叠加在第一图像上，坐标系覆盖图表示样本表面上的特征的理想化坐标；
使用第一图像中的多个对准点和坐标系覆盖图中的相应理想化特征使第一图像与坐标系配准；以及
在图像和坐标系已被配准之后，使用来自坐标系的已知坐标导航到所获取的第一图像中的感兴趣特征的位置。本发明的优选实施例还提供了一种用于在粒子束系统中精确地对样本上的感兴趣特征进行定位的方法，包括
用粒子束对样本的目标区域进行成像以获得第一图像，该目标区域包括具有已知坐标的一个或多个附加可见对准特征和感兴趣特征的位置，所述第一图像是足够高的使得第一图像像素尺寸不多于任何所述对准特征的尺寸的两倍；
将坐标系的图形表示叠加在第一图像上，该坐标系使用理想化几何形状来表示目标区域内的可见特征的位置；
对第一图像内的具有已知坐标的所述一个或多个对准特征进行定位； 确定叠加坐标系与第一图像之间的偏移误差； 使坐标系与第一图像对准；
在第一图像内对样本表面上的一个或多个唯一可见样本特征进行定位以用作传递
基准；
记录传递基准与感兴趣特征的位置之间的偏移；
在感兴趣特征的位置处用粒子束来获取样本的第二图像，所述第二图像具有比第一图像更小的视场；
对第二图像中的传递基准进行定位；
使用传递基准与感兴趣特征之间的记录偏移对第二图像内的感兴趣特征进行定
位； 使用感兴趣特征的位置来控制粒子束的放置；以及 使用粒子束来处理样本。本发明的优选实施例还提供一种用于在不依赖于工作台移动的情况下对样本进行导航的方法，所述样本具有目标区域，该目标区域具有感兴趣特征和一个或多个对准点， 所述方法包括
获取目标区域的第一图像；
在目标区域内用对准点的理想化坐标系来覆盖图像； 对在感兴趣特征附近的图像内的一个或多个对准点进行定位； 使理想化坐标系与图像对准；
对在目标区域内但与样本分离的样本上的一个或多个唯一特征进行定位； 记录第一图像中的唯一特征与感兴趣特征之间的偏移； 获取具有较小视场的样本的新图像，所述新图像包括感兴趣特征；以及 对新图像中的感兴趣特征进行定位。根据本发明的优选实施例，第一图像的分辨率产生在10 - 60 nm范围内的像素尺寸。并且，所述坐标系覆盖图优选地包括表示半导体表面上的特征的位置并被在视觉上叠加显示在第一图像上的理想化几何形状。所述对准点优选地包括第一图像中的与坐标系覆盖图中的几何形状相对应的一个或多个可见特征，并且其中，使第一图像与坐标系配准的步骤包括使第一图像与坐标系覆盖图匹配，使得第一图像中的对准点和相应的几何形状对准。使第一图像与坐标系配准的步骤优选地包括通过使用计算机定位设备来指示第一图像中的对准点并且还使用计算机定位设备来指示坐标系覆盖图中的相应位置而交互地选择对准点。根据本发明的优选实施例，使第一图像与坐标系配准包括对一个或多个对准特征进行定位并确定一个或多个对准特征与坐标覆盖图中的相应特征之间的偏移误差。使第一图像与坐标系配准优选地包括使得第一图像中的对准特征与坐标系覆盖图中的相应元素匹配并使坐标系覆盖图与第一图像对准。使坐标系覆盖图与第一图像对准优选地包括对坐标系覆盖图进行移位、旋转、拉伸或调整大小以便使第一图像与坐标系覆盖图匹配。本发明的优选实施例还包括在使用第一图像中的多个对准特征和坐标系覆盖图中的相应理想化特征来使第一图像与坐标系配准之后，对在感兴趣特征附近具有其它对准特征的一个或多个附加位点进行重新成像并对由不同图像指示的偏移误差求平均值。获取目标区域的第一图像；用目标区域内的对准点的理想化坐标系覆盖该图像； 对在感兴趣特征附近的图像内的一个或多个对准点进行定位；使理想化坐标系与图像对准；对在目标区域内但与样本分离的样本上的一个或多个唯一特征进行定位；记录第一图像中的唯一特征与感兴趣特征之间的偏移；获取具有较小视场的样本的新图像，该新图像包括感兴趣特征；以及对新图像中的感兴趣特征进行定位的步骤全部都可以由在计算机机器上实行的自动化计算机脚本来执行，所述计算机机器被可操作地连接到粒子束系统。此外，本发明的优选实施例可以包括带电粒子系统，其包括存储计算机指令以执行上述方法的步骤的存储器。识别第一图像中的一个或多个传递基准的步骤优选地包括在感兴趣特征的位置附近的样本上产生一个或多个适当的传递基准。在感兴趣特征的位置附近的样本上产生一个或多个适当的传递基准可以包括在样本表面中研磨沟槽以用作基准，所述沟槽形成完全围绕感兴趣特征的位置的框架。识别已放大第一图像中的一个或多个传递基准可以包括产生在局部区域内但与感兴趣特征分离的一个或多个期望传递基准。根据本发明的优选实施例，可以通过离子束溅射或表面着色、气体辅助蚀刻或沉积或电子束诱导气体辅助蚀刻或沉积来产生所述一个或多个期望传递基准。根据本发明的优选实施例，第一图像具有至少IOOMfflX IOOMffl的视场和/或第二图像具有为第一视场的尺寸的10%或更小的视场。本发明的优选实施例还可以包括带电粒子系统，其包括存储计算机指令以执行上述方法的步骤的存储器。此外，本发明的优选实施例提供一种用于准确地对样本上的感兴趣特征进行定位的设备，包括
用于支撑样本的能活动样本工作台； 用于产生粒子束以对样本进行成像的粒子束镜筒；以及
计算机可读存储器，其存储计算机指令，该指令包括用于控制所述设备并促使所述设备执行以下步骤的程序
(i)获取目标区域的第一图像；
(ii)在目标区域内用对准点的理想化坐标系来覆盖图像；
(iii)对在感兴趣特征附近的图像内的一个或多个对准点进行精确地定位；
(iv)使理想化坐标系与图像对准；
(ν)对在目标区域内但与样本分离的样本上的一个或多个唯一特征进行定位；
(vi)记录第一图像中的唯一特征与感兴趣特征之间的偏移；
(vii)获取具有较小视场的样本的新图像，所述新图像包括感兴趣特征；
(viii)对新图像中的感兴趣特征进行定位；以及
(ix)使用感兴趣特征的位置来控制粒子束相对于样本的放置。根据本发明的优选实施例，所述样本工作台可以具有士500 nm或更大的位置误差，同时能够对感兴趣误差进行定位，并且能够以士 100 nm或更好的定位精确度相对于样本来安置粒子束。更优选地，以士30 nm或更好的定位精确度相对于样本来安置粒子束。根据本发明的优选实施例，所述样本工作台可以具有士 100 nm或更大的位置误差，同时能够对感兴趣特征进行定位，并且能够以士30 nm或更好的定位精确度相对于样本来安置粒子束ο本发明具有广泛的适用性，并且能够提供如以上示例所述和所示的许多益处。本实施例将根据特定的应用而大大地改变，并且不是每个实施例都将提供可由本发明实现的所有益处并满足可由本发明实现的所有目的。适合于执行本发明的带电粒子束系统商业上可从例如本申请的受让人FEI公司处购买到。然而，即使大部分前述描述都针对FIB研磨和成像的使用，但用来处理期望样本的射束可以包括例如电子束、激光束或例如来自液态金属离子源或等离子体离子源的聚焦或成形离子束或任何其它带电粒子束。此外，虽然大部分前述描述是针对粒子束系统，但本发明可以应用于采用能活动样本工作台来导航到样本特征的位置的任何适当样本成像系统。虽然大部分前述描述是针对半导体晶片，但本发明可以应用于任何适当的衬底或表面。此外，每当在本文中使用术语“自动”、“自动化”或类似术语时，那些术语将被理解为包括自动或自动化过程或步骤的手动发起。在以下讨论和权利要求中，以可扩充方式来使用术语“包括”和“包含”，并且因此应将其解释为意指“包括但不限于”。术语“集成电路” 指的是在微芯片的表面上被图案化的一组电子组件及其互连(共同地为内部电路元件)。术语“半导体器件”一般指的是可以被集成到半导体晶片、从晶片分割(singulate)或被封装以在电路板上使用的集成电路(IC)。术语“FIB”或“聚焦离子束”在本文中用来指任何准直离子束，包括被离子光学装置聚焦的射束和成形离子束。当在本文中讨论系统工作台或射束放置或导航的位置误差或精确度时，术语士 100 nm (或士30nm或士X nm)意味着射束可以在100 nm (或30 nm或Xnm)的最大误差内指向样本上的位置。术语“士 X nm的精确度”或“Xnm或更好的定位精确度”意味着该精确度为至少X nm且包括所有更小的值。术语“X nm或更大的精确度”意味着精确度为至少Xnm且包括所有更大的值。在本说明书中未具体地定义任何术语的程度上，意图是对术语给定其普通且平常的意义。附图意图帮助理解本发明，并且除非另外指明，并不按比例描绘。虽然已详细地描述了本发明及其优点，但应当理解的是在不脱离由所附权利要求定义的本发明的精神和范围的情况下可以对本文所述的实施例进行各种变更、替换和修改。此外，本申请的范围并不意图局限于本说明书中所述的物质、装置、方法和步骤的过程、 机器、制造、组成的特定实施例。如本领域的技术人员将容易地从本发明的公开认识到的， 根据本发明，可以利用执行与本文所述的相应实施例基本上相同的功能或实现基本上相同的结果的目前存在或稍后将开发的物质、装置、方法或步骤的过程、机器、制造、组成。因此， 所附权利要求意图在其范围内包括物质、装置、方法或步骤的此类过程、机器、制造、组成。
权利要求
1.一种用于到样本表面上的局部区域内的感兴趣特征的高精确度射束放置和导航的方法，包括将样本加载到粒子束系统中；使用第一视场来获取样本表面上的局部区域的第一图像，该第一视场足够大以保证感兴趣特征的位置被包括在图像中，基于其来考虑成像系统的精确度，第一图像包括感兴趣特征的位置和在感兴趣特征附近的一个或多个对准点，并且所述第一图像还具有使得图像像素尺寸等于或小于对准点的分辨率；将坐标系覆盖图叠加在第一图像上，该坐标系覆盖图表示样本表面上的特征的理想化坐标；使用第一图像中的多个对准点和坐标系覆盖图中的相应理想化元素使第一图像与坐标系配准；在图像和坐标系已被配准之后，使用来自坐标系的已知坐标导航到所获取的第一图像中的感兴趣特征的位置；识别第一图像中的一个或多个传递基准，其中，所述传递基准包括能够被容易地识别的样本表面上的唯一可见特征；记录传递基准与感兴趣特征之间的偏移；使用第二视场来获取样本表面的第二图像，所述第二视场小于第一视场且包括感兴趣特征和所述一个或多个传递基准；识别第二图像中的所述一个或多个传递基准；使用传递基准与感兴趣特征之间的记录偏移来精确地导航到感兴趣特征的位置。
2.权利要求1的方法，其中，第一图像的分辨率产生在10— 60 nm范围内的像素尺寸。
3.权利要求1的方法，其中，所述坐标系覆盖图包括表示半导体表面上的特征的位置并被在视觉上叠加显示在第一图像上的理想化几何形状。
4.权利要求3的方法，其中，所述对准点包括第一图像中的与坐标系覆盖图中的几何形状相对应的一个或多个可见特征，并且其中，使第一图像与坐标系配准的步骤包括使第一图像与坐标系覆盖图匹配，以使得第一图像中的对准点和相应的几何形状被对准。
5.权利要求4的方法，其中，使第一图像与坐标系配准的步骤包括通过使用计算机定位设备来指示第一图像中的对准点并且还使用计算机定位设备来指示坐标系覆盖图中的相应位置来交互地选择对准点。
6.权利要求1的方法，其中，使第一图像与坐标系配准包括对一个或多个对准点进行定位并确定一个或多个对准点与坐标覆盖图中的相应特征之间的偏移误差。
7.权利要求6的方法，其中，使第一图像与坐标系配准包括使第一图像中的对准点与坐标系覆盖图中的相应元素匹配并使坐标系覆盖图与第一图像对准。
8.权利要求7的方法，其中，使坐标系覆盖图与第一图像对准包括对坐标系覆盖图进行移位、旋转、拉伸或调整大小以便使第一图像与坐标系覆盖图匹配。
9.权利要求1的方法，还包括在使用第一图像中的多个对准点和坐标系覆盖图中的相应理想化特征来使第一图像与坐标系配准之后，对在感兴趣特征附近具有其它对准点的一个或多个附加位点进行重新成像并对由不同图像指示的偏移误差求平均值。
10.权利要求1的方法，其中，由在计算机机器上实行的自动化计算机脚本来执行使第一图像与坐标系配准的步骤。
11.权利要求1的方法，其中，识别第一图像中的一个或多个传递基准的步骤包括在感兴趣特征的位置附近的样本上产生一个或多个适当的传递基准。
12.权利要求11的方法，其中，在感兴趣特征的位置附近的样本上产生一个或多个适当的传递基准包括在样本表面中研磨沟槽以用作基准，所述沟槽形成完全围绕感兴趣特征的位置的框架。
13.权利要求1的方法，其中，识别已放大第一图像中的一个或多个传递基准包括产生在局部区域内但与感兴趣特征分离的一个或多个期望传递基准。
14.权利要求13的方法，其中，通过离子束溅射或表面着色、气体辅助蚀刻或沉积或电子束诱导气体辅助蚀刻或沉积来产生所述一个或多个期望传递基准。
15.权利要求13的方法，还包括在产生所述一个或多个期望传递基准之后，对局部区域重新成像并重复以下步骤将坐标系覆盖图叠加在第一图像上，该坐标系覆盖图表示样本表面上的特征的理想化坐标；使用第一图像中的多个对准点和坐标系覆盖图中的相应理想化特征使第一图像与坐标系配准；以及在图像和坐标系已被配准之后，使用来自坐标系的已知坐标导航到所获取的第一图像中的感兴趣特征的位置。
16.权利要求1的方法，其中，所述第一视场为至少IOOMfflXlOOMffl。
17.权利要求1的方法，其中，所述第二视场为第一视场的尺寸的10%或更小。
18.权利要求6的方法，其中，所述偏移误差用来在获取第二图像之前安置粒子束。
19.一种包括存储计算机指令以执行权利要求1的步骤的存储器的带电粒子系统。
20.一种用于在粒子束系统中精确地对样本上的感兴趣特征进行定位的方法，包括 用粒子束对样本的目标区域进行成像以获得第一图像，该目标区域包括具有已知坐标的一个或多个附加可见对准特征和感兴趣特征的位置，所述第一图像是足够高的使得第一图像像素尺寸不多于任何所述对准特征的尺寸的两倍；将坐标系的图形表示叠加在第一图像上，该坐标系使用理想化几何形状来表示目标区域内的可见特征的位置；对第一图像内的具有已知坐标的所述一个或多个对准特征进行定位； 确定叠加坐标系与第一图像之间的偏移误差； 使坐标系与第一图像对准；在第一图像内对样本表面上的一个或多个唯一可见样本特征进行定位以用作传递基准；记录传递基准与感兴趣特征的位置之间的偏移；在感兴趣特征的位置处用粒子束来获取样本的第二图像，所述第二图像具有比第一图像更小的视场；对第二图像中的传递基准进行定位；使用传递基准与感兴趣特征之间的记录偏移对第二图像内的感兴趣特征进行定位； 使用感兴趣特征的位置来控制粒子束的放置；以及使用粒子束来处理样本。
21.权利要求20的方法，其中，所述对准特征包括第一图像中的与叠加坐标系中的几何形状相对应的一个或多个可见特征，并且其中，使坐标系与第一图像对准的步骤包括使第一图像与叠加坐标系匹配，以使得第一图像中的对准特征和相应的几何形状被对准。
22.权利要求20的方法，其中，使坐标系与第一图像对准包括对叠加坐标系进行移位、旋转、拉伸或调整大小以便使第一图像与叠加坐标系匹配。
23.权利要求20的方法，还包括在使用第一图像中的多个对准特征和叠加坐标系中的相应理想化特征来使坐标系与第一图像对准之后，对在感兴趣特征附近具有其它对准特征的一个或多个附加位点进行重新成像并对由附加图像指示的偏移误差求平均值。
24.权利要求20的方法，其中，由在计算机机器上实行的自动化计算机脚本来执行确定叠加坐标系与第一图像之间的偏移误差以及使坐标系与第一图像对准的步骤。
25.权利要求20的方法，其中，由在计算机机器上实行的自动化计算机脚本来执行使用传递基准和感兴趣特征之间的记录偏移来对第二图像内的感兴趣特征进行定位以及使用感兴趣特征的位置来控制粒子束的放置的步骤。
26.权利要求1的方法，其中，在第一图像内对样本表面上的一个或多个唯一可见样本特征进行定位以用作传递基准的步骤包括在感兴趣特征的位置附近的样本上产生一个或多个适当的传递基准。
27.权利要求沈的方法，其中，在感兴趣特征的位置附近的样本上产生一个或多个适当的传递基准包括在样本表面中研磨沟槽以用作基准，所述沟槽形成完全围绕感兴趣特征的位置的框架。
28.权利要求20的方法，其中，所述第一图像具有至少为IOOMfflXIOOMfli的视场。
29.权利要求观的方法，其中，所述第二图像具有为第一图像的视场的尺寸的10%或更小的视场。
30.一种包括存储计算机指令以执行权利要求20的步骤的存储器的带电粒子系统。
31.一种用于在不依赖于工作台移动的情况下对样本进行导航的方法，所述样本具有目标区域，该目标区域具有感兴趣特征和一个或多个对准点，所述方法包括获取目标区域的第一图像；在目标区域内用对准点的理想化坐标系来覆盖图像；对在感兴趣特征附近的图像内的一个或多个对准点进行定位；使理想化坐标系与图像对准；对在目标区域内但与样本分离的样本上的一个或多个唯一特征进行定位；记录第一图像中的唯一特征与感兴趣特征之间的偏移；获取具有较小视场的样本的新图像，所述新图像包括感兴趣特征；以及对新图像中的感兴趣特征进行定位。
32.权利要求31的方法，其中，由在计算机机器上实行的自动化计算机脚本来执行获取目标区域的第一图像；用目标区域内的对准点的理想化坐标系来覆盖该图像；对在感兴趣特征附近的图像内的一个或多个对准点进行定位；使理想化坐标系与图像对准；对在目标区域内但与样本分离的样本上的一个或多个唯一特征进行定位；记录第一图像中的唯一特征与感兴趣特征之间的偏移；获取具有较小视场的样本的新图像，该新图像包括感兴趣特征；以及对新图像中的感兴趣特征进行定位的步骤，所述计算机机器在操作中被连接到粒子束系统。
33.一种用于精确地对样本上的感兴趣特征进行定位的设备，包括 用于支撑样本的能活动样本工作台；用于产生粒子束以对样本进行成像的粒子束镜筒；以及计算机可读存储器，其存储计算机指令，该指令包括用于控制所述设备并促使所述设备执行以下步骤的程序(i)获取目标区域的第一图像；(ii)在目标区域内用对准点的理想化坐标系来覆盖图像；(iii)对在感兴趣特征附近的图像内的一个或多个对准点进行精确地定位；(iv)使理想化坐标系与图像对准；(ν)对在目标区域内但与样本分离的样本上的一个或多个唯一特征进行定位；(vi)记录第一图像中的唯一特征与感兴趣特征之间的偏移；(vii)获取具有较小视场的样本的新图像，所述新图像包括感兴趣特征；(viii)对新图像中的感兴趣特征进行定位；以及(ix)使用感兴趣特征的位置来控制粒子束相对于样本的放置。
34.权利要求33的设备，其中，所述样本工作台具有士500 nm或更大的位置误差，并且其中，能够以士 100 nm或更小的位置误差来相对于样本安置所述粒子束。
35.权利要求33的设备，其中，能够以士30 nm或更小的位置误差来相对于样本设置所述粒子束。
全文摘要
一种在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进方法。本发明举例说明一种其中甚至在工作台/导航系统不能正常地进行到相对较大的局部区域(例如，区域200μm×200μm)内的感兴趣位点的高精确度导航的情况下也有可能进行此类高精确度导航的方法。大的区域、高分辨率扫描、数字变焦和图像到理想化坐标系的配准的组合使得能够在不依赖于工作台移动的情况下在局部区域周围实现导航。一旦获取了图像，则任何样本或射束漂移将不影响对准。优选实施例因此允许具有低于100nm精确度的到样本上的位点的精确导航，甚至在没有高精确度工作台/导航系统的情况下。
文档编号H01J37/20GK102246258SQ200980149693
公开日2011年11月16日 申请日期2009年10月11日 优先权日2008年10月12日
发明者吕 C., D. 卡尔森 P., J. 杨 R. 申请人:Fei 公司