紫外线灯及紫外线照射装置的制作方法

专利名称：紫外线灯及紫外线照射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及紫外线灯及紫外线照射装置。
背景技术：
作为清洗液晶面板用玻璃基板等的清洗装置等所使用的紫外线灯，存在双层管结 构的激元灯(excimer lamp)(参照日本的特许公开公报的特开2003-257375公报及特开平 9-97597号公报)。进而，同样作为清洗装置等所使用的紫外线灯，存在使用了圆柱形的放电容器的 紫外线灯(参照日本的特许公开公报的特开2003-197152公报)。还有，同样作为清洗装置等所使用的紫外线灯，存在使用了方形箱型的放电容器 的紫外线灯(参照国际特性申请的国际公开号W02004/025175号公报)。但是，在日本的特许公开公报的特开2003-257375公报及特开平9_97597号公报 中记载的双层管结构中，产生的紫外线从灯向全方向放射状地射出。因此，向与由紫外线清 洗的对象物(机件(work)W)相反方向放射的紫外线未被用于清洗。为了解决该问题，例如， 如第8图所示，在灯100的后方(与机件W相反侧)设置反射板101。这样，通过将向后方 射出的光引导向机件W侧，从而能够实现照射效率的提高。而且，为了防止由灯100的周围存在的氧吸收紫外线而照射强度降低，需要对灯 100和反射板101之间的空间进行密封，采用封入了氮气的密封构造的灯罩103。在该情况 下，需要在灯罩103的机件W侧设置紫外线射出用的窗部102。但是，这样，在使用了灯罩103的情况下，存在装置整体大型化，进而构造上成本 也增高的问题。而且，由于嵌入到反射板101、及窗部102的玻璃材通过紫外线而会经时地 劣化，因此另外需要对这些部件的维护。其结果，产生运转费增大的问题。在日本的特许公开公报的特开2003-197152号所公开的例子中，在灯主体的外周 面中的与光照射方向相反侧的部分安装有光线反射器(用于反射光线)。通过采用这样的 结构，则不需要上述的灯罩。但是，紫外线会被空气中的氧吸收。因此，为了对机件W照射强度强的紫外线，需 要使灯尽量靠近机件W。可是，在这样的例子中，由于灯形状为圆柱形，因此紫外线从灯放 出之后至到达机件W的距离，因紫外线向何方向放出、及从灯的何位置放出而差异较大。因 此，即便怎么使灯靠近机件W，必然一部分紫外线会通过空气中的长距离之后到达机件W。 其结果，该紫外线被氧吸收的比例增高，因此产生紫外线的照射效率变低的问题。在国际特性申请的国际公开号W02004/025175号公报所记载的例子中，放电容器 是方形箱型。在该放电容器中，下面设置有紫外线能透射的网眼(mesh)电极，上面设置有 反射紫外线的电极。在该例子中，由于上面设置有反射紫外线的电极，因此不需要上述那样的灯罩。另外，从说明的便利上，设W02004/025175号公报的第4图所示的长方体的放电容 器的六个面中的设置有紫外线反射电极(Ib)的面为上面，设设置有紫外线能透射的网眼 电极(Ic)的面为下面。进而，设剩余的四个面中的面积大的一方的面为侧面，设面积小的 一方的面为前后面。进一步，设从放电容器的中心部朝向上面的方向为上方向，朝向下面的 方向为下方向，朝向侧面的方向为侧方向。在该W02004/025175号公报的例子中，由于放电容器是方形箱型，因此机件W侧的 面(下面)成为平面。因此，在使灯的下面靠近机件W时，无论在下面的何位置，下面都会 均勻地靠近机件W。所以，与使用了上述那样的圆柱形的灯的情况比较，能够提高紫外线的 照射效率。但是，这样的方形箱型的灯与圆柱形的灯比较，存在容易出现裂纹的问题。激元灯 等紫外线灯的放电容器中，一般以熄灯时比大气压更低的压力封入有气体。并且，还存在点 灯时的放电容器内的气压比大气压更高的紫外线灯。因此，对熄灯时的放电容器，从外部施 加由大气压引起的压迫力。进而，存在通过灯而在点灯时施加由内部气体引起的膨胀力的 情况。在上述那样的方形箱型的放电容器的情况下，需要使设置有反射紫外线的电极的上 面、和以能透射紫外线的方式设置有网眼电极的下面为大面积。因此，由大气压引起的压迫 力和由内部气体引起的膨胀力，在这些面中比其它面更大。其结果，通过施加到该上面和下 面的大的压力，对侧面的部分施加大的力。其结果，放电容器在侧面容易出现裂纹。

发明内容
本发明为解决上述的问题而实现，其目的在于提供以简易的结构获得充分的照射 效率，且放电容器不易出现裂纹的紫外线灯及紫外线照射装置。本发明的第一发明是具备形成为筒状的放电管的紫外线灯，该紫外线灯的特征在 于，在放电管的外周壁的相互对置的位置，具备曲面部和紫外线透过用的平坦部，并且，曲 面部形成为放电管的内部侧的面成为凹面(参照第2图)。另外，在本发明中，从说明的便利上，设第2图的上方向为放电管的上方向(S卩，曲 面部位于的方向为上方向)，设第2图的下方向为放电管的下方向(即，紫外线透过用的平 坦部位于的方向为下方向)。设第2图的左右的方向为放电管的侧方向。进而，设第2图中 的垂直于纸面的方向为放电管的长度方向。根据第一发明，在放电管的外周壁设置有紫外线透过用的平坦部。在使该平坦部 靠近机件W的情况下，由于平坦部是平坦的，因此平坦部的任何位置都均勻地靠近机件W。 因此，能抑制使用了圆柱形的放电容器的现有例中产生的“必然一部分紫外线会通过空气 中的长距离之后到达机件W”的问题。其结果，与使用了圆柱形的灯的情况相比，能够提高 紫外线的照射效率。进而，根据第一发明，与使用了方形箱型的放电容器的现有例比较，能够获得放电 管不易出现裂纹的效果。在第一发明的放电管中，与紫外线透过用的平坦部对置的外周壁， 内部侧的面是成为凹面的曲面部。因此，即使对该放电管施加由大气压引起的压迫力或由 内部气体引起的膨胀力，该力也不会集中在一个位置而会分散。因此，在本发明中，能够抑 制在W02004/025175号公报的第4图所示的长方体的放电容器的情况下产生的、力集中在侧面而侧面变得容易出现裂纹的问题。当然，第一发明的“平坦部”中的平坦，并非仅意味着是完全的平面。即使平坦部 稍微变形，只要与对置的凹面相比是足够平坦，则可知能够获得本发明的效果。另外，第一发明中的曲面部未必仅由曲面构成。例如，如第9图所示，与紫外线透 过用的平坦部201对置的曲面部，可以由两个圆弧状部203、和被夹持于这两个圆弧状部之 间的、比紫外线透过用的平坦部201宽度更窄的平坦部202构成。可知在这样的情况下也 能获得第一发明的效果。在这样的情况下，优选曲面部所包含的平坦部202的宽度在紫外 线透过用的平坦部201的宽度的2/3以下，更优选在1/2以下，进一步优选在1/3以下。在 平坦部202的宽度与紫外线透过用的平坦部201的宽度同等以上时，不包括在本发明的第 一发明中。在这样的情况下，与使用了方形箱型的放电容器的情况相同，通过施加到对置的 两个平坦部的由大气压引起的压迫力，对平坦部202的两侧的圆弧状部施加强力。其结果， 该圆弧状部容易出现裂纹。因此，不能获得本发明中的第一发明的、放电管不易出现裂纹的 效果。进而，第一发明的曲面部，如第10图所示，还可由比紫外线透过用的平坦部201宽 度窄得多的多个平坦部204构成。在这样的情况下，可知也能获得第一发明的效果。可是，希望第一发明的曲面部由不包括平坦部的一个凹曲面构成。由此，更能够增 强放电管的强度。而且，更优选第一发明的曲面部由不包括平坦部的、截面为圆弧状的一个凹曲面 构成。由此，能够非常地增强放电管的强度。本发明的第二发明的特征在于，在第一发明中的紫外线灯中，在曲面部设置有紫 外线反射部件，紫外线反射部件沿曲面部，比从放电管的一方侧部到另一方侧部的范围更 广地形成，并且，在与放电管的长度方向垂直的紫外线灯的截面中，在紫外线反射部件中的 紫外线反射面中的比一方侧部更靠下侧的部分的点，垂直于向紫外线反射面的切平面并朝 向放电管的内部的方向比从一方侧部向另一方侧部的方向更靠向下侧。对于第二发明中的侧部相当于哪个位置，在第11图中的放电管的截面中进行说 明。设形成在放电管的外壁面的紫外线透过用的平坦部201中的、放电管的内侧的面为底 边。设形成在放电管的外壁面的曲面部205中的、放电管的内侧的面中的、离底边最远的点 为顶点T。将通过该顶点T并与底边垂直的直线作为基准线。设该基准线与底边的交点为 底点B。设通过顶点T与底点B的中心点且与基准线垂直的直线为中心线。此时，设曲面 部205中的、放电管的外侧的面与该中心线的两个交点为侧部Si、S2。以上的说明是在如 第11图所示的截面中的说明，但实际上，放电管中垂直于第11图的纸面的方向为长度，因 此这些侧部是沿放电管的长度方向的线。另外，对该侧部的定义，对第二发明以外的发明相 同。第二发明中的“紫外线反射部件沿曲面部，比从放电管的一方侧部到另一方侧部 的范围更广地形成”是指，沿曲面部205，在从一方侧部Sl到另一方侧部S2的范围内至少 存在紫外线反射构件206，进而，在两个侧部的至少一方，紫外线反射部件206超过该侧部 进而延伸到下方向。第12图是放电管为圆柱形的比较例的情况下的放电管的截面图。如第12图所 示，在为圆柱形的放电管207时，为了抑制来自放电管的侧方向的紫外线的放出，与本发明的第二发明同样，使紫外线反射部件206延伸到比侧部Sl更靠下侧。在该情况下，从比侧 部Sl更靠下侧的紫外线反射部件的点A，垂直于向紫外线反射部件的反射面的切平面并朝 向放电管内部的方向(在第12图中，从点A朝向放电管内部的箭头的方向)，成为比从侧 部Sl朝向侧部S2的方向更上方向。换而言之，在比该侧部Sl更靠下侧的紫外线反射部件 206中反射的紫外线，向上方向的倾向比向下方向的倾向更强。因此，在紫外线的一部分中， 从放电管到向机件W放出，在放电管内被反射的次数增多。这样，若反射次数增多，则紫外 线衰减。其结果，产生照射到机件W的紫外线量减少的问题。该问题在使用了方形箱型的放电容器的情况下也同样。在方形箱型的放电容器 中，为了抑制向侧方向的紫外线的泄漏，设为在两个侧面设置紫外线反射部件。在该情况 下，在相对的两个侧面之间，紫外线的一部分通过反射而多次往复。紫外线在向机件W放出 之前被衰减。因此，在使用了方形箱型的放电容器的情况下，也存在放出的紫外线强度减弱 的问题。在本发明的第二发明中，如第11图所示，从比一方侧部Sl更靠下侧的部分的点A， 垂直于向紫外线反射面的切平面并朝向放电管内部的方向(在第11图中，从点A朝向放电 管内部的箭头的方向)，成为比从一方侧部Sl朝向另一方侧部S2的方向更下方向。换而 言之，在比该侧部Sl更靠下侧的紫外线反射部件206中反射的紫外线，向下方向的倾向比 向上方向的倾向更强。因此，紫外线从放电管到向机件W放出，在放电管内被反射的次数减 少。这样，若能够减少反射次数，则能够抑制紫外线的衰减。其结果，能够抑制照射到机件 W的紫外线量的减少。第二发明中的“紫外线反射部件沿曲面部，比从放电管的一方侧部到另一方侧部 的范围更广地形成”并非意味着，沿曲面部205在从一方侧部Sl到另一方侧部S2的全部的 范围内一定存在紫外线反射构件206。例如，在从一方侧部Sl到另一方侧部S2的范围的一 部分存在紫外线强度测定用的透光窗，在该透光窗的部分也可不设置紫外线反射部件206。 在这样的情况下，作为整体，只要在从一方侧部Sl到另一方侧部S2的几乎整个范围存在紫 外线反射部件，则可知能够获得第二发明的效果。在第二发明中，无需从比一方侧部更靠下侧的部分的所有点，垂直于向紫外线反 射面的切平面并朝向放电管内部的方向，都比从一方侧部向另一方侧部的方向更靠向下 侧。即使存在一部分不满足这样的条件的点，只要比一方侧部更靠下侧的部分的大半的点 满足这样的条件，则可知能够获得第二发明的效果。在第11图中，紫外线反射部件206形成在放电管的外面，但本发明的第二发明并 非限定于这样的情况，紫外线反射部件206也可形成在放电管的内面。本发明的第三发明的特征在于，在第一发明的紫外线灯中，在曲面部设置有紫外 线反射部件，紫外线反射部件沿曲面部，比从放电管的一方侧部到另一方侧部的范围更广 地形成，并且，紫外线反射部件是用于产生主放电的第一电极，主放电用于产生紫外线。例如，若将铝等粘接固定在曲面部205的外壁面而形成第一电极，则还可将该第 一电极作为紫外线反射部件206使用。若使第一电极具有作为紫外线反射部件的功能，则 无需与第一电极独立地设置紫外线反射部件206。其结果，由于能够削减制作工序及材料 费，因此能够使灯廉价。在使用了方形箱型的放电容器的比较例的灯中，为了抑制来自放电容器的侧方向的紫外线的放出，设为从放电容器的上面到两侧的侧面，设置具有作为紫外线反射部件的 功能的第一电极。在这样的情况下，难以将与第一电极形成放电的第二电极以实用的形状、 且以与第一电极的距离在第一电极的任何部分都均勻的方式设置。其结果，第一电极与第 二电极的距离因第一电极的部分而异。因此，在第一电极与第二电极之间，放电集中在电极 间距离短的位置。其结果，产生放电强度变弱的问题。对此，在本发明的第三发明中，在曲面部设置用于产生主放电的第一电极，主放电 用于产生紫外线。因此，与使用了方形箱型的放电容器的比较例的情况不同，即使在侧方向 设置了具有作为紫外线反射部件的功能的第一电极，也能容易地进行第一电极与第二电极 的距离大致均勻的灯的设计(例如，参照第2图)。在第2图中，第一电极形成在放电管的外面，但本发明的第三发明并非限定于这 样的情况，第一电极也可形成在放电管的内面。本发明的第四发明的特征在于，在第一发明的紫外线灯中，放电管的材质是石英 玻璃。在使用了方形箱型的放电容器的比较例的灯中，在下面与侧面之间的角的紫外线 照射量比其周围部分少。已知石英玻璃若被照射紫外线，则分子结构会发生变化，可认为该 变化的程度与紫外线照射量成比例。因此，在对放电管的材料使用石英玻璃的情况下，在角 及其周围以分子结构发生变化的程度产生不均。其结果，在放电容器中应变，存在容易出现 裂纹的问题。本发明的第四发明，在放电管的外周壁中的、与紫外线透过用的平坦部对置的位 置，具备放电管的内部侧的面成为凹面的曲面部。通过使放电管为这样的形状，能够使得在 平坦部的两端的角的部分的紫外线量与其周围的部分相比差别不大。其结果，由于不易产 生由紫外线照射引起的石英玻璃的应变，因此放电管不易出现裂纹。本发明的第五发明的特征在于，在第三发明的紫外线灯中，第一电极是接地用，第 一电极设置在曲面部的外面，并且，放电管的内部设置有高电压连接用的第二电极。在现有的使用了方形箱型的放电容器的灯中，从制造的容易度、及由灯的使用引 起的电极的劣化的抑制等目的出发，引起放电的两个电极都设置在放电容器的外侧。在点 亮灯时，在接地的一方电极(接地电极)、和施加高电压交流的电极(高电压电极)之间产 生放电。此时，若在紫外线透过用的下面使用高电压电极，则由于高电压电极与机件W靠 近，因此存在根据机件W的种类而在高电压电极与机件W之间产生放电的问题。因此，需要 在紫外线透过用的下面使用接地电极，并在上面使用高电压电极。在使用了这样的方形箱 型的放电容器的比较例的灯中，为了抑制来自放电容器的侧方向的紫外线的放出，设为从 放电容器的上面到两侧的侧面设置具有作为紫外线反射部件的功能的高电压电极。在这样 的情况下，高电压电极中的放电容器的侧面中的部分靠近机件W。其结果，存在根据机件W 的种类而在高电压电极与机件W之间产生放电的问题。在本发明的第五发明中，第一电极设置在放电管的曲面部的外面。因此，容易制造 第一电极，且能够抑制由灯的使用引起的第一电极的劣化。进而，在第五发明中，第一电极 是接地用。因此，尽管第一电极设置在放电管的曲面部的外面，也不会发生从第一电极向机 件W的放电。而且，在第五发明中，由于高电压连接用的第二电极设置在放电管的内部，因 此还能够抑制从第二电极向机件W的放电。
另外，在现有的使用了圆柱形的放电管的情况下，将第一电极作为高电压连接用， 设置在放电管的曲面部的外面。在这样的情况下，由于放电管为圆柱形，因此第一电极不会 接近到机件W的附近。因此，在圆柱形的放电管的情况下，即使将第一电极作为高电压连接 用而设置在放电管的曲面部的外面，第一电极与机件W之间的放电也几乎不会成为问题。 因此，本发明的第五发明是解决在放电管中存在紫外线透过用的平坦部时特有的问题的发 明。本发明的第六发明的特征在于，在第一发明的紫外线灯中，在曲面部设置有第一 电极，第一电极沿曲面部，比从放电管的一方侧部到另一方侧部的范围更广地形成，在放电 管的内部设置有沿放电管的长度方向延伸的线状的第二电极，第二电极设置在平坦部的中 心部的附近，并且，构成为在第一电极与第二电极之间产生主放电。对于第六发明中的“平坦部的中心部的附近”的意义，在第13图中的放电管的截 面中进行说明。设形成在放电管的外壁面的紫外线透过用的平坦部201中的、放电管的内 侧的面为底边。此时，设与底边平行的直线中的、收纳在放电管内的部分的长度最长的直线 为直线WL。设该直线WL与放电管的内面的两个交点为Wl及W2。进而，设该Wl与W2的中 心点为WC。此时，设直线WL上的点中的、与WC的距离为WC与Wl的距离的1/4的两个点为 W3及W4。此时，“平坦部的中心部的附近”被限定在通过W3并与直线WL垂直的直线、和通 过W4并与直线WL垂直的直线之间。进而，设形成在放电管的外壁面的曲面部205中的、放 电管的内侧的面中的、离底边最远的点为顶点T。将通过该顶点T并与底边垂直的直线作为 基准线。设该基准线与底边的交点为底点B。设与底边平行的直线中的、通过顶点T与底 点B的中心点的直线为直线HC。此时，“平坦部的中心部的附近”被限定在直线HC与底边 之间。即，第六发明中的“平坦部的中心部的附近”成为第13图中标记的四角的内部。第六发明中的“第二电极设置在平坦部的中心部的附近”意味着，第二电极的、垂 直于放电管的长度方向的截面的中心点设置在“平坦部的中心部的附近”。根据第六发明，作为第二电极使用线状的电极。因此，无需将如用于现有的方形箱 型的紫外线灯的放电容器的紫外线透过面的网眼状的电极作为第二电极。其结果，能够将 被第二电极遮挡的紫外线的量抑制得较少。进而，根据第六发明，除了沿着以放电管的内部 侧的面成为凹面的方式形成的曲面部205设置第一电极以外，第二电极设置在平坦部201 的中心部的附近。通过这样的两个电极的组合，在第一电极的较广的范围内与第二电极的 距离大致均勻。其结果，由于在放电管内的较广的范围内产生放电，因此能够获得增强紫外 线强度的效果。本发明的第七发明的特征在于，在第六发明的紫外线灯中，第一电极，截面为近似 圆弧状，并且，从第一电极的截面上的各点在等距离的位置，设置有沿放电管的长度方向延 伸的线状的第二电极。第七发明中的“等距离”并非仅意味着距离完全地相等的情况。即使距离稍微不 同，实际上大致从整个第一电极产生放电的程度不同的情况可视作为“等距离”。根据第七发明，由于实际上能够大致从整个第一电极产生放电，因此在放电管的 更广的范围内产生放电。其结果，可获得紫外线强度更增强的效果。本发明的第八发明的特征在于，在第一发明的紫外线灯中，在曲面部设置有第一 电极，在放电管的内部设置有沿放电管的长度方向延伸的线状的第二电极，构成为在第一电极与第二电极之间产生主放电，在平坦部设置有辅助电极，并且，构成为在第二电极与辅 助电极之间产生辅助放电(参照第4图)。此处，辅助电极起到使第一电极与第二电极之间容易产生放电(主放电)且使主 放电稳定化的作用。即，首先在第二电极与辅助电极之间产生放电(辅助放电)。由该放电生成的带电 粒子、亚稳态的原子或离子、还有光子为了发生/维持主放电而降低必要的施加电压。其结 果，能够降低灯启动时的电压，且使点亮时的放电等离子体稳定化。而且，在这种灯中，为了高输出化而希望提高封入气压。但是，若这样做，则通常放 电变得不稳定(提高封入气压具有与在施加电压恒定的情况下增大电极间距离大致相同 的效果)。但是，在第八发明中，在主放电空间内，能够均等且有效地供给由辅助放电产生 的带电粒子、亚稳态的原子或离子、还有光子，因此能够增加在主放电空间内存在的放电气 体的电离系数。伴随于此，由于主放电空间成为容易产生放电的状态，因此不必增加施加电 压，就能确保放电的稳定性。在第八发明中，在放电管的内部设置的第二电极与设置在平坦部的辅助电极之间 进行辅助放电，且在放电管的内部设置的第二电极与设置在曲面部的第一电极之间进行主 放电。通过采用这种结构，能够高效地进行由辅助放电引导的主放电，且在放电管内能够确 保较广的放电区域。本发明的第九发明的特征在于，在第一发明的紫外线灯中，在曲面部设置有第一 电极，在放电管的内部设置有沿放电管的长度方向延伸的线状的第二电极，第二电极设置 在平坦部的中心部的附近，构成为在第一电极与第二电极之间产生主放电，并且，在平坦部 未设置第二电极以外的电极。第九发明中的“第二电极设置在平坦部的中心部的附近”的意义与第六发明中的 情况相同。第九发明中的“在平坦部未设置第二电极以外的电极”并非意味着第二电极必须 设置在平坦部。第二电极也可不设置在平坦部，还可与平坦部分离而设置在放电管的内部。根据第九发明，作为用于主放电的第二电极而使用沿放电管的长度方向延伸的线 状的电极。其结果，能够将被第二电极遮挡的紫外线的量抑制得较少。进而，由于在平坦部 未设置第二电极以外的电极，因此可获得被电极遮挡的紫外线量少的灯。进而，根据第九 发明，除了沿着以放电管的内部侧的面成为凹面的方式形成的曲面部205设置第一电极以 外，第二电极设置在平坦部201的中心部的附近。通过这样的两个电极的组合，在第一电极 的较广的范围内与第二电极的距离大致均勻。其结果，由于在放电管内的较广的范围内产 生放电，因此能够获得增强紫外线强度的效果。本发明的第十发明的特征在于，在第一发明的紫外线灯中，在曲面部设置有第一 电极，在放电管的外部设置有沿放电管的长度方向延伸的线状的第二电极，第二电极设置 在平坦部的中心部的附近，构成为在第一电极与第二电极之间产生主放电，并且，在平坦部 未设置第二电极以外的电极(参照第3图)。对于第十发明中的“平坦部的中心部的附近”的意义，在第14图中的放电管的截 面中进行说明。设形成在放电管的外壁面的紫外线透过用的平坦部201中的、放电管的内 侧的面为底边。此时，设与底边平行的直线中的、收纳在放电管内的部分的长度最长的直线为直线WL。设该直线WL与放电管的内面的两个交点为Wl及W2。进而，设该Wl与W2的中 心点为WC。此时，设直线WL上的点中的、与WC的距离为WC与Wl的距离的1/4的两个点为 W3及W4。此时，“平坦部的中心部的附近”相当于在平坦部201中的放电管的外侧的面中 的、通过W3并与直线WL垂直的直线、和通过W4并与直线WL垂直的直线之间的部分。艮口， 第十发明中的“平坦部的中心部的附近”成为第14图的平坦部201的外面中的用粗线标记 的部分。第十发明中的“第二电极设置在平坦部的中心部的附近”意味着，第二电极的、垂 直于放电管的长度方向的截面的中心点设置在“平坦部的中心部的附近”。根据第十发明，作为用于主放电的第二电极而使用沿放电管的长度方向延伸的线 状的电极。其结果，能够将被第二电极遮挡的紫外线的量抑制得较少。进而，由于在平坦部 未设置第二电极以外的电极，因此可获得被电极遮挡的紫外线量少的灯。进而，根据第十 发明，除了沿着以放电管的内部侧的面成为凹面的方式形成的曲面部205设置第一电极以 外，第二电极设置在平坦部201的中心部的附近。通过这样的两个电极的组合，在第一电极 的较广的范围内与第二电极的距离大致均勻。其结果，由于在放电管内的较广的范围内产 生放电，因此能够获得增强紫外线强度的效果。本发明的第十一发明的特征在于，在第一发明的紫外线灯中，在曲面部的外面设 置有第一电极，并且，在曲面部的外面中的、平坦部与曲面部的边界的附近未设置第一电极 (例如，参照第3图)。根据第十一发明，由于在平坦部与曲面部的边界的附近未设置第一电极，因此第 一电极与机件W的距离变远。因此，即使在将第一电极用于高电压连接用电极的情况下，也 能获得在第一电极与机件W之间不易产生放电的效果。本发明的第十二发明的特征在于，在第八发明的紫外线灯中，辅助电极设置在放 电管的长度方向的全长内。紫外线照射装置用的放电管通常使用长度方向较长的放电管。设为仅在该长的放 电管中的、偏离紫外线照射部位的长度方向端设置辅助电极。即使在这样的情况下，通过在 灯点亮时在放电管端产生的辅助放电而产生带电粒子等。通过该带电粒子，在辅助电极的 附近产生主放电，进而，通过该主放电引导距离辅助电极远的位置的主放电，从而通过放电 管的整体产生主放电。但是，在这样的情况下，在距离辅助电极远的位置，不存在使点亮时 的放电稳定化的辅助放电的效果。因此，容易产生放电不均或火花状放电。其结果，产生均 勻度降低或处理的不稳定性的问题。对此，在本发明的第十二发明中，辅助电极设置在放电 管的长度方向所全长内。因此，由辅助放电产生的带电粒子等在整个放电管内均勻地分布。 其结果，能获得主放电稳定化的效果。另外，第十二发明中的长度方向的全长意味着放电管内的产生放电的部分的大致 全长。例如，在放电管的端部未设置第一及第二电极，因此设置有不产生放电的情况下，即 使该部分未设置辅助电极，也相当于第十二发明。只要考虑到辅助电极的设置目的，则这一 情况就是当然的。


第1图是第一实施方式的激元灯的侧剖面第2图是第一实施方式的激元灯的剖面图；第3图是第二实施方式的激元灯的剖面图；第4图是第三实施方式的激元灯的剖面图；第5图是表示在第三实施方式的激元灯中，在平坦部的内侧面发生辅助放电的情 况的剖面图；第6图是表示在第三实施方式的激元灯中，除辅助放电之外，在第一电极与第二 电极之间还发生主放电的情况的剖面图；第7图是其它实施方式的激元灯的剖面图；第8图是收容有现有的激元灯的灯罩的剖面图；第9图是本发明的紫外线灯的放电管的一例的剖面图；第10图是本发明的紫外线灯的放电管的一例的剖面图；第11图是表示本发明的紫外线灯的放电管的侧部的剖面图；第12图是具备圆柱形的放电管的比较例的紫外线灯的剖面图；第13图是表示本发明的第六发明中的“平坦部的中心部的附近”的图；第14图是表示本发明的第六发明中的“平坦部的中心部的附近”的图。图中:1、20、30、40-激元灯，2、21、31-放电管，3、32_外管部，4、33_ 内管部，5、22、 34,205-曲面部，2、23、35、201-平坦部，8、24、37_ 第一电极，9、25、38、42_ 第二电极。
具体实施例方式(第一实施方式)以下，对具体化本发明的第一实施方式，参照图1及图2，详细地进行说明。在第1图中表示本实施方式的激元灯1的侧剖面图，在第2图中表示与放电管的 长度方向垂直的面中的剖面图。该激元灯1具备放电管2。放电管2是具备由石英玻璃形 成的外管部3、和同样由石英玻璃形成并插入到外管部3的内部的内管部4的双层管结构。外部管3是在细长的圆柱中破坏外周壁的圆弧的一部分而平板化的形状。即，具 备截面拱形状的曲面部5、和连接该曲面部5中的圆弧的两端缘的平板状的平坦部6。在曲 面部5和平坦部6接合的角部分5A带有圆形。另一方面，内管部4是比外管部3直径更小 的圆柱状，在平坦部6的内壁面，配置在侧方向的中心位置。外管部3与内管部4在两端相 互接合，由两管部3、4包围的放电空间7内填充有放电用气体。作为放电用气体，例如，可 使用氙、氩、氪等在这种灯中通常使用的气体。在该放电管2中设置有一对电极8、9。这一对电极中的第一电极8由固着在外管 部3中的曲面部5的外壁面的金属膜构成。另外，作为第一电极8的材质，优选使用反射紫 外线的材料。作为这样的材质的材料，例如可使用铝。此处，第一电极8沿曲面部5比从外管部3的一方侧部开始到另一方侧部的范围 更广地形成。进而，在与放电管2的长度方向垂直的紫外线灯的截面中，在第一电极8中的 紫外线反射面中的比一方侧部更靠下侧的部分的点，垂直于向紫外线反射面的切平面并朝 向外管部3的内部的方向，成为比从一方侧部朝向另一方侧部的方向更朝下。而且，在该第一电极8的端缘部8A、和平坦部6的侧端缘6A(换而言之，从平坦部 6的平坦的面向具有曲率的弯曲的面过渡的边界位置)之间设置有不存在第一电极8的间
12隙。换而言之，第一电极8在曲面部5中，设置于比与平坦部6的接合位置更退后的位置。 另一方面，与该第一电极8成对的第二电极9由镍线构成，在内管部4的内部插入于大致全 长内。此处，第二电极9设置在距离第一电极8上的各点等距离的位置。导线10、11的一端部与这些电极8、9连接，这些导线10、11的另一端部与交流电 源装置12连接。下面，对上述那样构成的本实施方式的作用及效果进行说明。激元灯1将平坦部6侧作为出射面，设置在紫外线照射装置(未图示)。即，激元 灯1例如在照射室中，使平坦部6侧朝向下方(机件W侧)而安装在搬运成为照射的对象 的机件W的传送带的搬运路径的上方。在对机件W进行紫外线照射时，通过传送带将机件W搬入照射室内。对搬入的机 件W，由激元灯1从上方照射紫外线。此时，在放电管内产生的紫外线(图中，以虚线箭头表 示)中的朝向平坦部6方向的紫外线直接透过平坦部6而向机件W射出。另一方面，朝向 曲面部5方向的紫外线碰到第一电极8而反射，从平坦部6向机件W出射。照射结束后的机件W，通过传送带从照射室被搬出，被运到下一工序。根据以上那样的本实施方式，在放电管2的外管部3，设置有平坦部6和曲面部5， 第一电极8设置在曲面部5。若通过具备这样的结构的激元灯1进行照射，则由于出射面侧 为平的面，因此在整个出射面内与机件W的距离均等。因此，即使在大气下，也能将紫外线 被氧吸收的损耗抑制在最小限度，进而，能够在机件W的整个面均等地进行照射。而且，在由如铝那样紫外线的反射率高的材料形成第一电极8时，第一电极8起到 对向曲面部5侧放射的紫外线进行反射并向平坦部6侧(出射面侧)聚集的反射板的作用。 这样，不必另外设置反射板，就能够将紫外线聚集到出射面侧，因此能够以简易的结构提高 照射效率。进而，第一电极8在与平坦部6的侧端缘6A之间空出间隔而设置。此处，若第一 电极8的端缘部8A到达照射面(平坦部6)，则例如在机件W为导电性、且在机件W与第一 电极8之间存在电位差的情况下，在该机件W和第一电极8的端缘部8A之间可能会产生放 电。但是，在本实施方式中，由于设为第一电极8的端缘部8A位于比照射面退后的位置，因 此能够避免在与机件W之间产生放电。而且，放电管2为具备外管部3和内管部4的双层管结构，第二电极9形成于内管 部4的内部。若采用这样的结构，则由于在平坦部6(出射面)不存在电极，因此即使电极 氧化、劣化，也不会由在这样的劣化中产生的粒子而污染机件W。另外，在本实施方式中，第二电极9是由金属线形成的线状电极。若采用这样的结 构，则在线状电极的周围电场强度增高。在电场强度高的位置，电子的速度分布偏移在高能 量侧而放电用气体的电离概率增高，因此电离系数增大。即，在使用了这样的不均勻电场的 放电方式中，在线状电极的附近成为非常容易放电的状态。因此，在放电管2的长度方向， 即使在电极间距离产生若干偏差，也不易产生放电不均。而且，一对电极的双方具有某种程 度的面积，是扩展的形式，与容易受到电极间距离的偏差(例如，电介质的厚度的偏差或平 板的翘曲或凹凸等)的影响的现有的灯比较，放电的均勻性优异。进而，由于能够使基于第二电极9的出射光的遮蔽尽可能少，因此光的移出效率 优异。
而且，第一实施方式是相当于“发明内容”中记载的本发明的第一发明、第二发明、 第三发明、第四发明、第六发明、第七发明、第九发明、及第十一发明的全部的结构。因此，作 为由这些发明获得的效果而在“发明内容”中记载的效果，在第一实施方式中可获得。(第二实施方式)以下，在本发明的第二实施方式中，参照第3图进行说明。本实施方式的激元灯20 与第一实施方式的主要的不同之处在于，放电管21是单管结构、及第二电极25设置在平坦 部23。在第3图中表示本实施方式的激元灯20的剖面图。该激元灯20具备放电管21。 该放电管21由石英玻璃形成，是在细长的圆柱中破坏外周壁的圆弧的一部分而平板化的 形状。即，放电管21具备拱形状的曲面部22、和连接该曲面部22中的圆弧的两端缘的平 板状的平坦部23。在放电管21的曲面部22，与第一实施方式同样，设置有第一电极24。另一方面， 第二电极25设置在平坦部23的外壁面。该第二电极25以在放电管21的长度方向的大致 全长内的长度形成为细线状，并配置在该平坦部23的宽度方向(侧方向)中央位置。导线 的一端部与这些电极24、25连接，这些导线的另一端部与交流电源装置连接。在使用这样的激元灯20的情况下，与第一实施方式同样，使平坦部23侧朝向机件 W侧而设置在紫外线照射装置(未图示)，并进行照射。此时，由于出射面侧为平的面，因此 在整个出射面与机件W的距离均等。其结果，即使在大气下，也能将紫外线被氧吸收的损耗 抑制在最小限度，进而，能够在机件W的整个面均等地进行照射。在本实施方式中，第二电极25设置在平坦部23中的放电管的外侧的面。此时，通 过使第二电极25形成为细线状，从而使电极25的粗细为需要的最低限度，由此能够尽可能 减少出射光的遮蔽。而且，通过将第二电极25配置在平坦部23的宽度方向(侧方向)的 中心位置，从而能够避免在照射面的宽度方向产生照射强度的偏差。进而，第二实施方式是相当于“发明内容”中记载的本发明的第一发明、第二发明、 第三发明、第四发明、第七发明、第十发明、及第十一发明的全部的结构。因此，作为由这些 发明获得的效果而在“发明内容”中记载的效果，在第二实施方式中可获得。(第三实施方式)以下，对本发明的第三实施方式，参照图4 图6进行说明。本实施方式的激元灯 30与第一实施方式的主要的不同之处在于，在平坦部35的外壁设置有辅助电极39。在第4图中表示本实施方式的激元灯30的剖面图。该激元灯30具备放电管31。 放电管31与第一实施方式同样，形成具备由石英玻璃形成的外管部32、和同样由石英玻璃 形成并插入到外管部32的内部的内管部33的双层管结构。外部管32与第一实施方式同样，形成在细长的圆柱中破坏外周壁的圆弧的一部 分而平板化的形状。即，具备拱形状的曲面部34、和连接该曲面部34中的圆弧的两端缘的 平板状的平坦部35，在曲面部34和平坦部35接合的角部分34A带有圆形。另一方面，内管 部33也与第一实施方式同样，是比外管部32直径更小的圆柱状，在平坦部35的内壁面上， 配置在宽度方向(放电管31的侧方向)的中心位置。外管部32与内管部33在两端相互 接合，由两管部32、33包围的放电空间36内填充有放电用气体。在该放电管31中与第一实施方式同样，设置有一对电极37、38。第一电极37由固着在外管部32中的曲面部34的外壁面的铝膜构成。另一方面，第二电极38与第一实施方 式同样由镍线形成，大致在全长内插入到内管部33的内部。导线的一端部与这些电极37、 38连接，这些导线的另一端部与交流电源装置连接。在平坦部35中的外管部的外侧的面上，大致在整个面内设置有辅助电极39。该辅 助电极39辅助在一对电极37、38之间的主放电。在本实施方式中，由于平坦部35侧为出 射面，因此形成为网眼状，以便尽量不遮挡从放电管31的内侧放射的光。另外，优选辅助电 极39设置在放电管31的长度方向的全长内。这是由于，由此能够在放电管31的全长内使 放电稳定化。在使用这样的激元灯30的情况下，与第一实施方式同样，使平坦部35侧朝向机件 W侧而设置在紫外线照射装置(未图示)，并进行照射。若通过高频电源，在第一电极37及辅助电极39、和第二电极38之间施加高频电 压，则首先在第二电极38的附近，在第二电极和辅助电极39之间产生放电。然后，该放电 沿平坦部35的板面向侧方向扩展(辅助放电，参照第5图)。接着，在第一电极37和第二 电极38之间，也产生放电，从而放电扩展到整个放电空间36内(参照第6图)。另外，在使用实际的激元灯30时，通常，由于施加高频交流电压，因此用目视难以 确认发生辅助放电和主放电。但是，利用示波器观察关于辅助放电和主放电的放电电流，从 而能够确认如上面所说明的辅助放电及主放电的阶段性的发生。此处，对于第二电极38，在比第一电极37更近距离配置有辅助电极39，因此在第 二电极38和辅助电极39之间首先发生辅助放电。由该放电生成的带电粒子、亚稳态的原 子或离子、还有光子使在第一电极37和第二电极38之间用于发生主放电的电压降低。其 结果，能够降低激元灯30启动时的电压，或使放电稳定化。而且，在这种灯中，希望提高封入气压，以便获得高输出。但是，若这样做，则通常 放电变得不稳定(提高封入气压具有与在施加电压恒定的情况下增大电极间距离大致相 同的效果)。但是，在本实施方式中，在主放电空间内，能够均等且有效地供给由辅助放电产 生的带电粒子、亚稳态的原子或离子、还有光子，因此能够增加在主放电空间内存在的放电 气体的电离系数。伴随于此，由于主放电空间成为容易产生放电的状态，因此不必增加施加 电压，就能确保放电的稳定性。伴随放电而放射的紫外线(图中，以虚线箭头表示)中的朝向平坦部35方向的紫 外线，直接透过平坦部35及辅助电极39的网眼而向机件W射出。另一方面，朝向曲面部34 方向的紫外线碰到第一电极37而反射之后，从平坦部35向机件W出射。这样，根据本实施方式，能够降低灯启动时的电压，并且能够确保放电稳定性。另外，第二电极38在第一电极37和辅助电极39之间，并且越靠近辅助电极39越 好，如本实施方式这样，收容第二电极38的内管部33几乎与平坦部35的内壁面密接最好。但是，第二电极38的配置也可未必如上述那样。在施加电压时，在第二电极38和 辅助电极39之间发生辅助放电，然后，若在第一电极37和第二电极38之间发生主放电的 位置配置第二电极38，则能够实现本发明的目的。换而言之，使第二电极38-辅助电极39 之间比第一电极37-第二电极38之间更先产生放电是有效的方法，在设第一电极37和第 二电极38的最短距离为La，设辅助电极39和第二电极38的最短距离为Lb时，在满足La > Lb的关系的位置配置第二电极38即可。
而且，在本实施方式中，也与第一实施方式同样，平坦部35设为光透过用，并且出 射面是平的面。因此，在整个出射面内与机件W的距离均等，因此，即使在大气下，也能将紫 外线被氧吸收的损耗抑制在最小限度，进而，能够在机件W的整个面均等地进行照射。而 且，由于第一电极37由反射紫外线的材料形成，因此第一电极37起到对向曲面部34侧放 射的紫外线进行反射并向平坦部35侧(出射面侧)聚集的反射板的作用。并且，设置在平 坦部35的辅助电极39形成网眼状，以便不遮挡射出的光。根据这样的结构，与第一实施方 式同样，不必另外设置反射板，就能够将紫外线聚集到出射面侧，因此能够以简易的结构提 高照射效率。进而，第三实施方式是相当于“发明内容”中记载的本发明的第一发明、第二发明、 第三发明、第四发明、第五发明、第六发明、第七发明、第八发明、第十一发明、及第十二发明 的全部的结构。因此，作为由这些发明获得的效果而在“发明内容”中记载的效果，在第三 实施方式中可获得。实施例[确认紫外线的照射效率的实施例]1.灯的制成〈实施例1>制成了具有与第一实施方式同样的结构的激元灯。在与第一实施方式的外管 部3同样的形状的筒状的球形物(bulb)上，以大致覆盖曲面部的外侧的方式蒸镀铝。另 外，筒状球形物是合成石英(信越石英株式会社制SUp-F310)制，壁厚是2mm，球形物长是 1000mm,曲面部中的外周面的曲率半径是16mm，曲面部与平坦部接合的角部分的圆形的外 周面的曲率半径是5mm。在该球形物的内部配置外径约4mm、壁厚约0. 8mm的合成石英管， 在该石英管的内部插入直径约1mm的镍线。在球形物内，作为放电气体，封入达200Ton 的 氙气，将铝蒸镀电极作为接地电极，将镍线作为高压电极，施加30kHz的高频电压(峰值电 压8kV)，并使其放电。放电在球形物整个区域内均勻地发生。<比较例1>另一方面，为了比较，制成了现有的具有双层管结构的灯。在外径32mm的球形物 的外周面蒸镀铝后，通过蚀刻形成了网眼状电极(开口率80%)。在该球形物的内部，配置 与上述实施例同样的结构的合成石英管，在其内部插入镍线。在球形物内，作为放电气体， 封入达200Torr的氙气，将铝蒸镀电极作为接地电极，将镍线作为高压电极，施加30kHz的 高频电压(峰值电压8kV)，并使其放电。2.点亮试验不利用照射器具，在大气中使实施例及比较例的灯点亮，在灯正下3mm的位置，以 3m/min的速度沿水平方向扫描传感器。比较累计光量的结果，实施例的灯与比较例的灯相 比约大三倍，从而能够确认可高效地对被照射物照射紫外线。[确认基于辅助电极的效果的实施例]〈实施例2>制成了具有与第三实施方式同样的结构的激元灯。在与第三实施方式的外管部 32同样的形状的筒状的球形物上，以大致覆盖曲面部的外侧的方式粘接固定长度1000mm、 厚度0.2mm的镍膜(外侧电极)。另外，筒状球形物是合成石英(信越石英株式会社制SUPRASIL-F310)制，壁厚是2mm，球形物长是1100mm，曲面部中的外周面的曲率半径是 16mm,曲面部与平坦部接合的角部分的圆形的外周面的曲率半径是5mm。在该球形物的内 部配置外径约5mm、内径约2mm的合成石英管，在该石英管的内部插入直径约1. 8mm的镍线 (内侧电极)。而且，在筒状球形物中，以大致覆盖平坦部的外面的方式粘接固定宽度22mm、长度 1000mm、厚度0. 2mm的SUS制的网眼板(辅助电极)。从镍线的中心轴到网眼板的内侧面 (与平坦部的粘接固定面)的距离为5mm。在球形物内，作为放电气体，封入达46. 7KPa的氙气，将镍膜及网眼板作为接地电 极，将镍线作为高压电极，施加70kHz的近似矩形的高频电压，并使其放电。若缓慢提高施加电压，则在峰值达到约2kV时，沿平坦部的内壁面发生辅助放电， 然后，达到约5. 5kV发生在内侧电极(镍线)-外侧电极(镍膜)间的主放电。而且，可知 主放电不阻碍辅助放电。即，灯的起动所需要的最低限度的施加电压是5. 5kV。另一方面， 为了比较，制成了除不设置网眼板(辅助电极)以外与实施例2同样的灯，并进行了试验， 结果为不施加峰值约10kV的电压则不发生主放电。这样，设置辅助电极的灯与不设置辅助 电极的灯比较，以约二分之一的施加电压就能发生主放电。进而，在实施例2的灯中，使启动后的峰值电压为5. 5kV，设为恒定，从而考察放电 稳定性，结果为不存在火花状放电或放电的偏差，从启动之后就能实现稳定的放电。对此， 在没有辅助电极的灯中进行了同样的试验，结果为产生火花，并且产生放电不均。〈其它实施方式〉本发明的技术范围并非由上述的实施方式限定，例如，本发明的技术范围还包括 如下所述的方式。(1)在上述各实施方式中，第一电极8在与平坦部6的端缘之间空出间隙设置，但 在例如机件为非金属等、在机件与电极之间不存在放电的危险的情况下，也可由一方电极 覆盖曲面部的整个面。(2)在第二实施方式中，第二电极25形成为细线状，但例如第二电极也可在整个 平坦部内形成为网眼状，还可排列多个细线状的金属箔而形成条纹状。(3)在第一实施方式中，放电管2形成具备外管部3和内管部4的双层管结构，第 二电极9设置在内管部4的内侧，但本发明并非限定于这样的情况。例如，也可采用如第7 图所示的激元灯40那样的结构，放电管41形成与第二实施方式同样的单管结构，形成为棒 状的第二电极42并不收容于内管部，而是露在外面地配置在放电管41的内侧。或者，还可 采用将在形成为棒状的第二电极上被覆了绝缘膜后的部分配置在放电管的内侧的结构。(4)在第三实施方式中，还可采用形成为棒状的第二电极并不收容于内管部，而是 露在外面地配置在放电管的内侧的结构。在该情况下，第二电极在放电管中几乎与平坦部 的内侧面密接最好，但在对电极间施加电压时，第二电极与辅助电极之间发生辅助放电，然 后在第二电极与第一电极之间发生主放电的位置配置第二电极即可，该情况与第三实施方 式的情况相同。(5)在上述各实施方式中，平坦部与曲面部连接部分均形成具有曲率的弯曲的面， 但也可以是通过部分地平坦的面连接的形状。(6)在第三实施方式中，平坦部35被设为能透过光的出射面，但例如若使第一电
17极37形成网眼状、细线状等能透过光的形状，则也能从曲面部侧射出光。另外，上述的实施例对激元灯的情况进行了说明，但本发明并非限定于激元灯的 情况，也可以是水银灯等激元灯以外的紫外线灯。本申请基于2005年7月29日申请的日本特许申请(特愿2005-221143)及2006 年2月8日申请的日本特许申请(特愿2006-031051)，其内容在此作为参照而被引用。
权利要求
一种紫外线灯，具备形成为筒状的放电管，在所述放电管的外周壁的相互对置的位置，具备曲面部和紫外线透过用的平坦部，并且，所述曲面部形成为所述放电管的内部侧的面成为凹面，在所述曲面部的外面设置有第一电极，并且，在所述曲面部的外面中的、所述平坦部与所述曲面部的边界的附近未设置所述第一电极。
2.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中， 在所述曲面部设置有紫外线反射部件，所述紫外线反射部件沿所述曲面部，比从所述放电管的一方侧部到另一方侧部的范围 更广地形成，并且，在与所述放电管的长度方向垂直的所述紫外线灯的截面中，在所述紫外线反射 部件中的紫外线反射面中的比所述一方侧部更靠下侧的部分的点，垂直于向所述紫外线反 射面的切平面并朝向所述放电管的内部的方向比从所述一方侧部向所述另一方侧部的方 向更靠向下侧。
3.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中， 在所述曲面部设置有紫外线反射部件，所述紫外线反射部件沿所述曲面部，比从所述放电管的一方侧部到另一方侧部的范围 更广地形成，并且，所述紫外线反射部件是用于产生主放电的所述第一电极，所述主放电用于产生 紫外线。
4.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中， 所述放电管的材质是石英玻璃。
5.根据权利要求3所述的紫外线灯，其中， 所述第一电极是接地用，并且，所述放电管的内部设置有高电压连接用的第二电极。
6.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，所述第一电极沿所述曲面部，比从所述放电管的一方侧部到另一方侧部的范围更广地 形成，在所述放电管的内部设置有沿所述放电管的长度方向延伸的线状的第二电极， 所述第二电极设置在所述平坦部的中心部的附近， 并且，构成为在所述第一电极与所述第二电极之间产生主放电。
7.根据权利要求6所述的紫外线灯，其中， 所述第一电极的截面为近似圆弧状，并且，从所述第一电极的所述截面上的各点在等距离的位置，设置有沿所述放电管的 长度方向延伸的线状的第二电极。
8.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，在所述放电管的内部设置有沿所述放电管的长度方向延伸的线状的第二电极， 构成为在所述第一电极与所述第二电极之间产生主放电， 在所述平坦部设置有辅助电极，并且，构成为在所述第二电极与所述辅助电极之间产生辅助放电。
9.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，在所述放电管的内部设置有沿所述放电管的长度方向延伸的线状的第二电极， 所述第二电极设置在所述平坦部的中心部的附近， 构成为在所述第一电极与所述第二电极之间产生主放电， 并且，在所述平坦部未设置所述第二电极以外的电极。
10.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，在所述放电管的外部设置有沿所述放电管的长度方向延伸的线状的第二电极， 所述第二电极设置在所述平坦部的中心部的附近， 构成为在所述第一电极与所述第二电极之间产生主放电， 并且，在所述平坦部未设置所述第二电极以外的电极。
11.根据权利要求8所述的紫外线灯，其中，所述辅助电极设置在所述放电管的长度方向的全长内。
12.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中， 所述紫外线灯是激元灯。
13.一种紫外线照射装置，使用了权利要求1 12中任一项所述的紫外线灯。
全文摘要
一种紫外线灯，其具备形成为筒状的放电管，该紫外线灯的特征在于，在放电管的外周壁的相互对置的位置，具备曲面部和紫外线透过用的平坦部，并且，曲面部形成为放电管的内部侧的面成为凹面。
文档编号F21S2/00GK101937829SQ20101020237
公开日2011年1月5日 申请日期2006年7月28日 优先权日2005年7月29日
发明者畑濑和也, 金森佳宪 申请人:株式会社杰士汤浅国际