真空排气装置的制作方法

专利名称：真空排气装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种具有制品的排气口的封闭机构的真空排气装置(日语真空排気
、y ν)。
背景技术：
在等离子显示面板等的制造工序中，需要将制品内部的空气排成真空、根据需要 封入气体、封闭制品的排气口的作业。为了实现高真空，需要边对制品进行加热边抽真空。 作为封闭排气口的方法，有将安装于排气口的接头管熔断的方法和利用热溶融性的粘接剂 (熔融金属等)将封闭构件(盖)粘接于排气口的方法。专利文献1至3中所记载的那样的真空排气装置中，通过紧贴制品的排气口周围 而形成有封闭的内部空间，通过将内部空间抽真空，能将制品抽成真空。此外，在上述真空 排气装置中，在内部空间具有保持封闭构件、在抽成真空后将封闭构件按压于制品的排气 口的杆，但由于不易进行杆的滑动部的轴密封，因此，在将制品抽真空时，需要不对杆的轴 封部进行加热。因此，在专利文献1至3的真空排气装置中，不能将真空排气装置整体在炉内加 热，将杆的轴封部露出在加热炉(加热箱)外进行抽真空。此外，上述真空排气装置中，即 便在杆的前端或其附近设置小型的加热器、使粘接剂熔化、利用封闭构件封闭排气口时，也 不能有过剩的热作用于杆的轴封部。另一方面，为了实现真空排气工序的效率化，作为优选，如专利文献4所述，保持 多个制品，采用能将真空排气装置按压于各制品的推车，在加热炉内加热各推车，同时进行 许多制品的抽真空。不过，如上所述，若设置将封闭构件按压于排气口的杆，为了轴封杆，不能将真空 排气装置整体在炉内加热，不能提高生产效率。专利文献1 日本专利特开平6-139935号公报专利文献2 日本专利特开2001-195983号公报专利文献3 日本专利特开2004-55480号公报专利文献4 日本专利特许第3866085号公报

发明内容
本发明鉴于上述技术问题而作，其目的在于提供一种能在高温的炉内将封闭构件 按压于制品的排气口来封闭排气口的真空排气装置。为解决上述技术问题，本发明所涉及的真空排气装置包括装置主体和保持构件， 其中，上述装置主体被划分成真空排气空间和差压驱动空间，上述真空排气空间的开口被 制品封闭从而可抽真空，差压驱动空间位于上述开口的相反一侧，与上述真空排气空间被 可变形的隔板划分开，可独立于上述真空排气空间地抽真空，上述保持构件被上述隔板支 承，保持对上述制品的排气口进行封闭的封闭构件，通过上述隔板的变形，可朝上述装置主体的开口移动。[oo13] 根据该结构，将真空排气空间和差压驱动空间同时抽真空，将制品内的气体排空，将空气导入差压驱动空间，藉此，使隔板朝真空排气空间侧膨胀，使保持构件朝制品移动，能将封闭构件按压于制品的排气口来封闭排气口。此外，该结构中，由于保持构件的驱动机构不需要轴封，因此，在使真空排气装置在炉内加热的状态下也能驱动。[oo14] 此外，本发明的真空排气装置中，上述保持构件被上述隔板支承，并设于朝向上述开口延伸的杆的前端，此外，在上述真空排气空间内，也可具有将上述杆保持成可在轴向上滑动的引导构件。[oo15] 根据该结构，由于杆的姿势和移动方向被引导构件限制，因此，保持构件的移动稳定，能可靠地封闭排气口。[oo16] 此外，在本发明的真空排气装置中，上述差压驱动空间的截面积也可比上述真空排气空间的截面积小。[oo17] 根据该结构，由于能在真空排气空间与差压驱动空间的边界上形成台阶，因此，能将隔板固定于该台阶。此外，通过减小差压驱动空间的容积，在同时将真空排气空间和差压驱动空间抽真空时，由于差压驱动空间的内部压力先降低，因此，在制品的抽真空结束之前，不会出现保持构件突出1堵住制品的排出口的情形。[oo18] 此外，本发明的真空排气装置中，也可在上述开口的周围设置与上述制品紧贴的。形环。[oo19] 根据该结构，能确保真空排气装置与制品之间的气密。
根据本发明，由于利用真空排气装置内部的隔板的变形来驱动保持构件，将封闭制品的排气口的封闭构件按压于制品，因此，能将保持构件和保持构件的驱动机构完全收容于真空排气装置的内部。由此，不需要驱动机构的轴封，不存在不耐热的部分，从而能使真空排气装置整体在加热炉内暴露于高温下。藉此，可实现真空排气工序的简化和处理能力的增强。


图l是本发明第一实施方式的真空排气装置的剖视图。
图2是图l的真空排气装置的排气口封闭时的剖视图。
图3是具有多个图l的真空排气装置的处理推车。
图4是本发明第二实施方式的真空排气装置的剖视图。
(符号说明)
l 真空排气装置
2 制品
3真空源
4装置主体
5 真空排气空间
6 差压驱动空间
7 隔板
8 杆
9排气口
10封闭构件
11保持构件
12引导构件
13’.14排气路
17真空回路
180形环
19冷水源
20冷却流路
31粘接剂
32推车
33圆板
34波纹管(隔板)
具体实施例方式下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1表示本发明第一实施方式的 真空排气装置1。真空排气装置1是用于将诸如等离子显示面板这样的中空制品2与真空 源3连接、并将制品2内部的空气排成真空并封闭的装置。真空排气装置1具有上部开口的、大致有底筒状的装置主体4。装置主体4的内部 空间被橡胶制的隔板(隔膜)7划分成上侧截面积大的真空排气空间5、和下侧(与开口相 反的一侧)截面积小的差压驱动空间6。隔膜7粘接固定于真空排气空间5与差压驱动空 间6的台阶部分。在隔膜7的中央固定有朝向装置主体4的开口垂直延伸的杆8。在杆8的上端具 有对用于封闭制品2的排气口 9的封闭构件10予以保持的台板状的保持构件11。此外，杆 8被配置于真空排气空间5内的板状的引导构件12保持成可滑动。在引导构件12上形成 有允许空气通过的孔12a。装置主体4具有分别开口于真空排气空间5和差压驱动空间6的排气路13、14。 真空排气空间5和差压驱动空间6分别通过耐压软管15、16与用于从真空源3供给真空压 力(抽真空)的真空回路17连接。此外，在上端具有0形环18来围住开口，从而与制品2气密地紧贴。除此之外，装 置主体4具有使从冷水源19供给的冷却水循环的冷却流路20。真空回路17包括通过真空断续阀21和流量调节阀22将真空排气空间5与真空 源3连接，且具有用于检测真空排气空间5的内部压力的压力开关23的管路；以及从与真 空排气空间5连接的上述管路分支，通过联络阀24与差压驱动空间6连接，具有用于检测 差压驱动空间6的内部压力的压力开关25的管路。与真空排气空间5连接的管路上设有用于使真空排气空间5与空气接通的真空排 气空间开放阀26，在与差压驱动空间6连接的管路上设有经由流量调节阀27使差压驱动空 间6与空气接通的差压驱动空间开放阀28。此外，为使操作人员能目视确认真空排气空间5和差压驱动空间6的内部压力，真空回路17还具有压力计29、30。在使用真空排气装置1将制品2抽真空时，将涂覆有粘接剂31的封闭构件10安 设于杆8的保持构件11。在真空排气空间5和差压驱动空间6与空气接通的状态下，杆8 将保持构件11保持于真空排气空间5内，使封闭构件10完全远离配置于真空排气装置1 上的制品2的排气口 9。此时，由于杆8和保持构件11等的重量，隔膜7略朝向差压驱动空 间6侧弯曲。将真空排气装置1和制品2配置于加热炉内进行加热，打开真空回路17的联络阀 24，打开真空断续阀21，藉此，将真空排气空间5和差压驱动空间6同时抽真空。真空排气 装置1通过0形环18与制品2紧贴，通过制品2的排气口 9、配置于真空排气空间5内的引 导构件12的孔12a和排气路13，将制品2内的气体朝真空回路17排出。此时，由于真空排气空间5与制品2的内部空间连通，容积变大，因此，容积小的差 压驱动空间6首先变成真空。由此，橡胶制的隔板7以朝差压驱动空间6侧突出的形式弹 性变形，使杆8下降。藉此，在制品2抽真空结束前，杆8不会上升而使粘接剂31与制品2 抵接。当制品2的抽真空结束时，由于真空排气空间5与差压驱动空间6的压力差消失， 隔板7将杆8支承在与真空排气装置5和差压驱动空间6同空气接通时大致相同的位置。真空回路17也可具有气体供给路，从而在将制品2抽真空后，例如能将等离子显 示面板用的发光气体等的微量气体，通过真空排气空间5，导入制品2内部。若在制品2的抽真空结束(压力开关23检测到规定的真空压力)、并根据需要将 气体供给到制品2后，关闭真空回路17的联络阀24后，打开差压驱动空间开放阀28，仅使 差压驱动空间6与空气接通。这样，由于差压驱动空间6的内部压力比真空排气空间5的 内部压力高，因此，如图2所示，隔板7朝真空排气空间5侧突出，推升杆8。藉此，保持构 件11朝装置主体4的开口移动，将封闭构件10朝制品2按压，利用封闭构件10覆盖排气 Π 9。 装置主体4被在冷却流路19内循环的冷却水冷却，将橡胶制的隔板7和0形环18 维持在耐热温度以下。由于不被冷却水直接冷却的制品2的排气口 9周围随着炉内温度的 上升而温度升高，因此，涂敷于被按压的封闭构件10的粘接剂31融解。随后，将差压驱动空间6的内部压力维持在比真空排气空间5高，保持对封闭构件 10的按压，降低炉内温度，使粘接剂31固化，藉此，使利用封闭构件10对排气口 9的封闭变 得可靠。接着，在将真空排气装置1和制品2 —起从炉内取出后，先关闭真空断续阀21，再 打开真空排气空间开放阀26，藉此，使真空排气空间5与空气接通。这样，再一次，由于真空 排气空间5与差压驱动空间6的压力差消失，隔板7下降，杆8后退。此时，由于真空排气 空间5变成大气压，0形环18的紧贴力也消失，真空排气装置1与制品2分离，能将制品2 送入下一工序。在真空排气装置1中，隔板7收容于被冷却水冷却的装置主体4内部，不会直接被 加热炉的热影响。因此，即便隔板7的耐热性较差，但在真空排气装置1配置于加热炉内的 状态下，也不会断裂，而可膨胀收缩。也可不使用冷却水而使用其他种类的冷却流体。此外，在真空排气装置1中，若利用流量调节阀27的开度来调节差压驱动空间6向空气的开放速度、即对差压驱动空间6的空气供给速度，则能调节杆8的上升速度，能防 止粘接剂31的飞散。由于本发明的真空排气装置1小型、且能与制品2 —起在炉内加热，因此，如图3 所示，可将真空排气装置1并排安装于对许多制品2进行保持的推车32，对多个制品2同时 进行抽真空、封闭。图4表示本发明第二实施方式的真空排气装置la。在本实施方式中，对于与第一 实施方式相同的构成要素标注相同的符号，省略重复的说明。真空排气装置Ia中，在杆8的下端设有圆板33，利用两端被装置主体4的底板和 圆板33封闭的金属制的波纹管34，划分出差压驱动空间6。也就是说，在本实施方式中，波 纹管34是划分真空排气空间5和差压驱动空间6的隔板。在该真空排气装置Ia中，也能利用真空排气空间5与差压驱动空间6的压力差， 使波纹管34伸缩，并使杆8升降。在上述实施方式中，利用引导构件12限制杆8的姿势和移动方向，但若隔板的膨 胀和收缩稳定，则也可省略引导构件12，随之，也可使装置主体4的高度降低。 此外，来自由空气压缩机等形成的压缩空气源35的、被调节器36压力调整后的压 缩空气，能通过压缩空气供给阀37供给到本实施方式的真空回路17的与差压驱动空间6 连接的管路中。使差压驱动空间6与空气接通后，或省略与空气接通，在关闭联络阀24和差压驱 动空间28的状态下，对差压驱动空间6供给压缩空气，藉此，能以更大的力将封闭构件10 按压于制品2。藉此，即便在差压驱动空间6的截面积小的情形下，也能确保封闭构件10与 制品2的紧贴。此外，在使真空排气装置Ia与制品2分离时，不打开真空排气空间开放阀26，而 打开联络阀24，将压缩空气也供给到真空排气空间5，则能将空气快速地供给到真空排气 空间5，将真空排气装置Ia迅速地从制品2分离。在真空回路17的管路和耐压软管15、16 的直径小、路径长度长的情形下特别有效。
权利要求
1.一种真空排气装置，其特征在于，包括装置主体，该装置主体被划分成真空排气空间和差压驱动空间，所述真空排气空间的 开口被制品封闭从而可抽真空，所述差压驱动空间位于所述开口的相反一侧，与所述真空 排气空间被可变形的隔板划分开，可独立于所述真空排气空间地抽真空；以及保持构件，该保持构件被所述隔板支承，保持对所述制品的排气口进行封闭的封闭构 件，通过所述隔板的变形，可朝所述装置主体的开口移动。
2.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述保持构件被所述隔板支承，并设于朝向所述开口延伸的杆的前端， 此外，在所述真空排气空间内，具有将所述杆保持成可在轴向上滑动的引导构件。
3.如权利要求1或2所述的真空排气装置，其特征在于， 所述差压驱动空间的截面积比所述真空排气空间的截面积小。
4.如权利要求1至3中任一项所述的真空排气装置，其特征在于， 在所述开口的周围具有与所述制品紧贴的0形环。
全文摘要
一种能在高温的炉内将封闭构件按压于制品的排气口来封闭排气口的真空排气装置。包括装置主体(4)和保持构件(11)，其中，装置主体(4)被划分成真空排气空间(5)和差压驱动空间(6)，真空排气空间(5)的开口被制品(2)封闭从而可抽真空，差压驱动空间(6)位于开口的相反一侧，与真空排气空间(5)被可变形的隔板(7)划分开，可独立于真空排气空间(5)地抽真空，保持构件(11)被隔板(7)支承，保持对制品(2)的排气口(9)进行封闭的封闭构件(10)，通过隔板(7)的变形，可朝装置主体(4)的开口移动。
文档编号H01J9/385GK101996832SQ201010258919
公开日2011年3月30日 申请日期2010年8月16日 优先权日2009年8月20日
发明者内田恭辅, 后藤尚史 申请人:中外炉工业株式会社