专利名称：一种平面介质阻挡放电光源排气小车的制作方法
技术领域：
本发明属于平面介质阻挡放电平面光源工艺过程中的真空排气技术领域，具体涉 及一种平面介质阻挡放电光源排气小车。
背景技术：
近些年来，照明节能灯方面取得了长足的进步，各种不同原理的照明装置层出不 穷。电子节能灯以其高光效、高显色、节电以及长寿命的良好性能得到越来越广泛的应用， 代表未来照明光源的发展方向。但是目前市场上的照明节能灯主要以球形和柱形为主，属 于点光源或者线光源，几乎没有平面照明的光源。极少数可以用作平面的照明灯，其成本也 是非常昂贵的。而基于等离子体发光原理的平面介质阻挡放电平面光源，其发光原理与等 离子体一致，都是通过高压促使稀有混合气体放电，产生紫外光激发彩色荧光粉发光，但是 其器件构造要远远简单于等离子体显示器，并且其成本远远低于现有的平面光源已经越来 越成为未来平面照明光源的发展趋势。而现在的针对平面介质阻挡放电光源排气小车是在原彩色显像管排气小车基础 上进行技术改进的，但原彩色显像管排气小车的构造简单，不适合应用于平面介质阻挡放 电光源，主要存在抽真空过程中，抽气的速度无法控制，对平面介质阻挡放电光源这样非常 薄的玻璃器件来说很容易破碎，以及没有充气系统，无法给平面介质阻挡放电光源中充入 两种惰性气体的缺点。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种平面介质阻挡放 电光源排气小车，该排气小车分为三个部分，分别为平面介质阻挡放电光源的固定台面、由 机械泵和扩散泵组成的抽气系统、由两种惰性气体氩气和氡气的气瓶及对应的阀门组成的 充气系统，这样的结构能在抽真空过程中，有效控制抽气的速度，避免了抽气过程中造成平 面介质阻挡放电光源的玻璃器件破碎的问题，另外所述的充气系统还实现了能给平面介质 阻挡放电光源中充入两种惰性气体氩气和氡气的功能。为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是一种平面介质阻挡放电光源排气小车，包括带有工件真空室19的平面介质阻挡 放电光源21对应的固定台面18，还包括适配于所述的工件真空室19的泵头1，泵头1的底 部出口和扩散泵4的入口通过法兰密封相连通，扩散泵4的出口通过金属气管与机械泵7 的入口相连通，扩散泵4和机械泵7构成了抽气系统，另外所述的泵头1的侧面入口通过三 路金属气管22与氩气充气阀11的入口和氡气充气阀12的入口相连通，氩气充气阀11的 出口通过金属气管和氩气气瓶角阀14相连通，氡气充气阀12的出口通过金属气管和氡气 气瓶角阀20相连通，氩气气瓶16、氡气气瓶17、氩气充气阀11以及氡气充气阀12构成了 充气系统。所述的扩散泵4和机械泵7之间通过金属气管依次串联接入节油器5和挡油器6。
所述的机械泵7的出口通过金属气管和凝气器8相连通。所述的泵头1上设置针阀2和真空电离规3。所述的三路金属气管22上设置压力计10。所述的氩气充气阀11和氩气气瓶角阀14之间的金属气管设置氩气调压阀13，所 述的氡气充气阀12和氡气气瓶角阀20之间的金属气管上设置氡气调压阀15。本发明的平面介质阻挡放电光源排气小车，该排气小车分为三个部分，分别为平 面介质阻挡放电光源的固定台面18、由机械泵7和扩散泵4组成的抽气系统、由两种惰性气 体氩气和氡气的气瓶及对应的阀门组成的充气系统，这样的结构能在抽真空过程中，有效 控制抽气的速度，避免了抽气过程中造成平面介质阻挡放电光源的玻璃器件破碎的问题， 另外所述的充气系统还实现了能给平面介质阻挡放电光源中充入两种惰性气体氩气和氡 气的功能。
附图是本发明的工作原理连接示意图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作更详细的说明。如附图所示，平面介质阻挡放电光源排气小车，包括带有工件真空室19的平面介 质阻挡放电光源21对应的固定台面18，还包括适配于所述的工件真空室19的泵头1，泵头 1的底部出口和扩散泵4的入口通过法兰密封相连通，扩散泵4的出口通过金属气管与机械 泵7的入口相连通，而扩散泵4和机械泵7就构成了抽气系统，另外所述的泵头1的侧面入 口通过三路金属气管22与氩气充气阀11的入口和氡气充气阀12的入口相连通，氩气充气 阀11的出口通过金属气管和氩气气瓶角阀14相连通，氡气充气阀12的出口通过金属气管 和氡气气瓶角阀20相连通，而氩气气瓶16、氡气气瓶17、氩气充气阀11以及氡气充气阀12 构成了充气系统。所述的扩散泵4和机械泵7之间通过金属气管依次串联接入节油器5和 挡油器6，这样就能有效防止扩散泵的机油被抽到机械泵中造成机械泵抽气效果差的后果。 所述的机械泵7的出口通过金属气管和凝气器8相连通，这样的结构能维持排气高度真空， 并且把其中的乏汽凝结成水以保证机械泵抽气效果。所述的泵头1上设置针阀2和真空电 离规3，这样的结构更能保证通过真空电离规3对真空度的测量，实时调节针阀2进行扩散 泵4抽气量的速度控制。所述的三路金属气管22上设置压力计10，这样的设置更能保证 对充气压力的控制。所述的氩气充气阀11和氩气气瓶角阀14之间的金属气管设置氩气调 压阀13，而所述的氡气充气阀12和氡气气瓶角阀20之间的金属气管设置设置氡气调压阀 15，这样的调压阀能够满足实时调节充气压力。本发明的工作原理为如附图所示，先将所述的平面介质阻挡放电光源21固定在 对应的固定台面18上，随后将平面介质阻挡放电光源22的工件真空室19的入口用玻璃管 和与泵头1的入口连接起来，同时将氡气充气阀12和氩气充气阀11关闭，然后启动机械泵 7开始通过工件真空室19对平面介质阻挡放电光源21进行抽气，并且通过真空电离规3的 测量当真空度达到小于预设真空度值时，终止机械泵7而切换启动扩散泵4对平面介质阻 挡放电光源21进行抽气，同时在真空电离规3的测量控制下通过针阀2来实时控制抽气速度，等工件真空室19的真空度达到预定要求后，关闭针阀2，抽气过程完成；接下来打开氩 气气瓶角阀14、氡气气瓶角阀20、氩气调压阀13、氡气调压阀15、氩气充气阀11以及氡气 充气阀12，同时观察压力计10的压力值变化实时调节氩气调压阀13和氡气调压阀15控制 充气压力对平面介质阻挡放电光源21进行充气，达到预定压力后关掉氩气充气阀11以及 氡气充气阀12，最后拆除玻璃管，取下平面介质阻挡放电光源21，这样就完成了充气过程。
本发明的平面介质阻挡放电光源排气小车，该排气小车分为三个部分，分别为平 面介质阻挡放电光源的固定台面18、由机械泵7和扩散泵4组成的抽气系统、由两种惰性气 体氩气和氡气的气瓶及对应的阀门组成的充气系统，这样的结构能在抽真空过程中，有效 控制抽气的速度，避免了抽气过程中造成平面介质阻挡放电光源的玻璃器件破碎的问题， 另外所述的充气系统还实现了能给平面介质阻挡放电光源中充入两种惰性气体氩气和氡 气的功能。
权利要求
1.一种平面介质阻挡放电光源排气小车，包括带有工件真空室(19)的平面介质阻挡 放电光源对应的固定台面(18)，其特征在于还包括适配于所述的工件真空室(19) 的泵头(1)，泵头⑴的底部出口和扩散泵⑷的入口通过法兰密封相连通，扩散泵⑷的 出口通过金属气管与机械泵(7)的入口相连通，扩散泵⑷和机械泵(7)构成了抽气系统， 所述的泵头(1)的侧面入口通过三路金属气管0 与氩气充气阀(11)的入口和氡气充气 阀(1 的入口相连通，氩气充气阀(11)的出口通过金属气管和氩气气瓶角阀(14)相连 通，氡气充气阀(1 的出口通过金属气管和氡气气瓶角阀OO)相连通，氩气气瓶(16)、氡 气气瓶(17)、氩气充气阀(11)以及氡气充气阀(1 构成了充气系统。
2.根据权利要求1所述的平面介质阻挡放电光源排气小车，其特征在于所述的扩散 泵(4)和机械泵(7)之间通过金属气管依次串联接入节油器( 和挡油器(6)。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的平面介质阻挡放电光源排气小车，其特征在于 所述的机械泵(7)的出口通过金属气管和凝气器(8)相连通。
4.根据权利要求1或权利要求2所述的平面介质阻挡放电光源排气小车，其特征在于 所述的泵头⑴上设置针阀⑵和真空电离规(3)。
5.根据权利要求1或权利要求2所述的平面介质阻挡放电光源排气小车，其特征在于 所述的三路金属气管0 上设置压力计(10)。
6.根据权利要求1或权利要求2所述的平面介质阻挡放电光源排气小车，其特征在于 所述的氩气充气阀(11)和氩气气瓶角阀(14)之间的金属气管设置氩气调压阀(13)，而所 述的氡气充气阀(1 和氡气气瓶角阀OO)之间的金属气管设置设置氡气调压阀(15)。
全文摘要
一种平面介质阻挡放电光源排气小车，该排气小车分为三个部分，分别为平面介质阻挡放电光源的固定台面、由机械泵和扩散泵组成的抽气系统、由两种惰性气体氩气和氡气的气瓶及对应的阀门组成的充气系统，这样的结构能在抽真空过程中，有效控制抽气的速度，避免了抽气过程中造成平面介质阻挡放电光源的玻璃器件破碎的问题，另外所述的充气系统还实现了能给平面介质阻挡放电光源中充入两种惰性气体氩气和氡气的功能。
文档编号H01J9/385GK102064066SQ20101058228
公开日2011年5月18日 申请日期2010年12月8日 优先权日2010年12月8日
发明者石笃笃, 程治国 申请人:彩虹集团公司