专利名称：带灯头的放电灯及光源装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及尤其是用作制造半导体元件、液晶显示元件、印刷布线基板等的曝光用光源的带灯头的放电灯及具备该放电灯的光源装置，尤其涉及从灯头导出供电线，其供电侧前端部连接于供电装置的带灯头的放电灯及光源装置。
背景技术：
以往，封入有水银的短弧型的放电灯由于相对配置在发光管内的一对的电极的前端间距离较短，接近点光源，通过与光学系统组合，用作聚光效率较高的曝光装置的光源。在这种领域使用的光源装置具备作为光源的短弧型放电灯以及包围该放电灯的凹面反射镜，将从放电灯放射的光通过上述凹面反射镜朝向预定的光学系统进行聚光并反
射。 日本特开2008-130418号公报(专利文献I)公开了具有现有的短弧型放电灯的
光源装置。在图10中公开了其构造，光源装置I由短弧型放电灯2以及包围其的凹面反射镜3构成，该凹面反射镜3以其光放射开口 3a朝向上方的方式装设，并在其基端侧端部3b安装上述放电灯2，由此，该放电灯2被垂直配置，来自该放电灯2的放射光通过凹面反射镜3朝向上方反射。在上述放电灯2的上方侧端部的封固部2a安装有灯头4，从该灯头4导出供电线
5。在该供电线5的供电侧前端部设置有供电端子6，可自由装卸地连接于供电用端子台7的供电部8。然而，近来，由于曝光处理中的曝光面积的增加及处理量的增加的要求，上述光源装置被要求紫外线量的进一步增加，为此，作为光源的短弧型放电灯需实现高输出化，额定消费功率会增加，电流流量也会变大。如此，在灯中流过大电流的话，电极的耗损会更明显，为了补救该状况，需要使电极主体部分大型化。另外，支撑较大的电极的轴部分、封固部部分的构造也需要大型化，结果，灯整体变大变重，例如逐渐变成使用I根重量超过2kg的灯。另一方面，如上所述，随着灯的高输出化，在包围灯的反射镜中，热的影响会变得显著，例如，构成反射镜的反射面的介电质膜等的涂层膜会剥离，产生破损的问题。为了抑制这种反射膜的热所致的影响，需要增大反射镜的开口径。 并且，如此伴随着反射镜的光放射开口被扩大的构成的状况，从反射镜的中心到供电用的端子台为止的距离变长，用以对放电灯供电的供电线也会变长。由于这种情况，在光源装置中，灯的交换作业变得更困难。具体来说，在灯的交换作业时，灯较大且其重量也会较重，因此作业者必须双手持灯的两端部来进行作业，但是，因为供电线较长，从供电端子台的供电部卸下的供电线在作业中晃动，会与反射镜接触而互相磨擦，所以会使该反射镜的反射面损伤，尤其是，其前端部的供电端子接触反射镜或灯的发光管所致的影响较大，使它们产生刮伤而导致性能恶化，进而因为该状况而导致破损的问题。另外，鉴于该状况，想要以一只手保持供电线的端部，另一只手保持灯，也会有无法支撑大型化的灯的重量， 而使其掉落，使灯或反射镜破损的问题。基于上述状况，为了防止上述事故，必须以两位作业者来进行灯的交换作业而导致效率的恶化。专利文献I日本特开2008-130418号公报发明内容此实用新型鉴于上述现有技术的问题点，提供一种带灯头的放电灯及具有该放电灯的光源装置，该带灯头的放电灯具有放电灯，具有两端形成有封固部的发光管，在该发光管的内部相对配置有阳极与阴极；以及灯头，安装于该发光管的至少一方的封固部，防止在放电灯的交换时供电线胡乱晃动，避免灯或反射镜的破损事故，容易进行其交换作业，实现作业的效率化。为了解决上述课题，在本实用新型中，其特征在于，从放电灯的封固部的灯头导出供电线，在该灯头设置有将上述供电线的供电侧前端部可装卸地固定的固接机构。并且，在本实用新型中，其特征在于，在上述供电线的供电侧前端部设置有压接端子，上述固接机构是该压接端子卡合的保持件。并且，在本实用新型中，其特征在于，在上述供电线的供电侧前端部设置有供电插头，上述固接机构是嵌合该供电插头的销部件。并且，其特征在于，具有包围该放电灯，在上方具有光放射用开口的凹面反射镜，在该凹面反射镜垂直配置上述带灯头的放电灯，具有该放电灯的供电线的固接机构的灯头位于上述凹面反射镜的光放射开口侧。根据本实用新型，因为在带灯头的放电灯的灯头设置有将供电线的供电侧前端部可自由装卸地固定的固接机构，因此在灯的交换作业时，可将从供电端子台卸下的供电线的前端部固定于灯头，因此在交换作业时不会发生供电线胡乱晃动而接触反射镜或灯的问题，尤其可防止其前端的供电端子抵接于反射镜或灯而使其破损。另外，因为作业者不会被供电线缠住，针对灯本身可利用双手进行作业，可安全且有效率地作业。尤其，在垂直配置放电灯的光源装置中，可以在上部的灯头固定供电线的前端部来进行灯的交换作业，因此供电线的自由前端部不会因为重力而落下，也不会因此导致反射镜或灯的破损事故。由此，容易进行交换作业，作业效率也会大幅改善。
图I是本实用新型的光源装置的整体图。图2是本实用新型的带灯头的放电灯的部分放大图。图3是固接机构的其它实施例的立体图。图4(a)和图4(b)是图3的要部的放大图。图5是图3的供电端子的其它实施例。[0030]图6是固接机构的其它实施例。图7(a)和图7(b)是固接机构的另一其它实施例。图8是固接机构的又一其它实施例。图9是供电端子及固接机构的其它实施例。图10是现有的光源装置。标记说明I :光源装置 2 :短弧型放电灯2a:封固部3:凹面反射镜4:灯头5:供电线10:固接机构11 :压接端子(圆形)12 :螺栓13 :螺孔14 :销15 :按压片16 :压接端子(Y型)17:-字状固定片18 :弹簧构件19 :杆20 :旋转轴21 :柱塞22:开口23 :销24 :杆25:供电插头26:固定销
具体实施方式
图I表示本实施方式的带灯头的放电灯与使用其的光源装置。带灯头的放电灯2以垂直配置于在上方开口的凹面反射镜3的方式安装。在其上方侧的封固部2a安装有灯头4，从该灯头4导出供电线5。然后，在灯头4设置有用来将上述供电线5的供电侧前端部可自由装卸地固定的固接机构10，在灯的交换作业时，如图所示，将从供电端子台(未图示)卸下的供电线5的供电前端部暂时固定于该固接机构10。另外，其它构造与图10相同。图2表示固接机构10的一例，在供电线5的供电侧前端安装有压接端子11，将该压接端子11通过螺栓12与螺设于灯头4的螺孔13，固定于灯头4。图3、图4 (a)和图4(b)表示其它实施例，供电线5前端部的压接端子11如图4 (a)和图4(b)所示，被嵌合于埋设在灯头4的销14，从其上转动按压片15而加以固定。在这些实施例中，压接端子11表示为圆形，但是，如图5所示，也可以是Y型的压接端子16。图6表示固接机构10的其它实施例，^字状的固定片17设置于灯头4，在其内部配置有弹簧构件18，压接端子11从横向插入固定片17中，通过弹簧构件18固定。图7 (a)和图7 (b)表示固接机构10的另一其它实施例，固接机构10是使杆19旋转时，旋转轴20会旋转，由此下方的柱塞21向下方突出的所谓的分度销，分度销是公知的。在该固接机构10中还具有形成于灯头4的侧部的开口 22，压接端子11被插入该开口 22内。然后，通过杆19的旋转而下降的柱塞21卡合于该压接端子11并固定。图8表示固接机构10的又一其它实施例。该固接机构10由埋设于灯头4的销23以及在其上端经由铰链(未图示)而可自由旋转地设置的杆24构成。由此，该杆24在垂直方向与水平方向旋转，在压接端子11固接时，在使杆24垂直而与销23为同轴的状态下(在该图中虚线图示)，在设置于圆形压接端子11的孔中插入销23，将杆24倒向水平方向(在该图中实线图示)，从而与压接端子11卡合并固定。另外，将压接端子11暂时固定于灯头4的保持件除上述之外也可以进行各种变形，例如，在利用图2所示的螺栓机构时，也可以将螺栓埋设于灯头4，并使压接端子11嵌合其中，从上方锁紧螺帽加以固接。并且，在图6所示的利用弹簧构件的情况下，该图中的-字状的固定片17也可以本身具有弹性。进而，也可以在灯头4安装磁铁来作为保持件，使该磁铁吸附压接端子11。在图9中，表示供电端子的其它实施例，在该实施例中，供电线4的供电端子由插头25构成。并且，在灯头4突出设置有配合该供电插头25的口径的固定销26。供电插头25嵌合于供电端子台27的供电栓28并电连接，对灯进行供电。在交换灯时，该供电插头25从供电栓28拆下,嵌合并固定于灯头4的固定销26。如以上所述，根据本实用新型，在朝向上方开口的凹面反射镜中垂直配置有放电灯的光源装置中，因为在设置于该放电灯的上部封固部的灯头设置有将从该灯头导出的供电线的供电侧前端部可装卸地固定的固接机构，在灯的交换作业时暂时固定从供电端子台卸下的供电线的供电前端部，从而实现在交换作业时供电线的前端部不会胡乱晃动，防止其接触反射镜或灯而使其损伤的事故的效果。并且，因为作业者不会被供电线缠住而可利用两手进行交换作业，可有效率且安全进行作业。
权利要求1.一种带灯头的放电灯，具有 放电灯，具有两端形成有封固部的发光管，在该发光管的内部相对配置有阳极与阴极；以及 灯头，安装于该发光管的至少一方的封固部，其特征在于 从上述灯头导出供电线， 并且在该灯头设置有将上述供电线的供电侧前端部的供电端子可装卸地固定的固接机构。
2.如权利要求I所述的带灯头的放电灯，其中， 在上述供电线的供电侧前端部设置有压接端子，上述固接机构是该压接端子卡合的保持件。
3.如权利要求I所述的带灯头的放电灯，其中， 在上述供电线的供电侧前端部设置有供电插头，上述固接机构是嵌合该供电插头的销部件。
4.一种光源装置，其特征在于，具有 权利要求I至3中任一项所述的带灯头的放电灯；以及 包围该放电灯，在上方具有光放射用开口的凹面反射镜， 在该凹面反射镜垂直配置上述带灯头的放电灯，具有该放电灯的固接机构的灯头位于上述凹面反射镜的光放射开口侧。
专利摘要本实用新型提供一种带灯头的放电灯及光源装置，该光源装置具有该放电灯，该带灯头的放电灯具有放电灯，在两端形成有封固部的发光管的内部相对配置有阳极与阴极；以及灯头，安装于该发光管的至少一方的封固部，防止在交换放电灯时供电线胡乱晃动，避免灯或反射镜的破损事故，可易于进行其交换作业，实现作业的效率化。其特征在于，从上述灯头导出供电线，并且在该灯头设置有将上述供电线的供电侧前端部的供电端子可装卸地固定的固接机构。
文档编号F21S2/00GK202511020SQ20112043615
公开日2012年10月31日 申请日期2011年11月7日 优先权日2010年11月8日
发明者加藤雅规, 谷本裕介 申请人:优志旺电机株式会社