专利名称：对放电灯的供电构造、放电灯单元以及紫外线照射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种对放电灯进行供电的供电构造、使用该供电构造的放电灯单元以及具备该放电灯单元的紫外线照射装置。
背景技术：
目前，作为具备外部电极的放电灯，如专利文献I所示，有具备方筒状的放电管及在该放电管的相对的一对平坦面上设置的一对外部电极的放电灯，或如专利文献2所示，有具备圆筒状的放电管及在该放电管的相对的曲面上设置的一对或多对外部电极的放电灯。·在专利文献I所示的具有方筒状的放电管的放电灯中，由于外部电极形成于放电管的相对的平坦面上，所以外部电极成为平面状。在使用兼做供电件以及固定件的板簧来支承这样的放电管的情况下，板簧与外部电极的接触成为面与面的接触，因此，即使不对板簧或电极的形状下工夫，在供电件与电极的接触方面也不会产生问题。另外，在专利文献2所示的具有圆筒状的放电管的放电灯中，在圆筒状的放电管上设置膜状的外部电极的情况下，其外部电极自身也成为曲面状。但是，在专利文献2中，由于设有宽度窄的电极，所以外部电极受到圆形面的影响，不会变成曲面状，所以在供电件与电极的接触方面不会产生问题。另一方面，放电灯从放电管的制造成本方面看，优选圆筒状的放电管，另外，外部电极优选为I对。进而，为了在放电管内部的放电空间整个区域放电，优选为不仅在放电管的长度方向上，在圆周方向上也是大范围变宽的电极。但是，在使设置于圆筒状的放电管上的圆周方向宽度宽的外部电极与兼做供电件以及固定件的板簧接触的情况下，在板簧与外部电极的圆周方向端部之间产生间隙。若在这样的板簧和外部电极之间产生间隙保持不变，即在不能良好接触的情况下施加高频电压，则在板簧和外部电极之间产生火花。如果反复产生这样的火花，会导致外部电极、放电管的劣化。另外，为了解决上述问题，还尝试了使用将板簧的接触片部加工成圆弧状的供电件并使之与外部电极接触，所述间隙虽然变得难以产生，但供电件的设计、加工变难，在灯插入时及更换时，在加工成圆弧状的接触片部与外部电极的位置对合的方面很费劲，另外，还会产生外部电极或放电管受伤这一新的问题。在先技术文献专利文献专利文献I :国际公开WO 2010/032849号公报专利文献2 :日本特表2004-510310号公报
发明内容
因此，本发明为了一举解决上述问题点而提出，其主要的要解决的问题是确保对放电灯的良好的电接触，在不使外部电极受伤的情况下可容易更换灯。一种对放电灯的供电构造，所述放电灯具有在内部的放电空间封入有放电用气体的放电管以及沿该放电管的长度方向设置的至少一个外部电极，其特征在于，所述供电构造具备在供所述放电灯的端部插入的插座部上设置的、与所述外部电极接触的接触端子，所述供电构造具有至少一个固定片部以及多个接触片部，所述至少一个固定片部固定于所述插座部侧，所述多个接触片部分别沿着所述放电灯的插入方向或其相反方向延 伸，并且在与该插入方向或其相反方向正交的方向上相互分开设置并与所述外部电极接触。根据这样的结构，由于多个接触片部从固定片部延伸设置，因此，各接触片部独立变形。由此，多个接触片部匹配于外部电极的曲面形状而独立移动，能够使多个接触片部和外部电极的电接触可靠。尤其，多个接触片部中位于外侧的接触片部配合于电极表面而扭曲变形并与外部电极接触。因此，能够确保在圆筒状的放电管上形成的外部电极与接触端子的接触面积，能够实现良好的导通。另外，多个接触片部并不是预先加工成与外部电极的曲面形状配合的形状，而仅仅是从固定片部延伸设置的构造，因此，接触片部的设计、加工容易，接触片部与电极的定位也容易，能够在不使电极、放电管的表面受伤的情况下，进行放电管的更换作业。作为各接触端子的具体的实施方式，所述各接触端子优选具有对所述固定片部和所述接触片部进行连结的折曲部。由此，多个接触片部匹配于外部电极的曲面形状，与没有折曲部的情况相比，容易独立移动，能够使多个接触片部与外部电极的电接触更加可靠。所述折曲部优选具有与所述多个接触片部分别对应而相互分开设置的多个折曲部。由此，多个接触片部匹配于外部电极的曲面形状，更容易独立移动，能够使多个接触片部与外部电极的电接触可靠。所述接触端子优选通过将具有弹性的导电性薄板折曲成大致U字形状而形成。由此，在大致呈矩形的导电性薄板上，从其长度方向一端部向长度方向另一端部形成沿着长度方向的多个狭缝部，将形成有该狭缝部的导电性薄板折曲成大致U字状，形成一个呈梳子状的板簧，由该板簧构成接触端子，由此可以削减供电构造的零件数量，并且可使其组装容易。所述各接触端子优选从其长度方向一端部向长度方向另一端部形成沿着长度方向的多个狭缝部，且以比所述狭缝部的切入终端更靠长度方向一端部侧作为折返线进行折曲而形成。由此，可以容易形成分别对应于多个接触片部而相互分开设置的多个折曲部。所述折曲部优选在所述插座部中设置于所述放电灯的插入方向的相反侧，所述接触片部具有设置于所述折曲部侧，向所述外部电极侧鼓出，并与所述外部电极接触的鼓出接触部；以及与该鼓出接触部连续设置，向所述外部电极侧延伸，且自由端部与所述外部电极接触的翘回接触部。由此，沿着灯的插入方向顺次设置鼓出接触部以及翘回接触部，在保持灯插入时的小接触阻力不变的情况下，能够增大脱离时的接触阻力。由此，能够防止电介体屏蔽放电灯从插座部意外脱落。另外，各接触端子的鼓出接触部不仅与外部电极接触，翘回接触部的自由端部还与外部电极接触，因此，能够增大各接触端子和外部电极的接触面积，能够实现更良好的导通。所述接触片部优选具有伴随着向所述外部电极的接触而与所述固定片部或所述插座部接触，从而对向所述外部电极的接触进行加强的加强接触部。由此，在灯装配时，能够增大接触片部向外部电极的推压力。由此,能够使接触片部和外部电极的密接性提高，能够实现更良好的导通。另外，在靠近放电空间的部分，不仅容易因臭氧而腐蚀接触端子，还容易由于放电空间的发热而变成高温。尤其当折曲部在插座部中被设置于灯插入方向的相反侧的情况下，折曲部的弹性力有可能下降。即使在这样的情况下，通过设置加强接触部，也能够保证接触片部与外部电极的密接性，能够实现良好 的导通。所述放电管还可以使用圆筒状的放电管。由于可以保证接触片部与外部电极的密接性，能够实现良好的导通，因此可以使用圆筒状的放电管。所述放电灯适合电介体屏蔽放电灯。由于可以保证接触片部与外部电极的密接性，因此不会伴随高电压的施加而产生火花。另外，本发明的电介体屏蔽放电灯单元的特征在于，具备放电灯，该放电灯具有在内部的放电空间封入有放电用气体的放电管以及沿该放电管的长度方向相互相对设置的至少一个外部电极；以及供电插座，在其中插入所述放电灯的端部，对所述外部电极供电，所述供电插座具备供所述放电灯的端部插入的插座部以及设置在该插座部内而与所述外部电极接触的接触端子，所述放电灯单元具有至少一个固定片部以及多个接触片部，所述至少一个固定片部固定于所述插座部侧，所述多个接触片部分别沿着所述放电灯的插入方向或其相反方向延伸，并且在与该插入方向或其相反方向正交的方向上相互分开设置并与所述外部电极接触。根据这样的结构，由于多个接触片部从固定片部延伸设置，因此，各接触片部独立变形。由此，多个接触片部匹配于外部电极的曲面形状而独立移动，能够使多个接触片部和外部电极的电接触可靠。尤其，多个接触片部中位于外侧的接触片部配合于电极表面而扭曲变形并与外部电极接触。因此，能够确保在圆筒状的放电管上形成的外部电极与接触端子的接触面积，能够实现良好的导通。另外，多个接触片部并不是预先加工成与外部电极的曲面形状配合的形状，而仅仅是从固定片部延伸设置的构造，因此，接触片部的设计、加工容易，接触片部与电极的定位也容易，能够在不使电极、放电管的表面受伤的情况下，进行放电管的更换作业。优选在所述至少一个外部电极中，对与所述接触端子接触的电极表面实施粗面加工。通过对电极表面实施粗面加工，给电极表面附加凹凸，从而可以增加接触片部与外部电极的接触阻力，能够防止放电管从插座部意外脱落，并且还可以防止插入插座部的放电管在周方向上旋转。需要说明的是，如果放电管在周方向上旋转，则会有在一对外部电极之间形成的光取出区域错位的问题。所述各接触端子优选具有对所述固定片部和所述接触片部进行连结的折曲部。由此，多个接触片部匹配于外部电极的曲面形状，与没有折曲部的情况相比，更容易独立移动，能够使多个接触片部与外部电极的电接触可靠。优选所述接触端子在所述插座部中被设置成所述折曲部位于所述放电灯的插入方向的相反侧，
所述接触片部具有设置于所述折曲部侧，向所述外部电极侧鼓出，并与所述外部电极接触的鼓出接触部；以及与该鼓出接触部连续设置，向所述外部电极侧延伸，且自由端部与所述外部电极接触的翘回接触部。由此，翘回接触部的自由端部陷入电极表面，能够进一步防止放电管从插座部意外脱落。另外，通过翘回接触部的自由端部陷入电极表面，从而能增大接触片部与外部电极的接触面积。发明效果根据如此构成的本发明，由于多个接触片部从固定片部延伸出而构成，因此各接触片部容易独立变形，能够使各接触片部和外部电极的接触可靠。由此，能够保证与在圆筒形状的放电管上形成的外部电极的接触面积，可以实现良好的导通。
图I是表示本实施方式的紫外线照射装置的俯视图以及主视图。图2是同一实施方式的相邻的电介体屏蔽放电灯单元的剖面图。图3是表示从同一实施方式的灯装配时的插入方向观察到的供电插座的图。图4是将同一实施方式的灯装配时的供电插座沿前后方向切断的剖面图。图5是表示同一实施方式的接触端子的立体图。图6是表示同一实施方式的接触端子的侧视图、俯视图以及展开俯视图。图7是表示同一实施方式的灯装配时的接触端子的局部放大剖面图。图8是表示变形实施方式的接触端子的侧视图。图9是表示变形实施方式的电介体屏蔽放电灯的局部放大剖面图。图10是将变形实施方式的灯装配时的供电插座沿前后方向切断的剖面图。符号说明100 :紫外线照射装置2:电介体屏蔽放电灯单元5:电介体屏蔽放电灯51 :放电管52A、52B :—对外部电极6A、6B :供电插座
61 :插座部62A、62B :—对接触端子621:固定片部622 :接触片部622a :成出接触部622b :翘回接触部622c :加强接触部623:折曲部
具体实施例方式以下参照附图对本发明的紫外线照射装置的一实施方式进行说明。本实施方式的紫外线照射装置100是通过向半导体基板或玻璃基板等被处理物照射紫外线从而将附着于该被处理物的表面的有机物分解而将其除去，由此清洗被处理物的装置。具体地说，该紫外线照射装置100如图I所示，将多个(例如10个)电介体屏蔽放电灯5以沿前后方向并列的状态一体化。需要说明的是，所谓前后方向是与被处理物的搬送方向相同的方向。而且，该紫外线照射装置100具备多个电介体屏蔽放电灯单元2 ;对该电介体屏蔽放电灯单元2进行供电的一对供电部件3A、3B。需要说明的是，一对供电部件3A、3B是将多个电介体屏蔽放电灯单元2在前后方向上并列而一体化的部件，并具有俯视时呈大致-字状的第一供电部件3A以及第二供电部件3B。所述第一供电部件3A以及第二供电部件3B由铝合金、不锈钢等导电性材料形成，各自由端部经绝缘部件4而相互被连接，由此，俯视时呈大致矩形框状。第一供电部件3A与施加交流电压的电源装置的高电压端子侧电连接，并且电介体屏蔽放电灯单元2的一方的供电插座6A通过螺纹固定而被电连接。另一方面，第二供电部件3B与电源装置的接地端子侧电连接，并且电介体屏蔽放电灯单元2的另一方的供电插座6B通过螺纹固定而被电连接。电介体屏蔽放电灯单元2如图2以及图3所示，具有电介体屏蔽放电灯5及一对供电插座6A、6B，电介体屏蔽放电灯5具有圆筒状的放电管51以及沿该放电管51的长度方向相对设置的一对外部电极52A、52B,在一对供电插座6A、6B中插入电介体屏蔽放电灯5的两端部。放电管51是将合成石英玻璃制的圆筒的两端封闭的剖面圆形状的圆管。另外，在形成于放电管51内部的放电空间中填充有电介体屏蔽放电用气体。需要说明的是，作为电介体屏蔽放电用气体，可使用氙(Xe)、氩(Ar)或氪(Kr)等稀有气体，或者使用氟气(F2)或氯(Cl2)等卤素气体等。电介体屏蔽放电灯5对应于气体的种类而发出不同的波长(172nm、222nm、308nm等)的激元光。例如为了分解有机化合物，采用的是使用氙(Xe)作为放电用气体，发出以172nm为中心波长的激元光的电介体屏蔽放电灯5。一对外部电极52A、52B是具有与放电管21大致相等长度的呈膜状的电极，并被设置在从前后方向夹着放电管21的位置上。该外部电极52A、52B由铝、铝合金、不锈钢等导电性材料形成，且是例如通过镀敷、喷镀、蒸镀或溅射而形成在放电管的侧周面上的薄膜电极。需要说明的是，在放电管51的侧周壁中从一对外部电极52A、52B之间射出激兀光。而且,如图2所不,一对外部电极52A、52B之中一方的外部电极52A通过在电介体屏蔽放电灯5的一端部装配的供电插座6A，而与电源装置的高电压端子侧电连接，成为高电压施加侧电极，一对外部电极52A、52B之中另一方的外部电极52B通过在电介体屏蔽放电灯5的另一端部装配的供电插座6B而与电源装置的接地端子侧电连接，成为接地侧电极。需要说明的是，为了防止相邻的电介体屏蔽放电灯间的放电，以使相邻的电介体屏蔽放电灯5的高电压施加侧电极52A彼此或接地侧电极52B彼此面对的方式配置。如图2 图4所不,一对供电插座6A、6B用于保持电介体屏蔽放电灯5,并具有供电介体屏蔽放电灯5的端部插入的插座部61 ;以及设置在该插座部61内，并与一对外部电极52A、52B接触的一对接触端子62A、62B。插座部61是例如由陶瓷等绝缘性材料形成的大致呈长方体形状的部件，在与电介体屏蔽放电灯5相对的前表面具有收容电介体屏蔽放电灯5的端部的灯收容部611。该灯收容部611是与电介体屏蔽放电灯5的外形形状对应的剖面大致呈圆形的凹部。而且，相互相对形成有两个端子固定部612，该两个端子固定部612用来在该灯收容部611的内侧周面上分别固定所述一对接触端子62A、62B。该端子固定部612是通过将灯收容部611的内侧周面在主视时切成大致-字状而形成的凹部。一对接触端子62A、62B是与一对外部电极52A、52B接触并供电的端子，一对外部电极52A、52B位于在插座部61插入的电介体屏蔽放电灯5的端部。各接触端子62A、62B呈同一形状，且是通过将例如不锈钢等具有弹性的导电性薄板折曲成大致U字形状而形成的。另外，各接触端子62A、62B被固定于所述两个端子固定部612且以与一对外部电极52A、52B对应的方式被相对配置。具体地说，如图4 图6所示，各接触端子62A、62B是呈梳子状的板簧，并具有一个固定片部621、多个接触片部622、多个折曲部623。所述固定片部621以及多个接触片部622以及多个折曲部623如下这样形成。即，如图6的展开俯视图所示，在大致呈矩形的导电性薄板P上，从其长度方向一端部朝向长度方向另一端部形成有沿长度方向的直线状的多个狭缝部S。而且，以比所述狭缝部S的切入终端Sa更靠长度方向一端部侧作为折返线L，将该导电性薄板P折曲成U字状。需要说明的是，折返线L是沿着垂直于长度方向的方向(短边方向)的直线。即，导电性薄板P在折返线L分支成多个要素(与接触片部622以及折返部623相当的部分)。如图4以及图5所示，固定片部621以接触片部622朝向灯侧(灯收容部内侧)、并且折曲部623位于与电介体屏蔽放电灯5的插入方向相反一侧的方式,被固定在插座部61的端子固定部612上。具体地说，固定片部621是侧视时呈大致L字形状的部件，并具有与折曲部623连续的水平部621a以及与该水平部621a连续的垂直部621b (参照图4以及图6的右视图)。该垂直部621b通过螺钉8隔着弹簧垫圈7被固定在将插座部背面部分切口而形成的螺纹固定凹部613。该螺纹固定凹部613与端子固定部612连通，并在螺纹固定凹部613与端子固定部612的底面相连，将垂直部621b以螺纹固定在与其底面垂直的内表面。需要说明的是，如图4所示，在固定一方的接触端子62A和固定另一方的接触端子62B时采用不同的螺钉8。例如，在接触端子62A、62B是供电插座6A的部件的情况下，一方的接触端子62A为高电压施加侧，该接触端子62A被用于螺纹固定在供电部件3A上的形成有阴螺纹孔的螺钉8A固定。另一方的接触端子62B为接地侧，该接触端子62B由于未被电连接于供电部件3B，因此被通常的螺钉SB固定。多个接触片部622分别沿着电介体屏蔽放电灯5的插入方向延伸，并且在与该插入方向正交的方向上相互分开设置。另外，多个接触片部622具有同一宽度。多个折曲部623与多个接触片部622分别对应设置，将多个接触片部622连结于一个固定片部621,多个折曲部623相互分开设置。如图5 图7所示，本实施方式的接触片部622在侧视时呈大致S字形状，并具有设置于折曲部623侧，向灯侧(灯收容部内侧)鼓出，并与外部电极52A、52B接触的鼓出接触部622a ;与该鼓出接触部622a连续设置，向灯侧(灯收容部内侧)延伸，且自由端部与外部电极52A、52B接触的翘回接触部622b ;伴随着向外部电极52A、52B的接触而与固定片部621接触，从而对向外部电极52A、52B的接触进行加强的加强接触部622c。·
鼓出接触部622a在接触片部622中由朝向灯侧的弯曲部构成，翘回接触部622b以及加强接触部622c在接触片部622中由朝向固定片部621侧的弯曲部构成。如此，接触片部622沿着灯插入方向顺次一体形成鼓出接触部622a、加强接触部622c以及翘回接触部622b。尤其如图7所示，翘回接触部622b构成为在电介体屏蔽放电灯5被接触端子62A、62B固定的状态下、即在鼓出接触部622a与外部电极52A、52B接触的状态下，其与外部电极52A、52B接触，朝向灯插入方向延伸，并且自由端部向灯侧翘回。通过如此构成翘回接触部622b，在插入电介体屏蔽放电灯5时不会卡挂，能够顺畅插入，另一方面，在电介体屏蔽放电灯5脱离时，翘回接触部622b卡挂在外部电极52A、52B上，能够防止意外脱落。另夕卜，由于不仅通过鼓出接触部622a，还通过翘回接触部622b与外部电极52A、52B接触，因此，能够增大接触片部与外部电极52A、52B的接触面积，能够良好导通。尤其如图7所示，加强接触部622c用于对鼓出接触部622a向外部电极52A、52B的推压力进行加强，在电介体屏蔽放电灯5被接触端子62A、62B固定的状态下、即鼓出接触部622a与外部电极52A、52B接触的状态下，加强接触部622c与固定片部621接触。通过如此设置加强接触部622c，能够提高接触片部622和外部电极52A、52B的密接性，能够实现更良好的导通。进而在本实施方式中，为了提高接触端子62A、62B与外部电极52A、52B的接触性，至少对形成于放电管51的端部的外部电极52A、52B的电极表面实施粗面加工。具体地说，如上所述，对外部电极52A、52B通过喷镀法在其表面形成凹凸，此外，在不是通过喷镀法形成的情况下等，也可考虑涂覆镍(Ni)或銀(Ag)等导电性糊。由于如此对电极表面实施粗面加工，所以能够增大与接触片部622以及电极表面的接触阻力，能够防止电介体屏蔽放电灯5从插座部61意外脱落,并且能够防止在插座部61内电介体屏蔽放电灯5向周方向旋转。在作为粗面加工而涂覆导电性糊的情况下，能够防止外部电极52A、52B被接触片部622磨削而损耗。需要说明的是，通过粗面加工，所述翘回接触部622b陷入外部电极52A、52B，能够进一步活用设置翘回接触部622b的优点。根据如此构成的本实施方式的紫外线照射装置100，多个接触片部622通过相互分开设置的多个折曲部623从固定片部621延伸设置，因此，各接触片部622通过各折曲部623与相邻的接触片部622之间独立变形。由此，多个接触片部622配合于外部电极52A、52B的曲面形状而独立移动，从而可以使多个接触片部622与外部电极52A、52B的接触面积增加而使电接触变得可靠。因此，能够保证在圆筒状的放电管51形成的外部电极52A、52B与接触端子62A、62B的接触面积，能够实现良好的导通。需要说明的是，本发明不限于所述实施方式。例如，在所述实施方式中，从零件数量的削减以及组装容易性的观点出发，使用一个梳子状板簧构成各接触端子，但也可以使用多个梳子状板簧(相对于一个固定片部具有两个以上的接触片部)来构成，也可以将多个板簧(相对于一个固定片部而言有一个接触片部)并列设置而构成。
另外，在所述实施方式中，多个接触片部622虽然具有同一宽度，但也可以是随着从位于中央部的接触片部到位于端部的接触片部而宽度变窄地构成，也可以与之相反来构成。此外,也可以使各接触片部的宽度相互不同来构成。进而，所述实施方式的接触片部虽然在侧视时呈大致S字形状，但如图8所示，也可以是侧视时大致呈之字形，鼓出接触部622a以及加强接触部622c呈三角状的接触片部。此外，鼓出接触部622a也可以呈梯形形状。进而，所述实施方式的接触片部也可以不具有翘回接触部。在该情况下，可以将接触端子以折曲部位于插入方向侧的方式设置，即沿着插入方向将所述实施方式的接触端子反向设置。而且，如图9所示，可以通过在放电管51的侧周壁形成凹部51m，翘回接触部622b卡合于所述凹部51m，从而防止意外的脱离以及防止旋转。另外，也可以在放电管的侧周壁形成凹部，在该凹部卡合鼓出接触部，还可以在放电管的侧周壁上形成凸部，在该凸部卡合翘回部或鼓出接触部来构成。此外，可以使与一个外部电极接触的接触端子在周方向上相邻而设置两个以上，并将这些接触端子设置成包围外部电极的周方向。例如在周方向上设置两个接触端子的情况下，可以将两个接触端子配置成V字状，从而进一步增大外部电极的接触面积。进而另外在所述实施方式中，接触片部的加强接触部与相对的固定片部接触，但也可以构成为与插座部的内壁面接触。另外，在所述实施方式中，虽然将与高电压端子侧连接的供电插座6A和与接地端子侧连接的供电插座6B设成不同的部件，并设置于电介体屏蔽放电灯5的各自的端部，但也可以是仅在电介体屏蔽放电灯5的一端部设置一个供电插座6。在该情况下，如图10所示，供电插座6与高电压端子侧连接其与接地端子侧连接，将一对接触端子62A、62B分别固定于插座部61的螺钉8A、8B都形成有用于螺纹固定在供电部件3A或3B上的阴螺纹孔。此外，本发明不限于所述实施方式，在不脱离其主旨的范围内可以进行各种变更，这是不目而喻的。另外，在所述实施方式中，接触端子的多个接触片部沿着放电灯的插入方向延伸并且在与该插入方向正交的方向上相互分开设置，但是，相反的结构，也就是说，也可以是多个接触片部沿着放电灯的插入方向的相反方向延伸并且在与该相反方向正交的方向上相互分开设置。
权利要求
1.一种对放电灯的供电构造， 所述放电灯具有在内部的放电空间封入有放电用气体的放电管以及沿该放电管的长度方向设置的至少一个外部电极， 所述供电构造具备在供所述放电灯的端部插入的插座部上设置的、与所述外部电极接触的接触端子， 所述供电构造具有至少一个固定片部以及多个接触片部，所述至少一个固定片部固定于所述插座部侧，所述多个接触片部分别沿着所述放电灯的插入方向或其相反方向延伸，并且在与该插入方向或其相反方向正交的方向上相互分开设置并与所述外部电极接触。
2.如权利要求I所述的对放电灯的供电构造，其中， 所述接触端子具有对所述固定片部和所述接触片部进行连结的折曲部。
3.如权利要求2所述的对放电灯的供电构造，其中， 所述折曲部具有与所述多个接触片部分别对应而相互分开设置的多个折曲部。
4.如权利要求2或3所述的对放电灯的供电构造，其中， 所述接触端子是通过将具有弹性的导电性薄板折曲成大致U字形状而形成的。
5.如权利要求2至4中任一项所述的对放电灯的供电构造，其中， 所述接触端子从其长度方向一端部向长度方向另一端部形成沿着长度方向的多个狭缝部，且以比所述狭缝部的切入终端更靠长度方向一端部侧作为折返线进行折曲而形成。
6.如权利要求2至5中任一项所述的对放电灯的供电构造，其中， 所述折曲部在所述插座部中设置于所述放电灯的插入方向的相反侧，所述接触片部具有设置于所述折曲部侧，向所述外部电极侧鼓出，并与所述外部电极接触的鼓出接触部；以及与该鼓出接触部连续设置，向所述外部电极侧延伸，且自由端部与所述外部电极接触的翘回接触部。
7.如权利要求2至6中任一项所述的对放电灯的供电构造，其中， 所述接触片部具有伴随着向所述外部电极的接触而与所述固定片部或所述插座部接触，从而对向所述外部电极的接触进行加强的加强接触部。
8.如权利要求I至7中任一项所述的对放电灯的供电构造，其中， 所述放电管是圆筒状。
9.如权利要求I至8中任一项所述的对放电灯的供电构造，其中， 所述放电灯是电介体屏蔽放电灯。
10.一种放电灯单元，其具备 放电灯，该放电灯具有在内部的放电空间封入有放电用气体的放电管以及沿该放电管的长度方向相互相对设置的至少一个外部电极；以及 供电插座，在其中插入所述放电灯的端部，对所述外部电极供电， 所述供电插座具备供所述放电灯的端部插入的插座部以及设置在该插座部内而与所述外部电极接触的接触端子， 所述放电灯单元具有至少一个固定片部以及多个接触片部，所述至少一个固定片部固定于所述插座部侧，所述多个接触片部分别沿着所述放电灯的插入方向或其相反方向延伸，并且在与该插入方向或其相反方向正交的方向上相互分开设置并与所述外部电极接触。
11.如权利要求10所述的放电灯单元，其中， 在所述至少一个外部电极中，对与所述接触端子接触的电极表面实施粗面加工。
12.如权利要求10或11所述的放电灯单元，其中， 所述接触端子具有对所述固定片部和所述接触片部进行连结的折曲部。
13.如权利要求12所述的放电灯单元，其中， 所述接触端子在所述插座部中被设置成所述折曲部位于所述放电灯的插入方向的相反侧， 所述接触片部具有设置于所述折曲部侧，向所述外部电极侧鼓出，并与所述外部电极接触的鼓出接触部；以及与该鼓出接触部连续设置，向所述外部电极侧延伸，且自由端部与所述外部电极接触的翘回接触部。
14.如权利要求10至13中任一项所述的放电灯单元，其中， 所述放电管是圆筒状。
15.如权利要求10至14中任一项所述的放电灯单元，其中， 所述放电灯是电介体屏蔽放电灯。
16.一种具备权利要求10至15中任一项所述的放电灯单元的紫外线照射装置。
全文摘要
提供一种可以确保对放电灯的良好的电接触的供电构造。为此，该供电构造具备在供放电灯(5)的端部插入的插座部(61)上设置，且与外部电极(52A、52B)接触的接触端子(62A、62B)，并具有固定片部(621)和多个接触片部(622)，固定片部(621)固定在插座部(61)侧，多个接触片部(622)分别沿放电灯(5)的插入方向或其相反方向延伸，并且在与该插入方向或其相反方向正交的方向上相互分开设置，并与外部电极(52A、52B)接触。
文档编号H01J61/36GK102842482SQ201210201480
公开日2012年12月26日 申请日期2012年6月15日 优先权日2011年6月22日
发明者畑濑和也 申请人:株式会社杰士汤浅国际