照射装置及照射方法

文档序号:2948577阅读:204来源:国知局
专利名称:照射装置及照射方法
技术领域
本发明涉及具有出射紫外线等的光源的照射装置及利用出射紫外线等的光源来照射紫外线等的照射方法。
背景技术
一直以来,已知一种描绘 装置,其通过将功能液作为液滴排出使其附着在被描绘介质上而将功能液配置在被描绘介质上,并使该功能液固化,从而描绘图像等。作为对功能液的固化时期和/或固化时间进行控制的方法之一,通过利用光固化型的功能液,并对配置了的功能液照射固化光,从而使功能液固化。另外,为了对在被描绘介质上附着了的功能液的扩散方式进行控制,并且/或者对功能液向被描绘介质的亲和性进行控制,而对被描绘介质的被描绘面照射改性光。为了稳定地实施这些固化光以及改性光的照射,出射这些光的光源需要稳定地发挥性能。在专利文献I中,公开了一种喷墨记录装置,其具有:将通过紫外线光的照射而固化的光固化型墨水向记录介质上排出的记录头;具备向排出的墨水照射紫外线光的光源的光照射装置;对光照射装置进行冷却的冷却装置;检测光照射装置的温度的温度检测单元;根据温度检测单元的检测温度进行冷却装置的温度控制的控制单元,使低输出紫外线光源的发光效率稳定地进行图像形成。在专利文献2中,公开了一种紫外线固化型喷墨打印机及紫外线固化型喷墨打印机用的光源单元,在UV固化型的打印机装置中,关于夹着打印头而被安装在左右的光源单元,光源单元具有:出射面与印刷介质相对地设置并对印刷介质出射紫外光的光源;将从上方导入的外部空气向光源送风以进行冷却的风扇;对冷却风进行引导的引导结构,引导结构引导由风扇送风并冷却了光源后的空气使得其沿光源的出射面从接近打印头的一侧向远离的方向流动,由此,能够提供一种装置,该装置能够抑制由在印刷介质上漂浮的墨雾所导致的光源单元的污染而稳定地维持照射效率。专利文献1:日本特开2005 - 125752号公报专利文献2:日本特开2010 - 735号公报但是,在专利文献I中公开的喷墨记录装置中,需要设置温度检测机构等,存在喷墨记录装置变得复杂、大型化的课题。另外,不一定总能够在不遮挡出射的光的行进路线的情况下适当地测定光源中的与光源的特性相关的部分的温度,所以,还存在不一定能够进行适当的控制的课题。在专利文献2中公开的紫外线固化型喷墨打印机及紫外线固化型喷墨打印机用的光源单元中,引导结构等由于不是与光源的特征相对应的结构,所以,存在作为用于良好地维持光源的功能的冷却,不一定能够实施适当的冷却的课题。

发明内容
本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而作出的,能够作为以下的方式或应用例而实现。应用例I本应用例涉及的照射装置,其特征在于,具有:光源,其具备在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体;在内部配置有所述光源的腔室,所述腔室具有:腔室主体;和在所述腔室主体形成的第一气体流入口及第一气体流出口,所述第一气体流入口及所述第一气体流出口,以使得所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面位于从所述第一气体流入口流入而从所述第一气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。根据本应用例涉及的照射装置,腔室主体内的气体从第一气体流出口排出。从第一气体流入口对腔室主体内补充气体。光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中。汞齐合金体是汞齐合金以例如岛状配设在光源管的内壁上而成的结构。具有萊齐合金体的光源(以后表不为“汞齐光源”),其发光特性依存于汞齐合金体的温度。配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中,由此,能够通过从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体,来调整汞齐合金体的温度。通过将汞齐合金体的温度调整为能够适当地发光的合适的温度,从而能够使汞齐光源适当地发光。通过调整汞齐合金体的温度,与调整汞齐光源整体的温度的情况相比,能够高效地调整温度。应用例2在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第一气体流入口和所述第一气体流出口,在与所述光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在所述第一气体流入口与所述第一气体流出口之间夹着所述汞齐合金体的位置上。根据该照射装置,第一气体流入口和第一气体流出口,在与光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在第一气体流入口与第一气体流出口之间夹着汞齐合金体的位置上。由此,能够使从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体从汞齐光源的光源管的侧方与配设有汞齐合金体的部分接触。通过使气体从光源管的侧方与配设有汞齐合金体的部分接触,能够高效地调整汞齐合金体的温度。应用例3在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第一气体流出口配设在所述汞齐合金体的垂直方向上的上方,所述第一气体流入口配设在所述汞齐合金体的垂直方向上的下方。根据该照射装置,第一气体流出口配设在汞齐合金体的垂直方向上的上方,第一气体流入口配设在汞齐合金体的垂直方向上的下方。气体若温度变高则会变轻。在对汞齐合金体进行冷却的情况下,从第一气体流入口流入的气体与光源抵接而对汞齐合金体进行冷却,由此,气体的温度上升,从第一气体流出口流出。第一气体流出口配设在上方,第一气体流入口配设在下方,由此,由于冷却汞齐合金体而温度上升的气体能够容易地流动。应用例4在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述光源具有放电电极,所述腔室还具有在所述腔室主体形成的第二气体流入口及第二气体流出口,所述第二气体流入口及所述第二气体流出口,以使得所述光源管中的配设有所述放电电极的部分的外表面位于从所述第二气体流入口流入而从所述第二气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。根据该照射装置,光源管中的配设有放电电极的部分的外表面位于从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体的流路之中。具有放电电极的光源,多数情况下其光源的寿命根据放电电极的寿命而定。放电电极的寿命依存于放电电极的温度。由于配设有放电电极的部分的外表面位于从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体的流路之中,由此,能够通过从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体,来调整放电电极的温度。通过将放电电极的温度调整到难以损害放电电极寿命的温度,由此,能够抑制因放电电极的温度为不合适的温度而导致光源的寿命受到损害。通过调整放电电极的温度,与调整汞齐光源整体的温度的情况相比,能够高效地调整温度。应用例5在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第二气体流入口和所述第二气体流出口,在与所述光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设在所述第二气体流入口和所述第二气体流出口之间夹着所述放电电极的位置上。根据该照射装置,第二气体流入口和第二气体流出口,在与光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在第二气体流入口与第二气体流出口之间夹着放电电极的位置上。由此,能够使从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体,从汞齐光源的光源管的侧方与配设有放电电极的部分接触。通过使气体从光源管的侧方与配设有放电电极的部分接触,由此,能够高效地调整放电电极的温度。应用例6在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第二气体流出口配设在所述放电电极的垂直方向上的上方,所述第二气体流入口配设在所述放电电极的垂直方向上的下方。根据该照射装置,第二气体流出口配设在放电电极的垂直方向上的上方,第二气体流入口配设在放电电极的垂直方向上的下方。气体的若温度变高后则会变轻。在对放电电极进行冷却的情况下,从第二气体流入口流入的气体与光源抵接并而对放电电极进行冷却,由此,气体的温度上升,并从第二气体流出口流出。由于第二气体流出口配设在上方,第二气体流入口配设在下方,所以,能够使通过由于冷却放电电极而温度上升的气体能够容易地易于流动。应用例7在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述汞齐合金体配设在所述光源的长度方向上的、与第一端部相比靠近所述第一端部的相反侧的端部即第二端部的位置上,所述放电电极配置在所述光源管的内部,具有:配置在所述第一端部侧的第一放电电极、和配设在所述第二端部侧的第二放电电极,所述第二气体流入口及所述第二气体流出口以使得配设有所述第一放电电极的部分的外表面位于从所述第二气体流入口流入并而从所述第二气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。根据该照射装置,第二气体流入口及第二气体流出口配设在如下位置上,该位置为配设有在第一端侧配设的放电电极的部分的外表面位于从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体的流路之中的位置。由此,能够通过从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体,来调整在第一端侧配设的放电电极的温度。汞齐合金体配设在光源的长度方向上的与第一端相比靠近第一端的相反侧的端即第二端的位置上。因此,在光源管内部的第二端侧的端配设的放电电极位于汞齐合金体的附近。由此,在第二端侧配设的放电电极,在通过从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体,对汞齐合金体的温度进行调整时,能够一并调整温度。因此,无需为了调整在第二端侧配设的放电电极的温度而设置第二气体流入口及第二气体流出口,就能够对在第二端侧配设的放电电极的温度进行调整,所以,能够简化照射装置的结构。应用例8在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,还具有气体温度调整部,所述气体温度调整部能够对从所述第一气体流入口及所述第二气体流入口中的至少一方向所述腔室主体供给的气体的温度进行调整。根据该照射装置,能够通过气体温度调整部对向腔室主体供给的气体的温度进行调整。通过为了使汞齐合金体和/或放电电极的温度成为适当的温度而将气体的温度调整为适当的温度,从而能够将汞齐合金体和/或放电电极的温度调整为适当的温度。应用例9在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,还具有吸引机构,所述吸引机构能够经由所述第一气体流出口及所述第二气体流出口中的至少一方对所述腔室主体内的气体进行吸引。根据该照射装置,能够通过吸引机构,经由第一气体流出口或第二气体流出口对腔室主体内的气体进行吸引,而使腔室内成为负压。应用例10本应用例涉及的照射方法,其特征在于,照射从具有在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体的光源出射的光,使所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面,位于从在配置有所述光源的腔室形成的第一气体流入口流入且从在所述腔室形成的第一气体流出口流出的气体的气流之中。根据本应用例涉及的照射方法,使光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的气流之中。汞齐合金体是汞齐合金例如以岛状配设在光源管的内壁上而成的结构。具有汞齐合金体的汞齐光源,其发光特性依存于汞齐合金体的温度。由于配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中,由此,能够通过从第一气体流入口流入并从第一气体流出口流出的气体来调整汞齐合金体的温度。通过将汞齐合金体的温度调整为能够进行适当的发光的合适的温度,从而能够使汞齐光源适当地发光。通过调整汞齐合金体的温度,与调整汞齐光源整体的温度的情况相比,能够高效地调整温度。应用例11本应用例涉及的照射装置,其特征在于,具有:光源,其具有在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体;和在内部配置有所述光源的腔室,所述腔室具有:腔室主体;在所述腔室主体形成的第一气体流入口及第一气体流出口 ;和第一导流体,该第一导流体将从所述第一气体流入口流入所述腔室主体内的气体向与所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面接触的方向引导。根据本应用例涉及的照射装置,腔室主体内的气体从第一气体流出口排出。从第一气体流入口对腔室主体内补充气体。从第一气体流入口流入腔室主体内的气体,通过第一导流体,被向与光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面接触的方向引导。由此,能够使光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中。汞齐合金体是汞齐合金例如以岛状配设在光源管的内壁上而成的结构。具有汞齐合金体的光源,其发光特性依存于汞齐合金体的温度。由于配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中,所以,能够通过从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体来调整汞齐合金体的温度。通过将汞齐合金体的温度调整为能够进行适当的发光的合适的温度,从而能够使汞齐光源适当地发光。通过调整汞齐合金体的温度,与调整汞齐光源整体的温度的情况相比,能够高效地调整温度。应用例12在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第一导流体具有第一导流路,所述第一导流路具有一端面对所述第一气体流入口开口的第一开口和另一端面对所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面开口的第二开口。根据该照射装置,从第一气体流入口流入腔室主体内的气体从第一气体流入口通过第一导流路,从面对光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面开口的第一导流路的第二开口流出,与该第二开口面对的光源管接触。由此,能够使光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中。应用例13在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第一导流体和所述第一气体流出口,在与所述光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在所述第二开口与所述第一气体流出口之间夹着所述汞齐合金体的位置上。根据该照射装置,第一导流体和第一气体流出口,在与光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在第一导流路的第二开口与第一气体流出口之间夹着汞齐合金体的位置上。由此,能够使从第一气体流入口流入而从第一导流路的第二开口流入腔室主体内并从第一气体流出口流出的气体,从汞齐光源中的光源管的侧方与配设有汞齐合金体的部分接触。通过使气体从光源管的侧方与配设有汞齐合金体的部分接触,能够高效地调整汞齐合金体的温度。应用例14在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,在所述第一导流体与所述光源管之间,设有第一整流体,所述第一整流体对流过所述第一导流路的气体与所述光源管接触的情况进行限制。根据该照射装置,设有第一整流体,该第一整流体对流过第一导流路的气体与光源管接触的情况进行限制。在照射装置具有多个光源的情况下,通过使被照射物与多个光源相对能够高效地照射光。为了使其与多个光源相对,优选,使被照射物位于与多个光源并排的并排方向相交叉的方向上。为了使气流不被被照射物遮蔽地与光源管接触,优选,第一导流体位于光源管的并排方向的延长线上。在第一导流体位于光源管的并排方向的延长线上的情况下,气流直接与最靠近第一导流体的位置的第一光源管接触,但由于气流被第一光源管遮挡,所以气流难以接触第二光源管以后的光源管。通过设置第一整流体,能够限制与第一光源管接触的气体的量。通过设置第一整流体,没有接触第一光源管的气体向第一气体流出口方流动,所以,在绕过第一光源管的状态下,与第二光源管以后的光源管接触。由此,能够容易地调整在第二光源管以后的光源管上配设的汞齐合金体的温度。应用例15在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,在所述第一整流体的、与从所述第一导流体流向所述光源管的气流的方向大致正交且与所述光源管的延伸方向大致正交的方向上的宽度,比所述光源管的外径小。根据该照射装置,第一整流体的、与从第一导流体流向光源管的气流的方向大致正交且与光源管的延伸方向大致正交的方向上的宽度,比光源管的外径小。即,投影到气流的截面上的第一整流体的宽度,比投影到气流的截面上的光源管的外径小。第一整流体,由于配设在第一导流路与光源管之间,所以,第一整流体和光源管在气流的方向上并排。在第一整流体的宽度比光源管的外径大的情况下,在没有第一整流体的情况下与最靠近第一整流体的第一光源管接触的气体的大部分被第一整流体遮挡,所以,难以对第一光源管的温度进行调整。通过使第一整流体的宽度比光源管的外径小,从而使与最靠近第一整流体的第一光源管接触的气体的一部分绕过该光源管,能够容易地进行第一光源管及第二光源管以后的光源管的双方的温度调整。应用例16在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述光源具有放电电极,所述腔室还具有:在所述腔室主体形成的第二气体流入口及第二气体流出口 ;第二导流体,其将从所述第二气体流入口流入所述腔室主体内的气体向与所述光源管中的配设有所述放电电极的部分的外表面接触的方向引导。根据该照射装置,腔室主体内的气体从第二气体流出口排出。从第二气体流入口对腔室主体内补充气体。从第二气体流入口流入腔室主体内的气体,通过第二导流体,被向与光源管中的配设有放电电极的部分的外表面接触的方向引导。由此,能够使光源管中的配设有放电电极的部分的外表面位于从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体的流路之中。具有放电电极的光源,其寿命多数情况下由放电电极的寿命决定。放电电极的寿命依存于放电电极的温度。配设有放电电极的部分的外表面位于从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体的流路之中,由此,通过从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体,能够调整放电电极的温度。通过将放电电极的温度调整为难以损害放电电极的寿命的温度,能够抑制因放电电极的温度为不合适的温度而导致的光源寿命受损的情况。通过调整放电电极的温度,与调整汞齐光源整体的温度的情况相比,能够高效地调整温度。应用例17在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第二导流体具有第二导流路,所述第二导流路具有:一端面对所述第二气体流入口开口的第三开口 ;和另一端面对所述光源管中的配设有所述放电电极的部分的外表面开口的第四开口。根据该照射装置,从第二气体流入口流入腔室主体内的气体从第二气体流入口通过第二导流路、从面对光源管中的配设有放电电极的部分的外表面开口的第二导流路的第四开口流出,与该第四开口面对的光源管接触。由此,能够使光源管中的配设有放电电极的部分的外表面位于从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体的流路之中。应用例18在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第二导流体和所述第二气体流出口,在与所述光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在所述第四开口与所述第二气体流出口之间夹着所述放电电极的位置上。根据该照射装置,第二导流体和第二气体流出口,在与光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在第二导流路的第四开口与第二气体流出口之间夹着放电电极的位置上。由此,能够使从第二气体流入口流入而从第二导流路的第四开口向腔室主体内流入并从第二气体流出口流出的气体,从汞齐光源中的光源管的侧方与配设有放电电极的部分接触。通过使气体从光源管的侧方与配设有放电电极的部分接触,能够高效地调整放电电极的温度。应用例19在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,在所述第二导流体与所述光源管之间设有第二整流体,该第二整流体对流过所述第二导流路的气体与所述光源管接触的情况进行限制。
根据该照射装置,设有第二整流体,该第二整流体对流过第二导流路的气体与光源管接触的情况进行限制。在照射装置具有多个光源的情况下,能够通过使被照射物与多个光源相对而高效地照射光。为了使其与多个光源相对,优选,使被照射物位于与多个光源并排的并排方向相交叉的方向上。为了使气流不受被照射物遮蔽地与光源管接触,优选,使第二导流体位于光源管的并排方向的延长线上。在第二导流体位于光源管的并排方向的延长线上的情况下,气流直接与最靠近第二导流体的位置的第一光源管接触,但由于气流被第一光源管遮挡,所以气流难以接触第二光源管以后的光源管。通过设置第二整流体,能够限制与第一光源管接触的气体的量。由于设置第二整流体而没有接触第一光源管的气体,流向第二气体流出口方,所以,在绕过第一光源管的状态下,与第二光源管以后的光源管接触。由此,能够容易地调整在第二光源管以后的光源管配设的放电电极的温度。应用例20在上述应用例涉及的照射装置中,优选地,所述第二整流体的、与从所述第二导流体流向所述光源管的气流的方向大致正交并且与所述光源管的延伸方向大致正交的方向上的宽度,比所述光源管的外径小。根据该照射装置,第二整流体的、与从第二导流体流向光源管的气流的方向大致正交并且光源管的延伸方向大致正交的方向上的宽度,比光源管的外径小。即,投影到与气流流动的方向大致正交的面上的第二整流体的宽度比投影到该面上的光源管的外径小。第二整流体由于配设在第二导流路与光源管之间,所以,第二整流体和光源管在气流的方向上并排。在第二整流体的宽度比光源管的外径大的情况下,在没有第二整流体的情况下与最接近第二整流体的第一光源管接触的气体的大部分被第二整流体遮挡,所以,难以进行第一光源管的温度调整。通过使第二整流体的宽度比光源管的外径小,从而能够使与最接近第二整流体的第一光源管接触的气体的一部分绕过该光源管,能够容易地进行第一光源管及第二光源管以后的光源管的双方的温度调整。


图1 (a)是描绘步骤的流程图,图1 (b)是表示前处理步骤的说明图,图1 (C)是表示印刷步骤的说明图,图1 (d)是表示固化步骤的说明图。图2是表示汞齐灯的主要结构的说明图。图3 (a)是与大致平行于汞齐灯的延伸方向的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置40的结构的说明图,图3 (b)是与大致正交于汞齐灯的延伸方向的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置40的结构的说明图。图4是表示汞齐灯的主要结构的说明图。图5 (a)是与大致平行于汞齐灯的延伸方向的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置400的结构的说明图,图5 (b)是与大致正交于汞齐灯的延伸方向的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置400的结构的说明图。图6 (a)是与大致平行于汞齐灯的延伸方向的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置140的结构的说明图,图6 (b)是与大致正交于汞齐灯的延伸方向的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置140的结构的说明图。附图标记的说明
I…液滴排出装置,9…功能液,9a...液滴,9b、9c、9d…功能液,20...液滴排出头,25…紫外线照射部,33...介质载置台,40…前处理装置,51...汞齐灯,52...玻璃管,53...汞齐点,53A…萊齐点列,55A…放电电极列,55a…放电电极,55b…放电电极,57…电极引脚,60…腔室主体,61...腔室,62a、62b…流入口,63a、63b…流出口,66a、66b…导流体,67a、67b…导流路,68a、68b…整流体,71…吸引泵,73…温度调整装置,73a...放出口,75…介质保持装置,77…灯保持装置,90…封装体,91…半导体封装件,92…印刷面,140...前处理装置,151...汞齐灯,152...玻璃管,152a、152c…直线管部,152b…圆弧管部,153…汞齐点,155a…放电电极,155b…放电电极,157...电极引脚,611…底壁,612…顶壁,614…侧壁。
具体实施例方式以下,参照

本 发明涉及的照射装置及照射方法的一个实施方式。本实施方式中,以描绘装置单元具有的前处理装置为例进行说明,该描绘装置单元具有将功能液作为液滴排出的液滴排出装置,通过利用该液滴排出装置将功能液配置在被描绘介质的任意的位置上从而描绘图像等。前处理装置是紫外线照射装置,通过向对被描绘介质中的被描绘面照射紫外线,从而对被描绘面进行改性,并且/或者去除被描绘面上的异物。此外,在以下的说明中参照的附图中,为了图示的方便,有时与实际情况不同地示出部件或部分的纵横的比例尺。描绘步骤首先,参照图1说明对被描绘介质进行描绘的描绘步骤的一例。图1是表示描绘步骤的各步骤的说明图。图1 (a)是描绘步骤的流程图,图1 (b)是表示前处理步骤的说明图,图1 (C)是表示印刷步骤的说明图,图1 (d)是表示固化步骤的说明图。作为被描绘介质的封装体90的半导体封装件91排成一列地固定在输送基板93上。半导体封装件91在印刷面92的相反侧的面固定在输送基板93上。在本描绘步骤中,在印刷面92上印刷产品型号等。在图1 (a)的步骤SI中,实施作为前处理的表面改性处理。在实施表面改性处理时,如图1 (b)所示,使封装体90保持于前处理装置40 (参照图3)的介质保持装置75。通过使保持于介质保持装置75的封装体90与汞齐灯51相对,对印刷面92照射从汞齐灯(amalgam lamp) 51出射的改性光,从而对印刷面92进行改性。汞齐灯51为紫外线灯,改性光为紫外线。通过对印刷面92照射紫外线,例如,将印刷面92相对于用于印刷图像的功能液9向亲液性侧改性。接下来,在图1(a)的步骤S2中,在印刷面92上配置功能液9而印刷产品型号等。如图1 (c)所示,使封装体90载置并保持于液滴排出装置I的介质载置台33。在使头单元21所具有的液滴排出头20面对印刷面92的状态下,从液滴排出头20使功能液9作为液滴9a排出,并使其附着于印刷面92。通过利用介质扫描机构使介质载置台33在介质扫描方向上移动,从而使载置于介质载置台33的封装体90在介质扫描方向上自如地移动。另外,保持于移动到的位置。通过利用头扫描机构使头单元21在头扫描方向上移动,从而使头单元21具有的液滴排出头20在头扫描方向上自如地移动。另外,保持于移动到的位置。印刷时,使介质载置台33或头单元21移动,而使液滴排出头20和封装体90位于排出开始位置。接下来,使液滴排出头20和介质载置台33 (封装体90)在排出扫描方向上相对移动,并且,在成为规定预定的相对位置关系的时刻,从液滴排出头20使功能液9作为液滴9a排出并附着于印刷面92。通过相对地对基于介质扫描机构的移动和基于头扫描机构的移动进行控制,从而使液滴9a附着于封装体90上的任意的位置、即半导体封装件91的印刷面92的任意的位置,由此,能够进行所希望的描绘等。头单元21还具有紫外线照射部25。头单元21具有两个紫外线照射部25,两个紫外线照射部25在排出扫描方向上夹着液滴排出头20的位置上各分别配设一个。紫外线照射部25能够在面对介质载置台33的位置上对封装体90照射紫外线。通过与液滴9a从液滴排出头20的排出大致并行地,从紫外线照射部25向封装体90照射紫外线,从而使已附着于印刷面92的功能液9b固化,成为暂时固化了的功能液9c。功能液9c是已固化到即使封装体90的姿势发生改变也不会流动的程度以上的功能液9。接下来,在图1 (a)的步骤S3中,使功能液9c正式固化。如图1 (d)所示,与上述的表面改性处理同样地,使封装体90保持于正式固化装置的介质保持装置。通过使保持于介质保持装置的封装体90与出射固化光(紫外线)的光源(紫外线灯)相对,对印刷面92上的功能液9c照射从紫外线灯出射的紫外线,从而使功能液9c固化,而成为正式固化了的功能液9d。功能液9d是例如固化成固化率90 %以上的功能液9。汞齐灯下面,关于汞齐灯51的结构,参照图2进行说明。图2是表示汞齐灯的主要结构的说明图。汞齐灯51为低压水银灯。如图2所示,汞齐灯51具有从玻璃管52的两端突出有电极引脚57的大致棒形状。玻璃管52是由石英玻璃形成的管,管的两端被密封。在玻璃管52的内部封入有氩气。在玻璃管52的内部的一方的端部配设有放电电极55a,在另一方的端部配设有放电电极55b。放电电极55a及放电电极55b的两端分别与电极引脚57电连接。在玻璃管52的内壁形成有水银汞齐呈岛状配设而成的汞齐点53。汞齐点53形成在玻璃管52中的与玻璃管52的中央相比靠形成有放电电极55a的端部的一侧的位置上。通过经由电极弓丨脚57与电源连接,而使电流在放电电极55a或放电电极55b中流动,从而从放电电极55a或放电电极55b放出电子。放出的电子向相反侧的放电电极55a或放电电极55b移动,开始放电。通过放电而流通的电子与水银电子发生碰撞。水银电子由于被电子碰撞,而产生紫外线。此外,作为电源使用交流电源,所以,放电电极55a和放电电极55b形成为大致相同的形状。汞齐灯51相当于光源。玻璃管52相当于光源管。汞齐点53相当于汞齐合金体。玻璃管52的延伸方向相当于光源管的延伸方向。玻璃管52中的形成有放电电极55a的一侧的端相当于第二端。玻璃管52中的形成有放电电极55b的一侧的端相当于第一端。前处理装置接下来,关于前处理装置40,参照图3进行说明。图3是表示前处理装置的结构的说明图。图3 (a)是与和大致平行于汞齐灯的延伸方向的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置的结构的说明图,图3 (b)是与和大致正交于汞齐灯的延伸方向的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置的结构的说明图。此外,为了使图面简单,图3 (b)中的汞齐灯51仅示出玻璃管52的外形。如图3所示,前处理装置40具有:腔室61、汞齐灯51、灯保持装置77、介质保持装置75、吸引泵71和温度调整装置73。腔室61具有大致长方体的箱形状的腔室主体60。腔室主体60具有:构成底面的底壁611、构成与底面相对的顶面的顶壁612、连接底壁611和顶壁612的四块侧壁614。在腔室主体60中配设有灯保持装置77。构成灯保持装置77的保持框77a及保持框77b,在腔室主体60中,立设在底壁611上。保持框77a及保持框77b具有电极引脚57能够嵌合的插口,各自所具有的插口相互相对。萊齐灯51中,电极引脚57嵌合于在保持框77a及保持框77b形成的插口中,汞齐灯51以架设在保持框77a与保持框77b之间的状态被支承。前处理装置40具有七根汞齐灯51。七根汞齐灯51在大致垂直方向上并排,成为壁的样子。介质保持装置75将封装体90以大致垂直地立起的状态保持。通过将封装体90以立起的状态保持,从而能够使封装体90与在垂直方向并排的七根汞齐灯51相面对。前处理装置40具有两个介质保持装置75。能够使用两个介质保持装置75,从七根汞齐灯51的壁的两侧使各个封装体90分别与汞齐灯51相面对。通过从汞齐灯51出射紫外线对与汞齐灯51面对的封装体90 (印刷面92)照射紫外线,从而例如,将印刷面92相对于用于印刷图像的功能液向亲液性侧改性。介质保持装置75,能够在保持封装体90的状态下,从形成在侧壁614上的介质出入口(省略图示)相对于腔室主体60中出入。腔室主体60具有:流入口 62a、流入口 62b、流出口 63a及流出口 63b。流入口 62a及流入口 62b是形成在底壁611上的开口。流出口 63a及流出口 63b是形成在顶壁612上的开口。在前处理装置40中,七根汞齐灯51在大致垂直方向上并排。形成在各个汞齐灯51上的汞齐点53也在大致垂直方向上并排。将七个汞齐点53的并排表示为汞齐点列53A。汞齐点列53A大致垂直地延伸。形成在各个萊齐灯51上的放电电极55a以及放电电极55b也分别在大致垂直方向上并排。将形成在七根萊齐灯51的各根上的放电电极55a以及放电电极55b的并排表不为放电电极列55A。放电电极55a以及放电电极55b的放电电极列55A也沿大致垂直延伸。流入口 62a在沿垂直方向并排的七个汞齐点53的下方开口,流出口 63a在沿垂直方向并排的七个汞齐点53的上方开口。换言之,流入口 62a及流出口 63a在汞齐点列53A的延长线与底壁611或顶壁612相交叉的位置开口。流入口 62b在沿垂直方向并排的七个放电电极55b的下方开口,流出口 63b在沿垂直方向并排的七个放电电极55b的上方开口。换言之,流入口 62b及流出口 63b在放电电极列55A的延长线与底壁611或顶壁612相交叉的位置开口。流出口 63a在沿垂直方向并排的七个汞齐点53的上方开口。因此,流出口 63a在包含汞齐点列53A的延长线与顶壁612相交叉的点的位置开口。流出口 63b在沿垂直方向并排的七个放电电极55b的上方开口。因此,流出口 63b在包含放电电极55b的放电电极列55A的延长线与顶壁612相交叉的点的位置开口。流出口 63a及流出口 63b连接于吸引泵71。通过使吸引泵71工作,从而将腔室主体60内的空气通过流出口 63a或流出口 63b排出。空气从流入口 62a及流入口 62b向腔室主体60内流入,以补充从流出口 63a或流出口 63b排出的空气。在腔室主体60内形成有从流入口 62a至流出口 63a的空气流和从流入口 62b至流出口 63b的空气流。流入口 62a在七个汞齐点53的下方开口,流出口 63a在七个汞齐点53的上方开口。因此,玻璃管52中的汞齐点53所处部分的外表面位于从流入口 62a至流出口 63a的空气流中。流入口 62b在七个放电电极55b的下方开口,流出口 63b在向七个放电电极55b的上方开口。因此,玻璃管52中的放电电极55b所处部分的外表面位于从流入口 62b至流出口 63b的空气流中。流入口 62a相当于第一气体流入口。流入口 62b相当于第二气体流入口。流出口63a相当于第一气体流出口。流出口 63b相当于第二气体流出口。吸引泵71相当于吸引装置。温度调整装置73是对气体的温度进行调整的装置,与腔室主体60分体地设置。温度调整装置73中的放出调整了温度的气体的放出口 73a面对流入口 62a及流入口 62b开口。从放出口 73a放出的空气的大部分从流入口 62a或流入口 62b流入腔室主体60内。从流入口 62a及流入口 62b流入腔室主体60内的空气的大部分为由温度调整装置73调整了温度的空气。温度调整装置73相当于气体温度调整部。前处理装置40相当于照射装置。其他的前处理装置的例子①下面,关于一部分结构与上述的前处理装置40不同的前处理装置400,参照图5进行说明。在图5中,对与图3相同结构的部分标注与图3相同的标记并省略说明。图5(a)是与和汞齐灯的延伸方向大致平行的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置结构的说明图,图5 (b)是与和汞齐灯的延伸方向大致正交的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置结构的说明图。此外,为了使附图简单,图5 (b)中的汞齐灯51仅示出了玻璃管52的外形。图5的前处理装置400与图3的前处理装置40的不同点在于,腔室主体60还具有导流体66a、导流体66b、导流路67a及导流路67b。导流体66a及导流体66b是立设在底壁611上的管。导流路67a及导流路67b是具有管形状的导流体66a或导流体66b的中空部分。导流路67a与流入口 62a连通,通过流入口 62a和导流路67a,从腔室主体60的外表面至内表面贯通。同样地,导流路67b与流入口 62b连通,通过流入口 62b和导流路67b,从腔室主体60的外表面到内表面贯通。导流路67a及导流路67b既可以与底壁611 —体形成,也可以是连接单独形成的结构而成的部分。导流体66a位于在垂直方向上并排的七个萊齐点53的下方。导流体66a的上端位于最下方的汞齐灯51的紧附近。在导流体66a的上端面开口的导流路67a,在最下方的汞齐灯51的紧附近,面对玻璃管52中的形成有汞齐点53的部分的外表面开口。导流路67a在包含汞齐点列53A的延长线与导流体66a的上端面相交叉的点的位置在导流体66a的上端面开口。导流体66b位于在垂直方向上并排的七个放电电极55b的下方。导流体66b的上端位于最下方的萊齐灯51的紧附近。在导流体66b的上端面开口的导流路67b,在最下方的汞齐灯51的紧附近,面对玻璃管52中的形成有放电电极55b的部分的外表面开口。导流路67b,在包含放电电极列55A的延长线与导流体66b的上端面相交叉的点的位置,在导流体66b的上端面开口。流出口 63a及流出口 63b与吸引泵71连接。通过使吸引泵71工作,将腔室主体60内的空气通过流出口 63a或流出口 63b排出。空气从流入口 62a及流入口 62b流入腔室主体60内,以补充从流出口 63a和/或流出口 63b排出的空气。在腔室主体60内形成有从流入口 62a通过导流路67a直到流出口 63a的空气流和从流入口 62b通过导流路67b直到流出口 63b的空气流。导流路67a在七个汞齐点53的下方开口,流出口 63a在七个汞齐点53的上方开口。导流路67a的开口和流出口 63a在汞齐点列53A的延伸方向上,夹着汞齐点列53A地配置。因此,从导流路67a至流出口 63a的空气流沿汞齐点列53A流动,玻璃管52中的汞齐点53所处部分的外表面位于从导流路67a至流出口 63a的空气流中。导流路67b在七个放电电极55b的下方开口,流出口 63b在七个放电电极55b的上方开口。导流路67b的开口和流出口 63b,在放电电极列55A的延伸方向上,夹着放电电极列55A地配置。因此,从导流路67b至流出口 63b的空气流沿放电电极列55A流动,玻璃管52中的放电电极55b所处部分的外表面位于从导流路67b到流出口 63b的空气流中。导流体66a相当于第一导流体。导流体66b相当于第二导流体。导流路67a相当于第一导流路。导流路67b相当于第二导流路。导流路67a的面对流入口 62a的开口相当于第一开口。导流路67a的面对玻璃管52的开口相当于第二开口。导流路67b的面对流入口 62b的开口相当于第三开口。导流路67b的面对玻璃管52的开口相当于第四开口。其他的前处理装置的例子②下面,关于一部分结构与上述的前处理装置400不同的前处理装置140,参照图6进行说明。图6中,对与图5相同结构的部分标注与图5相同的标记并省略说明。图6是表示前处理装置结构的说明图。图6 (a)是与和汞齐灯的延伸方向大致平行的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置结构的说明图,图6 (b)是与和汞齐灯的延伸方向大致正交的截面中的腔室的截面形状一并表示前处理装置结构的说明图。此外,为了使附图简单,图6 (b)中的汞齐灯51仅示出玻璃管52的外形。图6的前处理装置140与图5的前处理装置400的不同点在于,腔室主体60还具有整流体68a和整流体68b。整流体68a配设在导流体66a的上表面,整流体68b配设在导流体66b的上表面。整流体68a及整流体68b,其在与导流路67a或导流路67b的开口大致平行的截面上的形状为大致长方形,整流体68a及整流体68b以横切导流路67a或导流路67b的开口将其分成两部分的状态配设。流出口 63a及流出口 63b是形成在顶壁612上的开口。整流体68a在导流体66a的上表面与汞齐灯51的延伸方向大致平行地延伸,将导流路67a的开口大致二等分地配设。整流体68a在与汞齐灯51的延伸方向大致正交的方向上的宽度被设定为比汞齐灯51的玻璃管52的直径小。整流体68a的宽度为例如玻璃管52的直径的2 / 3左右。
整流体68b在导流体66b的上表面与汞齐灯51的延伸方向大致平行地延伸,将导流路67b的开口大致二等分地配设。整流体68b在与汞齐灯51的延伸方向大致正交的方向上的宽度被设定得比汞齐灯51的玻璃管52的直径小。整流体68b的宽度为例如玻璃管52的直径的2 / 3左右。整流体68a与汞齐灯51的延伸方向大致平行地延伸,将导流路67a的开口大致二等分,所以从导流路67a流出的空气被分成两部分。在位于最靠近整流体68a的位置上的汞齐灯51中,玻璃管52中的面对整流体68a部分的、玻璃管52的径向的中央附近,位于空气流由整流体68a遮挡的位置。因此,由整流体68a限制与玻璃管52接触的空气的量。由整流体68a分成两部分并向流出口 63a方流动的空气沿由并排成壁状的七根汞齐灯51形成的壁的两面流动。由于整流体68a的宽度为例如玻璃管52直径的2 / 3左右,所以,该空气流不会从由七根汞齐灯51形成的壁离开,空气流在与玻璃管52接触的状态下流动。整流体68a相当于第一整流体。整流体68b与汞齐灯51的延伸方向大致平行地延伸,将导流路67b的开口大致二等分,所以从导流路67b流出的空气被分成两部分。在位于最靠近整流体68b的位置上的汞齐灯51中,玻璃管52中的面对整流体68b的部分的、玻璃管52的径向的中央附近,位于空气流由整流体68b遮挡位置。因此,由整流体68b限制与玻璃管52接触的空气的量。由整流体68b分成两部分并向流出口 63b方流动的空气沿由并排成壁状的七根汞齐灯51形成的壁的两面流动。由于整流体68b的宽度为例如玻璃管52直径的2 / 3左右,所以,该空气流不会从由七根汞齐灯51形成的壁分离,空气流以与玻璃管52接触的状态流动。整流体68b相当于第二整流体。其他的汞齐灯例子下面,关于外观形状与上述的汞齐灯51不同的汞齐灯151,参照图4进行说明。图4是表示汞齐灯的主要结构的说明图。如图4所示,汞齐灯151具有在中央弯曲的玻璃管152。玻璃管152具有:中央的圆弧管部152b ;和分别连接在圆弧管部152b的一端的直线管部152a及直线管部152c。圆弧管部152b的管的中心轴线具有中心角180度的圆弧形状。从圆弧管部152b的各端分别延伸的直线管部152a和直线管部152c,两管的中心轴相互大致平行。玻璃管152是由石英玻璃形成的管,管的两端密封。在玻璃管152的内部封入有氩气。在直线管部152a内部的端部配设有放电电极155a,在直线管部152c内部的端部配设有放电电极155b。放电电极155a及放电电极155b,其两端分别与电极引脚157电连接。在直线管部152a的内壁形成有水银汞齐配设成岛状而成的汞齐点153。通过经由电极引脚157与电源连接,而使电流在放电电极155a或放电电极55b中流动,从而从放电电极155a或放电电极155b放出电子。放出的电子向相反侧的放电电极155a或放电电极155b移动,开始放电。通过放电而流动的电子碰撞到水银电子。水银电子由于被电子碰撞,而产生紫外线。此外,作为电源使用交流电源,所以,放电电极155a和放电电极155b形成为大致相同的形状。汞齐灯151相当于光源。玻璃管152相当于光源管。汞齐点153相当于汞齐合金体。直线管部152a及直线管部152c的延伸方向相当于光源管的延伸方向。以下,记载实施方式产生的效果。根据本实施方式,能够得到以下的效果。
(I)在前处理装置40中,流入口 62a在七个汞齐点53的下方开口,流出口 63a在七个汞齐点53的上方开口。因此,玻璃管52中的汞齐点53所处部分的外表面,位于从流入口 62a至流出口 63a的空气流之中。由此,能够使从流入口 62a向流出口 63a流动的空气与玻璃管52中的汞齐点53所处部分的外表面接触,以调节汞齐点53的温度。例如,能够有效地抑制因汞齐灯51发光导致的汞齐点53的温度上升。通过抑制汞齐点53的温度上升,能够抑制因汞齐点53的温度过度上升导致的汞齐灯51的发光效率降低。(2)在前处理装置40中,流入口 62b在七个放电电极55b的下方开口,流出口 63b在七个放电电极55b的上方开口。因此,玻璃管52中的放电电极55b所处部分的外表面,位于从流入口 62b至流出口 63b的空气流之中。由此,能够使从流入口 62b向流出口 63b流动的空气与玻璃管52中的放电电极55b所处部分的外表面接触,以调节放电电极55b的温度。例如,能够有效地抑制因汞齐灯51发光而导致的放电电极55b的温度上升。通过抑制放电电极55b的温度上升,能够抑制因放电电极55b的温度过度上升导致的汞齐灯51的寿命降低。(3)前处理装置40具有温度调整装置73,从流入口 62a和/或流入口 62b等流入腔室主体60等的空气的大部分为由温度调整装置73调整了温度的空气。通过利用温度调整装置73对流入腔室主体60等的空气的温度进行调整,从而能够容易地将汞齐点53和/或放电电极55b的温度调整为适当的温度。(4)在前处理装置40中,汞齐灯51的玻璃管52中的汞齐点53所处部分的外表面,位于从流入口 62a至流出口 63a的空气流之中。在汞齐灯51中,汞齐点53形成在放电电极55a附近。根据该结构,从流入口 62a至流出口 63a的空气的一部分与玻璃管52中的放电电极55a所处部分的外表面接触。由此,通过设置流入口 62a及流出口 63a,还能够调整放电电极55a的温度。与另行设置用于调整放电电极55a的温度的流入口及流出口的结构相比,能够简化腔室主体60的结构。(5)在前处理装置40中,流出口 63a及流出口 63b为形成在顶壁612上的开口。流入口 62a及流入口 62b为形成在底壁611上的开口。从流入口 62a、流入口 62b流入并由于冷却了汞齐点53和/或放电电极55b而温度上升了的空气,因为容易上升,所以,容易被引导至向上方开口的流出口 63a或流出口 63b方。由此,能够使从流入口 62a、流入口 62b流入的空气容易地从流出口 63a或流出口 63b流出。(6)前处理装置400具有导流体66a,该导流体66a具有导流路67a。导流路67a,其一端在汞齐灯51的紧附近,面对玻璃管52中的形成有汞齐点53的部分的外表面而开口,另一端与流入口 62a连通,借助流入口 62a和导流路67a而从腔室主体60的外表面到内表面贯通。由此,能够将经由流入口 62a从腔室主体60的外部流入的空气引导至玻璃管52中的形成有汞齐点53的部分的外表面附近。(7)在前处理装置400中,导流路67a在七个汞齐点53的下方开口,流出口 63a在七个汞齐点53的上方开口。导流路67a的开口和流出口 63a在汞齐点列53A的延伸方向上夹着汞齐点列53A地配置。因此,从导流路67a至流出口 63a的空气流沿汞齐点列53A流动,玻璃管52中的汞齐点53所处部分的外表面位于从导流路67a至流出口 63a的空气流之中。由此,能够使从导流路67a向流出口 63a流动的空气与玻璃管52中的汞齐点53所处部分的外表面接触,以调节汞齐点53的温度。例如,能够有效地抑制因汞齐灯51发光导致的汞齐点53的温度上升。通过抑制汞齐点53的温度上升,能够抑制因汞齐点53的温度过度上升导致的汞齐灯51的发光效率降低。(8)前处理装置400具有导流体66b,该导流体66b具有导流路67b。导流路67b,其一端,在汞齐灯51的紧附近,面对玻璃管52中的形成有放电电极55b的部分的外表面而开口,另一端与流入口 62b连通,借助流入口 62b和导流路67b而从腔室主体60的外表面到内表面贯通。由此,能够将经由流入口 62b从腔室主体60的外部流入的空气向玻璃管52中的形成有放电电极55b的部分的外表面附近引导。(9)在前处理装置400中,导流路67b在七个放电电极55b的下方开口,流出口 63b在七个放电电极55b的上方开口。导流路67b的开口和流出口 63b在放电电极列55A的延伸方向上,夹着放电电极列55A地配置。因此,从导流路67b至流出口 63b的空气流沿放电电极列55A流动,玻璃管52中的放电电极55b所处部分的外表面位于从导流路67b至流出口 63b的空气流之中。流入口 62b在七个放电电极55b的下方开口,流出口 63b在七个放电电极55b的上方开口。因此,玻璃管52中的放电电极55b所处部分的外表面位于从导流路67b至流出口 63b的空气流之中。由此,能够使从导流路67b向流出口 63b流动的空气与玻璃管52中的放电电极55b所处部分的外表面接触,以调节放电电极55b的温度。例如,能够有效地抑制因汞齐灯51发光导致的放电电极55b的温度上升。通过抑制放电电极55b的温度上升,能够抑制因放电电极55b的温度过度上升导致的汞齐灯51的寿命降低。(10)前处理装置140具有整流体68a。整流体68a与汞齐灯51的延伸方向大致平行地延伸,将导流路67a的开口大致二等分,所以从导流路67a流出的空气分成两部分。在位于最靠近整流体68a位置上的汞齐灯51中,空气流由整流体68a遮挡,与玻璃管52接触的空气的量被限制。由整流体68a分成两部分并向流出口 63a方流动的空气,沿由并排成壁状的七根汞齐灯51形成的壁的两面流动。由此,能够抑制与七根汞齐灯51的各根分别接触的空气的量按每根萊齐灯51而波动。(11)前处理装置140具有整流体68b。整流体68b与汞齐灯51的延伸方向大致平行地延伸,将导流路67b的开口大致二等分,所以从导流路67b流出的空气分成两部分。在位于最靠近整流体68b的位置上的汞齐灯51中,空气流由整流体68b遮挡,与玻璃管52接触的空气的量被限制。由整流体68b分成两部分并向流出口 63b方流动的空气,沿由并排成壁状的七根汞齐灯51形成的壁的两面流动。由此,能够抑制与七根汞齐灯51的各根分别接触的空气的量按每根萊齐灯51而波动。(12)前处理装置140具有整流体68a。整流体68a与汞齐灯51的延伸方向大致平行地延伸,将导流路67a的开口大致二等分,所以从导流路67a流出的空气分成两部分。整流体68a的宽度为玻璃管52直径的2 / 3左右。由此,使由整流体68a分成两部分的空气不会从由七根汞齐灯51形成的壁离开,能够使空气流在与玻璃管52接触的状态下流动。(13)前处理装置140具有整流体68b。整流体68b与汞齐灯51的延伸方向大致平行地延伸,将导流路67b的开口大致二等分,所以从导流路67b流出的空气分成两部分。整流体68b的宽度为玻璃管52直径的2 / 3左右。由此,使由整流体68b分成两部分的空气不会从由七根汞齐灯51形成的壁离开,能够使空气流在与玻璃管52接触的状态下流动。(14)前处理装置400及前处理装置140具有温度调整装置73,从流入口 62a和/或流入口 62b等流入腔室主体60等的空气的大部分为由温度调整装置73调整了温度的空气。通过利用温度调整装置73对流入腔室主体60等的空气的温度进行调整,从而能够容易地将汞齐点53、和/或汞齐点153、和/或放电电极55b、和/或放电电极155a和/或放电电极155b的温度调整到适当的温度。(15)前处理装置400及前处理装置140中,汞齐灯51的玻璃管52中的汞齐点53所处部分的外表面位于从导流路67a等至流出口 63a等的空气流之中。在汞齐灯51中,汞齐点53形成在放电电极55a的附近。根据该结构,从导流路67a等至流出口 63a等的空气的一部分与玻璃管52中的放电电极55a所处部分的外表面接触。由此,通过设置具有导流路67a的导流体66a等及流出口 63a等,还能够调整放电电极55a的温度。与另行设置具有用于调整放电电极55a的温度的导流路67a的导流体66a等及流出口 63a等的结构相比,能够简化腔室主体60的结构。(16)在前处理装置400及前处理装置140中,流出口 63a及流出口 63b是形成在顶壁612上的开口。具有导流路67a的导流体66a形成在底壁611上。具有导流路67b的导流体66b形成在底壁611上。从导流路67a和/或导流路67b等流入并由于冷却了汞齐点53和/或放电电极55b而温度上升的空气,因为容易上升,所以容易被引导至向上方开口的流出口 63a等方。由此,能够容易地使从导流路67a等流入的空气从流出口 63a等流出。以上,一边参照附图一边说明了优选的实施方式,但优选的实施方式不限于所述实施方式。当然,实施方式能够在不脱离主旨的范围内追加各种变更,还能够如下这样实施。变形例I在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置40、前处理装置400及前处理装置140,是例如将印刷面92相对于用于印刷图像的功能液9向亲液性侧改性的装置。但是,所述实施方式所示那样的照射装置的用途不限于前处理和/或对象面的改性。所述实施方式所示的照射装置还能够作为去除对象面的异物的洗净装置、和/或对对象面进行杀菌的杀菌装置、和/或照射用于使光固化型的功能液固化的固化光的固化装置。变形例2在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置40的腔室主体60具有用于调整放电电极55b的温度的流入口 62b及流出口 63b。但是,无需一定将配置在如下位置上的第二气体流入口及第二气体流出口设置在腔室主体上,所述位置为光源管中的配设有放电电极的部分的外表面位于从第二气体流入口流入而从第二气体流出口流出的气体的流路之中的位置。照射装置也可以为腔室主体具有第一气体流入口和第一气体流出口,而不具有第二气体流入口及第二气体流出口的结构。变形例3在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置40的腔室主体60具有一组用于调整放电电极55b的温度的流入口 62b等及流出口 63b等。但是,腔室主体所具有的第二气体流入口和第二气体流出口的组无需一定为一组。在如具有放电电极55a的放电电极列55A、及放电电极55b的放电电极列55A的前处理装置40那样,在相互分离的位置配设有多个放电电极的照射装置中,也可以为设有多组第二气体流入口和第二气体流出口的组的结构。变形例4在所述实施方式中,前处理装置40、前处理装置400及前处理装置140具有七根作为光源的汞齐灯51。但是,照射装置所具有的光源的数量不限于七个。照射装置所具有的光源的数量可以为任意个。
变形例5在所述实施方式中,萊齐点列53A、放电电极列55A的延伸方向为垂直方向。但是,在具有多个汞齐合金体和/或放电电极的多个组的照射装置中,汞齐合金体和/或放电电极的并排方向无需一定为垂直方向。在照射装置中,多个萊齐合金体和/或放电电极的并排方向既可以为水平方向,也可以为垂直方向和/或相对于水平方向倾斜的方向。变形例6在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置40的腔室主体60具有一组作为第一气体流入口的流入口 62a、作为第一气体流出口的流出口 63a的组。但是,照射装置的腔室主体所具有的第一气体流入口和/或第一气体流出口不限于一个。在具有多个光源、且光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面配设在相互分离的位置上的照射装置中,腔室主体也可以为具有多个第一气体流入口以及第一气体流出口的结构。变形例7在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置40的腔室主体60,对于具有一个作为第一气体流入口的流入口 62a的情况,具有一个作为第一气体流出口的流出口 63a。但是,无需一定构成为,第一气体流入口和第一气体流出口成为I对I的组。也可以构成为,多个第一气体流出口或第一气体流入口,相对于一个第一气体流入口或第一气体流出口成组。变形例8在所述实施方式中,前处理装置40、前处理装置400及前处理装置140具有一个吸引泵71,通过一个吸引泵71,从流出口 63a及流出口 63b等多个流出口吸引了腔室主体60内部的空气。但是,照射装置所具有的吸引机构不限于一个。照射装置也可以具有多个吸引机构。也可以为按每个第一气体流出口和/或第二气体流出口分别设置吸引机构的结构。通过按每个第一气体流出口和/或第二气体流出口分别设置吸引机构,从而能够按每个所对应的汞齐合金体和/或放电电极容易地单独实施温度调整。变形例9在所述实施方式中,前处理装置40、前处理装置400及前处理装置140具有温度调整装置73,但照射装置无需一定具有气体温度调整部。也可以为不用特别对流入腔室主体的气体的温度进行调整的结构。变形例10在所述实施方式中,前处理装置40、前处理装置400及前处理装置140具有一个温度调整装置73,通过一个温度调整装置73,一律调整从流入口 62a及流入口 62b等多个流入口流入腔室主体60内部的空气的温度。但是,照射装置所具有的气体温度调整部不限于一个。照射装置也可以具有多个气体温度调整部。也可以为按每个第一气体流入口和/或第二气体流入口分别设置气体温度调整部的结构。通过按每个第一气体流入口和/或第二气体流入口分别设置气体温度调整部,从而还可以按每个所对应的汞齐合金体和/或放电电极单独地改变流动的气体的温度。变形例11也可以设为使所述实施方式中的前处理装置40、前处理装置400及前处理装置140旋转90度所得的结构。即,也可以设为使前处理装置40旋转所得的结构,该旋转使得前处理装置40中的底壁611及顶壁612成为侧壁、使前处理装置40中的侧壁614中的任一个成为底壁、使与其相对的侧壁614成为顶壁。变形例12也可以替换所述实施方式中的前处理装置40、前处理装置400及前处理装置140中所使用的汞齐灯51,而使用<其他的汞齐灯例子>中说明的汞齐灯151。变形例13在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置400、140的腔室主体60具有导流体66b及流出口 63b,所述导流体66b具有用于调整放电电极55b的温度的导流路67b。但是,无需一定在腔室主体上设置:第二气体流入口及第二气体流出口 ;和第二导流体,该第二导流体将从第二气体流入口流入腔室主体内的气体向与光源管中的配设有放电电极的部分的外表面接触的方向引导。照射装置也可以为以下结构:腔室主体具有第一气体流入口、第一气体流出口和第一导流体,而不具有第二气体流入口、第二气体流出口及第二导流体。变形例14在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置400、140的腔室主体60具有一组导流体66b及流出口 63b,所述导流体66b具有用于调整放电电极55b的温度的导流路67b。但是,腔室主体所具有的第二气体流入口、第二气体流出口和第二导流体的组无需为一组。在如具有放电电极55a的放电电极列55A及放电电极55b的放电电极列55A的前处理装置40那样,在多个放电电极配设在相互分离的位置上的照射装置中,也可以为设置多组第二气体流入口、第二气体流出口和第二导流体的组的结构。变形例15在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置400、140的腔室主体60具有一组作为第一气体流入口的流入口 62a、作为第一导流体的导流体66a、作为第一气体流出口的流出口 63a的组。但是,照射装置的腔室主体所具有的第一气体流入口、第一气体流出口以及第一导流体不限于一个。在具有多个光源、且在光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面配设在相互分离的位置上那样的照射装置中,腔室主体也可以为具有多个第一气体流入口和/或第一气体流出口和/或第一导流体的结构。变形例16在所述实施方式中,作为照射装置的前处理装置400、140的腔室主体60,相对于具有一个作为导流体的导流体66a的情况,具有一个作为气体流出口的流出口63a。但是,导流体和气体流出口无需一定构成为成为I对I的组。也可以构成为,多个气体流出口或导流体相对于一个导流体或气体流出口成组。
权利要求
1.一种照射装置,其特征在于,具有: 光源,其具备在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体; 在内部配置有所述光源的腔室, 所述腔室具有:腔室主体;和在所述腔室主体形成的第一气体流入口及第一气体流出n, 所述第一气体流入口及所述第一气体流出口,以使得所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面位于从所述第一气体流入口流入而从所述第一气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。
2.根据权利要求1所述的照射装置,其特征在于, 所述第一气体流入口和所述第一气体流出口,在与所述光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在所述第一气体流入口与所述第一气体流出口之间夹着所述汞齐合金体的位置上。
3.根据权利要求1或2 所述的照射装置,其特征在于, 所述第一气体流出口配设在所述汞齐合金体的垂直方向上的上方, 所述第一气体流入口配设在所述汞齐合金体的垂直方向上的下方。
4.根据权利要求广3的任一项所述的照射装置,其特征在于, 所述光源具备放电电极, 所述腔室还具有在所述腔室主体形成的第二气体流入口及第二气体流出口, 所述第二气体流入口及所述第二气体流出口,以使得所述光源管中的配设有所述放电电极的部分的外表面位于从所述第二气体流入口流入而从所述第二气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。
5.根据权利要求4所述的照射装置,其特征在于, 所述第二气体流入口和所述第二气体流出口,在与所述光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设在所述第二气体流入口与所述第二气体流出口之间夹着所述放电电极的位置上。
6.根据权利要求5所述的照射装置,其特征在于, 所述第二气体流出口,配设在所述放电电极的垂直方向上的上方, 所述第二气体流入口,配设在所述放电电极的垂直方向上的下方。
7.根据权利要求4飞的任一项所述的照射装置,其特征在于, 所述汞齐合金体配设在所述光源的长度方向上的、与第一端部相比靠近所述第一端部的相反侧的端部即第二端部的位置上, 所述放电电极配置在所述光源管的内部,具有配置在所述第一端侧的第一放电电极和配设在所述第二端侧的第二放电电极, 所述第二气体流入口及所述第二气体流出口以使得配设有所述第一放电电极的部分的外表面位于从所述第二气体流入口流入而从所述第二气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。
8.根据权利要求广7的任一项所述的照射装置,其特征在于, 还具有气体温度调整部,所述气体温度调整部能够对从所述第一气体流入口及所述第二气体流入口中的至少一方向所述腔室主体供给的气体的温度进行调整。
9.根据权利要求广8的任一项所述的照射装置,其特征在于, 还具有吸引机构,所述吸引机构能够经由所述第一气体流出口及所述第二气体流出口中的至少一方对所述腔室主体内的气体进行吸引。
10.一种照射方法,其特征在于,照射对从具有配置在光源管的内表面的一部分的汞齐合金体的光源出射的光, 使所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面位于从在配置有所述光源的腔室形成的第一气体流入口流入、而从在所述腔室形成的第一气体流出口流出的气体的气流之中。
11.一种照射装置,其特征在于,具有: 光源,其具有在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体; 在内部配置有所述光源的腔室, 所述腔室具有:腔室主体;在所述腔室主体形成的第一气体流入口及第一气体流出口 ;和第一导流体,该第一导流体将从所述第一气体流入口流入所述腔室主体内的气体向与所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面接触的方向引导。
12.根据权利要求11所述的照射装置,其特征在于, 所述第一导流体具有第一导流路,所述第一导流路具有:一端面对所述第一气体流入口开口的第一开口 ;和另一端面对所述光源管中的配设有所述汞齐合金体的部分的外表面开口的第二开口。
13.根据权利要求12所述的照射装置,其特征在于, 所述第一导流体和所述第一气体`流出口,在与所述光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在所述第二开口与所述第一气体流出口之间夹着所述汞齐合金体的位置上。
14.根据权利要求12或13所述的照射装置,其特征在于, 在所述第一导流体与所述光源管之间,设有第一整流体,所述第一整流体对在流过所述第一导流路的气体与所述光源管接触的情况进行限制。
15.根据权利要求14所述的照射装置,其特征在于, 在所述第一整流体的、与从所述第一导流体流向所述光源管的气流的方向大致正交并且与所述光源管的延伸方向大致正交的方向上的宽度,比所述光源管的外径小。
16.根据权利要求1f15的任一项所述的照射装置,其特征在于, 所述光源具有放电电极, 所述腔室还具有: 在所述腔室主体形成的第二气体流入口及第二气体流出口 ;和 第二导流体,其将从所述第二气体流入口流入所述腔室主体内的气体向与所述光源管中的配设有所述放电电极的部分的外表面接触的方向引导。
17.根据权利要求16所述的照射装置,其特征在于, 所述第二导流体具有第二导流路,所述第二导流路具有:一端面对所述第二气体流入口开口的第三开口 ;和另一端面对所述光源管中的配设有所述放电电极的部分的外表面开口的第四开口。
18.根据权利要求17所述的照射装置,其特征在于, 所述第二导流体和所述第二气体流出口,在与所述光源管的延伸方向相交叉的方向上,配设于在所述第四开口与所述第二气体流出口之间夹着所述放电电极的位置上。
19.根据权利要求17或18所述的照射装置,其特征在于, 在所述第二导流体与所述光源管之间设有第二整流体,该第二整流体对流过所述第二导流路的气体与所述光源管接触的情况进行限制。
20.根据权利要求19所述的照射装置 ,其特征在于, 所述第二整流体的、与从所述第二导流体流向所述光源管的气流的方向大致正交并且与所述光源管的延伸方向大致正交的方向上的宽度,比所述光源管的外径小。
全文摘要
本发明提供一种照射装置及照射方法,能够调整光源的温度从而能够对应光源的特征地良好地维持光源的功能。照射装置,具有光源,其具有在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体;和在内部配置有所述光源的腔室,腔室具有腔室主体;和在腔室主体形成的第一气体流入口及第一气体流出口,第一气体流入口及第一气体流出口以使得光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。
文档编号H01J61/52GK103107063SQ20121045717
公开日2013年5月15日 申请日期2012年11月14日 优先权日2011年11月15日
发明者中村真一, 木之下成二 申请人:精工爱普生株式会社
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