专利名称：一种带水冷效果的空心阴极管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于材料表面等离子体处理的阴极管，特别是一种适用于皮革、柔性电路板等一些特殊材质表面处理的带水冷效果的空心阴极管。
背景技术：
低温等离子体表面处理工艺是指在负压下(一般为几十帕)，对一定的气体施加高频电场，使其激发成等离子体状态；等离子体作为物质的第四态，其中包含大量的电子，离子及自由基等活性粒子，这些活性粒子碰撞到被处理物体的表面，会发生相应的物理或化学反应，使材料表面的性质发生变化或是赋予新的功能，以达到其处理目的，满足实际应用的需要。现有的空心阴极结构等离子体表面处理虽然能够对一些耐热性能较好的材质进行处理，但是由于空心阴极喷口在长时间的等离子体喷射过程中，喷口的温度会随着工作时间的加长而温度逐步升高，对于皮革、柔性电路板等一些耐热性比较低的材质，空心阴极结构等离子体进行表面处理时，则会损伤这些材料。
实用新型内容本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种适用于皮革、柔性电路板等一些特殊材质表面处理的带水冷效果的空心阴极管。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种带水冷效果的空心阴极管，包含阴极管绝缘管、空心阳极管、前端盖、后端盖；所述阴极管设置在空心阳极管的内侧；所述绝缘管设置在阴极管与空心阳极管之间；所述前端盖将阴极管、绝缘管和空心阳极管的前端密封，后端盖将阴极管、绝缘管和空心阳极管的后端密封；所述空心阳极管上设置有进气孔和等离子体喷口 ；所述进气孔和等离子体喷口均与阴极管内部的空间相连通；所述空心阳极管中设置有水冷空间；所述水冷空间靠近空心阳极管上的等离子体喷口。优选的，所述后端盖中空，后端盖的中空部位上设置有有机玻璃。优选的，所述有机玻璃将阴极管后端密封，有机玻璃与阴极管之间设置有小0型圈。优选的，所述前端盖与空心阳极管的前端之间设置有大0型圈，后端盖与空心阳极管的后端之间设置有大0型圈。优选的，所述等离子体喷口有两排，两排等离子体喷口的位置相互交错。由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:本实用新型方案的带水冷效果的空心阴极管，通过在空心阳极管上设置水冷空间，使从等离子体喷口喷出的等离子体可以得到及时的冷却，因此，在对皮革、柔性电路板等一些耐热性比较低的材质进行表面等离子体处理时，等离子体的温度降到这些材料的温度耐受范围之内，可以安全地对这些材料进行表面处理而不会损伤这些材料。以下结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:附
图1为本实用新型的一种带水冷效果的空心阴极管的立体分解图；附图2为本实用新型的一种带水冷效果的空心阴极管的结构示意图；附图3为本实用新型的一种带水冷效果的空心阴极管的工作示意图；其中:1、阴极管；2、绝缘管；3、空心阳极管；4、前端盖；5、后端盖；6、大0型圈；7、小0型圈；8、有机玻璃；9、等离子体喷口 ；10、等离子体；11、基材。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。附
图1-2为本实用新型所述的一种带水冷效果的空心阴极管，包含阴极管I绝缘管2、空心阳极管3、前端盖4、后端盖5 ;所述阴极管I设置在空心阳极管3的内侧；所述绝缘管2设置在阴极管I与空心阳极管3之间；所述前端盖4绝缘，前端盖4将阴极管1、绝缘管2和空心阳极管3的前端密封，前端盖4与空心阳极管3的前端之间设置有大0型圈6 ;所述后端盖5中空，后端盖5的中空部位上设置有圆形的有机玻璃8 ;所述有机玻璃8将阴极管I后端密封，后端盖5将绝缘管2和空心阳极管3的后端密封；所述有机玻璃8与阴极管I之间设置有小0型圈7，后端盖5与空心阳极管3的后端之间设置有大0型圈6 ;所述空心阳极管3上设置有进气孔和等离子体喷口 9 ;所述等离子体喷口 9有两排，两排等离子体喷口 9的位置相互交错；所述进气孔和等离子体喷口 9均与阴极管I内部的空间相连通；所述空心阳极管3中设置有水冷空间；所述水冷空间靠近空心阳极管3上的等离子体喷口9。如图3所示，本实用新型所述的一种带水冷效果的空心阴极管在工作时，进气孔相阴极管I中充入气体，气体在阴极管I中反应成为等离子体10，由于气体不断地充入阴极管I，使阴极管I中的压力不断增大，使等离子体10从等离子体喷口 9喷到基材11上，使等离子体10对基材11进行表面处理；由于空心阳极管3中的水冷空间不断通入循环的冷水，而且水冷空间靠近等离子体喷口 9，因此，等离子体10在经过等离子体喷口 9时，受到水冷空间的冷却作用而使等离子体10的温度降低至基材11的温度耐受范围内。由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:本实用新型方案的带水冷效果的空心阴极管，通过在空心阳极管3上设置水冷空间，使从等离子体喷口 9喷出的等离子体10可以得到及时的冷却，因此，在对皮革、柔性电路板等一些耐热性比较低的材质进行表面等离子体处理时，等离子体10的温度降到这些材料的温度耐受范围之内，可以安全地对这些材料进行表面处理而不会损伤这些材料。以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。
权利要求1.一种带水冷效果的空心阴极管，其特征在于:包含阴极管(I)绝缘管(2)、空心阳极管(3)、前端盖(4)、后端盖(5);所述阴极管(I)设置在空心阳极管(3)的内侧；所述绝缘管(2)设置在阴极管(I)与空心阳极管(3)之间；所述前端盖(4)将阴极管(I)、绝缘管(2)和空心阳极管(3)的前端密封，后端盖(5)将阴极管(I)、绝缘管(2)和空心阳极管(3)的后端密封；所述空心阳极管(3)上设置有进气孔和等离子体喷口(9);所述进气孔和等离子体喷口(9)均与阴极管(I)内部的空间相连通；所述空心阳极管(3)中设置有水冷空间；所述水冷空间靠近空心阳极管(3)上的等离子体喷口(9)。
2.根据权利要求1所述的带水冷效果的空心阴极管，其特征在于:所述后端盖(5)中空，后端盖(5)的中空部位上设置有有机玻璃(8)。
3.根据权利要求2所述的带水冷效果的空心阴极管，其特征在于:所述有机玻璃(8)将阴极管(I)后端密封，有机玻璃(8 )与阴极管(I)之间设置有小O型圈(7 )。
4.根据权利要求1或3所述的带水冷效果的空心阴极管，其特征在于:所述前端盖(4)与空心阳极管(3)的前端之间设置有大O型圈(6)，后端盖(5)与空心阳极管(3)的后端之间设置有大O型圈(6)。
5.根据权利要求1所述的带水冷效果的空心阴极管，其特征在于:所述等离子体喷口(9)有两排，两排等离子体喷口(9)的位置相互交错。
专利摘要本实用新型涉及一种带水冷效果的空心阴极管，包含阴极管绝缘管、空心阳极管、前端盖、后端盖；阴极管设置在空心阳极管的内侧；绝缘管设置在阴极管与空心阳极管之间；前端盖和后端盖分别将阴极管、绝缘管和空心阳极管的两端密封；空心阳极管上设置有进气孔和等离子体喷口，空心阳极管中设置有靠近等离子体喷口的水冷空间；因此，从等离子体喷口喷出的等离子体可以得到及时的冷却，因此，在对皮革、柔性电路板等一些耐热性比较低的材质进行表面等离子体处理时，等离子体的温度降到这些材料的温度耐受范围之内，可以安全地对这些材料进行表面处理而不会损伤这些材料。
文档编号H01J37/04GK203026481SQ20122072532
公开日2013年6月26日 申请日期2012年12月26日 优先权日2012年12月26日
发明者温贻芳, 范金玲, 薛迎春 申请人:苏州工业职业技术学院