专利名称：282nm、222nm无极准分子灯的制作方法
技术领域：
本发明属电光学领域，涉及一种通过微波激励放电发光的准分子灯，具体涉及准分子灯管的气体组成及气压参数。
背景技术：
受激准分子灯目前广泛应用于半导体集成电路、液晶显示面板和印刷线路板等电子部件的制造工序中的紫外线曝光装置等中，但是现在进入实用状态的大都是高压电场激发光的准分子灯，例如专利公开号CN1494105A的(受激准分子灯)，专利公开号CN101164136A的(准分子灯)等。由于受激准分子灯的成本过高，限制了它的大规模使用，因此现在国内外也有不少院校及科研机构、企业在开发新型准分子发光系统，如复旦大学专利公告号为1713338A的(190nm、207nm准分子微波无极放电灯及应用)，以及本人的专利号为ZL200810216783.1的(无极准分子灯)等 。我们在研究中发现，准分子光源的波段很多，各个用途都不尽相同，如308nm波段的可用来治疗皮肤病、油墨干燥，207nm波段可杀菌消毒，190nm波段可用于分解有机物等，因此我们再开发其它波段的无极准分子光源也是很有意思的事情。
发明内容
因此，本发明是为了开发更多波段的无极准分子光源，本发明的目的在于提出一种可采用微波方式激励的、能量利用率高的，寿命长的无极准分子光源。本发明所述的无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于:波段为282nm或222nm的无极准分子紫外灯管内充填着溴化氙气体或氯化氪气体。本发明所述的无极准分子灯，其特征在于:波段为282nm的无极准分子紫外灯管内充填的溴化氙气体，混合气体总压强为2 20Torr。本发明所述的无极准分子灯，其特征在于:波段为282nm的无极准分子紫外灯管内充填的溴化氙气体，Xe: Br2S 400: I 800:1。本发明所述的无极准分子灯，其特征在于:波段为222nm的无极准分子紫外灯管内充填的氯化氪气体，混合气体总压强为2 20Torr。本发明所述的无极准分子灯，其特征在于:波段为222nm的无极准分子紫外灯管内充填的氯化氪气体，Kr: Cl2为100: I 400:1。 282nm波段准分子紫外光形成过程如下:在微波电磁场的作用下，e+Xe — Xe*(氣气原子与电子发生碰撞激发)e+Xe — Xe+(氣气原子与电子发生碰撞电尚)e+Br2 — Br+Br_ (溴分子分解为溴原子和溴离子)Xe++Br2 — XeBr*+Br (Harpooning 反应形成 XeBr*)
Xe++Br>M — XeBr*+M (三体碰撞形成XeBr% M代表参加三体碰撞的分子或原子)XeBr* — Xe+Br+hv (XeBr*分解为原子，同时辐射282nm波段紫外光)XeBr*准分子光谱的峰值在282nm处，另外在300nm及320nm处也有微弱辐射。222nm波段准分子紫外光形成过程如下:在微波电磁场的作用下，e+Kr — Kr*(氪气原子与电子发生碰撞激发)e+Kr — Kr+(氣气原子与电子发生碰撞电尚)e+Cl2 — C1+CF (氯气分子分解为氯原子和氯离子)Kr++Cl2 — KrCl*+Cl (Harpooning 反应形成 KrCl*)Kr++Cr+M — KrCl*+M (三体碰撞形成KrCl' M代表参加三体碰撞的分子或原子)KrCl* — Kr+Cl+hv (KrCl*分解为原子，同时辐射222nm波段紫外光)KrCl*准分子光谱的峰值在222nm处，另外在235nm及325nm处也有微弱辐射。
图1为本发明的结构2为本发明的A向放大图。
图3为282nm波段的XeBr*准分子紫外辐射光谱4为222nm波段的KrCl*准分子紫外辐射光谱图符号说明12:固定板；14:接头；15:无极灯管；17:圆筒形网孔板；18:波导腔；19:耦合口。具体实施案例参照附图，其中图1为本发明的结构图，图2为本发明的A向放大图，图3为282nm波段的XeBZ准分子紫外辐射光谱图，图4为222nm波段的KrCl*准分子紫外辐射光谱图，本发明是通过如下方式进行实施的，微波源产生微波后，微波通过波导腔18的耦合口 19进入谐振腔，激励无极灯管15内的放电用气体受激发生准分子紫外光，灯管内充填着溴化氙气体或氯化氪气体。谐振腔由波导腔18的底板及圆筒形网孔板17组合而成，网孔板采用可反射微波的铝、银或不锈钢等材料制成，网孔板开口率大于70%。无极灯管15材质采用脱羟透明石英玻璃，二氧化硅纯度大于99.9%，灯管全长约1200mm,管内径约为16mm。固定板12的材质采用TEF10N、石英玻璃、陶瓷或其它不吸收微波的材料。
权利要求
1.一种无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于:波段为282nm或222nm的无极准分子紫外灯管内充填着溴化氙气体或氯化氪气体。
2.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于:波段为282nm的无极准分子紫外灯管内充填的溴化氙气 体，混合气体总压强为2 20Torr。
3.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于:波段为282nm的无极准分子紫外灯管内充填的溴化氙气体，Xe: Br2S 400: I 800:1。
4.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于:波段为222nm的无极准分子紫外灯管内充填的氯化氪气体，混合气体总压强为2 20Torr。
5.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于:波段为222nm的无极准分子紫外灯管内充填的氯化氪气体，Kr: Cl2为100: I 400:1。
全文摘要
本发明属电光学领域，具体涉及一种通过微波激励放电发光的282nm波段及222nm波段无极准分子灯管的气体组成及气压参数。该无极光源无污染、光效高、寿命超长，可使准分子光源在印刷及光氧化氯乙烯系列、饱和氯代烃领域的应用范围的大幅扩大。
文档编号H01J61/12GK103227098SQ20131018605
公开日2013年7月31日 申请日期2013年5月15日 优先权日2013年5月15日
发明者王颂 申请人:王颂