专利名称：一种准分子激光再生式放大器的制作方法
技术领域：
本发明涉及激光技术领域，尤其是能用于注入锁定技术的准分子激光再生式放大器。
背景技术：
准分子激光目前仍然是大规模半导体集成电路光刻设备的主要光源。双腔结构被引入以解决单腔结构在窄线宽和大功率不能兼顾的矛盾，具体做法是通过主振荡腔产生窄线宽低能量的种子光，种子光注入放大腔进行放大，从而产生 窄线宽、大能量的光源。目前双腔结构采用注入锁定(Takahito Kumazaki, Toru Suzuki, SatoshiTanaka et al. Reliable high powerinjection locked 6 kHz 60W laser for ArFimmersion lithography, in LevinsonDusa. Optical Microlithography XX1. San Jose,CA，USA :SPIE，2008. 69210R-69242R.)与环形腔技术(D. J. W. Brown, P. 0 ! Keeffe，V.B.Fleurov et al.XLR 500i recirculating ring ArF light source forimmersionlithography.1n Flagello.Optical Microlithography XX. San Jose, CA,USA SPIE，2007. 652020-652028.)，能使种子光注入放大腔得到多程放大。环形腔技术中目前普遍采用棱镜环形腔，种子光在此种环形腔中往返一次可得到两倍放大，但由于增益区横截面积小，对棱镜的加工精度与环形腔的调节精度要求很高。对于另外一种四镜环形腔(如图1所示)，种子光在环形腔中传播一周只能得到单次放大，提取效率不高。
发明内容
本发明的目的是提供一种准分子激光再生式放大器，该放大器结构简单，便于调整，能够有效提取放大器能量。本发明提供的一种准分子激光再生放大器，其特征在于，它包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明是一种基于注入锁定技术的准分子激光再生放大器，相对于环形腔，本发明耦合镜相对注入种子光入射角以布鲁斯特角放置，输入激光与输出激光方向相同，通过在放大腔两侧放置四分之一波片来改变腔内激光偏振方向，使得在耦合镜两侧尽管输入输出激光光束平行，但相互之间仍得到很好得隔离，利于消除再生放大器产生的辐射对主振荡器的影响。此放大器结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
图1是现有的四镜环形腔结构示意图。图2是本发明所述再生放大器结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。如图2所示，本发明提供的再生放大器包括依次位于同一光路上的第一反射镜1、第一波片2、稱合镜4、放大腔5、第二波片6和第二反射镜7。第一、第二波片2、6均为四分之一波片，第一、第二反射镜1、7为全反镜，且其反射面均朝向放大腔5，耦合镜4与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。在再生放大(或称之为注入锁定放大)过程中，种子光由主振荡器3产生，种子光以布鲁斯角入射I禹合镜4后反射光为s光(偏振方向垂直于图2所不横截面,种子光反射面与图示横截面重合)，经放大腔5放大后经过第二波片6变为圆偏振光，经第二反射镜7反射再次经过第二波片6后变为偏振方向与s光垂直的p光，再次经放大腔5放大后此偏振光完全透过耦合镜4，经过第一波片2入射至第一反射镜1，由第一反射镜I反射的光束再次经过第一波片2后变为s光，s光入射到耦合镜4，此时一部分反射输出，一部分透过耦合镜4，继续上述过程，反复在放大器中振荡。以上所述为本发明的较佳实施例而已，但本发明不应该局限于该实施例和附图所公开的内容。所以凡是不脱离本发明所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本发明保 护的范围。
权利要求
1.一种准分子激光再生放大器，其特征在于，它包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片， 第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。
全文摘要
本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
文档编号H01S3/08GK103001108SQ201210513358
公开日2013年3月27日 申请日期2012年12月3日 优先权日2012年12月3日
发明者胡守岩, 胡耀文, 徐勇跃, 左都罗, 王新兵, 陆培祥 申请人:华中科技大学