X射线转换靶的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种X射线转换靶，其包括一基体和一靶层板，该基体包括一基板和一框架，该基板的上表面固设于至少一导向板，并与该基板、该框架和该靶层板围绕形成有一第一冷却剂层；该X射线转换靶还包括一密封板，该基板的下表面固设于至少一第二导向板，并与该基板、该框架和该密封板围绕形成有一第二冷却剂层；该第一冷却剂层和第二冷却剂层均包括至少一进流道和至少一出流道，各该进流道的一端用于通入冷却剂，另一端与相应的各该出流道相连通，各该出流道的一端用于流出冷却剂。本发明在保证大功率或超大功率电子束转换成X射线的转换效率高的同时，实现转换靶的温度均匀性，提高了转换靶的使用寿命。
【专利说明】X射线转换靶
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种X射线转换靶。
【背景技术】
[0002]源于X射线在穿透性上的优势，辐照工业对电子束转X射线提出了迫切需要。若 能将大功率的5?IOMeV电子束转换成X射线，其穿透能力和加工能力将可以与Co-60 Y 辐照源相比较。这样使现有的加速器辐照装置适用面更广，并增强其运行的灵活性，还可以 直接替代一部分Co-60辐照装置。
[0003]但在电子束转换成X射线的过程中电子束能量转换成X射线能量的份额是比较少 的，80%?90%以上的能量都将以热的形式释放。为保证转换效率，转换靶的厚度尺寸通常 都是比较小的，而电子束的扫描面通常会有一定限制。因此，为了在一定的体积内解决大功 率X射线转换的散热问题，需要实现冷却剂在靶体有限体积和厚度下高效的热交换。
[0004]在中国发明专利申请说明书CN201310091694.X中公开了一种大功率辐照加速器 X射线转换靶，如图1?3所示，该X射线转换靶其包括靶体和靶体冷却装置，所述靶体包括 钽板3'和铜板4'，所述钽板3'前表面用于接受电子束流并转换为X射线，钽板3'后表 面与铜板4'前表面焊接为一体；所述靶体冷却装置包括两根主冷却管I'和多根支冷却 管2'，所述的多根支冷却管2'平行排列，焊接在所述铜板4'后表面上，所述的两根主冷 却管I'分别焊接在多根支冷却管2'的两端并与支冷却管2'相连通，其中一根主冷却管 I'用于通入冷却液，另一根用于输出冷却液。然而，该大功率辐照加速器X射线转换靶存 在以下技术问题:
[0005](I)多根支冷却管间隔设置在铜板的后表面，使得该铜板的同一横截面上的厚度 不均匀，导致较厚的位置处吸收较多的X射线，使得转换靶在前向方向上产生X射线的份额 有所损失，转换效率降低；
[0006](2)该靶横截面质量厚度较薄的位置处将会透射出电子束，使得X射线在辐照过 程中，电子束对X射线产生干涉作用，影响辐照产品的品质；
[0007](3)该X射线转换靶的冷却方式采用单向流道，导致在冷却剂的进入和流出两端 温度的不均匀，产生热应力和热形变的不良影响；
[0008](4)这种结构不能实现冷却剂对转换部件的直接冷却，之间需要经过冷却管壁，冷 却管与铜板接触面等，在换热能力上将有所不足。
【发明内容】
[0009]本发明要解决的技术问题是克服现有技术中传统的X射线转换靶转换效率低、电 子束对X射线产生干涉、易产生热应力和热形变以及基体发热量巨大的缺陷，提供了一种X 射线转换靶。
[0010]本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题:
[0011]—种X射线转换IE,包括一基体和一IE层板，其特点在于，该基体包括一基板和一固设于该基板周壁上的框架，该靶层板可拆卸式连接有该框架；
[0012]该基板的上表面固设于至少一与该框架的一端固接的第一导向板，该些第一导向板均位于该基板与该祀层板之间，并与该基板、该框架和该祀层板围绕形成有一第一冷却剂层；
[0013]该X射线转换靶还包括一固接于该框架上的密封板，该密封板位于基板的下方，该基板的下表面固设于至少一与该框架的另一端固接的第二导向板，该些第二导向板均位于该基板与该密封板之间，并与该基板、该框架和该密封板围绕形成有一第二冷却剂层；
[0014]该第一冷却剂层和第二冷却剂层均包括至少一进流道和至少一出流道，各该进流道的一端用于通入冷却剂，另一端与相应的各该出流道相连通，各该出流道的一端用于流出冷却剂。
[0015]在本方案中，第一冷却剂层设置在靶层板与基板之间，第二冷却剂层设置在基板与密封板之间，可以保证在大功率或超大功率对转换效率要求比较高的场合下，第一冷却剂层、基板、第二冷却剂层和密封板将经过靶层板透射的电子束完全吸收，避免电子束最后从密封板透射出，对X射线的辐照干涉，影响辐照产品的品质。另外，第一冷却剂层和第二冷却剂层可以将沉积在靶层板、基板和密封板的热量及时带走，实现转换靶的散热。
[0016]另外，该第一冷却剂层和第二冷却剂层均包括进流道和出流道，使得冷却剂在该转换靶体内的流动为上下往复式，不仅将转换靶在工作时积累的热量及时带走，还可实现转换靶的温度均匀性，避免热应力和热形变，提高了转换靶使用寿命。
[0017]此外，在能量较高的电子束转换成X射线的过程中，尤其是在大功率转换的情况下，沉积在基体和冷却剂层的能量将大于沉积在靶层板的能量，使得基体发热量较大，采用上述双层冷却剂层能及时将基体内的热量带走，保证基体在合适的温度内工作，提高了该X射线转换靶的使用寿命。
[0018]较佳地，该密封板与框架之间通过焊接密封连接，该密封板的上表面设有至少一组固接件，各组该固接件包括若干个固接件，各该固接件固接于相应的该第二导向板上。
[0019]较佳地，该第一导向板和该第二导向板的数量均为两块，两块该第一导向板平行设置于该基板的上表面，两块该第二导向板平行设置于该基板的下表面。
[0020]较佳地，该第一冷却剂层和第二冷却剂层的进流道的数量均为一个，该第一冷却剂层和第二冷却剂层的出流道的数量均为两个，各该进流道位于相应的两个该出流道之间。
[0021]在本方案中，采用上述结构形式，使得冷却剂在转换靶的靶体内的流动为上下两层往复式，有利于保证转换靶内的温度分布的均匀性。
[0022]较佳地，该框架的一侧壁上设有三个第一通孔，各该第一通孔的一端与一冷却剂管道相连通，其中一个该第一通孔的另一端与该第一冷却剂层的进流道相连通，另外两个该第一通孔的另一端分别与一该第一冷却剂层的出流道相连通。
[0023]较佳地，该基板的一端设有三个第一连接槽，各该第一连接槽的一端分别与一该第一通孔相连通，其中一个该第一连接槽的另一端与该第一冷却剂层的进流道相连通，另外两个该第一连接槽的另一端分别与一该第一冷却剂层的出流道相连通。
[0024]较佳地，该框架的另一侧壁上设有三个第二通孔，各该第二通孔的一端与另一冷却剂管道相连通，其中一个该第二通孔的另一端与该第二冷却剂层的进流道相连通，另外两个该第二通孔的另一端分别与一该第二冷却剂层的出流道相连通。
[0025]较佳地，该基板的另一端设有三个第二连接槽，各该第二连接槽的一端分别与一 该第二通孔相连通，其中一个该第二连接槽的另一端与该第二冷却剂层的进流道相连通， 另外两个该第二连接槽的另一端分别与一该第二冷却剂层的出流道相连通。
[0026]较佳地，各该第一通孔与相应的该第二通孔对称设置于该框架的两侧壁上。
[0027]较佳地，该框架的两端分别固设有一封头，各该封头分别通过三个密封接头组件 贯穿相应的该第一通孔与该框架固接，其中三个该密封接头组件的一端与一该冷却剂管道 相连通，另一端分别与一相应的第一连接槽相连通，另外三个该密封接头组件的一端与另 一该冷却剂管道相连通，另一端分别与一相应的第二连接槽相连通。
[0028]在本方案中，封头使得在冷却层较小的厚度与冷却剂的较大孔径的接口形成过 渡。
[0029]较佳地，该靶层板的形状为圆弧形。
[0030]在本方案中，该靶层板的形状为圆弧形，即靶层板的顶面和底面的形状均为圆弧 形，高压冷却剂对壁面压力指向外法线方向，由切向的张力平衡。这样使得冷却剂的压力对 靶在厚度方向(径向)造成形变量很少，因此，该靶层板与基体之间无需增加额外的固定结 构用于抵抗高压冷却剂对其带来的形变。
[0031]较佳地，该密封板的形状为圆弧形。
[0032]在本方案中，该密封板的设置结构形式，使得密封板与基体之间无须增加额外的 固定结构用于抵抗高压冷却剂对其带来的形变。
[0033]较佳地，该第一导向板的长度与该第二导向板的长度相等。
[0034]在本方案中，第一冷却剂层和第二冷却剂层在基板长度方向上相互错开，这样能 保证对称设置在框架的两侧壁的第一通孔和第二通孔能与其最接近的进流道或出流道相 连通，从而使冷却剂进入相应的进流道或出流道。
[0035]较佳地，该第一冷却剂层的各该进流道上和各该出流道上均设有一组第一条纹 槽，每一组该第一条纹槽包括若干个第一条纹槽，若干个该第一条纹槽沿该基板长度方向 间隔平行设置。
[0036]在本方案中，第一条纹槽设置在位于第一冷却剂层的冷却剂与基体的接触面上。 通过冷却剂在流动方向上体积的变化使冷却剂发展为充分的湍流状态，加强冷却剂与接触 面传热效果。
[0037]较佳地，各该第一条纹槽的形状为人字形。
[0038]较佳地，该第二冷却剂层的各该进流道上和各该出流道上均设有一组第二条纹 槽，每一组该第二条纹槽包括若干个第二条纹槽，若干个该第二条纹槽沿该基板长度方向 间隔平行设置。
[0039]在本方案中，第二条纹槽设置在位于第二冷却剂层的冷却剂与基体的接触面上。 通过冷却剂在流动方向上体积的变化使冷却剂发展为充分的湍流状态，加强冷却剂与接触 面传热效果。
[0040]较佳地，该靶层板与该框架之间为螺钉连接，该靶层板通过一密封圈与该框架密 封连接。
[0041]在本方案中，采用上述结构形式，便于该转换靶拆卸、固定，同时能保证该转换靶的密封性，避免通入冷却剂层的冷却剂从该基体的侧面溢出。
[0042]较佳地，该X射线转换靶还包括一密封压边组件，该密封压边组件与该靶层板、框架固接，并位于该靶层板的上方。
[0043]在本方案中，密封压边组件的设置能进一步保证靶层板与基体之间的紧固性和密封性。
[0044]在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本发明各较佳实例。
[0045]本发明的积极进步效果在于:
[0046]本发明X射线转换靶在保证大功率或超大功率电子束转换成X射线的转换效率高的同时，实现转换靶的温度均匀性，避免热应力和热形变，提高了转换靶的使用寿命；另外，避免了电子束从基板透射出来，对X射线产生干涉，影响辐照产品的品质；此外，在转换能量较高的电子束转换成X射线过程中，尤其是在大功率转换的情况下，能及时将基体内的热量带走，保证基体在合适的温度内工作，提高了该X射线转换靶的使用寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0047]图1为现有技术的X射线转换靶的结构示意图。
[0048]图2为与图1对应的俯视图。
[0049]图3为图2中A部分的放大图。
[0050]图4为本发明X射线转换靶的较佳实施例的结构示意图。
[0051]图5为与图4对应的爆炸结构示意图。
[0052]图6为图5中基体的俯视图。
[0053]图7为图5中基体的仰视图。
[0054]图8为图5中基体的左视图。
[0055]图9为与图4对应的主视图的全剖视图。
[0056]附图标记说明:
现有技术:
[0057]主冷却管:1'支冷却管:2'钽板:3'
[0058]铜板:4'
[0059]本发明:
[0060]基体:1封头:2靶层板:3
[0061]密封压边组件:4密封板:5螺钉:6
[0062]密封接头组件:7密封圈:8密封垫片:9
[0063]第一冷却剂层:10第二冷却剂层:11基板:12
[0064]框架:13第一通孔:14第二通孔:15
[0065]第一连接槽:16第二连接槽:17第一导向板:18
[0066]第二导向板:19固接件:20第一进流道:21
[0067]第一出流道:22第二进流道:23第二出流道:24【具体实施方式】
[0068]下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本发明。
[0069]如图4?5所示，本发明X射线转换靶包括一基体I和一靶层板3。该基体I包括 一基板12和一框架13。该框架13固设在该基板12周壁上。该靶层板3可拆卸式连接有 该框架13。在本实施例中，该靶层板3与该框架13之间为螺钉连接，这样便于该转换靶拆 卸、固定。
[0070]其中，该靶层板3通过一密封圈8与该框架13密封连接，能保证该转换靶的密封 性，避免通入冷却剂层的冷却剂从该基体I的侧面溢出。同时，该X射线转换靶还包括一密 封压边组件4。该密封压边组件4通过若干螺钉6与该靶层板3、框架13固接，并位于该靶 层板3的上方，进一步保证靶层板3与基体I之间的紧固性和密封性。在本实施例中，密封 压边组件4的形状与框架13的形状相同，并与框架13相配合。
[0071]另外，如图6所示，该基板12的上表面固设于至少一与该框架13的一端固接的第 一导向板18。该些第一导向板18均位于该基板12与该祀层板3之间，并与该基板12、该 框架13和该靶层板3围绕形成有一第一冷却剂层10。在本实施例中，该第一导向板18数 量均为两块，两块该第一导向板18平行设置于该基板12的上表面。
[0072]此外，如图9所示，该X射线转换靶还包括一固接于该框架13上的密封板5，该密 封板5位于基板12的下方。该密封板5的一端与框架13的一端相连接,另一端与框架13 的另一端相连接。同时，该基板12的下表面固设于至少一与该框架13的另一端固接的第 二导向板19,该些第二导向板19均位于该基板12与该密封板5之间，并与该基板12、该框 架13和该密封板5围绕形成有一第二冷却剂层11。在本实施例中，优选的，该第二导向板 19的数量均为两块，两块该第二导向板19平行设置于该基板12的下表面。
[0073]进一步，如图6?7所示，该第一冷却剂层10和第二冷却剂层11均包括至少一进 流道和至少一出流道。各该进流道的一端用于通入冷却剂，另一端与相应的各该出流道相 连通。各该出流道的一端用于流出冷却剂。
[0074]在本实施例中，该第一冷却剂层10和第二冷却剂层11均包括进流道和出流道，使 得冷却剂在该转换靶体内的流动为上下往复式，不仅将转换靶在工作时积累的热量及时带 走，还可实现转换靶的温度均匀性，避免热应力和热形变，提高了转换靶使用寿命。
[0075]优选的，该第一冷却剂层10和第二冷却剂层11的进流道的数量均为一个，该第一 冷却剂层10和第二冷却剂层11的出流道的数量均为两个，各该进流道位于相应的两个该 出流道之间。这样使得冷却剂在转换靶的靶体内的流动为上下两层往复式，有利于保证转 换靶内的温度分布的均匀性。
[0076]在本实施例中，第一冷却剂层10设置在靶层板3与基板12之间，第二冷却剂层11 设置在基板12与密封板5之间，可以保证在大功率或超大功率对转换效率要求比较高的场 合下，第一冷却剂层10、基板12、第二冷却剂层11和密封板5将经过靶层板3透射的电子 束完全吸收，避免电子束最后从密封板5中透射出，对X射线辐照干涉，影响辐照产品的品 质。另外，第一冷却剂层和第二冷却剂层可以将沉积在靶层板、基板和密封板的热量及时带 走，实现转换靶的散热。
[0077]同时，在实际的应用过程中，由于靶的各层材料性质不同，要保证的工作温度是不 一样的。通常靶层板3的材料熔点高，耐温性好。基体I材料的工作温度则不能太高。冷却层需要将电子束沉积在材料上的功率及时带走以维持各层在允许的温度范围。在能量较高的电子束转换成X射线过程中，尤其是在大功率转换的情况下，沉积在基体I和冷却剂层的能量将大于沉积在靶层板3的能量，使得基体I发热量较大，采用上述双层冷却剂层能及时将基体I内的热量带走，保证基体I在合适的温度内工作，提高了该X射线转换靶的使用寿命。
[0078]另外，如图5、图9所示，该密封板5的上表面设有至少一组固接件。各组该固接件包括若干个固接件20，各该固接件20固接于相应的该第二导向板19上。该密封板与框架之间通过焊接密封连接，固接件20与第二导向板19也通过焊接连接。在本实施例中，该固接件的组数为两组，每一组固接件包括四个固接件。且两组固接件分别固接在两块第二导向板上。
[0079]此外，该框架13的一侧壁上设有三个第一通孔14。各该第一通孔14的一端与一冷却剂管道相连通，其中一个该第一通孔14的另一端与该第一冷却剂层10的进流道相连通，另外两个该第一通孔14的另一端分别与一该第一冷却剂层10的出流道相连通。
[0080]进一步，如图9所示，该基板12的一端设有三个第一连接槽16。各该第一连接槽16的一端分别与一该第一通孔14相连通，其中一个该第一连接槽16的另一端与该第一冷却剂层10的进流道相连通，另外两个该第一连接槽16的另一端分别与一该第一冷却剂层10的出流道相连通。
[0081]更进一步，如图8?9所示，该框架13的另一侧壁上设有三个第二通孔15。各该第二通孔15的一端与另一冷却剂管道相连通，其中一个该第二通孔15的另一端与该第二冷却剂层11的进流道相连通，另外两个该第二通孔15的另一端分别与一该第二冷却剂层11的出流道相连通。
[0082]其中，该基板12的另一端设有三个第二连接槽17。各该第二连接槽17的一端分别与一该第二通孔15相连通，其中一个该第二连接槽17的另一端与该第二冷却剂层11的进流道相连通，另外两个该第二连接槽17的另一端分别与一该第二冷却剂层11的出流道相连通。
[0083]优选的，如图5、图9所示，各该第一通孔14与相应的该第二通孔15对称设置于该框架13的两侧壁上。
[0084]另外，如图9所示，该框架13的两端分别固设有一封头2。各该封头2分别通过三个密封接头组件7贯穿相应的该第一通孔14与该框架13固接。其中三个该密封接头组件7的一端与一该冷却剂管道相连通，另一端分别与一相应的第一连接槽16相连通。另外三个该密封接头组件7的一端与另一该冷却剂管道相连通，另一端分别与一相应的第二连接槽17相连通。
[0085]在本实施例中，封头2使得在冷却层较小的厚度与冷却剂的较大孔径的接口形成过渡。同时，各密封接头组件7通过一密封垫片9压设在封头2上。
[0086]此外，如图5所示，该靶层板3的形状为圆弧形，即靶层板3的顶面和底面的形状均为圆弧形，高压冷却剂对壁面压力指向外法线方向，由切向的张力平衡。这样使得冷却剂的压力对靶在厚度方向(径向)造成形变量很少，因此，该靶层板3与基体I之间无需增加额外的固定结构用于抵抗高压冷却剂对其带来的形变。在本实施例中，该靶层板3的厚度为Imm的钽金属板，这样能够保证转换靶的转换效率。[0087]进一步，如图5所示，该密封板5的形状为圆弧形。这样使得密封板5与基体I之 间无须增加额外的固定结构用于抵抗高压冷却剂对其带来的形变。
[0088]更进一步，该第一导向板18的长度与该第二导向板19的长度相等。即第一冷却 剂层10和第二冷却剂层11在基板12长度方向上相互错开，这样能保证对称设置在框架13 的两侧壁的第一通孔14和第二通孔15能与其最接近的进流道或出流道相连通，从而使冷 却剂进入相应的进流道或出流道。
[0089]优选的，如图7所示，该第一冷却剂层10的各该进流道上和各该出流道上均设有 一组第一条纹槽。每一组该第一条纹槽包括若干个第一条纹槽，若干个该第一条纹槽沿该 基板12长度方向间隔平行设置。
[0090]在本实施例中，第一条纹槽设置在位于第一冷却剂层10的冷却剂与基体I的接触 面上。通过冷却剂在流动方向上体积的变化使冷却剂发展为充分的湍流状态，加强冷却剂 与接触面传热效果。
[0091]其中，各该第一条纹槽的形状为人字形。
[0092]如图8所示，该第二冷却剂层11的各该进流道上和各该出流道上均设有一组第二 条纹槽，每一组该第二条纹槽包括若干个第二条纹槽，若干个该第二条纹槽沿该基板12长 度方向间隔平行设置。其中，各该第二条纹槽的形状为人字形。
[0093]在本实施例中，第二条纹槽设置在位于第二冷却剂层11的冷却剂与基体I的接触 面上。通过冷却剂在流动方向上体积的变化使冷却剂发展为充分的湍流状态，加强冷却剂 与接触面传热效果。
[0094]在本实施例中，如图7?8所示，该第一冷却剂层10的各进流道为第一进流道21， 该第一冷却剂层10的各出流道为第一出流道22。该第二冷却剂层11的各进流道为第二进 流道23，该第二冷却剂层11的各出流道为第二出流道24。
[0095]综上所述，本发明在保证大功率或超大功率电子束转换成X射线的转换效率高的 同时，实现转换靶的温度均匀性，避免热应力和热形变，提高了转换靶的使用寿命；另外，在 转换能量较高的电子束转换成X射线过程中，尤其是在大功率转换的情况下，能及时将基 体I内的热量带走，保证基体I在合适的温度内工作，提高了该X射线转换靶的使用寿命。
[0096]虽然以上描述了本发明的【具体实施方式】，但是本领域的技术人员应当理解，这仅 是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离 本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和 修改均落入本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种X射线转换IE,包括一基体和一IE层板，其特征在于，该基体包括一基板和一固设于该基板周壁上的框架，该靶层板可拆卸式连接有该框架； 该基板的上表面固设于至少一与该框架的一端固接的第一导向板，该些第一导向板均位于该基板与该祀层板之间，并与该基板、该框架和该祀层板围绕形成有一第一冷却剂层； 该X射线转换靶还包括一固接于该框架上的密封板，该密封板位于基板的下方，该基板的下表面固设于至少一与该框架的另一端固接的第二导向板，该些第二导向板均位于该基板与该密封板之间，并与该基板、该框架和该密封板围绕形成有一第二冷却剂层； 该第一冷却剂层和第二冷却剂层均包括至少一进流道和至少一出流道，各该进流道的一端用于通入冷却剂，另一端与相应的各该出流道相连通，各该出流道的一端用于流出冷却剂。
2.如权利要求1所述的X射线转换靶，其特征在于，该密封板与框架之间通过焊接密封连接，该密封板的上表面设有至少一组固接件，各组该固接件包括若干个固接件，各该固接件固接于相应的该第二导向板上。
3.如权利要求1所述的X射线转换靶，其特征在于，该第一导向板和该第二导向板的数量均为两块，两块该第一导向板平行设置于该基板的上表面，两块该第二导向板平行设置于该基板的下表面。
4.如权利要求3所述的X射线转换靶，其特征在于，该第一冷却剂层和第二冷却剂层的进流道的数量均为一个，该第一冷却剂层和第二冷却剂层的出流道的数量均为两个，各该进流道位于相应的两个该出流道之间。
5.如权利要求4所述的X射线转换靶，其特征在于，该框架的一侧壁上设有三个第一通孔，各该第一通孔的一端与一冷却剂管道相连通，其中一个该第一通孔的另一端与该第一冷却剂层的进流道相连通，另外两个该第一通孔的另一端分别与一该第一冷却剂层的出流道相连通。
6.如权利要求5所述的X射线转换靶，其特征在于，该基板的一端设有三个第一连接槽，各该第一连接槽的一端分别与一该第一通孔相连通，其中一个该第一连接槽的另一端与该第一冷却剂层的进流道相连通，另外两个该第一连接槽的另一端分别与一该第一冷却剂层的出流道相连通。
7.如权利要求6所述的X射线转换靶，其特征在于，该框架的另一侧壁上设有三个第二通孔，各该第二通孔的一端与另一冷却剂管道相连通，其中一个该第二通孔的另一端与该第二冷却剂层的进流道相连通，另外两个该第二通孔的另一端分别与一该第二冷却剂层的出流道相连通。
8.如权利要求7所述的X射线转换靶，其特征在于，该基板的另一端设有三个第二连接槽，各该第二连接槽的一端分别与一该第二通孔相连通，其中一个该第二连接槽的另一端与该第二冷却剂层的进流道相连通，另外两个该第二连接槽的另一端分别与一该第二冷却剂层的出流道相连通。
9.如权利要求8所述的X射线转换靶，其特征在于，各该第一通孔与相应的该第二通孔对称设置于该框架的两侧壁上。
10.如权利要求8所述的X射线转换靶，其特征在于，该框架的两端分别固设有一封头，各该封头分别通过三个密封接头组件贯穿相应的该第一通孔与该框架固接，其中三个该密封接头组件的一端与一该冷却剂管道相连通，另一端分别与一相应的第一连接槽相连通， 另外三个该密封接头组件的一端与另一该冷却剂管道相连通，另一端分别与一相应的第二连接槽相连通。
11.如权利要求1所述的X射线转换靶，其特征在于，该靶层板的形状为圆弧形。
12.如权利要求1所述的X射线转换靶，其特征在于，该密封板的形状为圆弧形。
13.如权利要求1所述的X射线转换靶，其特征在于，该第一导向板的长度与该第二导向板的长度相等。
14.如权利要求1中所述的X射线转换靶，其特征在于，该第一冷却剂层的各该进流道上和各该出流道上均设有一组第一条纹槽，每一组该第一条纹槽包括若干个第一条纹槽， 若干个该第一条纹槽沿该基板长度方向间隔平行 设置。
15.如权利要求14所述的X射线转换靶，其特征在于，各该第一条纹槽的形状为人字形。
16.如权利要求1所述的X射线转换靶，其特征在于，该第二冷却剂层的各该进流道上和各该出流道上均设有一组第二条纹槽，每一组该第二条纹槽包括若干个第二条纹槽，若干个该第二条纹槽沿该基板长度方向间隔平行设置。
17.如权利要求1所述的X射线转换靶，其特征在于，该靶层板与该框架之间为螺钉连接，该靶层板通过一密封圈与该框架密封连接。
18.如权利要求1~17中任意一项所述的X射线转换靶，其特征在于，该X射线转换靶还包括一密封压边组件，该密封压边组件与该靶层板、框架固接，并位于该靶层板的上方。
【文档编号】H01J35/08GK103578894SQ201310517781
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年10月28日 优先权日:2013年10月28日
【发明者】何子锋, 杨永金, 黄建鸣, 李德明, 张宇田, 朱希恺 申请人:中国科学院上海应用物理研究所