一种电子回旋共振离子源的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种电子回旋离子源，其由微波系统、冷却系统、微波窗口、放电腔、导出系统、磁体和进气管组成，其特征在于，微波系统由微波功率源、磁控管基座、环形器、注水负载、三销钉调谐器、定向耦合器、隔离波导和过渡波导组成，其为离子源提供微波场，磁体由多个分离的永磁环构成，放电腔由透明的石英玻璃制成，放电腔被设置在微波屏蔽壳内，微波屏蔽壳具有多个观察窗口，微波窗口由一片厚度为20mm的陶瓷片和三片厚度为5mm的氮化硼构成，微波屏蔽壳为由铝制成的外方内圆的结构，其上具有多个孔，分别用于微波窗的安装、冷却系统的进出水、观察窗以及离子束的引出。
【专利说明】—种电子回旋共振离子源
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种离子源，尤其是涉及一种电子回旋共振离子源。
【背景技术】
[0002]随着科学技术的迅速发展，离子源其应用范围日益广泛，其中电子回旋共振离子源更因其具有产生离子种类多、束流强度大、稳定性好、重复性高、使用寿命长、维护方便等优点而备受瞩目，虽然目前离子源技术在现有技术中已有广泛报道，但是随着研究的进一步深入，现有的离子源的性能已不能满足目前的实际需要，亟需一种新型的电子回旋共振离子源。
【发明内容】
[0003]本发明提供一种电子回旋离子源，其由微波系统、冷却系统、微波窗口、放电腔、导出系统、磁体和进气管组成，其特征在于，微波系统由微波功率源、磁控管基座、环形器、注水负载、三销钉调谐器、定向耦合器、隔离波导和过渡波导组成，其为离子源提供微波场，磁体由多个分离的永磁环构成，放电腔由透明的石英玻璃制成，放电腔被设置在微波屏蔽壳内，微波屏蔽壳具有多个观察窗口，微波窗口由一片厚度为20mm的陶瓷片和三片厚度为5_的氮化硼构成，微波屏蔽壳为由铝制成的外方内圆的结构，其上具有多个孔，分别用于微波窗的安装、冷却系统的进出水、观察窗以及离子束的引出。
【具体实施方式】
[0004]下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
[0005]实施例1
[0006]该电子回旋离子源，其由微波系统、冷却系统、微波窗口、放电腔、导出系统、磁体和进气管组成，微波系统由微波功率源、磁控管基座、环形器、注水负载、三销钉调谐器、定向耦合器、隔离波导和过渡波导组成，其为离子源提供微波场，磁体由6个分离的永磁环构成，放电腔由透明的石英玻璃制成，放电腔被设置在微波屏蔽壳内，微波屏蔽壳具有多个观察窗口，观察窗的大小为30mmX 30臟，微波窗口由一片厚度为20mm的陶瓷片和三片厚度为5_的氮化硼构成，微波屏蔽壳为由铝制成的外方内圆的结构，其上具有多个孔，分别用于微波窗的安装、冷却系统的进出水、观察窗以及离子束的引出。
[0007]实施例2
[0008]该电子回旋离子源，其由微波系统、冷却系统、微波窗口、放电腔、导出系统、磁体和进气管组成，微波系统由微波功率源、磁控管基座、环形器、注水负载、三销钉调谐器、定向耦合器、隔离波导和过渡波导组成，其为离子源提供微波场，磁体由4个分离的永磁环构成，永磁环之间有3个宽度为6mm的空隙，放电腔由透明的石英玻璃制成，放电腔被设置在微波屏蔽壳内，微波屏蔽壳具有多个观察窗口，微波窗口由一片厚度为20mm的陶瓷片和三片厚度为5_的氮化硼构成，微波屏蔽壳为由铝制成的外方内圆的结构，其上具有多个孔，分别用于微波窗的安装、冷却系统的进出水、观察窗以及离子束的引出。
[0009]实施例3
[0010]该电子回旋离子源，其由微波系统、冷却系统、微波窗口、放电腔、导出系统、磁体和进气管组成，微波系统由微波功率源、磁控管基座、环形器、注水负载、三销钉调谐器、定向耦合器、隔离波导和过渡波导组成，其为离子源提供微波场，磁体由5个分离的永磁环构成，放电腔由透明的石英玻璃制成，放电腔的外径为60mm，内径为50mm，为离子产生区，放电腔被设置在微波屏蔽壳内，微波屏蔽壳具有多个观察窗口，微波窗口由一片厚度为20_的陶瓷片和三片厚度为5_的氮化硼构成，微波屏蔽壳为由铝制成的外方内圆的结构，其上具有多个孔，分别用于微波窗的安装、冷却系统的进出水、观察窗以及离子束的引出。
[0011]以上的离子源，其性能满足了其应用的新需要，而且节能环保，具有良好的技术效益和市场前景。
【权利要求】
1.一种电子回旋离子源,其由微波系统、冷却系统、微波窗口、放电腔、导出系统、磁体和进气管组成，其特征在于，微波系统由微波功率源、磁控管基座、环形器、注水负载、三销钉调谐器、定向耦合器、隔离波导和过渡波导组成，其为离子源提供微波场，磁体由多个分离的永磁环构成，放电腔由透明的石英玻璃制成，放电腔被设置在微波屏蔽壳内，微波屏蔽壳具有多个观察窗口，微波窗口由一片厚度为20mm的陶瓷片和三片厚度为5mm的氮化硼构成，微波屏蔽壳为由铝制成的外方内圆的结构，其上具有多个孔，分别用于微波窗的安装、冷却系统的进出水、观察窗以及离子束的引出。
2.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述磁体由6个分离的永磁环构成，所述观察窗的大小为30mmX30mm。
3.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述磁体由4个分离的永磁环构成，永磁环之间有3个宽度为6mm的空隙。
4.如权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述磁体由5个分离的永磁环构成，所述放电腔的外径为60mm,内径为50mm,为离子产生区。
【文档编号】H01J49/10GK103715054SQ201310755704
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年12月26日 优先权日:2013年12月26日
【发明者】吴联顺 申请人:青岛永通电梯工程有限公司