光照射装置的制造方法_3

文档序号:8590852阅读:来源:国知局
150而去除通过采用这种构造而产生的不需要的光。从而,根据本实施方式的构造,不需要进行光学部件的复杂的对位操作,就可以对照射对象物W上的矩形照射区照射均匀且高照度的大致平行光。
[0050]以上为本实施方式的说明,但本实用新型并不局限于以上构造,在本实用新型的技术思想范围内可以进行多种变形。
[0051]例如,在本实施方式中,虽然采用在聚光透镜140与中继透镜160之间配置孔径光阑150的构造,但孔径光阑150只要配置于紫外光的光路中即可,例如,可以配置于玻璃棒130与聚光透镜140之间。
[0052]另外,本实施方式的聚光透镜140采用由一对双凸透镜141、142构成的构造,但并不局限于这种构造,例如,也可以由一对平凸透镜、或者一对弯月形透镜构成。另外,聚光透镜140可以由两片以上的透镜组合构成,也可以由双凸透镜、平凸透镜、弯月形透镜或者这些透镜组合构成。
[0053]另外,本实施方式的中继透镜160采用由以凸面彼此相对的方式配置的一对平凸透镜161、162构成的构造,但并不局限于这种构造,一对平凸透镜161、162可以配置成平面彼此相对,另外,也可以配置成两个凸面或者两个平面的方向一致。另外,中继透镜160可以由一对双凸透镜、或者一对弯月形透镜构成。另外,中继透镜160可以由两片以上的透镜组合构成,也可以由双凸透镜、平凸透镜、弯月形透镜或者这些透镜组合构成。
[0054]另外,本实施方式的玻璃棒130作为呈现四棱柱形的形状的部件进行说明,但只要能够混合射入入射面130a的紫外光并导光即可,例如也可以应用棱台形状的部件。
[0055]另外,在本实施方式中,虽然采用从玻璃棒130射出的紫外光通过聚光透镜140被形成为具有Z轴方向±14°以下的发散角的紫外光的构造,但并不局限于这种构造,能够根据照射对象物W的规格和求得的紫外光的规格适当改变。一般而言,可以认为如果是发散角为±25°以下的紫外光,则可以应用于组装有本实施方式的光照射装置100的液晶用周边曝光装置等,但是为了在照射对象物W上照射均匀的光量分布的紫外光,希望通过聚光透镜140的紫外光的发散角越小(即、希望越接近平行光),优选为±20°以下,更优选为±15°以下的构造。
[0056]另外,本实施方式的LED元件114形成为具备配置成正方格子状的4个LED芯片114a,但并不局限于这种构造,只要具备至少一个LED芯片即可。
[0057]另外,本实施方式的LED元件114采用射出波长为365nm的紫外光的部件,但并不局限于这种构造,可以为射出其他波长(例如,波长385nm、波长405nm)的紫外光的部件,也可以组合波长不同的多种LED元件(即,混合多个波长)而构成。
[0058]另外,本实施方式的LED单元110采用具备6列(Y轴方向)X6个(X轴方向)的配置成二维正方格子状的36个LED元件114的构造,但是只要均等配置于矩形区域112a内即可,并不局限于36个的构造。另外,LED元件114无需一定要配置成二维正方格子状,例如,如图8所示,也可以配置成三角格子状。另外,在本实施方式中,LED元件114采用其两边在平行于X轴方向的方向上配置的部件,但是例如,如图9所示,也可以LED元件114的一个对角线在平行于X轴方向的方向上配置。
[0059]此外,应该认为此次公开的实施方式在所有方面仅是示例,而非限定的解释。本实用新型的范围并不由上述说明所体现,而是包含由权利要求书所示的、与权利要求等同的范围以及范围内的全部变更。
[0060]符号说明
[0061]100 光照射装置
[0062]101 壳体
[0063]110LED 单元
[0064]112基板
[0065]114LED 元件
[0066]114a LED 芯片
[0067]120透镜单元
[0068]122底板
[0069]124第一透镜
[0070]130玻璃棒
[0071]140聚光透镜
[0072]141、142 双凸透镜
[0073]150孔径光阑
[0074]160中继透镜
[0075]161、162 平凸透镜。
【主权项】
1.一种光照射装置,对照射对象物上的矩形照射区照射光,其特征在于,具备: 多个发光元件,在基板上的矩形区域使光轴的方向一致地配置成正方格子状或者三角格子状,并射出所述光; 透镜单元,配置在各发光元件的光轴上,具有多个将从该发光元件射出的光形成为规定的发散角的光的第一透镜; 导光部件,将从所述透镜单元射出的光混合并进行传导; 第二透镜,具有与所述导光部件的光轴共同的光轴,将从所述导光部件射出的来自所述各发光元件的光分别形成为平行光; 第三透镜,具有与所述导光部件的光轴共同的光轴,以规定的倍率扩大从所述第二透镜射出的光,并聚光在所述照射对象物上;以及 孔径光阑,具有以所述导光部件的光轴为中心的圆形开口,并配置于所述导光部件与所述第二透镜之间或者所述第二透镜与所述第三透镜之间。
2.根据权利要求1所述的光照射装置,其特征在于, 所述第二透镜由至少两片透镜构成。
3.根据权利要求2所述的光照射装置,其特征在于, 所述第二透镜由双凸透镜、平凸透镜、弯月形透镜或者这些透镜组合构成。
4.根据权利要求1所述的光照射装置,其特征在于, 所述第三透镜由至少两片透镜构成。
5.根据权利要求4所述的光照射装置,其特征在于, 所述第三透镜由双凸透镜、平凸透镜、弯月形透镜或者这些透镜组合构成。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光照射装置,其特征在于, 所述导光部件是具有与所述透镜单元相对且将来自所述多个发光元件的光全部收入的矩形入射面、以及与所述第二透镜相对且将从所述入射面入射的光向所述第二透镜射出的矩形射出面的四棱柱形的玻璃棒。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的光照射装置,其特征在于, 从所述第二透镜射出的平行光是发散角为25°以下的光。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的光照射装置,其特征在于, 所述光是紫外线波长区域的光。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的光照射装置,其特征在于, 所述多个发光元件由发出η种不同波长的光的η种发光元件构成,其中,η为2以上的整数。
10.根据权利要求1至5中任一项所述的光照射装置,其特征在于, 所述多个发光元件沿着与所述光轴的方向正交且彼此正交的第一方向与第二方向排列, 从所述光轴的方向观察时,所述各发光元件是具有正方形的外形的LED,并配置成该外形的两边与所述第一方向平行。
11.根据权利要求1至5中任一项所述的光照射装置,其特征在于, 所述多个发光元件沿着与所述光轴的方向正交且彼此正交的第一方向与第二方向排列, 从所述光轴的方向观察时,所述各发光元件是具有正方形的外形的LED,并配置成该外形的一个对角线与所述第一方向平行。
【专利摘要】本实用新型提供一种可以照射均匀且高照度的大致平行光的光照射装置。对照射对象物上的矩形照射区进行光照射的光照射装置具备:多个发光元件,在基板上配置成正方格子状或者三角格子状并射出光;透镜单元,具有多个将从发光元件射出的光形成为规定的发散角的光的第一透镜;导光部件,将从透镜单元射出的光混合并进行传导;第二透镜,将从导光部件射出的来自各发光元件的光分别形成为平行光;第三透镜,以规定的倍率扩大从第二透镜射出的光,并聚光在照射对象物上;孔径光阑,具有以导光部件的光轴为中心的圆形开口,并配置于导光部件与第二透镜之间或者第二透镜与第三透镜之间。
【IPC分类】F21V19-00, F21S2-00, F21V5-04, F21Y101-02
【公开号】CN204300754
【申请号】CN201420732439
【发明人】大熊昭利, 岸根努
【申请人】豪雅冠得股份有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年11月27日
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