专利名称：移动式xy载物台的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于对平面构造物进行局部处理的装置的移动式XY载物台，特别涉及用于液晶显示器的激光修复装置、液晶掩模的激光修复装置、太阳电池板的图案形成(パタ一ニング)装置、液晶显示器的缺陷检查装置、半导体装置的缺陷检查装置等的移动式XY载物台。
背景技术：
在修复液晶显示器的TFT(薄膜晶体管)基板的制造缺陷的激光修复装置上，设置作为主要的构成单元的移动式XY载物台。移动式XY载物台由作为固定部分的基台部、和作为设置于该基台部上的可动部分的移动部构成。在基台部设置使上表面为水平的载物台面的石制固定平台。此外，在移动部设置配置于石制固定平台上可沿一个方向(Y方向)移动的一对支柱和架于该一对支柱的上端部之间的横梁(梁材)。并且，在该横梁上搭载激光光学单元，使之可沿垂直于所述一个方向的方向(X方向)移动。另外，这种技术被公开于株式会社SIGMA的主页(http//www.sigma-fa.co.Jp/2_3.html)[平成16年7月28日检索]和住友重机械工业株式会社的主页(http//www.shi.co.jp/stage/prellys/20030318.htm)[平成16年7月28日检索]。
由这种构成，在基台部的石制固定平台上，放置作为修复对象的液晶显示器，移动部使激光光学单元移动，通过使该单元位于液晶显示器的缺陷部分的正上方，激光光学单元对该缺陷部分照射激光，可以修复缺陷部分。
对用于这种液晶显示器的激光修复装置等的移动式XY载物台，要求误差为10μm以内的极高的形状精度。因此，石制固定平台由一个大的花岗岩精密加工制造而成。此外，构成移动部的支柱以及横梁也要求极高的形状精度。因此，在现有的移动式XY载物台中，研磨加工铁或铁合金的铸造品(以下总称为铁铸品)形成移动部的支柱以及横梁。这是因为，若由例如轧制钢材等锻造品形成移动部，则会不可避免的产生轧制方向的弯曲，不能得到足够的形状精度。此外，若由铁铸品形成支柱以及横梁，由于铁的杨氏模量为206Gpa刚性很高，可以抑制由自重产生的扭曲以及伴随移动的扭转等的变形，维持高的形状精度。
但是，在上述现有的技术中，存在以下的问题。一般来说，当制造液晶显示器的TFT基板时，进行在一张素玻璃上同时形成多个TFT基板的多面处理。并且最近，为了减低液晶显示器的制造成本，有使在一张素玻璃上形成的TFT基板的数量增加的趋势。因此，素玻璃的尺寸逐年大型化，随之用于液晶显示器的激光修复装置的移动式XY载物台也大型化。因此，移动部的质量增大，且其移动距离也变长。
其结果，若使移动部高速移动，则由于该移动的转矩，基台部的石制固定平台振动，该振动传递到安装于移动部的激光加工单元。由此，在观察作为修复对象的液晶显示器的图像上产生晃动。并且，由于在吸收该晃动之前不进行加工，因此每一张液晶显示器的处理时间变长。此外，若使移动部低速移动，虽然可以抑制晃动的产生，但每一张液晶显示器的处理时间仍然变长。
发明内容
本发明鉴于以上问题作成，其目的是，提供一种随着移动部的移动的晃动少的移动式XY载物台。
本发明的移动式XY载物台，包括固定平台；一对支柱，由杨氏模量为200Gpa以上的第一复合材料构成，设置于上述固定平台上，使之在平行于上述固定平台的上表面的第一方向上相互间隔，在交叉于上述第一方向的第二方向上可以移动；横梁，由杨氏模量为200GPa以上的第二复合材料构成，架于上述一对支柱之间；以及移动基座，被设置得相对该横梁可以沿上述第一方向移动。
在本发明中，由于由杨氏模量为200Gpa以上的复合材料形成支柱以及横梁，因此可以在维持着支柱以及横梁的刚性的状态下，使其轻量化。由此，使支柱以及横梁在第二方向上移动时，施加于固定平台的反作用力变小，抑制了由该反作用力产生的晃动，其结果，可以抑制支柱以及横梁的晃动。因此，可以缩短吸收晃动前的稳定时间，同时可以以很大的加减速使支柱以及横梁高速移动。
此外，优选的是，上述第一以及第二复合材料中至少有一种材料为碳纤维强化塑料。碳纤维强化塑料的振动吸收性高，制振效果好，因此可以更为有效的抑制支柱以及横梁的晃动。
进而，优选的是，上述横梁为由在其上表面形成第一孔的外壳构成的中空体，包括平移式导向轴承，由金属或合金构成，配置于上述横梁的上表面，在与上述第一孔匹配的位置形成第二孔，引导上述移动基座的移动；垫板，由金属或合金构成，夹住上述横梁的内部的上述外壳，配置在与上述平移式导向轴承相向的位置，在与上述第一孔匹配的位置形成第三孔；以及固定部件，插通上述第二孔、上述第一孔以及上述第三孔，把上述平移式导向轴承固定于上述横梁。
通过使横梁中空，可以减少构成横梁的复合材料的使用量。由此，可以减低材料的成本，同时可以使横梁更加轻量化。此外，通过使用由金属或合金构成的垫板，把平移式导向轴承固定于横梁，可以防止该固定部分颠簸。由此，可以抑制平移式导向轴承的形状精度随时间而低劣化。
此时，优选的是，在上述横梁的内部，设置由上述第二复合材料构成、向垂直方向延伸的支撑件。由此，该支撑件抵抗由横梁的自重产生的挠曲，以及随着支柱及横梁的移动产生的扭曲，因此可以使外壳的厚度变薄，可以使横梁更加轻量化。
进而，优选的是，在把上述横梁焊接于上述支柱后，研磨加工上述横梁的上表面以及上述支柱的下表面。由此，可以更为严密的规定横梁的上表面和支柱的下表面之间的距离。
进而，本发明的移动式XY载物台，可以是搭载于液晶显示器的缺陷检查装置或半导体装置的缺陷检查装置，或者可以是具有固定于上述移动基座的激光照射装置，搭载于液晶显示器的激光修复装置、液晶掩模的激光修复装置或太阳电池板的图案形成装置。另外，液晶掩模就是制作液晶显示器的TFT基板时作为原版的掩模。
以下参照附图对本发明的实施方式进行具体的说明。
图1为表示本发明的一个实施方式的移动式XY载物台的透视图。
图2为表示图1所示的移动式XY载物台的横梁及其周边的剖面图。
图3A～图3D为随着时间表示图1所示的移动式XY载物台的操作的侧面图。
具体实施例方式
本实施方式的移动式XY载物台，搭载于修复液晶显示器的TFT基板的制造缺陷的激光修复装置。如图1所示，本实施方式的移动式XY载物台1中，设置有作为固定部分的基台部2和作为配置于基台部2上的可动部分的移动部3。
在基台部2中，设置有支撑移动式XY载物台1的整体的架台4。架台4由三行三列等间隔设置的九根支柱4a和将邻接的支柱4a彼此连接的梁4b构成。支柱4a以及梁4b例如由JIS G3466所记载的一般构造用的方形钢管形成。此外，在架台4的各支柱4a上各设有一个消振支架5。即，共设有九个消振支架5。消振支架5例如由气垫构成。在各消振支架5处设有机械传感器(未图示)，自动的被动控制其高度。另外，在消振支架5上还设有电子传感器，也可以主动控制其高度。
进而，在该九个消振支架5上设置例如由一个花岗岩构成的石制固定平台6。石制固定平台6的形状为矩形的板状，其上表面平坦。以下，如图1所示，在平行于石制固定平台6的上表面的方向中，把所述上表面的一对边延伸的方向叫做X方向，另外一对边延伸的方向叫做Y方向。X方向和Y方向互相垂直。石制固定平台6的X方向的长度例如为3.0m，Y方向的长度例如为3.5m。并且，在沿石制固定平台6的上表面的Y方向延伸的两个端部固定一对导向基座7。导向基座7例如由铸铁构成，为沿Y方向延伸的柱状的部件。石制固定平台6的上表面的导向基座7之间的区域为载物台面8。
此外，在各导向基座7的上表面设有沿Y方向延伸的一对平移式导向轴承9。平移式导向轴承9例如由碳素钢形成。平移式导向轴承9引导移动部3的Y方向的移动。此外，在导向基座7的上表面的平移式导向轴承9之间的区域上，设有检测移动部3的Y方向的位置的线性刻度尺10。进而，在沿导向基座7的Y方向延伸的侧面中、不与另一个导向基座7相对侧的侧面上，安装线性电动机定子11。线性电动机定子11沿Y方向延伸，形成上方开口的沟槽。即，垂直于线性电动机定子11的Y方向的剖面呈コ字形状。由架台4、消振支架5、石制固定平台6、导向基座7、平移式导向轴承9、线性刻度尺10以及线性电动机定子11构成基台部2。
此外，在移动部3中设有由杨氏模量为200GPa以上的复合材料，例如CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics，碳纤维强化塑料)构成的一对支柱12。CFRP的杨氏模量为200至600GPa，比重例如为1.6。并且，在各支柱12的下部固定有线性电动机可动元件13，线性电动机可动元件13位于线性电动机定子11的沟槽内。并且，借助线性电动机定子11和线性电动机可动元件13之间的磁力的相互作用，使移动部3沿Y方向移动。
此外，在一对支柱12之间，架有由杨氏模量为200GPa以上的复合材料例如CFRP构成的横梁14。即，横梁14为沿X方向延伸的梁状的部件，其两个端部连接于一对支柱12的上表面，横跨载物台面8。横梁14由长方体形状的主体部分14a和从该主体部分14a的下部沿Y方向伸出的伸出部分14b构成。由此，垂直于横梁14的X方向的剖面的形状为L字形状。另外，横梁14的X方向的长度例如为208m。并且，横梁14通过粘接剂与支柱12接合，在横梁14与支柱12接合后，研磨加工横梁14的上表面和支柱12的下表面。该研磨加工，首先由大型的研磨装置研磨支柱12及横梁14，其后，一边由测定器测定形状，一边手工进行精抛光。
并且，总共设有三个平移式导向轴承15，其中在横梁14的主体部分14a的上表面设置两个，伸出部分14b的上表面设置一个。平移式导向轴承15例如由碳素钢形成，沿X方向延伸。此外，在主体部分14a的上表面的两个平移式导向轴承15之间的区域，设有沿X方向延伸的线性电动机定子16。在线性电动机定子16上形成侧方开口的沟槽(参照图2)，垂直于X方向的剖面形状为コ字形状。进而，在主体部分14a的侧面的伸出部分14b的上方，安装有沿X方向延伸的线性刻度尺17。
进而，设置例如由铁板构成的移动基座18，使其可相对横梁14沿X方向移动。垂直于移动基座18的X方向的剖面的形状，为覆盖横梁14的上方以及设置平移式导向轴承15侧的侧方的倒L字形状。此外，移动基座18的X方向的长度，比横梁14的X方向的长度短。并且，在移动基座18的下表面安装线性电动机可动元件19，使之位于线性电动机定子的沟槽内。由此，移动基座18借助线性电动机可动元件19和线性电动机定子16之间的磁力的相互作用，沿平移式导向轴承沿X方向移动。并且，移动基座18的X方向的位置可以通过线性刻度尺17检测出。
进而，在移动基座18的上表面以及不与横梁14相对侧的侧面，搭载激光光学单元20。激光光学单元20为覆盖移动基座18的外侧面的倒L字形状，向外部输出放置于载物台面8上的修复对象物的扩大图像，同时向该修复对象物照射激光。由支柱12、线性电动机可动元件13、横梁14、平移式导向轴承15、线性电动机定子16、线性刻度尺17、移动基座18、线性电动机可动元件19及激光光学单元20，构成移动部3。
以下，详细说明横梁14的构成。图2表示垂直于横梁14的长度方向(X方向)的剖面。如图2所示，横梁14为中空体，设有构成其外表面的外壳21。并且，设置沿垂直方向延伸的板状的支撑部件22a，以互相区划主体部分14a和伸出部分14b。此外，在主体部分14a内设有沿垂直方向延伸的两个支撑部件22b及22c。进而，在主体部分14a内，以和沿垂直方向延伸的两个支撑部件22b及22c垂直的方式设置沿水平方向延伸的一个板状的支撑部件22d。由此，主体部分14a的内部由支撑部件22b、22c、22d区划为六个室。此外，伸出部分14b的内部为由支撑部件22a与主体部分14a区划的一个室。即，外壳21的内部由板状的支撑部件22a至22d区划为七个室。
此外，在外壳21内部的外壳21的上表面部分的内侧、夹住外壳21与平移式导轨15相向的位置，分别设置垫板23。垫板23由金属或合金例如碳素钢构成，为沿X方向延伸的带状的板材。并且，在平移式导轨15上沿X方向一排的形成多个孔24，在横梁14的外壳21的上表面部分与孔24匹配的位置，分别形成孔25。此外，在垫板23与孔24及25匹配的位置形成螺纹孔26。并且，设置由金属或合金构成的螺栓29，插通孔24及25，与螺纹孔26螺合。由此，把平移式导轨15固定于横梁14上。
同样的，在外壳21的上表面部分的内侧、夹住外壳21与线性电动机定子16相向的位置，也设置垫板23。此外，在线性电动机定子16上形成排列于X方向的多个孔28，在外壳21与孔28匹配的位置形成孔25，在垫板23上与孔28及25匹配的位置形成螺纹孔26。并且，设置螺栓29以插通孔24及25，与螺纹孔26螺合。由此，把线性电动机定子16固定于横梁14上。另外，孔25也可以为设置了金属或合金制成的螺纹衬套的螺纹孔。
移动式XY载物台1被组装到液晶显示器的修复装置上。在该修复装置上设置移动控制装置(未图示)，驱动线性电动机定子11以及线性电动机可动元件13，使移动部3沿Y方向移动，同时驱动线性电动机定子16以及线性电动机可动元件19，使移动基座18相对横梁14沿X方向移动。此外，在该修复装置中设置激光控制装置(未图示)，驱动激光光学单元20得到修复对象物的图像，同时还对修复对象物照射激光。进而，再设置显示从激光光学单元20输出的图像的显示装置(未图示)。
接下来，对如上所述构成的本实施方式的移动式XY载物台1的操作进行说明。如图1所示，首先，把形成多个作为修复对象的液晶显示器的TFT基板的素玻璃(未图示)放置到载物台面8上。然后，驱动线性电动机定子11以及线性电动机可动元件13，使移动部3沿Y方向移动，同时驱动线性电动机定子16以及线性电动机可动元件19，使移动基座18相对横梁14沿X方向移动，使激光光学单元20位于与TFT基板的修复部分相当的位置。然后，激光光学单元20对该修复部分照射激光，进行修理。并且，通过反复这种操作，进行多处的修理，修理在该素玻璃上形成的TFT基板的全部的修复部分。其后，把该素玻璃从载物台面8上取出，把下一个素玻璃放到载物台面8上，进行修理。
以下，说明使移动部3沿Y方向移动时的移动式XY载物台1的动作。图3A表示移动部3开始移动前的状态。另外，从图3A至图3D，为了简化图，把移动部3及架台4分别简单的用矩形表示。此外，除移动部3、架台4、消振支架5以及石制固定平台6以外的构成要素，在图示中省略。如图3A所示，在移动部3开始移动前，移动式XY载物台1处于稳定状态，石制固定平台6的上表面通过消振支架5保持水平。即，所有的消振支架5的高度均相等，位于移动部3的移动开始侧的消振支架5a的高度，等于位于移动结束侧的消振支架5b的高度。
图3B表示移动部3开始加速移动时的状态。如图3B所示，若移动部3沿方向31开始加速移动，则其反作用力32施加到石制固定平台6上，由此在垂直方向压缩消振支架5a，石制固定平台6下沉，设此时的下沉量为下沉量33。
图3C表示移动部3减速的状态。如图3C所示，在图3B所示的加速期间受到反作用力压缩的消振支架5a，在图3C所示的减速期间，欲使石制固定平台6的位置返回基准位置，石制固定平台6提升。但是，在此时刻，移动部3从消振支架5a的正上方区域移动，移动部3施加到消振支架5a的载重量降低，因此石制固定平台6提升过高，而越过。即，此时的提升量34比下沉量33大。其后，消振支架5降低石制固定平台6的消振支架5a侧的端部。此时的下沉量35和上述下沉量33之和等于提升量34。
另一方面，向位于移动部3的移动结束侧的消振支架5b缓缓施加移动部3的载重量，若移动部3的移动速度很快，则其载重量的变动剧烈，消振支架5b的机械传感器的控制不能跟上该载重量的变动。其结果，消振支架5b不能使石制固定平台6的高度保持在基准位置，石制固定平台6的消振支架5b侧的端部下沉。此时的下沉量为如图3C所示的下沉量37。此外，移动部3开始减速停止时，其反作用力36通过石制固定平台6施加到消振支架5b上，进一步压缩消振支架5b，石制固定平台6的消振支架5b侧端部进一步下沉。设该下沉量为下沉量38。其后，消振支架5b欲使石制固定平台6的位置返回到原来的基准位置，石制固定平台6提升。此时的提升量39等于上述下沉量37与38之和。
图3D表示移动部3的移动结束时的状态。如图3D所述，在该状态消振支架5使石制固定平台6的高度返回到基准位置，石制固定平台6的上表面恢复为水平。即，移动式XY载物台1返回到稳定状态。
接下来，就本实施方式的效果进行说明。如上所述，随着移动部3的移动，消振支架5如图3A至图3D所示操作，石制固定平台6向移动部3的移动方向(Y方向)晃动。并且，该晃动通过支柱12以及横梁14传递到激光光学单元20，使激光光学单元20晃动。因此，如上所述，在该激光光学单元20的晃动停止之前，不能进行修理，作业效率低下。
设移动部3的质量为Mc，石制固定平台6的质量为Ms，则(Mc/Ms)的值越小该晃动量越小。此外，设加减速度为α，则移动部3加速时的反作用力32以及减速时的反作用力36为(Mc×α)，该值越小石制固定平台6的晃动量越小。并且，晃动量越小，晃动停止的时间就越短。
在本实施方式中，由CFRP形成移动部3的支柱12以及横梁14，因此与现有的由铁铸品形成支柱12以及横梁14的移动式XY载物台相比，移动部3大幅度轻量化。即，所述Mc的值变小。由此，上述(Mc/Ms)的值变小，石制固定平台6的晃动量可以变小。其结果，可以抑制由从石制固定平台传递而来的激光光学单元的晃动引起的观察图像的晃动，且可以缩短晃动停止前的稳定时间，可以缩短修复处理时间。此外，可以通过比现有技术更大的加减速度使移动部移动，可以以高速移动移动部。由此，缩短激光光学单元20的定位时间，可以使修复作业更为有效。此外，CFRP的振动吸收性好，制振效果高，可以更为有效的稳定石制固定平台的晃动。
另外，若仅为求得移动部的轻量化，可以考虑由一般的树脂材料形成支柱12以及横梁14。但是，若由一般的树脂材料形成支柱12以及横梁14，则不能得到这些零件所必需的形状精度。为了高精度的控制激光光学单元20的位置，必须严格的确定横梁14的上表面的高度，其最大容许误差为10μm。但是，由一般的树脂例如丙烯树脂形成支柱12以及横梁14时，虽然丙烯树脂的比重为1.2，比铁铸品轻，但由于其杨氏模量仅为3GPa，因此由于支柱12与横梁14的自重以及激光光学单元20等的质量而弯曲。此外，用于使移动部3移动的一对线性电动机(线性电动机定子11以及线性电动机可动元件13)的操作发生偏差时，横梁14弯曲。其结果，横梁14的上表面的高度不能保持稳定。
对此，在本实施方式中，为了使支柱12以及横梁14的形状精度保持在铁铸品的同等水准以上，且使这些零件轻量化，由CFRP形成支柱12以及横梁14。CFRP的杨氏模量为200至600GPa，刚性足够高，因此可以充分的实现要求的形状精度。另外，支柱12以及横梁14的材料并不限于CFRP，但是为了得到需要的形状精度，必须使用杨氏模量为200GPa以上的材料。
此外，在本实施方式中，为了进一步降低移动部3的质量，进一步提高形状精度，如上所述由杨氏模量200GPa以上的材料形成支柱12以及横梁14之外，还要花费一些心思。首先，把横梁14做成中空体。由此，横梁14更为轻量化，同时减少了高价的CFRP的使用量，降低了成本。此外，在横梁14的外壳21的内部设置板状的支撑部件22a～22d。由此，可以提高横梁14的刚性，另外，可以使外壳21变薄。其结果，横梁14进一步轻量化，可以减少CFRP的使用量。另外，在本实施方式中，表示了由四个支撑部件22a～22d把外壳21的内部区划为七个室的例子，但至少存在一个沿垂直方向延伸的板状或棒状的支撑部件时，可以获得提高横梁14的刚性的效果。
进而，在外壳21的上表面部分的内侧设置垫板23，通过使螺栓27插通平移式导向轴承15的孔24以及外壳21的孔25，并与垫板23的螺纹孔26螺合，把平移式导向轴承固定于横梁14。由此，在CFRP制成的外壳21上形成螺纹孔，在把金属制成的螺栓直接螺合在该螺纹孔的情况相比，通过螺栓削螺纹孔，由此可以防止螺栓振动，抑制移动部3的形状精度随时间而低劣化。此外，孔25为螺纹孔时，通过在该螺纹孔的内表面设置金属或合金制成的螺纹衬套，可以获得相同的效果。
进而，在制作移动部3时，首先，通过粘接剂把横梁14与支柱12接合一体化，其后，研磨加工横梁14的上表面以及支柱12的下表面。由此，可以严格的确定横梁14的上表面和支柱12的下表面之间的距离，可以使横梁14的上表面的高度更精确一致。此外，该研磨工程依次实施以下工序由大型的研磨装置研磨加工由支柱12以及横梁14构成的一体构成物的工序；一边使用测定器测定形状，一边由手工进行精抛光的工序。由此，可以以极高的精度加工移动部3。
以下，列举具体的数值，将本实施方式的移动式XY载物台与现有的支柱以及横梁由铁铸品构成的移动式XY载物台进行比较。首先，相对于7.9的铁的比重，CFRP的比重仅为1.6，大致为铁的20％。因此，相对于由铁铸品形成的支柱以及横梁的总质量600kg，由CFRP形成的支柱以及横梁的总质量仅为120kg。此外，石制固定平台6的质量例如为10ton。因此，上述(Mc/Ms)的值，相对于在现有的支柱以及横梁使用铁铸品的XY载物台中的11％，在本实施方式的支柱以及横梁使用CFRP的XY载物台中仅为6％。由此，在现有的XY载物台中，晃动的大小最大例如为5mm，可以开始修复作业之前的晃动的稳定时间最大例如为5秒，相对于此，在本实施方式中，晃动的大小最大例如为2mm，晃动的稳定时间最大为2秒，可以大幅度的缩短。此外，在现有的移动式XY载物台中，移动部的移动速度最大也仅仅可以实现800mm/sec左右，但在本实施方式的移动式XY载物台中，移动部的移动速度可以高达1600mm/sec。
进而，伴随着最近移动式XY载物台的大型化，移动部的质量增加，需要更大推力的线性电动机，但根据本实施方式，可以使移动部轻量化，因此可以抑制使移动部移动的线性电动机的推力，可以抑制移动式XY载物台的成本的增大。
另外，在本实施方式中，虽表示了在石制固定平台6上设置一对导向基座7的例子，但本发明并不限于此，还可以不设置导向基座，在石制固定平台6直接安装平移式导向轴承9以及线性刻度尺10，或者直接在石制固定平台6的侧面安装线性电动机定子11。此时，只需要比本实施方式的支柱12的高度高出导向基座7的高度。
此外，在本实施方式中，表示了在基台部2上设置一组移动部3，在一组移动部3设置一个移动基座18的例子，但本发明并不限于此，也可以在一个基台部上设置沿Y方向移动的多组移动部，此外，也可以在一组移动部上设置沿X方向移动的多个移动基座18，在各移动基座18上分别搭载激光光学单元20。由此，可以同时进行多处的修复。
进而，在本实施方式中，表示了把移动式XY载物台组装到液晶显示器的修复装置的例子，但本发明并不限于此，本发明的移动式XY载物台，可以适用于对大型的平面构造物进行任一局部的处理的装置，例如，可以组装到液晶掩模的激光修复装置、太阳电池板的图案形成装置、液晶显示器的缺陷检查装置、半导体装置的缺陷检查装置等。另外，当组装到液晶显示器或半导体装置等的缺陷检查装置时，可以搭载显微镜单元来代替激光光学单元。
本发明的移动式XY载物台可以适用于对大型的平面构造物进行任一局部的处理的装置，例如，液晶显示器的修复装置、液晶掩模的激光修复装置、太阳电池板的图案形成装置、液晶显示器的缺陷检查装置、半导体装置的缺陷检查装置等。
权利要求
1.一种移动式XY载物台，包括固定平台；一对支柱，由杨氏模量为200Gpa以上的第一复合材料构成，设置于所述固定平台上使之在平行于所述固定平台的上表面的第一方向上相互间隔，在交叉于所述第一方向的第二方向上可以移动；横梁，由杨氏模量为200GPa以上的第二复合材料构成，架于所述一对支柱之间；以及移动基座，被设置得相对该横梁可以沿所述第一方向移动。
2.根据权利要求1所述的移动式XY载物台，所述第一以及第二复合材料中至少有一种材料为碳纤维强化塑料。
3.根据权利要求1所述的移动式XY载物台，所述横梁为由在其上表面形成第一孔的外壳构成的中空体，包括平移式导向轴承，引导所述移动基座的移动，由金属或合金构成，配置于所述横梁的上表面，在与所述第一孔匹配的位置形成第二孔；垫板，由金属或合金构成，夹住所述横梁的内部的所述外壳，配置在与所述平移式导向轴承相向的位置，在与所述第一孔匹配的位置形成第三孔；以及固定部件，插通所述第二孔、所述第一孔以及所述第三孔，把所述平移式导向轴承固定于所述横梁。
4.根据权利要求3所述的移动式XY载物台，所述第三孔为螺纹孔，所述固定部件为螺合于所述螺纹孔的螺栓。
5.根据权利要求3所述的移动式XY载物台，在所述横梁的内部设置由所述第二复合材料构成、向垂直方向延伸的支撑件。
6.根据权利要求1所述的移动式XY载物台，在把所述横梁接合于所述支柱后研磨加工所述横梁的上表面以及所述支柱的下表面。
7.根据权利要求1所述的移动式XY载物台，搭载于液晶显示器的缺陷检查装置。
8.根据权利要求1所述的移动式XY载物台，搭载于半导体装置的缺陷检查装置。
9.根据权利要求1所述的移动式XY载物台，具有固定于所述移动基座的激光照射装置。
10.根据权利要求9所述的移动式XY载物台，搭载于液晶显示器的激光修复装置。
11.根据权利要求9所述的移动式XY载物台，搭载于液晶掩模的激光修复装置。
12.根据权利要求9所述的移动式XY载物台，搭载于太阳电池板的图案形成装置。
全文摘要
在架台上设置九个消振支架，在其上设置石制固定平台。并且，在石制固定平台上设置一对导向基座，在其上设置可以相对于石制固定平台沿Y方向移动的、由CFRP构成的一对支柱。此外，在一对支柱之间架有由CFRP构成的横梁。进而，设置可以相对横梁沿X方向移动的移动基座，在移动基座上搭载激光光学单元。
文档编号B23K26/08GK1727970SQ20041009014
公开日2006年2月1日 申请日期2004年10月29日 优先权日2004年7月30日
发明者岩永康志, 水户部和彦 申请人:激光先进技术股份公司