专利名称：激光加工装置的制作方法
激光加工装置技术区域本发明涉及激光加工装置。
背景技术：
作为现有的激光加工装置，已知有以聚光点上的激光的强度超过加工阈值，并且聚光点上的剖面形状成为椭圆形状等的长条形状的方式，将激光照射在加工对象物的装置 (例如参照专利文献1、2)。专利文献专利文献1 日本特表平10-506087号公报专利文献2 日本特开2007-75886号公报
发明内容
发明所要解决的课题上述那样的激光加工装置，因为对于加工对象物可以以沿一个方向延伸的方式形成加工区域，所以非常有效，期待进一步的技术开发。本发明是有鉴于上述的课题而完成的发明，其目的在于，提供一种可以将加工区域形成为所期望的形状的激光加工装置。解决课题的技术手段为了达成上述目的，本发明所涉及的激光加工装置，其特征在于，具备激光光源， 射出激光；支撑台，支撑对激光具有透过性的加工对象物；第1光学系统，具有使平行光在与光轴垂直的规定的方向上发散或收束的功能，使从激光光源射出的激光在规定的方向上发散或收束；第2光学系统，具有使平行光收束在光轴上的一点的功能，使从第1光学系统射出的激光在与光轴垂直的第1方向上收束在第1点，使从第1光学系统射出的激光在与光轴和第1方向垂直的第2方向上收束在第2点；第1移动机构，使第1光学系统相对于第 2光学系统沿着光轴相对地移动；以及第2移动机构，使支撑台相对于第2光学系统沿着光轴相对地移动；通过第1移动机构和第2移动机构，使第1点位于加工对象物的外部，使第 2点位于加工对象物的外表面或内部，对加工对象物照射激光。在该激光加工装置中，激光的剖面形状，在第1点成为在第2方向上延伸的长条形状，在第2点成为在第1方向上延伸的长条形状。因此，利用第1移动机构和第2移动机构， 使第1点位于加工对象物的外部，使第2点位于加工对象物的外表面或内部，从而在加工对象物的外表面或内部，在第2点所位于的部分，可以形成在第1方向上延伸的长条形状的加工区域。因此，根据该激光加工装置，可以将加工区域形成为所期望的形状。另外，第2点优选为使激光的光线束中的未被第1光学系统发散或收束的光线束被第2光学系统收束的点。在此情况下，与第2点为被第1光学系统发散或收束的光线束被第2光学系统收束的点的情况相比，能够减小加工区域的第2方向的宽度。另外，第2移动机构优选为使支撑台相对于第2光学系统在第1方向上相对地移
3动。在此情况下，因为加工区域成为在第1方向上延伸的长条形状，所以能够沿着与第1方向平行的加工线在加工对象物的外表面或内部效率良好地形成加工区域。或者，第2移动机构优选为使支撑台相对于第2光学系统在第2方向上相对地移动。在此情况下，因为加工区域成为在第1方向上延伸的长条形状，所以能够沿着与第1方向垂直的加工线在加工对象物的外表面或内部形成宽度宽的加工区域。另外，在第1光学系统和第2光学系统之间的光轴上，配置有反射激光的光学构件，光学构件优选为使用于观察加工对象物的观察光透过。根据该构成，不会受到第1光学系统的影响，经由具有使平行光收束在光轴上的一点的功能的第2光学系统而可以观察加工对象物。发明的效果根据本发明，可以将加工区域形成为所期望的形状。
图1为本发明所涉及的激光加工装置的一个实施方式的结构图。图2为显示图1的激光加工装置中的激光的光路的图。图3为显示图1的激光加工装置中的激光的光路的图。图4为显示通过图1的激光加工装置形成加工区域的加工对象物的图。图5为显示通过图1的激光加工装置形成加工区域的加工对象物的图。图6为显示通过本发明所涉及的激光加工装置的实施例形成裂纹区域的加工对象物的照片的图。图7为显示本发明所涉及的激光加工装置的其它的实施方式中的激光的光路的图。图8为显示本发明所涉及的激光加工装置的其它的实施方式中的激光的光路的图。符号的说明1…激光加工装置、2…激光振荡器(激光光源)、3···支撑台、4…柱面透镜(第1光学系统)、5···物镜(第2光学系统)、6···移动机构(第1移动机构)、7…CTZ平台(第2移动机构)、11…分色镜(光学构件)。
具体实施例方式以下，参照附图，对本发明的优选的实施方式进行详细的说明。还有，在各图中，对于相同或相当部分标注相同符号，省略重复的说明。图1是本发明所涉及的激光加工装置的一个实施方式的结构图。如图1所示，激光加工装置1具备将激光Ll射出的激光振荡器(激光光源)2、支撑对激光Ll具有透过性的加工对象物S的支撑台3、具有通过圆柱凹面使平行光在与光轴垂直的规定的方向上发散的功能的柱面透镜(第1光学系统)4、具有使平行光收束在光轴上的一点的功能的物镜(第2光学系统)5、使柱面透镜4沿着其光轴移动的移动机构(第1移动机构)6、以及使支撑台3沿着物镜5的光轴移动的X^平台(第2移动机构)7。CTZ平台7使支撑台3 不仅在物镜5的光轴方向即Z轴方向上，而且在与Z轴方向垂直的X轴方向以及与Z轴方向和X轴方向垂直的Y轴方向上移动。 激光加工装置1还具备投射用于观察加工对象物S的观察光L2的照明部8、以及接收由加工对象物S反射的观察光L2的反射光并取得加工对象物S的像的摄像部9。由此，可以观察加工对象物S的表面、内部或背面。 在激光加工装置1中，从激光振荡器2射出的激光Ll，在柱面透镜4的光轴上行进之后，被分色镜(光学构件)11反射，在物镜5的光轴上行进并照射于支撑台3上的加工对象物S。另一方面，由照明部8投射的观察光L2，被分色镜12反射之后，透过分色镜11，在物镜5的光轴上行进并照射于支撑台3上的加工对象物S。而且，被加工对象物S反射的观察光L2的反射光，在物镜5的光轴上行进，透过分色镜11、12，而由摄像部9受光。还有，在激光加工装置1中，激光振荡器2、柱面透镜4、物镜5、移动机构6、照明部 8、摄像部9、分色镜11以及分色镜12被配置于框体内，从而构成激光照射装置10。另外， 在激光加工装置1中，设置有控制激光振荡器2、移动机构6、照明部8、摄像部9以及CTZ平台7等的装置整体的控制部20。控制部20为了使柱面透镜4相对于物镜5沿着光轴相对地移动而控制移动机构6，或者，为了使支撑台3(即加工对象物幻相对于物镜5沿着光轴相对地移动而控制XH平台7。物镜5与支撑台3的距离(即物镜5与加工对象物S的距离)的调节也可以以使支撑台3在Z轴方向(光轴方向)上移动的方式进行控制，也可以以使物镜5或者包含物镜5的激光照射装置10在Z轴方向上移动的方式进行控制，也可以以使该两者移动的方式进行控制。进一步，控制部20控制激光振荡器2和照明部8，或者， 基于由摄像部9取得的图像使XYZ平台7动作而控制相对于加工对象物S的激光Ll的焦点位置。图2以及3是显示图1的激光加工装置中的激光的光路的图。还有，在图2以及 3中，为了方便说明，省略分色镜11的图示。如图2以及3所示，柱面透镜4，使从激光振荡器2射出的激光Li，在Y轴方向(规定的方向)(即^平面内)上发散，在X轴方向(即 ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜5，使从柱面透镜4射出的激光Li，在Y轴方向 (第1方向)(即^平面内)上收束于第1点P1，在X轴方向(第2方向)(即ZX平面内) 上收束于第2点P2。由此，激光Ll的剖面形状，在点Pl成为在X轴方向上延伸的长条形状，在点P2成为在Y轴方向上延伸的长条形状。在此，使柱面透镜4的焦点距离为A，发散点距离(柱面透镜4的焦点和物镜5的主点之间的距离)为B，物镜5的焦点距离为C，加工对象物S的折射率为n，加工对象物S 的厚度为d，此时JZ平面内的聚光点距离(物镜5的主点和第1点Pl的距离)Z1以及ZX 平面内的聚光点距离(物镜5的主点和第2点P2的距离)Z2，分别由下述式(1)以及⑵表不。Zl= (G-H) +d+ (nH_d) /n... (1)Z2 = (C-E)+nE— (2)还有，在式(1)以及O)中，G= 1/((1/C)_(1/B))，H是η = 1的情况下的加工对象物S的表面和聚光点αζ平面内的激光Ll的聚光点)的距离，E是η = 1的情况下的加工对象物S的表面和聚光点(ZX平面内的激光Ll的聚光点)的距离。在加工对象物S的上侧(即加工对象物S和物镜5之间)和加工对象物的下侧的空气中，η = 1。从上述的式(1)以及⑵可知，YZ平面内的聚光点距离Zl依赖于发散点距离B，ZX平面内的聚光点距离Z2不依赖于发散点距离B。即，如果通过移动机构6使柱面透镜4 沿着光轴进退，那么ZX平面内的聚光点距离Z2不变化AZ平面内的聚光点距离Zl进而非点距离τ认=Ζ1-Ζ2)发生变化。接着，说明上述的激光加工装置1的动作的一个例子。图4以及5是显示通过图 1的激光加工装置形成加工区域的加工对象物的图。还有，如图4以及5所示，该一个例子是沿着作为玻璃基板的加工对象物S的加工线PL，照射作为脉冲波的激光Li，将成为切断的起点的裂纹区域CR作为加工区域而形成于加工对象物S的内部的例子。首先，基于加工对象物S的折射率η，以第2点Ρ2位于加工对象物S的内部(距加工对象物S的表面仅规定的距离的内侧)的方式，通过XH平台7使支撑台3在Z轴方向上移动(参照上述式( )。而且，基于加工对象物S的折射率η以及厚度d，以第1点Pl位于加工对象物S的外部(下侧)的方式，通过移动机构6使柱面透镜4沿着光轴移动(参照上述的式⑴)。接着，以位于加工对象物S的内部的第2点P2上的激光Ll的峰值功率密度超过加工阈值(例如可以产生多光子吸收、其它的光吸收的阈值)的方式，从激光振荡器2射出激光Ll，并且通过XH平台7使支撑台3在Y轴方向上移动，沿着加工线PL照射激光Ll。由此，在加工对象物S的内部，在点P2所位于的部分，在每照射1脉冲的激光Ll时形成1个裂纹区域CR。此时，各裂纹区域CR的形状，因为激光Ll的剖面形状在点P2成为在Y轴方向上延伸的长条形状，所以在从相对于加工对象物S的激光Ll的入射方向观察的情况下， 成为沿着加工线PL延伸的长条形状。这样，如果沿着加工线PL在加工对象物S的内部形成裂纹区域CR，那么因为裂纹区域CR成为切断的起点，所以可以沿着加工线PL精度良好地切断加工对象物S。进而，因为裂纹区域CR是沿着加工线PL延伸的长条形状，所以能够使沿着加工线PL切断的加工对象物S的切断面平滑。如以上所说明的那样，在激光加工装置1中，激光Ll的剖面形状在第1点Pl成为在X轴方向上延伸的长条形状，在第2点P2成为在Y轴方向上延伸的长条形状。因此，通过移动机构6以及CTZ平台7，使点Pl位于加工对象物S的外部，使点P2位于加工对象物 S的内部，从而在加工对象物S的内部，在点P2所位于的部分，可以形成在Y轴方向上延伸的长条形状的加工区域。因此，根据激光加工装置1，可以将加工区域形成为所期望的形状。另外，在激光加工装置1中，将激光Ll的光线束中的未被柱面透镜4发散的)(Z平面内的光线束被物镜5收束的点作为第2点P2，在该点P2进行加工(参照图3(b))。因此， 与将被柱面透镜4发散的TL平面内的光线束被物镜5收束的点作为点P2并在该点P2进行加工的情况相比，可以减小加工区域的X轴方向的宽度。还有，在为了增大加工区域的X 轴方向的宽度的情况等下，也可以将被柱面透镜4发散的TL平面内的光线束被物镜5收束的点作为点P2，在该点P2进行加工。另外，在激光加工装置1中，XH平台7使支撑台3相对于物镜5在Y轴方向上移动。在此情况下，因为加工区域成为在Y轴方向上延伸的长条形状，所以可以沿着与Y轴方向平行的加工线PL在加工对象物S的内部效率良好地形成加工区域。还有，如果XYZ平台 7使支撑台3相对于物镜5在X轴方向上移动，那么因为加工区域成为在Y轴方向上延伸的长条形状，所以可以沿着与X轴方向平行的加工线PL在加工对象物S的内部形成宽度宽的
6加工区域。另外，在激光加工装置1中，在柱面透镜4和物镜5之间的光轴上，配置有反射激光Ll并且使观察光L2透过的分色镜11。由此，不会受到柱面透镜4的影响，可以经由具有使平行光收束在光轴上的一点的功能的物镜5，观察加工对象物S的表面、内部或背面。接着，说明本发明所涉及的激光加工装置的实施例。图6是显示通过本发明所涉及的激光加工装置的实施例形成裂纹区域的加工对象物的照片的图。还有，在图6中，(a) 是沿着加工线的加工对象物的剖面照片，(b)是使观察光的焦点对准加工对象物的表面时的照片，(c)是使观察光的焦点对准加工对象物的内部的第2点P2所位于的部分时的照片， (d)是使观察光的焦点对准加工对象物的内部的第1点Pl所位于的部分时的照片。该实施例中的加工条件如下所述。(A)加工对象物Pyrex (注册商标)玻璃(厚度700 μ m)(B)激光 光源 =KGff超短脉冲激光波长1030nm振荡形态再生放大反复频率3kHz脉冲宽度3ps射出激光能量100 μ J/脉冲射出激光品质=TEMqq偏振光特性直线偏振光(C)物镜数值孔径(NA)0. 55相对于激光的透过率70%(D)照射条件第2点P2上的激光的剖面形状100 μ m(Y轴方向的最大长度)X5 μ m(X轴方向的最大长度)第2点P2上的激光的剖面积5 X lO^cm2第2点P2上的激光的峰值功率密度5. 1 X 1012ff/cm2第1点Pl上的激光的剖面形状7 μ m(Y轴方向的最大长度)X50 μ m(X轴方向的最大长度)第1点Pl上的激光的剖面积3. 5 X lO-W第1点Pl上的激光的峰值功率密度1 X 1012ff/cm2(E)相对于物镜的支撑台的移动速度300mm/s如图6(c)所示，在加工对象物的内部的第2点P2所位于的部分，形成有在Y轴方向上延伸的长条形状的裂纹区域CR2。另一方面，如图6(d)所示，在加工对象物的内部的第 1点Pl所位于的部分，形成有在X轴方向上延伸的长条形状的裂纹区域CR1。在上述实施方式中，点Pl位于加工对象物的外部，点P2位于加工对象物的内部，从而防止点Pl上的加工对象物的加工，但是，通过使点PI、P2位于加工对象物的外表面和内部，从而能够在加工对象物同时地形成延伸的方向垂直的长条形状的加工区域。
本发明并不限定于上述的实施方式。例如，如图7以及8所示，也可以使用具有通过圆柱凸面使平行光在与光轴垂直的规定的方向上收束的功能的柱面透镜4。而且，如图7所示，也可以在发散的状态下使激光 Ll入射至物镜5，如图8所示，也可以在收束的状态下使激光Ll入射至物镜5。在此情况下，第1点Pl位于加工对象物S的上侧，Zl = G0另外，也可以应用以下方式取代移动机构6而使物镜5移动或与移动机构6 —起使物镜5移动，或者，使柱面透镜4以及物镜5的两者移动等；使柱面透镜4相对于物镜5 沿着光轴相对地移动。同样地，也可以应用以下方式取代MZ平台7而使物镜5 (或者包含物镜5的激光照射装置10)移动或与X^平台7 —起使物镜5 (或者包含物镜5的激光照射装置10)移动，或者，使支撑台3以及物镜5 (或者包含物镜5的激光照射装置10)的两者移动等；使支撑台3相对于物镜5沿着光轴相对地移动。另外，如果具有使平行光在与光轴垂直的规定的方向上发散或收束的功能，那么也可以取代柱面透镜4而应用由多个透镜所构成的光学系统等的其它的光学系统。同样地，如果具有使平行光收束在光轴上的一点的功能，那么也可以取代物镜5而应用由多个透镜所构成的光学系统等的其它的光学系统。另外，裂纹区域的用途并不限定于成为切断的起点。作为其它的用途，具有多个裂纹区域连续地构成的光导波路、微流路、微TAS (Total Analysis Systems)等。另外，也存在通过使第2点P2位于加工对象物S的外表面(例如表面和背面)从而加工区域形成于加工对象物S的外表面的情况。进一步，加工区域并不限定于裂纹区域。 加工区域除了裂纹区域、绝缘破坏区域(例如加工对象物由玻璃或LiTaO3等的压电材料所构成的情况)以外，也有熔融处理区域(例如加工对象物由硅等的半导体材料所构成的情况)、折射率变化区域(例如加工对象物由玻璃所构成的情况)等，也有这些区域混合存在的区域。产业上的利用可能性能够提供一种可以将加工区域形成为所期望的形状的激光加工装置。
权利要求
1.一种激光加工装置，其特征在于， 具备激光光源，射出激光；支撑台，支撑对所述激光具有透过性的加工对象物；第1光学系统，具有使平行光在与光轴垂直的规定的方向上发散或收束的功能，使从所述激光光源射出的所述激光在所述规定的方向上发散或收束；第2光学系统，具有使平行光收束在光轴上的一点的功能，使从所述第1光学系统射出的所述激光在与光轴垂直的第1方向上收束在第1点，使从所述第1光学系统射出的所述激光在与光轴以及所述第1方向垂直的第2方向上收束在第2点；第1移动机构，使所述第1光学系统相对于所述第2光学系统沿着光轴相对地移动；以及第2移动机构，使所述支撑台相对于所述第2光学系统沿着光轴相对地移动， 利用所述第1移动机构以及所述第2移动机构，使所述第1点位于所述加工对象物的外部，使所述第2点位于所述加工对象物的外表面或内部，对所述加工对象物照射所述激光。
2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述第2点为所述激光的光线束中的未被所述第1光学系统发散或收束的光线束被所述第2光学系统收束的点。
3.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述第2移动机构使所述支撑台相对于所述第2光学系统在所述第1方向上相对地移动。
4.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述第2移动机构使所述支撑台相对于所述第2光学系统在所述第2方向上相对地移动。
5.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，在所述第1光学系统和所述第2光学系统之间的光轴上，配置有反射所述激光的光学构件，所述光学构件使用于观察所述加工对象物的观察光透过。
全文摘要
本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即在ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点(P1)，在X轴方向上收束在点(P2)。由此，激光(L1)的剖面形状，在点(P1)成为在X轴方向上延伸的长条形状，在点(P2)成为在Y轴方向上延伸的长条形状。因此，通过使点(P1)位于加工对象物(S)的外部，使点(P2)位于加工对象物(S)的内部，从而在加工对象物(S)的内部的点(P2)所位于的部分，可以形成在Y轴方向上延伸的长条形状的加工区域。
文档编号B23K26/38GK102271859SQ20098015347
公开日2011年12月7日 申请日期2009年12月4日 优先权日2009年1月9日
发明者大石真吾, 福满宪志, 青岛绅一郎 申请人:浜松光子学株式会社