技术总结
本发明涉及一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台，属于微纳与超精密制造以及多轴运动平台精密控制领域。包括底座、右侧板、左侧板、上板和微调装置，X轴和Y轴压电叠堆固定在上板，Z轴压电叠堆与其他两个压电叠堆垂直，输入信号驱动三个压电叠堆产生高频振动，带动工件基座上的工件在三维空间产生椭圆运动轨迹，优点是结构新颖、刚度高、平稳性好，四个柔性铰链中心对称分布，易于控制微位移运动平台的运动精度，易于控制微位移运动平台在三维空间中的椭圆轨迹。
技术研发人员：卢明明;林洁琼;周家康;谷岩;于保军;韩金国;赵东坡;李乾;管亮
受保护的技术使用者：长春工业大学
文档号码：201610987500
技术研发日：2016.11.09
技术公布日：2017.01.11