技术总结
本发明提供了一种管电极放电与激光辐照的同轴复合加工方法和装置，属于特种加工和复合加工领域；通过锥形管电极放电和激光辐照同轴作用于绝缘高硬脆材料表面进行微细刻蚀加工，脉冲激光作用于工件表面产生的隐性材质缺陷和应力集中能吸引火花放电始终作用在该区域，同时火花放电改变该区域的表面形貌和物化性质，进而提高该区域对激光能量的非线性吸收，产生局域场增强效应，而且脉冲激光聚焦辐照能加快电化学反应，促进空心工具电极表面生成稳定的放电气膜层；两种能量的交互协同作用实现了对绝缘高硬脆材料的微细定域刻蚀，显著改善了加工效率，并且提高了加工质量。
技术研发人员：张朝阳;陆海强;庄鸿武;徐金磊;杨敬博;曹增辉;蒋雯
受保护的技术使用者：江苏大学
文档号码：201611107045
技术研发日：2016.12.06
技术公布日：2017.02.22