技术总结
本发明公开了一种基于闭环控制的超快激光加工系统及方法。超快激光激光系统包括：激光器；反射镜；压电陶瓷二维偏摆台，用于带动反射镜偏摆而控制激光束的指向；分光镜，用于将反射镜反射后的激光束分光，形成第一激光束和第二激光束；加工载台，设于分光镜的第一出光侧，并且第一激光束射向工件表面；光斑位置检测装置，第二激光束射向光斑位置检测装置，藉由光斑位置检测装置来检测第二激光束的光斑位置，并输出光斑位置电信号；控制器，用于接收上位机指令和光斑位置电信号，并根据上位机指令和光斑位置电信号控制激光器出射激光束的功率和控制压电陶瓷二维偏摆台的偏摆轨迹。本发明结构简单、响应速度快、加工精度高、稳定性好。
技术研发人员：王自;朱文奇;姜宝宁;杨洋;张亚明;杨小君
受保护的技术使用者：西安中科微精光子制造科技有限公司
文档号码：201611215614
技术研发日：2016.12.26
技术公布日：2017.05.31