激光接合装置的制作方法

本发明涉及一种激光接合(laserbonding)装置，尤其涉及一种提高显示质量的显示装置。

背景技术：

最近，为了将构成电子装置的基板或薄膜电连接，采用利用激光接合的方法。所述基板等部件的接合质量可能被接合对象物的材质、激光的波长/输出、接合速度、接合部位的加压力等左右。其中，加压力可以作为决定接合对象物的质量好坏的重要因素。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供提高稳定性的激光接合装置。

根据本发明的实施例的激光接合装置包括：平台，具有与由彼此垂直的第一方向及第二方向定义的平面平行的上表面，且在所述上表面上安置被加工物；激光发生器，沿着与所述平面垂直的第一加压线而向下部方向照射激光；气缸部，布置于所述平台的上部，沿着第二加压线向下部方向产生加压力，所述第二加压线在所述第一方向上与所述第一加压线平行地相隔；加压部，布置在所述气缸部和所述平台之间，沿着所述第一加压线向下部方向加压所述被加工物；以及传递部，布置在所述气缸部与所述加压部之间而连接所述气缸部及所述加压部，将从所述气缸部接收的所述加压力传递给所述加压部，所述传递部将所述加压力从所述第二加压线传递至所述第一加压线。

所述传递部的上表面包括沿着所述第一方向而向下部方向倾斜的至少一个倾斜面。

所述传递部包括：第一传递部，与所述气缸部连接，并沿着所述第二方向延伸；第二传递部，具有与所述平面平行的板形状，所述第二传递部的所述第一方向的一侧与所述第一传递部的下部连接；以及连接部，连接所述第一传递部的侧面及所述第二传递部的上表面，并包括所述倾斜面，所述倾斜面从所述第一传递部的上表面向下部倾斜。

根据本发明的实施例的激光接合装置包括：第一连接部件，布置在所述第一传递部的所述上表面上，连接所述气缸部的下部和所述传递部的上部；以及至少一个第二连接部件，在所述第二传递部的背面上布置于所述第一方向的另一侧，并连接所述传递部的下部和所述加压部的上部。

所述第二传递部及所述连接部分别被提供多个，多个所述第二传递部分别在所述第二方向上布置于所述第一传递部的两侧，多个所述连接部以与所述第二传递部一对一对应地连接。

在所述加压部定义有孔，所述孔在所述平面上与所述第一加压线重叠，在所述激光发生器产生的激光束通过所述孔而照射。

所述加压部包括：加压板，具有与所述平面平行的板形状；以及加压工具，布置于所述加压板的下部，所述孔贯通所述加压板及所述加压工具。

所述加压部还包括固定于所述加压工具的尖部，所述尖部与所述孔连接并使光穿过。

所述加压工具能够从所述加压板装卸。

根据本发明的实施例的激光接合装置还包括：平台移动部，与所述平台连接并使所述平台移动。

根据本发明的实施例的激光接合装置还包括：监视部，与所述平台相邻地布置，并测量所述激光束的形状及性能。

根据本发明的实施例的激光接合装置还包括：框架，包括沿着与所述平面垂直的方向延伸的至少一个导轨，所述气缸部、所述传递部及所述加压部借助于所述导轨而上下移动。

根据本发明的实施例的激光接合装置还包括：至少一个第一移动部件，固定于所述气缸部而安装于所述导轨；至少一个第二移动部件，固定于所述传递部而安装于所述导轨；至少一个第三移动部件，固定于所述加压部而安装于所述导轨。

所述气缸部包括：壳体，定义所述气缸的内部空间；气缸头，布置于所述壳体内部，具有板形状而划分所述壳体的所述内部空间，并将所述壳体的内部空间的气压转换为所述加压力；以及气缸杆，与所述气缸头连接，并将所述加压力提供给所述传递部。

还包括：位移传感器，测量根据本发明的实施例的所述气缸部及所述传递部之间的距离。

所述位移传感器包括编码器。

所述激光束具有直线束形状。

根据本发明的实施例的激光接合装置包括：平台，具有与由彼此垂直的第一方向及第二方向定义的平面平行的上表面，且在所述上表面上安置被加工物；激光发生器，沿着朝向所述平台的方向照射激光；气缸部，布置于所述平台的上部，向下部方向产生加压力；加压部，布置在所述气缸部和所述平台之间，向下部方向按压所述被加工物；以及传递部，布置在所述气缸部与所述加压部之间，将从所述气缸部接收的所述加压力传递给所述加压部，所述传递部的所述第一方向的一侧与所述气缸部连接，所述第一方向的另一侧与加压部连接，所述传递部的上表面具有随着从所述第一方向的所述一侧朝向所述另一侧而向下部方向倾斜的至少一个倾斜面。

所述气缸部向所述传递部提供的所述加压力的方向与由所述加压部向所述平台提供的加压力的方向沿所述第一方向相隔，并且所述激光束以与所述加压部按压所述被加工物的区域重叠的方式照射。

根据本发明的实施例的激光接合装置还包括：第一连接部件，布置在所述传递部的第一方向的一侧，并连接所述气缸的下部和所述传递部的上部；第二连接部件，布置在所述传递部的第一方向的另一侧，并连接所述传递部的下部和所述加压部的上部。

根据本发明的实施例，可以提高激光接合装置的稳定性。

附图说明

图1是根据本发明的实施例的激光接合装置的整体立体图。

图2是图示于图1的激光接合装置的侧视图。

图3是根据本发明的实施例的气缸部的剖面图。

图4是根据本发明的实施例的加压部的剖面图。

图5是根据本发明的实施例的传递部的剖面图。

图6是根据本发明的实施例的气缸部、加压部及传递部的剖面图。

图7是根据本发明的另一实施例的激光接合装置的整体立体图。

图8是图示于图7的激光接合装置的正视图。

图9是根据本发明的另一实施例的激光接合装置的整体立体图。

图10是根据本发明的另一实施例的激光接合装置的侧视图。

符号说明

1000：激光接合装置100：激光发生器

200：气缸部210：壳体

220：气缸头230：气缸杆

300：加压部310：加压板

320：加压工具tt：尖部

400：传递部410：第一传递部

420：第二传递部430：连接部

500：平台600：框架

700：平台移动部mm：移动部件

gr：导轨cn：连接部件

prl：加压线dm：位移测量仪

dmb：测量棒dmp：测量板

hd：测量头sc：测量棒

mnt：监视部

具体实施方式

若参照附图以及详细地描述的实施例，则本发明的优点、特征以及实现此的方法将会变得明确。然而本发明并不局限于以下公开的实施例，其可以体现为彼此不同的多样的形态，只不过本实施例是为了使本发明的公开变得完整，并对在本发明所属的技术领域中具有通常的知识的人员完整地告知本发明的范围而提供的，本发明仅仅由权利要求记载的范围来得到定义。在说明书全文中，相同的附图符号表示相同的构成要素。

当描述为元件(elements)或层位于另一元件或层的“上面(on)”或“上方(on)”时，其不仅包括位于另一元件或层的紧邻上面的情形，还包括中间夹设有其他层或其他元件的情形。

相反，当描述为元件位于另一部分的“直接上面(directlyon)”或“紧邻上面”时表示中间没有夹设其他元件或层。“和/或”表示提及的事项的各自以及一个以上的所有组合。

“下面(below)”、“在……之下(beneath)”、“下部(lower)”、“在……之上(above)”、“上部(upper)”等空间上的相对术语如图所示地可以为了方便地描述一个元件或构成要素与另一元件或构成要素之间的相关关系而使用。空间上的相对的术语除了图中所示的方向之外，在使用或操作时还应当被理解为包括元件的彼此不同的方向的术语。在整个说明书中，相同的附图符号表示相同的构成要素。

虽然第一、第二等术语为了说明多样的元件、构成要素和/或部分而使用，但是这些元件、构成要素和/或部分显然并不局限于上述的术语。上述的术语只是为了将一个元件、构成要素和/或部分区别于另一元件、构成要素和/或部分而使用。因此，在本发明的技术思想范围内，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分显然也可以为第二元件、第二构成要素或第二部分。

本说明书中记载的实施例将参考作为本发明的理想的示意图的平面图及剖面图而进行说明。因此，示意图的形态可能由于制造技术和/或允许误差等而变形。因此，本发明的实施例也包括根据制造工序生成的形态的变化，而不应局限于图示的特定形态。因此，附图中例示的区域具有示意性的属性，且附图中例示的区域的形状用于举例说明元件的区域的特定形态，不应用于限制本发明的范围。

以下，参照附图对本发明的优先实施例进行更详细的说明。

图1是根据本发明的实施例的激光接合装置的整体立体图，图2是图示于图1的激光接合装置的侧视图。

参照图1及图2，根据本发明的实施例的激光接合装置1000可以利用激光束lsr将两个以上的被加工物sub1、sub2彼此接合。所述被加工物可以彼此接合而电连接。被加工物sub1、sub2可以是基板、薄膜或电子元件。例如，根据本发明的一实施例，被加工物sub1、sub2中的任意一个可以是显示面板、触摸面板或印刷电路板，另一个可以是柔性电路板。

激光接合装置1000包括激光发生器100、气缸部200、加压部300、传递部400、平台500及框架600。

激光发生器100产生激光束lsr。激光束lsr可以向下部方向照射。本实施例中，激光束lsr的截面形状可以是沿着一个方向延伸的直线束(linebeam)形态。不限于附图，激光发生器100可以包括用于加工激光束lsr的形状及强度的光学系统(未图示)。

被加工物sub1、sub2被置于平台500的上表面上。平台500的上表面可以与由第一方向dr1以及相对于第一方向dr1垂直的第二方向dr2所定义的平面平行。

平台500和激光发生器100可以布置在一条线上以在所述平面上重叠。即，从激光发生器100产生的激光束lsr向朝向平台500的方向照射。

为了便于说明，将激光束照射的方向定义为下部方向，并将下部方向的相反方向定义为上部方向。本实施例中，上部方向及下部方向与第三方向dr3平行，所述第三方向dr3由与第一方向dr1和第二方向dr2分别垂直的方向定义。第三方向dr3可以是区分后述的构成要素的前面和背面的基准方向。但是，上部方向或下部方向是相对的概念，并且可以转换成其他方向。

气缸部200布置在平台500的上部。气缸部200在第一方向dr1与激光发生器100的一侧相邻地布置。气缸部200向下部方向产生加压力。从气缸部200产生的加压力的方向可以与激光束lsr照射的方向平行。以下，图3中，对于气缸部200进行更详细的说明。

加压部300布置在气缸部200与平台500之间。加压部300从上部接收加压力而将置于平台500上的被加工物sub1、sub2按压。加压部300向平台500提供的加压力的方向可以与激光束lsr向平台500上照射的方向相同。以下，在图4中对加压部300进行更详细的说明。

传递部400布置在气缸部200与加压部300之间。传递部400起到将从气缸部200接收的加压力传递给加压部300的作用。以下，在图5及图6中对传递部400进行更详细的说明。

根据本发明的实施例的激光接合装置1000还可以包括至少一个第一连接部件cn1及至少一个第二连接部件cn2。第一连接部件cn1连接气缸部200和传递部400。第二连接部件cn2连接传递部400和加压部300。根据本实施例，在所述平面上，第一连接部件cn1可以与第二连接部件cn2沿第一方向dr1相隔而布置。以下，参照图6，对连接部件cn1、cn2进行更详细的说明。

框架600布置在气缸部200、加压部300及传递部400的第一方向dr1一侧。气缸部200、加压部300及传递部400可以固定于框架600的任意一个的一侧壁。框架600起到用于将气缸部200、加压部300及传递部400固定而使其在所述平面上不移动的支撑体的作用。

根据本实施例的框架600包括布置在所述一侧壁的第一导轨gr1及第二导轨gr2。具体地，第一导轨gr1及第二导轨gr2布置在与气缸部200、加压部300及传递部400相邻的框架600的所述一侧壁。第一导轨gr1及第二导轨gr2可以分别沿着作为上部方向及下部方向的第三方向dr3延伸。

根据本实施例的激光接合装置1000还可以包括第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3。本发明并不特殊地限制第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3各自的数量。

第一移动部件mm1连接于气缸部200。第二移动部件mm2连接于传递部400。第三移动部件mm3连接于加压部300。第一移动部件mm1安装于第一导轨gr1。第二移动部件mm2及第三移动部件mm3安装于第二导轨gr2。

随着第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3安装于第一导轨gr1及第二导轨gr2，气缸部200、加压部300及传递部400可以固定于框架600。

作为一示例，在第一导轨gr1、第二导轨gr2各自的外侧面形成有至少一个槽g。在第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3的内侧面可以形成有至少一个突出部(未示出)，第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3可以通过凹凸结合方式安装于第一导轨gr1及第二导轨gr2。但是，这只是对某一个安装方式的说明，本发明并不特殊地限制第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3与第一导轨gr1及第二导轨gr2之间的安装方式。

形成于第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3的突出部(未示出)及形成于第一导轨gr1及第二导轨gr2的槽g可以沿着第三方向dr3延伸。因此，第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3可以沿着第一导轨gr1及第二导轨gr2的延伸方向朝上部或下部移动。即，气缸部200、加压部300及传递部400可以沿着作为第一导轨gr1及第二导轨gr2的延伸方向的上部或下部方向而进行往复移动。

在本实施例中，对一个第一导轨gr1和两个第二导轨gr2布置于框架600的侧壁的构成进行了说明，但本发明不限制导轨的数量。并且，根据本发明的另一实施例，框架600可以仅包括第一导轨gr1及第二导轨gr2中的任意一个。在此情况下，第一至第三移动部件mm1、mm2、mm3均可以安装于一个导轨。

根据本实施例的激光接合装置1000还可以包括布置于平台500的侧部或下部的平台移动部700。平台移动部700连接于平台500而使平台500在所述平面上移动，或向上部或下部方向移动。本发明并不特殊地限制平台移动部700的形状、大小及移动方向。在本发明的另一实施例中，平台移动部700可以被省略。图3是根据本发明的实施例的气缸部的剖面图。

参照图3，根据本发明的实施例的气缸部200包括壳体210、气缸头220及气缸杆230。

壳体210定义气缸部200的内部空间。可以从外部向壳体210的内部提供空气。在本实施例中，壳体210具有长方体形状。但是，本发明不特别限制壳体210的形状。

气缸头220布置于壳体210内部。气缸头220具有与所述平面平行的板形状。气缸头220可以划分壳体210内部的空间。气缸头220可以借助壳体210内部的气压而向上部或下部方向移动。即，气缸头220可以将壳体210内部的气压转换为加压力。

气缸杆230布置于气缸头220的下表面。气缸杆230的上部与气缸头220连接。气缸杆230具有向下部方向延伸的棒形状。气缸杆230将从气缸头220施加的加压力提供给传递部400。气缸杆230的下部与第一连接部件cn1连接。

虽然没有在附图中示出，但是根据本发明的实施例的激光接合装置1000还可以包括马达部(未示出)。马达部(未示出)可以与气缸部200连接而产生压力使气缸部200沿着上下方向进行移动。图4是根据本发明的实施例的加压部的剖面图。

参照图4，加压部300包括加压板310、加压工具320及尖部tt。

加压板310具有与所述平面平行的板形状。加压工具320可以布置于加压板310的下部而固定于加压板310。加压工具320布置为向加压板310的背面中的第一方向dr1的另一侧偏向。根据本实施例，加压工具320可以被设计为能够从加压板310装卸。

根据本实施例，在加压板310及加压工具320可以定义有向下部方向贯通的孔h。孔h可以从加压板310的上表面延伸至加压工具320的背面。从激光发生器100产生的激光束lsr可以贯通孔h而向平台500照射(图1)。

尖部tt布置于加压工具320的下部，尖部tt直接接触于被加工物(图1、图2)而提供加压力。尖部tt可以由透明的材质形成。作为示例，尖部tt可以包括玻璃、石英及塑料等。

尖部tt在截面上具有下端末端尖锐的锥体形状。即，尖部tt的截面宽度可以随着与平台500相邻而变窄。尖部tt可以沿第二方向dr延伸而与激光束lsr(图1)的线束形状对应。

根据本实施例，尖部tt的一部分插入于形成在加压工具320的孔h内部，从而尖部tt可以固定于加压工具320。激光束lsr通过尖部tt而穿过，从而可以照射到平台500上。

根据本实施例，尖部tt可以被设计为能够从加压工具320装卸。因此，即使尖部tt由于加压力而被受损，也容易替换。

图5是根据本发明的实施例的传递部的剖面图。图6是根据本发明的实施例的气缸部、加压部及传递部的剖面图。

参照图5及图6，传递部400包括第一传递部410、第二传递部420及连接部430。第一传递部410具有向第一方向dr2及第三方向dr3延伸的长方体形状。根据本实施例，在第一传递部410的上表面可以布置有第一连接部件cn1。即，第一连接部件cn1连接第一传递部410和气缸部200的气缸杆230。从气缸杆230提供的加压力通过第一连接部件cn1向第一传递部410提供。

第二传递部420布置于第一传递部410的下部。具体地，第二传递部420的第一方向dr1的一侧可以与第一传递部410的下部连接。第二传递部420从第一传递部410的下部向第一方向dr1的另一侧延伸。

根据本实施例，第二传递部420可以被提供多个。如图5所示，两个第二传递部420可以分别在第二方向dr2上布置于第一传递部410的两端。

根据本实施例，第二连接部件cn2可以被提供多个。如图5所示，两个第二连接部件cn2分别布置于第二传递部420的下部。第二连接部件cn2分别布置为在第一方向dr1上偏向于第二传递部420的另一侧。第二连接部件cn2连接第二传递部420和加压部300的加压板310(参照图1及图2)。向第二传递部420提供的加压力可以通过第二连接部件cn2提供给加压板310。在第二传递部420的第一方向dr1的一侧没有布置连接部件。即，第二传递部420的第一方向dr1的一侧与加压部300相隔。

连接部430布置于第一传递部410的第一方向dr1的另一侧。连接部430的第一方向dr1的一侧面可以与第一传递部的第一方向dr1的另一侧面接触。

根据本实施例，连接部430被提供多个。如图5所示，两个连接部430可以布置为在第一传递部410的另一侧面上与第二方向dr2的两侧边缘位置接触。连接部430与第二传递部420一对一对应地连接。第二传递部420各自的上表面分别与连接部430各自的下表面接触。

根据本实施例，连接部430各自的上表面可以沿着第一方向dr1而向下部方向倾斜。以下，所述上表面定义为倾斜面is。具体地，倾斜面is在第一方向dr1的一侧与第一传递部410的上表面连接，并且可以随着朝向第一方向dr1的另一侧而向下部方向倾斜。倾斜面is可以在第一方向dr1的另一侧与第二传递部420的第一方向dr1的另一侧面连接。

参照图6，从激光发生器100产生的激光束(未示出)可以沿着第一加压线prl1而照射。激光束(未示出)通过加压部300的尖部tt而照射到平台500上。并且，加压部300所提供的加压力可以与第一加压线prl1重叠。因此，要接合的被加工物(未示出)上的区域可以在平面上与激光束(未示出)的照射区域及加压部300的加压区域相同。

气缸部200所产生的加压力可以沿着第二加压线prl2而提供，第二加压线prl2在第一方向dr1上与第一加压线prl1平行地相隔。

传递部400将从气缸部200提供的加压力从第二加压线prl2传递给第一加压线prl1。

与本发明的实施例不同地，对于不包括具有倾斜面is的传递部400的激光接合装置而言，当沿着第二加压线prl2从气缸部200向加压部300施加压力时，可能在加压部300产生力矩。即，气缸部200向加压部300的第一方向dr1的一侧提供加压力，因此在布置加压工具320的加压部300的第一方向dr1的另一侧可能被施加上部方向的力。在此情况下，需要沿着第一加压线prl1而向被加工物(图1、图2)提供的加压力可能损失，或者从加压部300向被加工物(图1、图2)提供的加压力的方向可能从第一加压线prl1偏离。但是，根据本发明的实施例，产生于加压部300的力矩可以借助传递部400的连接部430而被抵消。即，传递部400的连接部430可以通过固定而防止加压部300因从上部方向产生的力而歪斜，并且可以防止向被加工物(图1、图2)提供的加压力产生损失。其结果，根据本发明的实施例，可以提高激光接合装置的稳定性。

图7是根据本发明的另一实施例的激光接合装置的整体立体图，图8是图示于图7的激光接合装置的正视图。

为了便于说明，以不同于本发明的一实施例的点为主进行说明，并且省略的部分参考本发明的一实施例。并且，对于上文中说明的构成要素使用相同的附图符号，并省略对于上述构成要素的重复的说明。

参照图7及图8，根据本发明的另一实施例的激光接合装置1000-1还可以包括第一位移传感器dm1。第一位移传感器dm1包括测量板dmp及测量棒dmb。

测量板dmp连接于气缸部200。在本实施例中，布置于气缸部200的壳体210(参照图3)的下端。但是，本发明并不特别地限定测量板dmp的布置及连接关系。

测量板dmp具有与所述平面平行的板形状，并沿第二方向dr2延伸。

测量棒dmb布置于测量板dmp的第二方向dr2的一侧。测量棒dmb贯通测量板dmp。测量棒dmb的下端固定于传递部400的第一传递部410的上表面。

虽未图示，但是可以在测量棒dmb的外表面标记有刻度。随着气缸部200向上部及下部方向移动，测量板dmp可以一起向上部及下部方向移动。此时，测量棒dmb不移动。可以通过测量测量板dmp与测量棒dmb接触的位置而测量气缸部200与传递部400之间的距离d。

根据本实施例，可以测量在平台500上提供预定的加压力的时间点。可以通过测量所述时间点而控制激光发生器100的激光束lsr的照射时间点。即，根据本实施例，可以通过控制加压时间点和照射时间点而防止被加工物(图1、图2)由于加压力或热而受损，或者接合精度降低的现象。

如图8及图9所示，被设计为第一位移传感器dm1测量气缸部200与传递部400之间的距离，但本发明不限于此。根据本发明的另一实施例，为了测量加压力的大小，可以将第一位移传感器设计为测量气缸部200、加压部300、传递部400及平台500中的至少任意两个之间的距离。

图9是根据本发明的另一实施例的激光接合装置的整体立体图。

为了说明的便利，以不同于本发明的一实施例的点为主进行说明，并且省略的部分参考本发明的一实施例。并且，对于上文中说明的构成要素使用相同的附图符号，并省略对于上述构成要素的重复的说明。

参照图9，根据本发明的另一实施例的激光接合装置1000-2还可以包括第二位移传感器dm2。

第二位移传感器dm2可以包括测量板dmp、测量头hd及测量棒sc。测量板dmp布置于气缸部200的壳体210(参照图3)的下部。测量板dmp向第二方向dr2延伸，且具有与所述平面平行的板形状。测量头hd布置于测量板dmp上部。具体地，测量头hd在第二方向dr2上布置于测量板dmp的一侧。测量头hd可以与气缸部200一同向上部及下部方向移动。在本发明的另一实施例中，测量板dmp可以被省略。在此情况下，测量头hd可以与气缸部200直接接触而固定于气缸部200。

测量棒sc固定于第二移动部件mm2中的任意一个。因此，测量棒sc可以与传递部400一同向第三方向dr3移动。测量棒sc向上部及下部方向延伸。测量棒sc以与测量头hd相向的方式布置。虽未图示，但是在测量棒sc的外侧可以标记有刻度。测量头hd可以感测标于测量棒sc的刻度。作为一示例，测量头hd可以是编码器(encoder)。因此，第二位移传感器dm2可以测量气缸部200与传递部400之间的距离。

图9中，以测量棒sc固定于第二移动部件mm2的方式进行了设计，但本发明不限于此。例如，根据本发明的另一实施例，在测量棒sc与测量头hd相向的范围内，测量棒sc可以与传递部400直接接触而固定于传递部400。

图10是根据本发明的另一实施例的激光接合装置的侧视图。

为了说明的便利，以不同于本发明的一实施例的点为主进行说明，并且省略的部分参考本发明的一实施例。并且，对于上文中说明的构成要素使用相同的附图符号，并省略对于上述构成要素的重复的说明。

参照图10，根据本发明的另一实施例的激光接合装置1000-3还可以包括监视部mnt。监视部mnt与平台500相邻地布置。监视部mnt可以布置在与平台500相同的平面上。

监视部mnt与平台移动部700连接。监视部mnt可以与平台500一同借助于移动部700而移动，并且与平台500相互独立地移动也无妨。

监视部mnt起到测量将提供给平台500的激光束lsr的形状及性能的作用。虽未图示，但监视部mnt可以包括光学系统。根据本实施例，可以不利用分束器分割激光束lsr，而直接测量将向平台500提供的激光束lsr。因此，可以提高激光束lsr的测量精度。

以上，参照实施例进行了说明，但是应当理解，本技术领域中的熟练的从业人员可以在不脱离记载于权利要求书的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及变更。并且，本发明中公开的实施例并不用于限定本发明的技术思想，属于权利要求书记载的范围及其等同范围内的所有技术思想应被解释为被包含于本发明的权利范围内。