技术特征：
技术总结
本发明涉及激光加工技术领域，提供了一种超快激光多光束并行加工装置及方法，装置包括控制系统、脉冲激光系统以及连续激光系统，脉冲激光系统包括沿光路设置的脉冲激光器、第一扩束单元、空间光调制器、第一振镜单元以及第一场镜，脉冲激光器以及第一振镜单元均与控制系统连接；控制空间光调制器以对脉冲激光进行调制，形成多束脉冲激光；调节脉冲激光系统中的第一振镜单元，以使得多束脉冲激光形成多交点阵列聚焦至待加工物体。本实施例通过脉冲激光和连续激光的配合来对待加工物体进行加工，有效提高加工效率和灵活性，有效改善了加工效果。
技术研发人员：肖海兵
受保护的技术使用者：深圳信息职业技术学院
技术研发日：2019.04.30
技术公布日：2019.07.19