衰减器装置及激光加工装置的制作方法

本公开的一个方式涉及一种衰减器装置及激光加工装置。

背景技术：

1、作为使激光衰减的衰减器，例如有专利文献1中所记载的。专利文献1中所记载的衰减器具备以与光轴形成布鲁斯特角的方式配置成v字状的一对窗口。在这样配置的窗口的表面，p偏振光分量大致100％透过，另一方面，s偏振光分量仅透过50％左右。因此，通过使激光通过一对窗口所具有的共计4个表面，从而可以去除s偏振光分量的大部分来使激光衰减。另外，通过使一对窗口绕光轴旋转，从而可以使透过分量的比例变化，来使激光的衰减率变化。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国专利3655268号公报

技术实现思路

1、发明想要解决的技术问题

2、考虑将如上述的衰减器应用于例如激光加工装置。在激光加工装置中，若由加工对象物反射的激光在传送路径中逆行而返回激光振荡器，则会成为振荡器的破损或振荡输出的不稳定化的原因。因此，追求抑制这样的返回光。

3、本公开的一个方式的目的在于提供一种可使激光适宜地衰减、且可抑制返回光的衰减器装置、及具备这样的衰减器装置的激光加工装置。

4、解决问题的技术手段

5、本公开的一个方式的衰减器装置具备：第1窗口对，其具有供激光沿着光轴入射的一对第1窗口，且一对第1窗口各自包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面，一对第1窗口的一方的一对第1表面相对于光轴，朝一对第1窗口的另一方的一对第1表面的相反侧倾斜；旋转保持部，其以第1窗口对可绕光轴旋转的方式保持第1窗口对；第2窗口对，其具有一对第2窗口，且一对第2窗口各自包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面，一对第2窗口的一方的一对第2表面相对于光轴，朝一对第2窗口的另一方的一对第2表面的相反侧倾斜；及λ/4相位元件，其以供激光依次通过第1窗口对及第2窗口对之后而入射的方式配置，在将激光的波长设为λ时，对与光学轴平行的偏振光分量和与光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差，第2窗口对以如下方式配置，即：从与光轴平行的方向观察的情况下，透过第2窗口对的p偏振光分量的振动方向相对于λ/4相位元件的光学轴倾斜45度。

6、在该衰减器装置中，激光通过一对第1窗口及一对第2窗口。各第1窗口包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面，各第2窗口包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面。因此，激光通过以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的共计8个表面。由此，可使激光衰减。另外，通过旋转保持部而第1窗口对可绕光轴旋转地被保持。由此，通过使第1窗口对旋转，而可使激光的衰减率变化。特别是，在该衰减器装置中，由于激光在共计8个表面被衰减，因此可较大地确保衰减范围，从而可使衰减率较大地变化。另外，依次通过第1窗口对及第2窗口对的激光入射至λ/4相位元件，该λ/4相位元件对与光学轴平行的偏振光分量和与光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差。此处，第2窗口对以如下方式配置，即：在从与光轴平行的方向观察的情况下，透过第2窗口对的p偏振光分量的振动方向相对于λ/4相位元件的光学轴倾斜45度。由此，第2窗口对及λ/4相位元件可作为隔离器发挥功能，而可去除返回光。因此，根据该衰减器装置，可使激光适宜地衰减，且可抑制返回光。

7、也可以为，第1窗口对、旋转保持部及第2窗口对彼此固定而构成1个单元。该情况下，可将衰减器装置的操作容易化。

8、也可以为，第1窗口对及第2窗口对配置于1个框体内。该情况下，可将衰减器装置的操作更加容易化。另外，可将由第1窗口对及第2窗口对反射的激光保留于框体内。

9、也可以为，在框体设置散热构造。该情况下，可将因由第1窗口对及第2窗口对反射的激光而产生的热有效地散热。

10、本公开的一个方式的衰减器装置，也可以为，还具备控制部，该控制部以第1窗口对的旋转角度成为与目标强度相应的旋转角度的方式，对旋转保持部进行控制。该情况下，可将激光的衰减率调整成与目标强度相应的衰减率。

11、也可以为，控制部基于第1窗口对的旋转角度与第1窗口对及第2窗口对所致的激光的衰减率的关系，以第1窗口对的旋转角度成为与目标强度相应的旋转角度的方式对旋转保持部进行控制。该情况下，可将激光的衰减率可靠地调整成与目标强度相应的衰减率。

12、本公开的一个方式的激光加工装置具备输出激光的光源、及上述衰减器装置。根据该激光加工装置，通过上述的理由，可使激光适宜地衰减，且可抑制返回光。

13、发明的效果

14、根据本公开的一个方式，可提供一种可使激光适宜地衰减、且可抑制返回光的衰减器装置及激光加工装置。

技术特征：

1.一种衰减器装置，其中，

2.如权利要求1所述的衰减器装置，其中，

3.如权利要求1或2所述的衰减器装置，其中，

4.如权利要求3所述的衰减器装置，其中，

5.如权利要求1至4中任一项所述的衰减器装置，其中，

6.如权利要求5所述的衰减器装置，其中，

7.一种激光加工装置，其中，

技术总结
本发明的衰减器装置具备：第1窗口对，其具有一对第1窗口，该一对第1窗口包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面；旋转保持部，其将第1窗口对以第1窗口对可绕光轴旋转的方式保持；第2窗口对，其具有一对第2窗口，该一对第2窗口包含以在与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面；及λ/4相位元件，其当激光的波长设为λ时，对与光学轴平行的偏振光分量和与光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差。第2窗口对以如下方式配置，即：从在与光轴平行的方向观察的情况下，透过第2窗口对的P偏振光分量的振动方向相对于λ/4相位元件的光学轴倾斜45度。

技术研发人员：伊藤晴康
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12