1.本发明属于氧化铟锡防着板生产技术领域，具体涉及一种氧化铟锡防着板表面处理方法。
背景技术：
2.氧化铟锡(ito，或者掺锡氧化铟)是一种铟(ⅲ族)氧化物(in2o3)and锡(iv族)氧化物(sno2)的混合物，通常质量比为90％in2o3，10％sno2。它在薄膜状时，为透明无色。在块状态时，它呈黄偏灰色，氧化铟锡主要的特性是其电学传导和光学透明的组合，大多运用在制作防着板上，ito主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸等应用、有机发光二极管、以及太阳能电池、和抗静电镀膜还有emi屏蔽的透明传导镀膜。ito也被用于各种光学镀膜，最值得注意的有建筑学中红外线-反射镀膜(热镜)、汽车，还有钠蒸气灯玻璃等。别的应用包括气体传感器、抗反射膜、和用于vcsel激光器的布拉格反射器。
3.在对如待加工液晶面板等基件进行溅镀时，为保证溅镀的精确度与效率，通常在溅镀机真空腔内设有氧化铟锡防着板，以避免靶材原子弹出而堆积在真空腔壁及非溅镀目标区域。氧化铟锡防着板平面度及平行度两项参数直接关系着防着板的沉积能力，进而影响靶材溅射过程中的易清洁度和成膜率，因此需要对氧化铟锡防着板的表面进行处理，现有技术进行氧化铟锡防着板生产时，往往采用刀具切削与时效处理相结合的方式进行氧化铟锡防着板表面加工处理以释放应力，虽然时效时间短、效率高，但相比自然时效应力释放不彻底，依然会影响产品的平行度及平面度。
技术实现要素：
4.针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种氧化铟锡防着板表面处理方法，解决了相比自然时效应力释放不彻底，依然会影响产品的平行度及平面度的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种氧化铟锡防着板表面处理方法，包括以下步骤：
6.s1：氧化铟锡毛坯板处理：取氧化铟锡毛坯板放置在切割机的顶部，然后根据所需制作的防着板的尺寸，对氧化铟锡毛坯板进行切割，得到待加工板。
7.s2：待加工板校正：将待加工板放置在压力机的内部，对待加工板施加压强进行一次校正。
8.s3：防着面粗铣加工：将一次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行粗铣加工，粗铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行二次校正。
9.s4：防着面精铣加工：将二次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行精铣加工，精铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行三次校正。
10.s5：防着面结构加工：对待加工板的防着面进行刻蚀处理，使防着面需要溅镀砂粒的位置呈凹凸状，方便后期进行喷砂处理时更好的让砂粒附着，刻蚀完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过加工的防着面进行四次校正。
11.s6：喷砂熔射处理：使用喷砂机对待加工板的防着面进行喷砂处理，使砂粒附着在防着面，然后通过热喷涂机对进行喷砂处理后的防着面进行熔射处理，待防着板冷却后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过喷砂熔射处理的防着面进行五次校正，得到氧化铟锡防着板成品。
12.优选的，所述s1氧化铟锡毛坯板处理步骤中切割机所切割出的待加工板的规格尺寸大于所需制作的防着板的尺寸0.5-1mm。
13.优选的，所述s2待加工板校正步骤中压力机为4000吨油压校正，且对待加工板施加的压力为2-5兆帕，施压的时间为1-2分钟。
14.优选的，所述s3防着面粗铣加工步骤中的吃刀量在0.3mm～0.8mm的范围内。
15.优选的，所述s4防着面精铣加工步骤中分三次进行精铣，且三次精铣的吃刀量均在0.05mm～0.08mm的范围内，且三次铣刀的转速均在2000-3000r/min。
16.优选的，所述s6喷砂熔射处理步骤中喷砂处理的砂粒材料为氧化铝，且砂粒重量为0.8千克。
17.优选的，所述s6喷砂熔射处理步骤中熔射处理的温度控制在800-2500摄氏度，熔射距离为3～20cm。
18.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
19.1、通过对防着板表面进行刻蚀凹槽，使得防着板表面粗糙化；将表面凹凸的防着板表面进行喷砂处理，可以使得防着板表面形成均匀的粗糙度；将喷砂后的防着板表面进行熔射处理，除了形成更均匀的粗糙度之外，还增加了防着板的耐腐蚀性。在光滑的防着板的表面进行图案化、喷砂和熔射处理后，达到防腐蚀、防锈、耐磨、润滑、表面粗糙化、吸附、绝缘、绝热等目的，同样可以使得防着板的防着面达到均匀的粗糙度；使得防着板更加容易吸附靶材原子或大尺寸的颗粒，使其不掉落在基片上，从而增加了防着板的沉淀能力，提高溅射机内壁清洁度；提高了溅镀的成膜率；延长了防着板的使用寿命。
20.2、通过对氧化铟锡防着板的加工部位进行多次校正，且校正周期短，氧化铟锡防着板使得应力释放完全，能保证产品加工后的平行度与平面度保持一致性与稳定性，提高防着板加工效率，符合生产要求。
具体实施方式
21.下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
22.实施例一：
23.本发明提供一种技术方案：一种氧化铟锡防着板表面处理方法，包括以下步骤：
24.s1：氧化铟锡毛坯板处理：取氧化铟锡毛坯板放置在切割机的顶部，然后根据所需制作的防着板的尺寸，对氧化铟锡毛坯板进行切割，得到待加工板，切割机所切割出的待加
工板的规格尺寸大于所需制作的防着板的尺寸0.5mm。
25.s2：待加工板校正：将待加工板放置在压力机的内部，对待加工板施加压强进行一次校正，压力机为4000吨油压校正，且对待加工板施加的压力为2兆帕，施压的时间为1分钟。
26.s3：防着面粗铣加工：将一次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行粗铣加工，吃刀量在0.3mm的范围内，粗铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行二次校正。
27.s4：防着面精铣加工：将二次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行精铣加工，精铣加工步骤中分三次进行精铣，且三次精铣的吃刀量分别为0.05mm、0.08mm、0.07mm，且三次铣刀的转速均在2000r/min，精铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行三次校正。
28.s5：防着面结构加工：对待加工板的防着面进行刻蚀处理，使防着面需要溅镀砂粒的位置呈凹凸状，方便后期进行喷砂处理时更好的让砂粒附着，刻蚀完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过加工的防着面进行四次校正。
29.s6：喷砂熔射处理：使用喷砂机对待加工板的防着面进行喷砂处理，使砂粒附着在防着面，喷砂处理的砂粒材料为氧化铝，且砂粒重量为0.8千克，然后通过热喷涂机对进行喷砂处理后的防着面进行熔射处理，熔射处理的温度控制在2000摄氏度，熔射距离为3cm，待防着板冷却后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过喷砂熔射处理的防着面进行五次校正，得到氧化铟锡防着板成品。
30.实施例二：
31.本发明提供一种技术方案：一种氧化铟锡防着板表面处理方法，包括以下步骤：
32.s1：氧化铟锡毛坯板处理：取氧化铟锡毛坯板放置在切割机的顶部，然后根据所需制作的防着板的尺寸，对氧化铟锡毛坯板进行切割，得到待加工板，切割机所切割出的待加工板的规格尺寸大于所需制作的防着板的尺寸0.5mm。
33.s2：待加工板校正：将待加工板放置在压力机的内部，对待加工板施加压强进行一次校正，压力机为4000吨油压校正，且对待加工板施加的压力为2兆帕，施压的时间为2分钟。
34.s3：防着面粗铣加工：将一次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行粗铣加工，吃刀量在0.3mm～0.8mm的范围内，粗铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行二次校正。
35.s4：防着面精铣加工：将二次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行精铣加工，精铣加工步骤中分三次进行精铣，且三次精铣的吃刀量分别为0.08mm、0.08mm、0.06mm，且三次铣刀的转速均在2500r/min，精铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行三次校正。
36.s5：防着面结构加工：对待加工板的防着面进行刻蚀处理，使防着面需要溅镀砂粒的位置呈凹凸状，方便后期进行喷砂处理时更好的让砂粒附着，刻蚀完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过加工的防着面进行四次校正。
37.s6：喷砂熔射处理：使用喷砂机对待加工板的防着面进行喷砂处理，使砂粒附着在防着面，喷砂处理的砂粒材料为氧化铝，且砂粒重量为0.8千克，然后通过热喷涂机对进行
喷砂处理后的防着面进行熔射处理，熔射处理的温度控制在1500摄氏度，熔射距离为6cm，待防着板冷却后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过喷砂熔射处理的防着面进行五次校正，得到氧化铟锡防着板成品。
38.实施例三：
39.本发明提供一种技术方案：一种氧化铟锡防着板表面处理方法，包括以下步骤：
40.s1：氧化铟锡毛坯板处理：取氧化铟锡毛坯板放置在切割机的顶部，然后根据所需制作的防着板的尺寸，对氧化铟锡毛坯板进行切割，得到待加工板，切割机所切割出的待加工板的规格尺寸大于所需制作的防着板的尺寸1mm。
41.s2：待加工板校正：将待加工板放置在压力机的内部，对待加工板施加压强进行一次校正，压力机为4000吨油压校正，且对待加工板施加的压力为5兆帕，施压的时间为1分钟。
42.s3：防着面粗铣加工：将一次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行粗铣加工，吃刀量在0.8mm的范围内，粗铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行二次校正。
43.s4：防着面精铣加工：将二次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行精铣加工，精铣加工步骤中分三次进行精铣，且三次精铣的吃刀量分别为0.65mm、0.65mm、0.07mm，且三次铣刀的转速均在2000r/min，精铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行三次校正。
44.s5：防着面结构加工：对待加工板的防着面进行刻蚀处理，使防着面需要溅镀砂粒的位置呈凹凸状，方便后期进行喷砂处理时更好的让砂粒附着，刻蚀完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过加工的防着面进行四次校正。
45.s6：喷砂熔射处理：使用喷砂机对待加工板的防着面进行喷砂处理，使砂粒附着在防着面，喷砂处理的砂粒材料为氧化铝，且砂粒重量为0.8千克，然后通过热喷涂机对进行喷砂处理后的防着面进行熔射处理，熔射处理的温度控制在1500摄氏度，熔射距离为3cm，待防着板冷却后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过喷砂熔射处理的防着面进行五次校正，得到氧化铟锡防着板成品。
46.实施例四：
47.本发明提供一种技术方案：一种氧化铟锡防着板表面处理方法，包括以下步骤：
48.s1：氧化铟锡毛坯板处理：取氧化铟锡毛坯板放置在切割机的顶部，然后根据所需制作的防着板的尺寸，对氧化铟锡毛坯板进行切割，得到待加工板，切割机所切割出的待加工板的规格尺寸大于所需制作的防着板的尺寸1mm。
49.s2：待加工板校正：将待加工板放置在压力机的内部，对待加工板施加压强进行一次校正，压力机为4000吨油压校正，且对待加工板施加的压力为2兆帕，施压的时间为2分钟。
50.s3：防着面粗铣加工：将一次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行粗铣加工，吃刀量在0.8mm的范围内，粗铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行二次校正。
51.s4：防着面精铣加工：将二次校正完毕的待加工板放置在铣床的内部，对待加工板的防着面进行精铣加工，精铣加工步骤中分三次进行精铣，且三次精铣的吃刀量分别为
0.75mm、0.75mm、0.05mm，且三次铣刀的转速均在3000r/min，精铣完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过粗铣的防着面进行三次校正。
52.s5：防着面结构加工：对待加工板的防着面进行刻蚀处理，使防着面需要溅镀砂粒的位置呈凹凸状，方便后期进行喷砂处理时更好的让砂粒附着，刻蚀完毕后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过加工的防着面进行四次校正。
53.s6：喷砂熔射处理：使用喷砂机对待加工板的防着面进行喷砂处理，使砂粒附着在防着面，喷砂处理的砂粒材料为氧化铝，且砂粒重量为0.8千克，然后通过热喷涂机对进行喷砂处理后的防着面进行熔射处理，熔射处理的温度控制在2500摄氏度，熔射距离为20cm，待防着板冷却后将待加工板再次放置在压力机的内部，对经过喷砂熔射处理的防着面进行五次校正，得到氧化铟锡防着板成品。
54.上述实施方案中，通过对防着板表面进行刻蚀凹槽，使得防着板表面粗糙化；将表面凹凸的防着板表面进行喷砂处理，可以使得防着板表面形成均匀的粗糙度；将喷砂后的防着板表面进行熔射处理，除了形成更均匀的粗糙度之外，还增加了防着板的耐腐蚀性。在光滑的防着板的表面进行图案化、喷砂和熔射处理后，达到防腐蚀、防锈、耐磨、润滑、表面粗糙化、吸附、绝缘、绝热等目的，同样可以使得防着板的防着面达到均匀的粗糙度；使得防着板更加容易吸附靶材原子或大尺寸的颗粒，使其不掉落在基片上，从而增加了防着板的沉淀能力，提高溅射机内壁清洁度；提高了溅镀的成膜率；延长了防着板的使用寿命，通过对氧化铟锡防着板的加工部位进行多次校正，且校正周期短，氧化铟锡防着板使得应力释放完全，能保证产品加工后的平行度与平面度保持一致性与稳定性，提高防着板加工效率，符合生产要求。尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。