放电加工装置的制作方法

本发明是有关于一种加工装置，特别是有关于一种放电加工装置。

背景技术：

1、随着半导体产业蓬勃发展，放电加工技术已常见用于加工处理晶锭或晶圆。放电加工(electrical discharge machining，edm)是一种借由放电产生火花，使待加工物成为所需形状的一种制造工艺。介电材料分隔两电极并施以电压，产生周期性快速变化的电流放电，用以加工上述之待加工物。放电加工技术采用两个电极，其中一个电极称为工具电极，或称为放电电极，另一个电极则称为工件电极，连接上述之待加工物。在放电加工的过程中，放电电极和工件电极间不会有实际的接触。

2、当两个电极间的电位差增大时，两电极之间的电场亦会增大，直到电场强度高过介电强度，此时会发生介电崩溃，电流流过两电极，并去除部分材料。当电流停止时，新的介电材料会流到电极间的电场，排除上述的部分材料，并重新提供介电质绝缘效果。在电流流过之后，两电极间的电位差会回到介电崩溃之前，如此可以重复进行新一次的介电崩溃。

3、然而，现有放电加工技术的缺点在于，其切割面的粗糙度不佳，且切割面上具有相当多表面裂缝，甚至会沿着非切割方向延伸，导致非预期方向的破裂效果。而且，现有的放电加工技术在进行例如晶锭切割时，都是使用治具夹持晶锭的周缘，亦即径向夹持晶锭的侧边，以防止滚动或位移。然而，由于晶锭的切割面也是位在径向上，因此传统技术仅能切割暴露在治具外侧的晶锭，无法切割治具与晶锭重迭之区域，所以传统技术需要停机并重新调整位置后，才能再次切割。此外，现有的放电加工技术一次仅能切割或薄化一片晶圆，速度相当缓慢。再者，现有的放电加工技术都是只使用单一条切割线，再加上现有的放电加工装置并无快拆式设计，若切割线意外断裂，则需要停机且花费相当多时间始能完成更换。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明之一或多个目的就是在提供一种放电加工装置，以解决上述习知技艺之诸多问题。

2、为达前述目的，本发明提出一种放电加工装置，至少包含：一载台，用以承载至少一待加工物；以及一放电加工单元，用以沿着一加工行进方向对该载台上之该待加工物之复数个加工目标区进行一放电加工程序，该放电加工单元包含：复数个电极，该复数个电极沿着一第一方向平行分布；一治具，该治具由至少两承载构件及至少两固持构件分别对应组接而成，该复数个电极之两侧分别抵靠于该两承载构件上，使得该复数个电极之一放电区段呈悬空状态；以及一供电单元，该供电单元在该放电加工程序中提供一第一电源予该复数个电极及该待加工物，用以经由该复数个电极之该放电区段施加一放电能量予该待加工物之该复数个加工目标区，其中该放电加工单元沿着该加工行进方向进行该放电加工程序时，该复数个电极之该放电区段与该待加工物之该复数个加工目标区沿着一第二方向呈相对移动。

3、其中，该复数个电极之该放电区段与该待加工物之该复数个加工目标区沿着该第二方向呈往复式或循环式相对移动。

4、其中，该两承载构件及该两固持构件与该复数个电极一起往复式或循环式运动，使得该复数个电极以该放电区段施加该放电能量予该待加工物。

5、其中，该放电加工单元借由使得该两承载构件或该两固持构件产生相对位移而调整该复数个电极之张力值。

6、其中，放电加工装置还包含一稳定构件，用以稳定该复数个电极相对于该待加工物之移动。

7、其中，该复数个电极同时沿着该第一方向及一第三方向平行分布，该第三方向垂直于该第一方向或该第二方向。

8、其中，沿着该第一方向平行分布之该复数个电极以不相同之数量沿着该第三方向平行分布。

9、其中，该复数个电极沿着该第一方向平行分布于不同高度。

10、其中，该复数个电极相互接触。

11、其中，该放电加工单元具有一连接结构，且该连接结构沿着该第一方向延伸以连接沿着该第一方向平行分布之该复数个电极。

12、其中，该复数个电极为线状或板状。

13、其中，该复数个电极的横向截面为非对称形状。

14、其中，该供电单元为一组电源输出或复数组电源输出。

15、其中，该供电单元串联式或并联式电性连接该复数个电极。

16、其中，该载台沿着该第一方向、该第二方向或者该加工行进方向移动。

17、其中，该载台以该第一方向、该第二方向或该加工行进方向为轴心进行旋转。

18、其中，该放电加工装置还包含一排渣单元，该放电加工单元对该待加工物进行该放电加工程序时，该排渣单元提供一外力排除该复数个电极对该待加工物施加该放电能量所产生之残渣。

19、其中，该放电加工装置还包含一排渣单元，该放电加工单元对该待加工物进行该放电加工程序时，该排渣单元提供复数个外力分别排除该复数个电极对该待加工物施加该放电能量所产生之残渣。

20、其中，该排渣单元为一超音波产生器或一压电震荡器，使该治具、该待加工物及该复数个电极产生震荡。

21、其中，该放电加工装置还包含一张力量测单元，用于量测该复数个电极的张力值。

22、其中，该放电加工装置还包含一振动量测单元，用于量测该复数个电极的振动值。

23、其中，该放电加工单元之该供电单元还包含提供一第二电源予该复数个电极，借以提供一直流电源或一射频予该复数个电极。

24、其中，该待加工物具有一平面区域，并以该平面区域与该载台连接。

25、其中，该载台还包含一夹持件，用以固定该待加工物。

26、其中，该载台或该夹持件以一黏胶连接该待加工物。

27、其中，该黏胶为导电胶。

28、其中，该放电加工单元沿着该加工行进方向对该载台上之该待加工物连同该夹持件进行该放电加工程序。

29、其中，该夹持件夹持一缓冲构件，且该缓冲构件经由一导电胶层固定该待加工物，该放电加工单元沿着该加工行进方向对该载台上之该待加工物进行该放电加工程序。

30、其中，该夹持件经由夹持一导电框以固定该待加工物，该放电加工单元沿着该加工行进方向对该载台上之该待加工物进行该放电加工程序。

31、其中，该夹持件包含两板体，该两板体之至少一者为梳状板。

32、其中，该夹持件轴向撑抵该待加工物之单侧，该放电能量于该待加工物之该加工目标区所形成之一加工沟槽借由一黏胶黏固该加工沟槽之两槽壁。

33、其中，该放电能量于该待加工物之该加工目标区形成一加工沟槽，该加工沟槽中填充有一填充材料。

34、其中，该两承载构件分别为板型结构或套筒结构。

35、其中，该两承载构件分别包含一第一片材及一第二片材，且该复数个电极夹固于该第一片材与该第二片材之间。

36、其中，该两承载构件分别具有一穿槽，该两固持构件分别具有对应于该穿槽之一凸块，该两承载构件以该穿槽对应组接该两固持构件之该凸块。

37、其中，该两承载构件分别具有一通孔，该两固持构件分别具有一螺孔，其中该两承载构件借由一螺栓穿过该通孔以螺接该两固持构件之该螺孔。

38、其中，该两固持构件分别具有一沟槽结构，该两承载构件插入于该两固持构件之该沟槽结构中，借以对应组接于该两固持构件上。

39、其中，该两固持构件分别具有一导电结构，借以电性连接抵靠于该两承载构件上之该复数个电极。

40、其中，该两固持构件同时固定该两承载构件及该复数个电极。

41、其中，该复数个电极间设有一绝缘结构，用以避免该复数个电极彼此电性接触。

42、其中，该两承载构件具有复数个限位槽，用以限位该复数个电极。

43、其中，该复数个电极以黏胶固定于该复数个限位槽中。

44、其中，该放电加工单元还包含一接附构件，该接附构件于该两承载构件之边缘与该复数个电极连接。

45、其中，该接附构件电性连接该供电单元之该第一电源或一第二电源。

46、其中，该复数个电极之头尾两端分别连接至该两承载构件之同一者或不同者。

47、其中，该两承载构件之边缘具有导角。

48、其中，该复数个电极沿着该第一方向等距平行分布。

49、其中，该复数个电极之间经由一导电结构彼此连接，借以电性连接该供电单元。

50、其中，该载台所承载之该待加工物为半导体晶锭或晶圆。

51、其中，该放电加工装置于该放电加工程序中循序或同时切割或磨抛该载台所承载之该待加工物。

52、其中，放电加工装置还包含一雷射单元，用以于进行该放电加工程序前、中或后提供一热源予该待加工物。

53、其中，该待加工物由复数个工件电性黏接而成。

54、承上所述，依本发明之放电加工装置，具有以下优点：

55、(1)借由多层式电极，可有效解决单条电极断裂就必须停机更换的问题。

56、(2)治具由至少两承载构件及至少两固持构件分别对应组接而成，借由快拆式设计可大幅减少更换电极所需时间，还可调整放电电极之张力。

57、(3)借由平行分布之电极，可同时切割或磨抛多个加工目标区，有效节省整体加工时间。

58、(4)稳定构件可减少电极产生抖动，还能提供导引效果，并可作为电接点使用。

59、(5)排渣单元可针对提供一或多个加工目标区提供外力，帮助排除放电加工程序所产生之残渣。

60、(6)夹持件具有多种夹持态样，可有效解决传统放电加工技术无法切割治具与待加工物重迭区域之问题。

61、兹为使钧审对本发明的技术特征及所能达到的技术功效有更进一步的了解与认识，谨佐以较佳的实施例及配合详细的说明如后。