一种交叉孔加工方法与流程

本发明涉及金属零件加工，尤其涉及一种交叉孔加工方法。

背景技术：

1、在半导体设备中，需要一种用于cvd(化学气象沉积)工艺中气体分流的金属器件，该器件主要作用为将cvd工艺中所需要的气体，均匀的分布到晶圆面，该金属器件内设置有横纵交错的管道，横纵管道相交处的拐角上会因钻孔加工而留有毛刺，管道中的每一个毛刺都会影响气流的走向，最终影响出气的均匀性，导致晶圆镀膜不良；另外若管道存在毛刺，如果掉落到晶圆，也将造成晶圆的报废。

2、现有最好技术为磨粒流加工，制作专用的治具，用专用的磨粒流设备，对孔内进行抛光处理，但是磨粒流内的磨料带有油泥，油泥会残留在管道内，导致金属器件的洁净度降低，进一步增加加工误差，如果使用毛刷进行简单的清洗，内壁上顽固的毛刺也就无法进行清理，另外如果通过超声波方式清理，超声波可以会直接破坏金属零件本身。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种交叉孔加工方法，解决现有技术下交叉管道内的毛刺无法去除的问题。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：本发明提供一种交叉孔加工方法，包括以下步骤：

3、s1，对加工件本体使用钻头进行钻孔，形成至少一组第一通道和至少一组第二通道，第一通道和所有第二通道相连通，第二通道和所有第一通道相连通；

4、s2，将钻头再次伸入第一通道内进行空钻，打磨毛刺，钻头依次贯穿所有第一通道；

5、s3，将钻头再次伸入第二通道内进行空钻，打磨剩余毛刺，钻头依次贯穿所有第二通道。

6、作为优选地，所述交叉孔加工方法还包括以下步骤：

7、s4，打磨第一通道内的小毛刺；

8、s5，打磨第二通道内的小毛刺。

9、作为优选地，步骤s1中的所述第一通道和所述第二通道相互垂直。

10、作为优选地，步骤s1中的所述第一通道之间相互平行。

11、作为优选地，步骤s1中的所述第二通道之间相互平行。

12、作为优选地，所述加工件本体的材质为金属。

13、作为优选地，所述刷头前端包裹有砂纸，所述刷头前端能替换不同目数的砂纸。

14、有益效果：将加工件本体内部的第一通道和第二通道分别加工完成后，毛刺就会存留在第一通道和第二通道连通位置的拐角处，通过步骤s2，钻头再次进入第一通道内，可以将第一通道内的毛刺就会与钻头接触并未打磨掉，同时将部分毛刺挤入第二通道一侧，之后通过步骤s3再将钻头进入第二通道内进行空钻，此时第二通道内的毛刺就会与钻头接触，之后就会被钻头磨削下来，将毛刺从加工件本体上磨下。

技术特征：

1.一种交叉孔加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，所述交叉孔加工方法还包括以下步骤：

3.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，步骤s1中的所述第一通道(11)和所述第二通道(12)相互垂直。

4.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，步骤s1中的所述第一通道(11)之间相互平行。

5.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，步骤s1中的所述第二通道(12)之间相互平行。

6.根据权利要求1所述的交叉孔加工方法，其特征在于，所述加工件本体(1)的材质为金属。

7.根据权利要求2所述的交叉孔加工方法，其特征在于，所述刷头(3)前端包裹有砂纸，所述刷头(3)前端能替换不同目数的砂纸。

技术总结
本发明属于金属零件加工技术领域，公开了一种交叉孔加工方法。其中使用钻头对加工件本体上已经钻成的第一通道和第二通道再次进行钻探，可以使第一通道和第二通道交接处的毛刺被磨削下来；解决现有技术下交叉管道内的毛刺无法去除的问题。

技术研发人员：姚力军,潘杰,张林桥,昝小磊
受保护的技术使用者：宁波江丰芯创科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15