一种ITO膜蚀刻装置的制作方法

本技术涉及一种ito膜蚀刻装置，属于蚀刻装置。

背景技术：

1、ito薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性，它是液晶显示器（lcd）、等离子显示器（pdp）、电致发光显示器（el/oled）、触摸屏（touchpanel）、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料，在对其进行加工时，需要用到蚀刻装置。

2、现有的技术存在以下问题：

3、大部分的蚀刻装置在使用时，虽然具有除烟气功能，但是仍存在明显的缺陷，尤其是专利号cn209608970u所描述的蚀刻装置，虽然对烟气进行收集防污染，但是不能对烟气收集箱内的压强进行实时监测的功能，在收集烟气并在箱内压强过大时，难以保证设备运行时的稳定与安全。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种ito膜蚀刻装置。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种ito膜蚀刻装置，包括固定支架，所述固定支架的顶部固定连接有蚀刻机箱，所述蚀刻机箱的右端面固定连接有防护机箱，所述防护机箱的顶部连通有吸气管，所述吸气管的一端贯穿蚀刻机箱连通有吸气罩，所述吸气管的一侧固定连接有吸气风机，所述防护机箱的内侧设有储气箱，所述储气箱的上方与右方均连通有连接管，且位于上方的所述连接管通过螺纹螺旋连接于吸气管的另一端，两个所述连接管的一侧均固定连接有控制阀门，所述吸气管的内侧固定连接有气体单向阀门，所述防护机箱的前端面铰接有密封箱门。

3、优选的，所述防护机箱的右端面连通有固定机箱，且位于右方的所述连接管通过通气管连通于固定机箱。

4、优选的，所述固定机箱的底端面内侧固定连接有强力拉绳，所述强力拉绳的另一端固定连接有配重浮球。

5、优选的，所述固定机箱的顶端面内侧固定连接有轻触开关，所述防护机箱的前端面固定连接有警报器。

6、优选的，所述固定机箱的前端面内侧固定连接有透明观察窗，所述透明观察窗的一侧固定连接有刻度表。

7、优选的，所述防护机箱的一侧固定连接有控制器，且所述吸气风机与警报器均电性连接于控制器。

8、本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型通过设置的吸气风机、储气箱、配重浮球与警报器等，在使用时，进行蚀刻的过程中会产生烟气，由吸气风机、吸气管与吸气罩将烟气吸走，并排入储气箱内，降低了烟气污染，也保障了工作人员的身心健康免受危害，且随着气体储存量的增加，储气箱内部压强变大，而固定机箱内部压强小，气体通入固定机箱时，会出现浮球上升现象，查看刻度表上的读数以了解浮球上升的高度，从而准确了解储气箱内的压强大小，在压强过大时需要及时进行处理收集的烟气，避免发生意外事故，另外，在浮球上升至一定位置后并顶住轻触开关，可由警报器发出警报，说明箱内压强达到危险程度，可警醒人们及时处理储气箱内的烟气，综上，本实用新型在使用时，能够吸走蚀刻产生的烟气，并且随着烟气的收集，储气箱内部压强逐渐增大，还具备良好的警示功能，降低意外事故发生的几率的同时，也可及时警醒工作人员处理收集后的烟气，值得推广与使用。

技术特征：

1.一种ito膜蚀刻装置，包括固定支架（1），其特征在于：所述固定支架（1）的顶部固定连接有蚀刻机箱（2），所述蚀刻机箱（2）的右端面固定连接有防护机箱（3），所述防护机箱（3）的顶部连通有吸气管（4），所述吸气管（4）的一端贯穿蚀刻机箱（2）连通有吸气罩（5），所述吸气管（4）的一侧固定连接有吸气风机（6），所述防护机箱（3）的内侧设有储气箱（7），所述储气箱（7）的上方与右方均连通有连接管（8），且位于上方的所述连接管（8）通过螺纹螺旋连接于吸气管（4）的另一端，两个所述连接管（8）的一侧均固定连接有控制阀门（9），所述吸气管（4）的内侧固定连接有气体单向阀门（10），所述防护机箱（3）的前端面铰接有密封箱门（11）。

2.根据权利要求1所述的一种ito膜蚀刻装置，其特征在于：所述防护机箱（3）的右端面连通有固定机箱（12），且位于右方的所述连接管（8）通过通气管连通于固定机箱（12）。

3.根据权利要求2所述的一种ito膜蚀刻装置，其特征在于：所述固定机箱（12）的底端面内侧固定连接有强力拉绳（13），所述强力拉绳（13）的另一端固定连接有配重浮球（14）。

4.根据权利要求3所述的一种ito膜蚀刻装置，其特征在于：所述固定机箱（12）的顶端面内侧固定连接有轻触开关（15），所述防护机箱（3）的前端面固定连接有警报器（16）。

5.根据权利要求4所述的一种ito膜蚀刻装置，其特征在于：所述固定机箱（12）的前端面内侧固定连接有透明观察窗（17），所述透明观察窗（17）的一侧固定连接有刻度表（18）。

6.根据权利要求4所述的一种ito膜蚀刻装置，其特征在于：所述防护机箱（3）的一侧固定连接有控制器，且所述吸气风机（6）与警报器（16）均电性连接于控制器。

技术总结
本技术涉及蚀刻装置技术领域，特别涉及一种ITO膜蚀刻装置，包括固定支架，所述固定支架的顶部固定连接有蚀刻机箱，所述蚀刻机箱的右端面固定连接有防护机箱，所述防护机箱的顶部连通有吸气管，所述吸气管的一端贯穿蚀刻机箱连通有吸气罩，所述吸气管的一侧固定连接有吸气风机，所述防护机箱的内侧设有储气箱，所述储气箱的上方与右方均连通有连接管，且位于上方的所述连接管通过螺纹螺旋连接于吸气管的另一端，两个所述连接管的一侧均固定连接有控制阀门；本技术能够吸走蚀刻产生的烟气，并且随着烟气的收集，储气箱内部压强逐渐增大，还具备良好的警示功能，降低意外事故发生的几率的同时，也可及时警醒工作人员处理收集后的烟气。

技术研发人员：柯滔,周宇民
受保护的技术使用者：湖北博晶光显智能科技有限公司
技术研发日：20230206
技术公布日：2024/1/11