一种激光划片防尘防碎片的装置的制作方法

本技术涉及晶片加工设备，特别是涉及一种激光划片防尘防碎片的装置。

背景技术：

1、激光划片机是一种用于对晶片进行切割的设备。现有技术的激光划片机包括工作台，在工作台上侧设置有可旋转的载物台，在载物台的中部设置有切割盘，在工作台的一侧设置有激光发生器。当对晶片进行切割时，将待加工的晶片放置于载物台上，切割盘内侧产生负压，对待加工的晶片进行吸附，使其固定于载物台上侧。在切割过程中，在载物台上侧会产生碎片，当持续加工时，碎片会对待加工的晶片定位产生影响，而现有技术中，一般通过人工对载物台进行打扫，人工成本相对较大。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供一种激光划片防尘防碎片的装置，在工作时，当载物台旋转时，通过毛刷对载物台上的碎片进行清理，使得载物台能够保持干净，实现自动对载物台进行清扫，降低加工成本。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本申请实施例提供了一种激光划片防尘防碎片的装置，包括底座，在所述底座上固定设置有竖直的支撑臂，在所述支撑臂的一侧设置有沿竖直方向移动的升降机构，在所述升降机构的升降端连接有水平的支撑架，所述支撑架位于靠近载物台的一侧面，在所述支撑架远离所述升降机构的一端设置有毛刷；所述升降机构带动所述支撑架沿竖直方向移动时，所述毛刷能靠近或远离所述载物台。

5、优选的，所述升降机构包括升降块，所述升降块与所述支撑架连接，在所述支撑臂的一侧设置有竖直的导向板，所述导向板上、下两端分别固定有第一安装块和第二安装块，所述第一安装块位于所述第二安装块的上方；且所述第一安装块和第二安装块分别与所述支撑臂固定连接；所述升降块上开设有竖直的滑槽，所述导向板穿过所述滑槽；所述支撑臂上侧设置有带动所述升降块升降的驱动件。

6、优选的，所述驱动件包括气缸或油缸，所述气缸或油缸的活塞杆穿过所述第一安装块，且连接所述升降块；所述气缸或油缸的活塞杆与所述第一安装块滑动连接。

7、优选的，所述驱动件包括固定于所述支撑臂顶部的驱动电机，在所述第一安装块和所述第二安装块之间转动设置有丝杆，驱动电机的输出轴连接丝杆，且带动丝杆旋转；所述升降块上开设有竖直的螺纹孔，所述丝杆穿过所述螺纹孔，且与所述螺纹孔螺纹连接。

8、优选的，所述支撑架为伸缩架结构。

9、优选的，所述支撑架包括固定于所述升降块一侧的固定架，所述固定架形状为u形，所述固定架开口一侧位于远离所述升降块的一端，在所述固定架内侧开设有伸缩槽，所述伸缩槽内滑动连接有滑动板，所述滑动板远离所述升降块的一端固定连接所述毛刷；所述固定架外侧螺纹连接有锁定螺杆，所述锁定螺杆穿过所述固定架的一端位于所述伸缩槽内，当所述锁定螺杆旋紧时抵紧所述滑动板。

10、优选的，所述锁定螺杆间隔设置有多个。

11、(三)有益效果

12、本实用新型提供了一种激光划片防尘防碎片的装置，在上料时，当需要向载物台放置晶片时，控制升降机构带动支撑架上升，当工作时，控制升降机构带动支撑架下降，使毛刷靠近载物台，当载物台旋转时，通过毛刷对载物台上的碎片进行清理，使得载物台能够保持干净，实现自动对载物台进行清扫，降低加工成本。与此同时，通过设置的支撑架可调节毛刷的水平位置，方便对毛刷位置进行调节，使其适应不同尺寸的载物台。

技术特征：

1.一种激光划片防尘防碎片的装置，其特征在于：包括底座（100），在所述底座（100）上固定设置有竖直的支撑臂（200），在所述支撑臂（200）的一侧设置有沿竖直方向移动的升降机构（300），在所述升降机构（300）的升降端连接有水平的支撑架（400），所述支撑架（400）位于靠近载物台（600）的一侧面，在所述支撑架（400）远离所述升降机构（300）的一端设置有毛刷（500）；所述升降机构（300）带动所述支撑架（400）沿竖直方向移动时，所述毛刷（500）能靠近或远离所述载物台（600）。

2.根据权利要求1所述的一种激光划片防尘防碎片的装置，其特征在于：所述升降机构（300）包括升降块（310），所述升降块（310）与所述支撑架（400）连接，在所述支撑臂（200）的一侧设置有竖直的导向板（320），所述导向板（320）上、下两端分别固定有第一安装块（330）和第二安装块（340），所述第一安装块（330）位于所述第二安装块（340）的上方，且所述第一安装块（330）和第二安装块（340）分别与所述支撑臂（200）固定连接；

3.根据权利要求2所述的一种激光划片防尘防碎片的装置，其特征在于：所述驱动件（350）包括气缸或油缸（351），所述气缸或油缸（351）的活塞杆穿过所述第一安装块（330），且连接所述升降块（310）；所述气缸或油缸（351）的活塞杆与所述第一安装块（330）滑动连接。

4.根据权利要求2所述的一种激光划片防尘防碎片的装置，其特征在于：所述驱动件（350）包括固定于所述支撑臂（200）顶部的驱动电机（352），在所述第一安装块（330）和所述第二安装块（340）之间转动设置有丝杆（353），驱动电机（352）的输出轴连接丝杆（353），且带动丝杆（353）旋转；

5.根据权利要求1所述的一种激光划片防尘防碎片的装置，其特征在于：所述支撑架（400）为伸缩架结构。

6.根据权利要求2所述的一种激光划片防尘防碎片的装置，其特征在于：所述支撑架（400）包括固定于所述升降块（310）一侧的固定架（410），所述固定架（410）形状为u形，所述固定架（410）开口一侧位于远离所述升降块（310）的一端，在所述固定架（410）内侧开设有伸缩槽（411），所述伸缩槽（411）内滑动连接有滑动板（420），所述滑动板（420）远离所述升降块（310）的一端固定连接所述毛刷（500）；

7.根据权利要求6所述的一种激光划片防尘防碎片的装置，其特征在于：所述锁定螺杆（430）间隔设置有多个。

技术总结
本技术涉及晶片加工设备技术领域，特别是涉及一种激光划片防尘防碎片的装置，包括底座，在所述底座上固定设置有竖直的支撑臂，在所述支撑臂的一侧设置有沿竖直方向移动的升降机构，在所述升降机构的升降端连接有水平的支撑架，所述支撑架位于靠近载物台的一侧面，在所述支撑架远离所述升降机构的一端设置有毛刷；所述升降机构带动所述支撑架沿竖直方向移动时，所述毛刷能靠近或远离所述载物台。在工作时，当载物台旋转时，通过毛刷对载物台上的碎片进行清理，使得载物台能够保持干净，实现自动对载物台进行清扫，降低加工成本。

技术研发人员：贾健
受保护的技术使用者：扬州虹扬科技发展有限公司
技术研发日：20230627
技术公布日：2024/1/15