应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置。
【背景技术】
[0002]半导体WLCSP激光打标工艺中，激光刻蚀打印面，会产生大量的粉尘，粉尘因为自身重力会落在下方的激光镜头上，最终因为激光镜头被灰尘沾污不透光而造成打印异常。
[0003]为了解决上述的问题，目前惯常的做法是在激光镜头的两侧采用一面吹气，一面使用吸尘器吸附的方式进行除尘，此种方式取得了一定的效果，但是，一段时间后激光镜头上还是会集聚一部分灰尘，从而造成工艺不良及需频繁人工清洁，最终导致异常发生及设备利用率降低。
【实用新型内容】
[0004]在下文中给出关于本实用新型的简要概述，以便提供关于本实用新型的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本实用新型的穷举性概述。它并不是意图确定本实用新型的关键或重要部分，也不是意图限定本实用新型的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。
[0005]本实用新型的目的在于提供一种应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置。
[0006]本实用新型提供的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，包括设置于激光镜头上方的保护镜片，所述保护镜片上具有透光区，所述保护镜片的上方设置有电机，所述电机的转轴上连接有用于清扫所述透光区的刷头。
[0007]本实用新型提供的上述方案，设置了保护镜片，防止粉尘沉积在激光镜头上。另夕卜，在进行一段时间的打标作业后，驱动刷头转动来对保护镜片进行擦拭，使保护镜片的透光区具有良好的透光性，可以保证打标的顺利进行。
【附图说明】
[0008]参照下面结合附图对本实用新型实施例的说明，会更加容易地理解本实用新型的以上和其它目的、特点和优点。附图中的部件只是为了示出本实用新型的原理。在附图中，相同的或类似的技术特征或部件将采用相同或类似的附图标记来表示。
[0009]图1为本实用新型实施例提供的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置的结构示意图；
[0010]图2为本实用新型另一实施例提供的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置的结构示意图；
[0011]图3为本实用新型实施例提供的保护镜片的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面参照附图来说明本实用新型的实施例。在本实用新型的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚的目的，附图和说明中省略了与本实用新型无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。
[0013]图1为本实用新型实施例提供的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置的结构示意图。如图1所述，本实用新型实施例提供的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，包括设置于激光镜头I上方的保护镜片8，保护镜片8上具有透光区，保护镜片8的上方设置有电机5，电机5的转轴上连接有用于清扫透光区的刷头7。
[0014]其中，本文所指的透光区可以是实际形成于保护镜片8上的用于透光的区域，也可是通过虚拟划分的形式设置于保护镜片上，用于供激光穿透的区域。例如但不限于，保护镜片8上有一个或多个区域是透光的其余区域是不透光的。还可以是整个保护镜片8都是透光的，只是在工作的时候，激光穿过的区域定义为透光区。
[0015]本实用新型提供的上述方案，设置了保护镜片8，防止粉尘沉积在激光镜头上。另夕卜，在进行一段时间的打标作业后，驱动刷头7转动来对保护镜片8进行擦拭，使保护镜片8的透光区具有良好的透光性，可以保证打标的顺利进行，且提高了工作效率及设备利用率。
[0016]进一步地，基于上述实施例，刷头7上连接有第一吸尘管6，在刷头7转动进行除尘的过程中，采用抽吸装置通过第一吸尘管6来将刷头7刷起的尘物吸走，提高了清洁效果。
[0017]进一步地，基于上述实施例，刷头7连接有用于向保护镜片8喷洒清洁剂的喷头3，在刷头7转动进行除尘的过程中，可以通过喷头3喷出清洁剂来进行清洁，以提高清洁效果。清洁剂例如但不限于选用IPA(Iso-Propyl alcohol、异丙醇)。
[0018]进一步地，基于上述实施例，保护镜片8固定设置于激光镜头I的上方，电机5沿水平方向滑动设置于保护镜片8上方。采用此种结构，可以采用直线驱动装置来驱动电机5沿水平方向运动，在进行清洁时，水平驱动电机5使刷头7移动到透光区进行转动清洁，清洁结束后，水平驱动电机5使刷头7离开透光区，以进行接下来的刻蚀。其中，直线驱动装置可以但不限于为气缸4或电动推杆。
[0019]进一步地，基于上述实施例，保护镜片8上可仅设置有一个透光区，透光区正对激光镜头1，从激光镜头I射出的激光穿过透光区照射在打印标识的位置处。
[0020]进一步地，基于上述实施例，如图2、图3所示，保护镜片8转动设置于激光镜头I的上方，保护镜片8上具有多个透光区10，多个透光区10沿保护镜片8的转动轴线均匀设置，保护镜片8的上方设置有固定架11，电机5固定连接于固定架11上，刷头7与激光镜头I错位设置。本文所说的错位设置是指，刷头7与激光镜头11不再同一直线上，也即刷头7不会对激光镜头11进行遮挡。例如但不限于，保护镜片8上均与设置了三个透光区10，按逆时针方向依次为一号透光区、二号透光区和三号透光区。使用时，当一号透光区位于激光镜头I上方进行标识时，刷头7位于二号透光区，以对二号头管区进行清洁，待工作一段时间(例如是一片或多片芯片标识完成后)后，转动保护镜片8，使二号透光区位于激光镜头8上方，而三号透光区位于清洁位置，可由刷头7进行清洁。采用上述方式，可以提高工作效率。
[0021 ] 进一步地，基于上述实施例，保护镜片8的侧面设置有吹风管2和第二吸尘管9，吹风管2的出口和第二吸尘管9的吸口分置于保护镜片8的两侧，且正对设置。通过吹风管2来吹风，使粉尘悬浮在空中，防止粉尘沉积，并且，通过第二吸尘管9来吸除悬浮的粉尘，提高了除尘效果，保证了激光打标作业的正常进行。
[0022]最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
【主权项】
1.一种应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，包括设置于激光镜头上方的保护镜片，所述保护镜片上具有透光区，其特征在于，所述保护镜片的上方设置有电机，所述电机的转轴上连接有用于清扫所述透光区的刷头。
2.根据权利要求1所述的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，其特征在于，所述刷头上连接有第一吸尘管。
3.根据权利要求1所述的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，其特征在于，所述刷头连接有用于向所述保护镜片喷洒清洁剂的喷头。
4.根据权利要求1-3任一项所述的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，其特征在于，所述保护镜片固定设置于所述激光镜头的上方，所述电机沿水平方向滑动设置于所述保护镜片上方。
5.根据权利要求4所述的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，其特征在于，所述保护镜片上设置有一个所述透光区，所述透光区正对所述激光镜头。
6.根据权利要求4所述的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，其特征在于，所述保护镜片的侧面设置有吹风管和第二吸尘管，所述吹风管的出口和所述第二吸尘管的吸口分置于所述保护镜片的两侧，且正对设置。
7.根据权利要求1-3任一项所述的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，其特征在于，所述保护镜片转动设置于所述激光镜头的上方，所述保护镜片上具有多个透光区，多个所述透光区沿所述保护镜片的转动轴线均匀设置，所述保护镜片的上方设置有固定架，所述电机固定连接于所述固定架上，所述刷头与所述激光镜头错位设置。
8.根据权利要求7所述的应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，其特征在于，所述保护镜片的侧面设置有吹风管和第二吸尘管，所述吹风管的出口和所述第二吸尘管的吸口分置于所述保护镜片的两侧，且正对设置。
【专利摘要】本实用新型提供一种应用于激光打标工艺中的镜头防尘装置，包括设置于激光镜头上方的保护镜片，所述保护镜片上具有透光区，所述保护镜片的上方设置有电机，所述电机的转轴上连接有用于清扫所述透光区的刷头。本实用新型提供的上述方案，设置了保护镜片，防止粉尘沉积在激光镜头上。另外，在进行一段时间的打标作业后，驱动刷头转动来对保护镜片进行擦拭，使保护镜片的透光区具有良好的透光性，可以保证打标的顺利进行。
【IPC分类】B23K26-70, B23K26-362, B23K26-16
【公开号】CN204381668
【申请号】CN201420746011
【发明人】郭其俊, 秦乐
【申请人】南通富士通微电子股份有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2014年12月1日