专利名称：放电表面处理用电极及其制造方法
技术领域：
本发明涉及在放电表面处理中使用的放电表面处理用电极及其 制造方法，在该放电表面处理中，在具有导电性的电极和被加工物之 间产生脉冲状的放电，利用该脉沖状的放电能在被加工物表面上形成 由电极材料或电极材料利用放电能发生反应得到的物质构成的覆盖 膜。
背景技术：
在现有技术中，在利用金属粉末的挤压成形制造低电阻的成形体 时，把金属粉末和有机结合材料混合、混炼和挤压成形后，进行用来 分解除去有机结合材料和使金属粉末扩散结合的烧结处理。例如，在 堆焊用烧结体材料的制造方法中，把由金属或合金构成的粉末与有机 结合材料或无机结合材料混合，用挤压法成形后，进行烧结(例如， 参照专利文献l)。
在用这样的现有的挤压成形法制造放电表面处理用电极时，为了 实现放电表面处理用电极的低电阻化，必须利用烧结进行粒子的扩散 结合。
<专利文献1>日本特开2000-153392号^>才艮
发明内容
(发明要解决的问题)
但是，在上述的现有技术中，由于具有烧结工序而存在制造成本 高的问题。另外，在上述的现有技术中，存在烧结后的制品(成形体) 上产生裂紋的问题。
本发明正是鉴于上述情况而提出的，其目的在于获得可以廉价地提供高品质的放电表面处理用电极的放电表面处理用电极及其制造方 法。
(用来解决问题的手段) 为了解决上述问题，实现上述目的，根据本发明的放电表面处理
用电极的制造方法的特征在于包括对由金属粉末和绝缘性粉末中的 至少一种构成的第1电极用材料与由把导电性树脂溶解或分散到溶剂 中得到的导电性有机结合材料构成的第2电极用材料进行混炼，制作 浆液的混炼工序；使浆液成形而形成成形体的成形工序；以及在导电 性有机结合材料开始热分解的热分解开始温度以下的温度下，^使成形 体干燥的干燥工序。 (发明的效果)
根据本发明的放电表面处理用电极的制造方法，通过用导电性有 机结合材料作为结合材料，而具有无需进行烧结就能够以低成本制作 具有低电阻的放电表面处理用电极的效果，且具有能够制作不会发生 烧结导致的裂紋的高品质的放电表面处理用电极的效果。
图l是说明根据本发明的放电表面处理用电极的制造方法中的处 理步骤的概要的流程图。
图2是说明实施方式1中的放电表面处理用电极的制造方法中使 用的混炼挤压成形机的概略构成的剖面图。
图3-1是展示制作放电表面处理用电极时的浆液中包含的溶剂量 的重量比率与放电表面处理用电极的电阻率的关系的特性图。
图3-2是示出图3-1所示的测定结果的数值数据的图。
图4是用扫描型电子显微镜观察根据实施方式1的放电表面处理 用电极的内部结构时的示意图。
图5是示出放电表面处理装置的概略构成的示意图。
图6-l是示出放电表面处理时的放电脉冲条件的一例的图，是示 出^t电时的电极与工件之间施加的电压波形的图。图6-2是示出放电表面处理时的放电脉冲条件的一例的图，是示 出放电时流过的电流的电流波形的图。
图7-1是示出实施方式2中的实施例和比较例的放电表面处理用 电极的制作条件和电阻率的图。
图7-2是示出实施方式2中的实施例和比较例的放电表面处理用 电极的制作条件和电阻率的图。
图8-1是示出实施方式3中的实施例和比较例的放电表面处理用 电极的制作条件和电阻率的图。
图8-2是示出实施方式3中的实施例和比较例的放电表面处理用 电极的制作条件和电阻率的图。
图8-3是示出实施方式3中的实施例和比较例的放电表面处理用 电极的制作条件和电阻率的图。
图9是示意性地示出根据实施方式4的放电表面处理用电极中的 电阻率的测定位置的图。
图10是展示相对于钨铬钴合金(stellite )混合粉末的总重量的大 致球状的鴒铬钴合金粉末的混合比率与放电表面处理用电极的电阻率 的关系的特性图。
图11是展示相对于粉末的聚乙烯醇的添加量与放电表面处理用 电极的纵弹性模量和电阻率的关系的特性图。
图12是示出图11所示的测定结果的数值数据的图。
(附图标记i兌明)
1、混炼挤压成形机；11、外周容器；12、螺杆；13、投入口； 16、挤压口； 17、浆液；21、导电性有机结合材料；22、钨铬钴合金 粉末；23、空隙；301、电极；302、工件；303、加工液；304、放电 表面处理用电源；305、电弧柱
具体实施例方式
下面，基于附图详细说明根据本发明的放电表面处理用电极的制 造方法的实施方式。另外，本发明并不仅仅限于以下的描述，在不脱离本发明的主要构思的范围内可以进行适当变更。 实施方式1
首先，说明根据本发明的放电表面处理用电极的制造方法的概 要。图1是说明根据本发明的放电表面处理用电极的制造方法中的处 理步骤的概要的流程图。如图l所示，根据本发明的放电表面处理用
电极的制造方法包括对由金属粉末和绝缘性粉末中的至少一种构成 的第1电极用材料与由导电性有机结合材料构成的第2电极用材料进 行混炼而制作混炼材料(浆液)的混炼工序(步骤S110);使混炼材 料(浆液)成形而形成成形体的成形工序(步骤S120);以及在导电 性有机结合材料开始热分解的热分解开始温度以下的温度下，使成形 体干燥的干燥工序(步骤S130)。在本发明中，通过包括这些工序， 可以廉价地提供无裂紋的高品质的放电表面处理用电极。以下，参照 图l说明根据实施方式1的放电表面处理用电极的制造方法。按每个 工序详细说明放电表面处理用电极的制造方法。 (混炼工序)
在混炼工序中，对金属粉末和绝缘性粉末中的至少一种与把导电 性树脂溶解或分散到溶剂中得到的导电性有机结合材料进行混炼,制 作混炼材料(浆液)(步骤SllO)。
图2是说明实施方式1中的放电表面处理用电极的制造方法中使 用的混炼挤压成形机1的概略构成的剖面图。该混炼挤压成形机1具 有圆筒状的外周容器ll、以及与该外周容器11的内壁紧密相接地 旋转的、形成有螺旋状沟的螺杆12。
在该混炼挤压成形机1中，从投入口 13投入包含金属粉末和绝 缘性粉末中的至少一种的第1电极用材料、以及作为把导电性树脂溶 解或分散到溶剂中得到的导电性有机结合材料的第2电极用材料，并 使螺杆12旋转时，这些材料通过螺杆12的螺旋状沟向挤压方向(挤 压口 16的方向)送出。此时，4皮投入的第1电极用材料和第2电极用 材料被均匀地混合、混炼，制作浆液17。进而，浆液17通过螺杆12旋转而向挤压方向(挤压口 16的方 向)送出，从挤压口 16挤出。由此，浆液17被成形，形成具有llmm x5mm的矩形剖面形状的成形体(预制体)18。
在实施方式l中，作为第1电极用材料使用平均粒径3|im以下 的鳞片(phosphorus flake )状鴒铬钴合金粉末，在第2电极用材料中 作为液状的导电性有机结合材料使用加入了尿脘的聚瘗吩，把它们投 入图2所示的混炼挤压成形机1中。在此，第1电极用材料与第2电 极用材料的比率为，相对于第1电极用材料的体积，第2电极用材料 中的导电性树脂的体积的体积比率为5%以上。其中优选地，相对于 第1电极用材料的体积，第2电极用材料中的导电性树脂的体积的体 积比率为20%以上。这是因为，第1电极用材料的导电性低时导电性 树脂主要用作电气路径，所以导电性树脂的体积比率大是优选的。另 外，虽然在此使用的导电性有机结合材料是把导电性树脂溶解或分散
到溶剂中得到的结合材料，但有时除了导电性树脂之外还溶解或分散 而含有非导电性树脂。
接着，投入材料后，使混炼挤压成形机l内的螺杆12旋转，把 这些材料充分混炼，制成了浆液17。 (成形工序)
在成形工序中，使在混炼工序中制作的浆液成形而形成成形体 (步骤S120)。在实施方式1中，在混炼挤压成形机1中的浆液17 的制作之后，接着使该浆液成形而形成成形体。另外，在实施方式1 中，通过把混炼挤压成形机1的内部抽真空， 一边把浆液17中包含的 溶剂量(wty。)调整成各种各样的量， 一边用10MPa 100MPa的挤压 压力把浆液17挤压成形，得到了 100xllx5mm的成形体(预制体) 18。
(干燥工序)
在干燥工序中，在成形体中包含的导电性有机结合材料开始热分 解的热分解开始温度以下的温度下，使成形体干燥(步骤S130)。在 实施方式1中，在真空气氛中，在聚噻吩开始热分解的热分解开始温度以下的温度140。C下，对成形工序中得到的成形体(预制体)18进 行干燥、硬化，获得了放电表面处理用电极。干燥时间为2小时 4小 时。
接着，分析了如上所述地得到的放电表面处理用电极的电阻率特 性。图3-1是展示制作放电表面处理用电极时的浆液17中包含的溶剂 量的重量比率(wt%)与最终得到的放电表面处理用电极的电阻率 (Q cm)的关系的特性图。另外，图3-2是示出图3-1所示的测定 结果的数值数据的图。电阻率的测定利用四探针法进行。
从图3-1和图3-2看出，浆液17中包含的溶剂量的重量比率为 2wt。/o 50wt。/。时，获得具有1.0xl02 cm)左右以下的低电阻的
放电表面处理用电极。考虑这是因为，通过使用导电性有机结合材料 作为结合材料，在放电表面处理用电极内利用导电性有机结合材料形 成了良好的电气路径。
因此，根据本实施方式的放电表面处理用电极的制造方法，通过 用导电性有机结合材料作为放电表面处理用电极材料的结合材料，不 进行利用烧结的粒子的扩散结合，获得具有低电阻的放电表面处理用 电极。另外，由于在放电表面处理用电极的制造工序中不进行烧结， 所以不会有实施烧结导致的成本上升，廉价地获得低电阻的放电表面 处理用电极。另外，由于在放电表面处理用电极的制造工序中不进行 烧结，所以不会产生烧结导致的放电表面处理用电极的裂紋，获得高 品质的放电表面处理用电极。
另外，从图3-1和图3-2看出，浆液17中包含的溶剂量的重量比 率为2wt% 50wt°/o时，与浆液17中包含的溶剂量的重量比率不到 2wt。/。或大于50wt。/。时相比，放电表面处理用电极的电阻率降低两位 以上(下降到1/100以下)，获得具有低电阻的放电表面处理用电极。
在此，考虑是因为随着浆液17中包含的溶剂量减少，放电表面 处理用电极内的导电性有机结合材料的电气路径断裂，整个放电表面 处理用电极的电阻率升高。如果浆液17中包含的溶剂量的重量比率不 到2wt%，则这样的倾向尤其显著。另一方面，随着浆液17中包含的溶剂量增多，由于溶剂而导致 难以维持挤压成形后的成形体(预制体)18的形状。另外，随着浆液 17中包含的溶剂量增多，在使成形体(预制体)18干燥时该成形体(预 制体)18收缩得多，难以维持成形体的形状。在浆液17中包含的溶 剂量的重量比率不到2wt。/。或大于50wt。/。时，则这样的倾向变得显著。
因此，从这些看出，为了维持放电表面处理用电极内的导电性有 机结合材料的电气连接和维持放电表面处理用电极的形状，对挤压成 形时的浆液17中包含的溶剂量进行管理是重要的。即，可以看出，为 了获得具有低电阻和良好形状的放电表面处理用电极，对挤压成形时 的浆液17中包含的溶剂量进行管理是重要的。
于是，在本发明中，为了获得具有低电阻和良好形状的放电表面 处理用电极，浆液17中包含的溶剂量的比率为2wt。/。 50wt。/o是优选 的。通过使浆液17中包含的溶剂量的比率为2wt%~50wt%，抑制放
电表面处理用电极内的导电性有机结合材料的电气路径的过度断裂， 获得具有低电阻的放电表面处理用电极。另外，通过使浆液17中包含
的溶剂量的比率为2wt% 50wt%，防止'溶剂导致的放电表面处理用电 极的形状崩坏，获得具有良好形状的放电表面处理用电极。因此，通 过使浆液17中包含的溶剂量的比率为2wt%~50wt%，能够更可靠地 获得具有低电阻和良好形状的高品质的放电表面处理用电极。
图4是用扫描型电子显微镜观察利用上述制造方法制作的根据本 实施方式的放电表面处理用电极的内部结构时的示意图。根据本实施 方式的放电表面处理用电极，是把由金属粉末和绝缘性粉末中的至少 一种构成的第1电极用材料分散到由含有导电性树脂的导电性有机结 合材料构成的第2电极用材料中得到的。
即，在根据本实施方式的放电表面处理用电极中，由于如图4所 示，以紧密地包围钨铬钴合金粉末22的周围的方式加入导电性有机结 合材料21,导电性有机结合材料21的电气路径连续地连接起来，由 此获得具有低电阻的放电表面处理用电极。
另外，通过使浆液17中包含的溶剂量的比率为2wt% 50wt%，在确保低电阻的同时还确保作为成形体的强度，保持良好的形状。由 此，在该放电表面处理用电极中，无需在制造工序中进行烧结就获得 具有低电阻且保持良好的形状的高品质的放电表面处理用电极。另夕卜， 本实施方式中的放电表面处理用电极因干燥时的树脂收缩而产生空隙23。
另外，在上述中对用鴒铬钴合金粉末作为在放电表面处理时成为 覆盖膜的粉末材料而制作放电表面处理用电极的情形进行了说明，但 本发明并不仅限于此。即，在本发明中，作为在放电表面处理时成为 覆盖膜的粉末材料，除了鴒铬钴合金粉末以外，还能够使用金属粉末 和绝缘性粉末中的至少一种粉末。在此，作为金属粉末，包含例如钴 (Co)系、镍(Ni)系、4失(Fe)系、铝(Al)系、铜(Cu)系、锌 (Zn)系等的纯金属粉末或合金粉末。而作为绝缘性粉末，可举出例 如陶瓷粉末等。
接着，说明使用了根据本实施方式的放电表面处理用电极的放电 表面处理。使用了根据本实施方式的放电表面处理用电极的放电表面 处理是，在具有导电性的电极和被加工物之间产生脉冲状的放电，利 用该脉沖状的放电能在被加工物表面上形成由电极材料或电极材料利 用放电能发生反应得到的物质构成的覆盖膜的放电表面处理。
图5是示出放电表面处理装置的概略构成的示意图。如图5所示， 放电表面处理装置包括利用上述的制造方法制作的电极301;作为 加工液303的油；把电极301和工件302浸渍在加工液中或向电极301 和工件302之间供给加工液303的加工液供给装置(未图示)；向电 极301和工件302之间施加电压而产生脉冲状放电(电孤柱305)的 放电表面处理用电源304。另外，在图5中，省略了控制放电表面处 理用电源304和工件302的相对位置的驱动装置等的与本发明无直接 关系的部件。
利用该放电表面处理装置进行放电表面处理而在工件表面上形 成覆盖膜时，电极301和工件302在加工液303中相对置地配置，在 加工液303中由放电表面处理用电源304在电极301和工件302之间产生脉冲状放电。于是，利用脉冲状放电的放电能在工件表面上形成电极材料的覆盖膜，或者在工件表面上形成电极材料利用放电能发生
反应得到的物质的覆盖膜。作为极性，在电极301侧使用负极性，在工件302侧使用正极性。如图5所示，在电极301和工件302之间产生it电的电弧柱305。
利用上述的根据本实施方式的放电表面处理用电极进行放电表面处理，在工件上形成覆盖膜。图6-1和图6-2示出进行放电表面处理时的放电脉冲条件的一例。图6-1和图6-2是示出放电表面处理时的放电脉冲条件的一例的图，图6-1示出放电时的电极与工件之间施加的电压波形，图6-2示出放电时流过的电流的电流波形。
如图6-l所示，在时刻tO处在两极间施力口无负载电压ui,但在经过》t电延迟时间td后的时刻tl处才开始在两极间流过电流，开始放电。此时的电压为放电电压ue，此时流过的电流为峰值电流值ie。然后在时刻t2处如果停止向两极间供给电压，则电流不再流过。
时刻t2-tl为脉沖宽度te。隔着休止时间to在两极间反复施加该时刻t0 t2中的电压波形。即，如该图6-l所示，在放电表面处理用电极和工件之间施加脉冲状的电压。
如上所述，根据本实施方式的放电表面处理用电极，通过用导电性有机结合材料作为结合材料，以紧密地包围钨铬钴合金粉末的周围的方式加入导电性有机结合材料，连续地形成导电性有机结合材料的电气路径的连接。由此，无需在制造工序中进行烧结就实现具有低电阻的放电表面处理用电极。
另外，通过4吏浆液17中包含的溶剂量的比率为2wt%~50wt%，防止发生导电性有机结合材料的电气路径的断裂导致的电阻率增加、溶剂过剩导致的成形体(放电表面处理用电极)的形状崩坏或干燥时的大的收缩导致的成形体(放电表面处理用电极)的形状崩坏，实现了在具有低电阻的同时还确保作为成形体的强度的、保持了良好的形状的放电表面处理用电极。
即，根据本实施方式的放电表面处理用电极，无需在制造工序中进行烧结就实现具有低电阻且保持良好的形状的高品质的放电表面处理用电极。另外，由于在制造工序中不进行烧结，所以不会有实施烧结导致的成本上升，廉价地实现低电阻的放电表面处理用电极。而且，由于在制造工序中不进行烧结，所以不会产生烧结导致的放电表面处理用电极的裂紋，实现高品质的放电表面处理用电极。
另夕卜，根据本实施方式的放电表面处理用电极的制造方法，通过用导电性有机结合材料作为结合材料，以紧密地包围钨铬钴合金粉末的周围的方式加入导电性有机结合材料，连续地形成导电性有机结合材料的电气路径的连接。由此，无需在制造工序中进行烧结就能够制作具有低电阻的放电表面处理用电极。
另外，通过4吏浆液17中包含的溶剂量的比率为2wt% 50wt%，防止发生导电性有机结合材料的电气路径的断裂导致的电阻率增加、溶剂过剩导致的成形体(放电表面处理用电极)的形状崩坏或干燥时的大的收缩导致的成形体(放电表面处理用电极)的形状崩坏，能够制作在具有低电阻的同时还确保作为成形体的强度的、保持了良好的形状的放电表面处理用电极。
另外，由于在放电表面处理用电极的制造工序中不进行烧结，所以不会有实施烧结导致的成本上升，廉价地获得低电阻的放电表面处理用电极。另外，由于在放电表面处理用电极的制造工序中不进行烧结，所以不会产生烧结导致的放电表面处理用电极的裂紋，获得高品质的放电表面处理用电极。
即，根据本实施方式的放电表面处理用电极的制造方法，无需在制造工序中进行烧结就能够制作具有低电阻且保持良好的形状的高品质的放电表面处理用电极。另外，由于在制造工序中不进行烧结，所以能够廉价地制作低电阻的放电表面处理用电极。而且，由于在制造工序中不进行烧结，所以能够制作不会产生烧结导致的放电表面处理用电极的裂紋的高品质的放电表面处理用电极。
实施方式2在实施方式l中对用聚噻吩作为导电性有机结合材料的情形进行了说明，但本发明中可使用的导电性有机结合材料不仅仅限于聚噻吩。
在实施方式2中，对用聚苯胺或聚吡咯作为导电性有机结合材料，利用与实施方式1同样的方法制作放电表面处理用电极的情形进行说明。
在实施例2-1~实施例2-3中，作为第1电极用材料使用平均粒径3jiim以下的鳞片状鵠铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用聚苯胺，浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为2wt% (实施例2-1) 、 30wt% (实施例2-2 ) 、 50wt% (实施例2-3 ),与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例2-1、比较例2-2中，作为第1电极用材料使用平均粒径3pm以下的鳞片状鴒铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用聚苯胺，浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为0.5wt% (比较例2-1) 、 30wt% (比较例2-2 )，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
然后，测定了以这样的条件制作的实施例2-1~实施例2-3、比较例2-1和比较例2-2的;^文电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图7-l。
另外，在实施例2-4 实施例2-6中，作为第1电极用材料使用平均粒径3 pm以下的鳞片状鴒铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用聚吡咯，浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为2wt% (实施例2-4) 、 30wt% (实施例2-5) 、 50wt% (实施例2-6)，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例2-3、比较例2-4中，作为第1电极用材料使用平均粒径3|am以下的鳞片状鴒铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用聚吡咯，浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为0.5wt% (比较例2-3) 、 30wt% (比较例2-4)，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
然后，测定了以这样的条件制作的实施例2-4~实施例2-6、比较例2-3和比较例2-4的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图7-2。
从图7-1可以看出，与比较例2-1和比较例2-2的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例2-l 实施例2-3的放电表面处理用电极的电阻率降低了 3 4位左右。
在此，比较例2-l的放电表面处理用电极的电阻率高，考虑是因为在比较例2-1的放电表面处理用电极中，浆液中包含的溶剂量的重量比率低至0.5wt%，放电表面处理用电极内的电气路径被截断。另外，比较例2-2的放电表面处理用电极的电阻率高，考虑是因为在比较例2-2的放电表面处理用电极中，浆液中包含的溶剂量的重量比率多至60wt%，难以维持成形体(放电表面处理用电极)的形状。而在实施例2-l 实施例2-3的》文电表面处理用电极中，由于不发生比较例2-1、比较例2-2那样的状态，形成了良好的电气路径，所以与比较例2-1和比较例2-2的》文电表面处理用电极相比，电阻率低。
另外，从图7-2可以看出，与比较例2-3和比较例2-4的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例2-4~实施例2-6的方文电表面处理用电极的电阻率降低了 2-3位左右。
在此，考虑是因为在比较例2-3的放电表面处理用电极中，浆液中包含的溶剂量的重量比率低至0.5wt%,放电表面处理用电极内的电气路径被截断。另外，考虑是因为在比较例2-4的放电表面处理用电极中，浆液中包含的溶剂量的重量比率多至60wt。/。，难以维持成形体(放电表面处理用电极)的形状。而在实施例2-4 实施例2-6的放电表面处理用电极中，考虑是由于不发生比较例2-3、比较例2-4那样的状态，形成了良好的电气路径，所以与比较例2-3和比较例2-4的放电表面处理用电极相比，电阻率低。
如上所述，根据本实施方式的放电表面处理用电极，在使用作为导电性有机结合材料的聚苯胺或聚吡咯作为结合材料时，也形成导电性有机结合材料的电气路径的连接，由此，无需在制造工序中进行烧结就实现具有低电阻的放电表面处理用电极。另外，通过使浆液17中包含的溶剂量的比率为2wt%~50wt%，防止发生导电性有机结合材料的电气路径的断裂导致的电阻率增加、溶剂过剩导致的成形体(放电表面处理用电极)的形状崩坏或干燥时的大的收缩导致的成形体(放电表面处理用电极)的形状崩坏，实现了在具有低电阻的同时还确保作为成形体的强度的、保持了良好的形状的放电表面处理用电极。
即，根据本实施方式的放电表面处理用电极，在使用作为导电性有机结合材料的聚苯胺或聚吡咯作为结合材料时也是，无需在制造工序中进行烧结就实现具有低电阻且保持了良好的形状的高品质的放电表面处理用电极。另外，由于在制造工序中不进行烧结，所以不会有实施烧结导致的成本上升，廉价地实现低电阻的放电表面处理用电极。而且，由于在制造工序中不进行烧结，所以不会产生烧结导致的放电表面处理用电极的裂紋，实现高品质的放电表面处理用电极。
另外，根据本实施方式的放电表面处理用电极的制造方法，在使用作为导电性有机结合材料的聚苯胺或聚吡咯作为结合材料时，也形成导电性有机结合材料的电气路径的连接。由此，无需在制造工序中进行烧结就能够制作具有低电阻的放电表面处理用电极。
另外，通过使浆液17中包含的溶剂量的比率为2wt%~50wt%，防止发生导电性有机结合材料的电气路径的断裂导致的电阻率增加、溶剂过剩导致的成形体(放电表面处理用电极)的形状崩坏或干燥时的大的收缩导致的成形体(放电表面处理用电极)的形状崩坏，能够制作在具有低电阻的同时还确保作为成形体的强度的、保持了良好的形状的放电表面处理用电极。
另外，由于在放电表面处理用电极的制造工序中不进行烧结，所以不会有实施烧结导致的成本上升，廉价地获得低电阻的放电表面处理用电极。另外，由于在放电表面处理用电极的制造工序中不进行烧结，所以不会产生烧结导致的放电表面处理用电极的裂紋，获得高品质的放电表面处理用电极。
即，根据本实施方式的放电表面处理用电极的制造方法，在使用作为导电性有机结合材料的聚苯胺或聚吡咯作为结合材料时也是，无需在制造工序中进行烧结就能够制作具有低电阻且保持了良好的形状的高品质的放电表面处理用电极。另外，由于在制造工序中不进行烧结，所以能够廉价地制作低电阻的放电表面处理用电极。而且，由于在制造工序中不进行烧结，所以能够制作不会产生烧结导致的放电表面处理用电极的裂紋的、高品质的放电表面处理用电极。
实施方式3
在实施方式3中，说明向实施方式l、实施方式2中使用的导电性有机结合材料中进一步添加相对于导电性有机结合材料的总重量为1 10wt。/。的极性溶剂，制作放电表面处理用电极的情形。作为极性溶剂，使用了乙二醇、二甲基亚砜、二甲基乙酰胺。
首先，在实施例3-1~实施例3-3中，作为第1电极用材料^f吏用平均粒径3 pm以下的鳞片状鵠铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向加入了尿脘的聚噻吩添加了作为极性溶剂的乙二醇得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，乙二醇的添加量分别为lwt% (实施例3-1) 、 5wt% (实施例3-2) 、 10wt%(实施例3-3)。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-l中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的乙二醇以外，与实施例3-1~实施例3-3时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-l 实施例3-3、比较例3-l的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-l。
从图8-1可以看出，与比较例3-1的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-1~实施例3-3的放电表面处理用电极的电阻率降低了 2位 3位左右。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的乙二醇的实施例3-l 实施例3-3的放电表面处理用电极中，由于导电性有机结合材料中的导电性树脂的立体配置变化到确保电气路径更多的方向
上，所以导电性提高。由此考虑，在实施例3_1 实施例3-3的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的乙二醇的比较例3-1的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
在实施例3-4 实施例3-6中，作为第1电极用材料使用平均粒径3pm以下的鳞片状钨铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向聚噻吩添加了作为极性溶剂的二甲基亚砜得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，二甲基亚砜的添加量分别为lwt% (实施例3-4) 、 5wt% (实施例3-5) 、 10wt% (实施例3-6)。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%，与实施方式l时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-2中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二甲基亚砜以外，与实施例3-4~实施例3-6时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-4~实施例3-6、比较例3-2的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-l。
从图8-l可以看出，与比较例3-2的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-4 实施例3-6的放电表面处理用电极的电阻率降低了 2位。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的二甲基亚砜的实施例3-4 实施例3-6的放电表面处理用电极中，由于导电性有机结合材料中的导电性树脂的立体配置变化到确保电气路径更多的方向上，所以导电性提高。由此考虑，在实施例3-4~实施例3-6的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二曱基亚砜的比较例3-2的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
在实施例3-7 实施例3-9中，作为第1电极用材料使用平均粒径3pm以下的鳞片状鵠铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向聚噻吩添加了作为极性溶剂的二甲基乙酰胺得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，二甲基乙酰胺的添加
量分别为lwt% (实施例3-7) 、 5wt% (实施例3-8) 、 10wt% (实施例3-9)。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%,与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-3中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二甲基乙酰胺以外，与实施例3-7~实施例3-9时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-7~实施例3-9、比较例3-3的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-l。
从图8-1可以看出，与比较例3-3的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-7~实施例3-9的放电表面处理用电极的电阻率降低了 2位。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的二曱基乙酰胺的实施例3-7 实施例3-9的i欠电表面处理用电极中，由于导电性有机结合材料中的导电性树脂的立体配置变化到确保电气路径更多的方向上，所以导电性提高。由此考虑，在实施例3-7~实施例3-9的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二甲基乙酰胺的比较例3-3的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
在实施例3-10~实施例3-12中，作为第1电极用材料使用平均粒径3)am以下的鳞片状鴒铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向聚苯胺添加了作为极性溶剂的乙二醇得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，乙二醇的添加量分别为lwt% (实施例3-10 ) 、 5wt% (实施例3-11) 、 10wt% (实施例3-12 )。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-4中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的乙二醇以外，与实施例3-10~实施例3-12时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-10-实施例3-12、比较例3-4的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-2。
从图8-2可以看出，与比较例3-4的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-10 实施例3-12的放电表面处理用电极的电阻率降低了 l位。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的乙二醇的实施例3-10 实施例3-12的放电表面处理用电极中，确认了通过添加极性溶剂提高导电性。由此考虑，在实施例3-10~实施例3-12的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的乙二醇的比较例3-4的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
在实施例3-13~实施例3-15中，作为第1电极用材料使用平均粒径3nm以下的鳞片状鴒铬钴^^金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向聚苯胺添加了作为极性溶剂的二曱基亚砜得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，二甲基亚砜的添加量分别为lwt% (实施例3-13 ) 、 5wt% (实施例3-14 ) 、 10wt% (实施例3-15)。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-5中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二甲基亚砜以外，与实施例3-13 实施例3-15时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-13 实施例3-15、比较例3-5的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-2。
从图8-2可以看出，与比较例3-5的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-13~实施例3-15的放电表面处理用电极的电阻率降低了 l位。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的二甲基亚砜的实施例3-13 实施例3-15的放电表面处理用电极中，确认了通过添加极性溶剂提高导电性。由此考虑，在实施例3-13~实施例3-15的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二甲基亚砜的比较例3-5的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
在实施例3-16 实施例3-18中，作为第1电极用材料使用平均粒径3jnin以下的鳞片状鵠铬钴合金粉末，在笫2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向聚苯胺添加了作为极性溶剂的二曱基乙酰胺得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，二曱基乙酰胺的添加量分别为lwt% (实施例3-16 ) 、 5wt% (实施例3-17 ) 、 10wt% (实施例3-18)。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%,与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-6中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二曱基乙酰胺以外，与实施例3-16~实施例3-18时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-16 实施例3-18、比较例3-6的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-2。
从图8-2可以看出，与比较例3-6的i文电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-16 实施例3-18的放电表面处理用电极的电阻率降低到1/2倍~1/4倍左右。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的二曱基乙酰胺的实施例3-16~实施例3-18的放电表面处理用电极中，确认了通过添加极性溶剂提高导电性。由此考虑，在实施例3-16~实施例3-18的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二曱基乙酰胺的比较例3-6的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
在实施例3-19~实施例3-21中，作为第1电极用材料使用平均粒径3^im以下的鳞片状鴒铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向聚吡咯添加了作为极性溶剂的乙二醇得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，乙二醇的添加量分别为lwt。/。(实施例3-19 ) 、 5wt% (实施例3-20 ) 、 10wt% (实施例3-21)。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-7中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的乙二醇以外，与实施例3-19~实施例3-21时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-19-实施例3-21、比较例3-7的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-3。
从图8-3可以看出，与比较例3-7的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-19~实施例3-21的放电表面处理用电极的电阻率降低了 l位 2位左右。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的乙二醇的实施例3-19~实施例3-21的放电表面处理用电极中，确认了通过添加极性溶剂提高导电性。由此考虑，在实施例3-19 实施例3-21的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的乙二醇的比较例3-7的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
在实施例3-22 实施例3-24中，作为第1电极用材料使用平均粒径3jim以下的鳞片状鴒铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向聚吡咯添加了作为极性溶剂的二甲基亚砜得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，二曱基亚砜的添加量分别为lwt% (实施例3-22 ) 、 5wt% (实施例3-23 ) 、 10wt% (实施例3-24)。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-8中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二甲基亚砜以外，与实施例3-22~实施例3-24时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-22 实施例3-24、比较例3-8的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-3。从图8-3可以看出，与比较例3-8的;^文电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-22~实施例3-24的放电表面处理用电极的电阻率降低了 l位。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的二甲基亚砜的实施例3-22~实施例3-24的放电表面处理用电极中，确认了通过添加极性溶剂提高导电性。由此考虑，在实施例3-22 实施例3-24的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二曱基亚砜的比较例3-8的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
在实施例3-25~实施例3-27中，作为第1电极用材料使用平均粒径3pm以下的鳞片状鵠铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用向聚吡咯添加了作为极性溶剂的二曱基乙酰胺得到的物质，相对于导电性有机结合材料的总重量，二甲基乙酰胺的添加量分别为lwt% (实施例3-25 ) 、 5wt% (实施例3-26 ) 、 10wt% (实施例3-27)。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt%，与实施方式1时同样地制作了放电表面处理用电极。
另外，在比较例3-9中，除了不向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二曱基乙酰胺以外，与实施例3-25~实施例3-27时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例3-25 实施例3-27、比较例3-9的放电表面处理用电极的电阻率。电阻率的测定利用四探针法进行。其结果示于图8-3。
从图8-3可以看出，与比较例3-9的放电表面处理用电极的电阻率相比，实施例3-25~实施例3-27的^L电表面处理用电极的电阻率降低了 l位。
在此，在向导电性有机结合材料添加了作为极性溶剂的二甲基乙酰胺的实施例3-25~实施例3-27的放电表面处理用电极中，确认了通过添加极性溶剂提高导电性。由此考虑，在实施例3-25 实施例3-27的放电表面处理用电极中，与未向导电性有机结合材料添加作为极性溶剂的二甲基乙酰胺的比较例3-9的放电表面处理用电极相比，放电表面处理用电极的电阻率下降。
如上所述，根椐本实施方式的放电表面处理用电极，由于用添加了极性溶剂的导电性有机结合材料进行制作，所以通过添加极性溶剂提高导电性。由此，实现具有比用未添加极性溶剂的导电性有机结合材料制作的放电表面处理用电极更低的电阻的放电表面处理用电极。
另外，由于在制造工序中不进行烧结，所以不会有实施烧结导致的成本上升，廉价地实现低电阻的放电表面处理用电极。而且，由于在制造工序中不进行烧结，所以不会产生烧结导致的放电表面处理用电极的裂紋，实现高品质的放电表面处理用电极。
另外，如上所述，根据本实施方式的放电表面处理用电极的制造方法，由于用添加了极性溶剂的导电性有机结合材料进行制作，所以通过添加极性溶剂提高导电性。由此，能够制作具有比用未添加极性
放电表面处理用电极,
实施方式4
在实施方式1-实施方式3中对用鳞片状的钨铬钴合金粉末作为第1电极用材料的情形进行了说明，但本发明中可使用的第1电极用材料的形状不仅限于此。在实施方式4中，对将鳞片状的钨铬钴合金粉末与大致球状的鴒铬钴合金粉末的混合粉末作为第1电极用材料使用的情形进行说明。
在本实施方式中，作为第1电极用材料使用平均粒径3pm的鳞片状鵠铬钴合金粉末与平均粒径3|am的大致球状的钨铬钴合金粉末的混合粉末。而在第2电极用材料中，作为导电性有机结合材料使用加入了尿脘的聚噻吩。相对于混合粉末的总重量，大致球状的钨铬钴合金粉末的混合比率为0wt%、 20wt%、 40wt%、 60wt%、 80wt%、100wt%，浆液中包含的溶剂量的重量比率为20wt%，与实施方式1时同才羊地制作了具有100mm x 11mm x 5mm的大小的方文电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的放电表面处理用电极的电阻率，分析了大致球状的鴒铬钴合金粉末的混合比率对放电表面处理用电极的电阻率的偏差的影响。电阻率的测定利用四探针法进行，在放
电表面处理用电极的100mm x iimm的面上，如图9所示在长度方向上等间隔地测定了 5点。图9是示意性地示出放电表面处理用电极中的电阻率的测定位置的图。其结果示于图10。
从图IO可以看出，随着鴒铬钴合金混合粉末中的大致球状的鴒铬钴合金粉末的混合比率增加，放电表面处理用电极的电阻率的偏差减小。考虑这是因为，通过使用大致球状的钨铬钴合金粉末，放电表面处理用电极内的鴒铬钴合金粉末的分散变得均匀，所以放电表面处理用电极的电阻率的偏差减小。
如上所述，根据本实施方式的放电表面处理用电极，由于作为第
粉末的混合粉末，所以放电表面处理用电极内的钨铬钴合金粉末的分散变得均匀，实现降低了因部位不同导致的电阻率的偏差的高品质的放电表面处理用电极。
另外，根据本实施方式的放电表面处理用电极，由于使用鳞片状的鴒铬钴合金粉末与大致球状的鴒铬钴合金粉末的混合粉末作为第1电极用材料，所以放电表面处理用电极内的钨铬钴合金粉末的分散变得均匀，能够制作降低了因部位不同导致的电阻率的偏差的高品质的放电表面处理用电极。
实施方式5
在实施方式5中，对在混炼工序中，除了实施方式l、实施方式3中使用的作为水系溶剂的聚噻吩系导电性有机结合材料以外，还添加相对于第1电极用材料的总重量为lwt。/。 10wt。/。的作为有机结合材料的聚乙烯醇，制作了放电表面处理用电极的情形进行说明。在本实施方式中，使用浓度为15wt。A的聚乙烯醇水溶液，聚乙烯醇的聚合度为1200。首先，在实施例5-1~实施例5-5中，作为第1电极用材料使用平均粒径3 nm以下的鳞片状钨铬钴合金粉末，在第2电极用材料中作为导电性有机结合材料使用加入了尿脘的聚噻吩，并再添加相对于鵠铬钴合金粉末的总重量分别为lwt%(实施例5-1 )、 3wt%(实施例5-2 )、5wt% (实施例5-3) 、 7wt% (实施例5-4) 、 10wt% (实施例5國5 )的作为有机结合材料的聚乙烯醇，制作了浆液。浆液中包含的溶剂量的重量比率分别为20wt。/。，与实施方式1时同样地制作了具有100mmx llmm x 5mm的大小的放电表面处理用电极。
另外，在比较例5-l中，除了不向导电性有机结合材料添加作为有机结合材料的聚乙烯醇以外，与实施例5-1~实施例5-5时同样地制作了放电表面处理用电极。然后，测定了以这样的条件制作的实施例5-l 实施例5-5、比较例5-1的放电表面处理用电极的纵弹性模量(MPa)和电阻率(Q.cm)，分析了聚乙烯醇添加对放电表面处理用电极的强度和电阻率的影响。其结果示于图11。图11是展示相对于鵠铬钴合金粉末的聚乙烯醇添加量与放电表面处理用电极的纵弹性模量和电阻率的关系的特性图。图12是示出图ll所示的测定结果的数值数据的图。
放电表面处理用电极的电阻率的测定利用四探针法进行。另外，放电表面处理用电极的强度的测定利用三点弯曲进行，支点为在放电表面处理用电极的100mmxllmm的面的长度方向上距两端分别为5mm的内侧的点和中央部这三个点。负载速度为0.1mm/min。
从图11和图12可以看出，关于放电表面处理用电极的纵弹性模量，通过相对于鵠铬钴合金粉末的重量添加lwt。/。以上的聚乙烯醇，放电表面处理用电极的纵弹性模量增加，放电表面处理用电极的强度增加。可以看出，随着聚乙烯醇添加量的增加，放电表面处理用电极的纵弹性模量增加，相对于钨铬钴合金粉末重量的添加量为3wt。/o以上时纵弹性模量有饱和的倾向。
另外，从图11和图12可以看出，关于放电表面处理用电极的电阻率，在相对于鴒铬钴合金粉末重量的聚乙烯醇添加量比5wt。/。大的
2范围内放电表面处理用电极的电阻率增大，但在0wt。/。 5wt。/o的范围
内基本上不受聚乙烯醇添加的影响。
从以上结果可以看出，通过使相对于鴒铬钴合金粉末重量的聚乙
烯醇的添加量为lwt%~10wt%，提高放电表面处理用电极的强度，获得具有高强度的放电表面处理用电极。可以看出，通过使相对于鴒铬钴合金粉末重量的聚乙烯醇的添加量为lwt% 5wt%，；故电表面处理用电极的电阻率不增加，而获得提高了放电表面处理用电极的强度的放电表面处理用电极。
如上所述，根据本实施方式的放电表面处理用电极，由于除了作为水系溶剂的聚噻吩系导电性有机结合材料以外，还添加相对于第1电极用材料的总重量为lwt。/。 10wt。/。的作为有机结合材料的聚乙烯醇，制作放电表面处理用电极，所以实现具有比不添加聚乙烯醇而制作的放电表面处理用电极更高强度的放电表面处理用电极。通过把聚乙烯醇的添加量进一步限定在lwt%~5wt%，实现具有比不添加聚乙烯醇而制作的放电表面处理用电极更高强度且维持了低电阻的放电表面处理用电极。
另外，在上述中对使用鴒铬钴合金粉末作为第1电极用材料而制作放电表面处理用电极的情形进行了说明，但本发明并不仅限于此。即，在本发明中，作为放电表面处理时成为覆盖膜的第1电极用材料，除了鴒铬钴合金粉末以外，还能够使用金属粉末和绝缘性粉末中的至少一种粉末。在此，作为金属粉末，包含例如钴(Co)系、镍(Ni)系、铁(Fe)系、铝(Al)系、铜(Cn)系、锌(Zn)系等的纯金属粉末或合金粉末。而作为绝缘性粉末，可举出例如陶瓷粉末等。
另外，在上述中对使用水溶性的聚乙烯醇作为有机结合材料而制作放电表面处理用电极的情形进行了说明，但本发明并不仅限于此。即，在本发明中，根据导电性有机结合材料的分散剂的种类，可以使用与导电性有机结合材料的分散剂相同的分散剂的有机结合材料。在此，作为有机结合材料，可以举出例如在乙醇中可溶的聚乙烯丁醇(polyvinylbutanol)、在苯中可溶的石蜡等。而且，在本发明中，在添加有机结合材料时，除了导电性有机结合材料之外还可以同时添加极性溶剂。
产生上的可利用性
如上所述，根据本发明的放电表面处理用电极的制造方法，在廉价地制作具有低电阻的高品质的放电表面处理用电极时有用。
权利要求
1.一种放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于包括对由金属粉末和绝缘性粉末中的至少一种构成的第1电极用材料与由把导电性树脂溶解或分散到溶剂中得到的导电性有机结合材料构成的第2电极用材料进行混炼，制作浆液的混炼工序；使上述浆液成形而形成成形体的成形工序；以及在上述导电性有机结合材料开始热分解的热分解开始温度以下的温度下，使上述成形体干燥的干燥工序。
2. 如权利要求1所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于上述'溶剂相对于上述浆液的重量的重量比率为2wt%~50wt%。
3. 如权利要求2所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于在上述混炼工序中，使用相对于上迷导电性有机结合材料的总重 量为lwt。/。 10wt。/。的极性溶剂作为上述溶剂。
4. 如权利要求3所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于上述极性溶剂是从由乙二醇、二甲基亚砜和二甲基乙酰胺构成的 组中选择的至少一种。
5. 如权利要求1所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于'.上述第1电极用材料的粉末的形状为大致球状。
6. 如权利要求1所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于在上述成形工序中，对上述浆液进行挤压成形而形成上述成形体。
7. 如权利要求1所述的放电表面处理用电极的制造方法，其特征在于在上述混炼工序中，添加相对于第1电极用材料的总重量为lwt。/。 10wt。/。的有机结合材料。
8. —种放电表面处理用电极，其特征在于 该放电表面处理用电极是由金属粉末和绝缘性粉末中的至少一种构成的第1电极用材料分散在由含有导电性树脂的导电性有机结合 材料构成的第2电极用材料中而形成的。
9. 如权利要求8所述的放电表面处理用电极，其特征在于 作为上述第l电极用材料，含有大致球状的粉末。
全文摘要
一种在放电表面处理中使用的放电表面处理用电极的制造方法，在该放电表面处理中，在具有导电性的电极和被加工物之间产生脉冲状的放电，利用该脉冲状的放电能在被加工物表面上形成由电极材料或电极材料利用放电能发生反应得到的物质构成的覆盖膜。该制造方法包括对由金属粉末和绝缘性粉末中的至少一种构成的第1电极用材料与由把导电性树脂溶解或分散到溶剂中得到的导电性有机结合材料构成的第2电极用材料进行混炼，制作浆液的混炼工序；使上述浆液成形而形成成形体的成形工序；以及在上述导电性有机结合材料开始热分解的热分解开始温度以下的温度下，使上述成形体干燥的干燥工序。
文档编号C23C26/00GK101595246SQ20068005681
公开日2009年12月2日 申请日期2006年12月27日 优先权日2006年12月27日
发明者中野善和, 久保一树, 竹井夛贺子, 荒木健 申请人:三菱电机株式会社