线电极放电加工装置、使用该线电极放电加工装置的薄板的制造方法以及半导体晶片的 ...的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种线电极放电加工装置、使用该线电极放电加工装置的薄板的制造方法以及半导体晶片的制造方法。
【背景技术】
[0002]当前，在使用线电极放电加工，利用切割加工从柱状的被加工物制作薄板形状的晶片的情况下，为了提高上述切割加工的生产率，提出了将1根线电极在多个导辊之间反复卷挂从而使用许多线电极同时进行加工的方式。在该方式的线电极放电加工装置中，形成将线电极以恒定间距并行配置而得到的切割线电极部，使该切割线电极部靠近被加工物，并且使用供电件向构成切割线电极部的各个线电极分别供电，由此在各切割线电极部与被加工物之间同时并列地产生放电，在多个位置处并行进行切割加工(例如，参照专利文献1)。
[0003]专利文献1:日本特开2000 - 94221号公报
【发明内容】
[0004]在上述线电极放电加工装置中，对于构成切割线电极部的各个线电极，从分开的加工电源进行供电，因此各供电件彼此分离/独立并电气绝缘。为了使各供电件彼此电气绝缘，在相邻的供电件之间填充有绝缘材料。另外，用于贯穿多个供电件而对齐位置的排列棒由非导电性材料制作。或者，通过在其表面实施非导电性物质的包覆，从而使各供电件在彼此不接触且电气不导通的情况下进行组装。此时，多个供电件分别以各供电件也与作为供电对象的切割线电极部的各线电极的并列间隔相对应而排列的方式进行组装，由此，如果在某个供电件架设线电极的槽中架设线电极，则对于其他的并列的供电件，也架设与它们对应的线电极。因此，在各供电件的组装中，通过由填充于各供电件之间的绝缘材料等插入物进行的供电件间隔的调整、以及在贯穿了用于排列供电件的排列棒的状态下的紧固量(tightening amount)的调整，从而对各供电件间隔进行微调。但是，在多个供电件的组装中，构成切割线电极部的相邻线电极彼此的间隔为几百μm左右，与此相对，要求该相邻线电极间隔的波动的容许值小于或等于十几μπι?几十μπι。因此，为了以这样高精度排列供电件，需要高度的供电件组装技术、以及对组装后的供电件间的距离正确地进行测定的检查技术，在加工现场中对各供电件的排列间隔进行微调并不是容易的。
[0005]本发明就是鉴于上述情况提出的，其目的在于通过稳定地进行来自加工电源的供电，从而能够进行高精度的切割加工，得到一种加工可靠性高的线电极放电加工装置、使用该线电极放电加工装置的薄板的制造方法、以及半导体晶片的制造方法。
[0006]为了解决上述课题并实现目的，本发明的特征在于具备:一对导辊，它们隔开间隔平行地配置；一根线电极，其在所述一对导辊之间以恒定间距分离并多次卷挂，该线电极随着导辊的旋转而行进，并且在一对导辊之间形成彼此分离的多个并列线电极部；一对减振导辊，它们设置在一对导辊之间，与并列线电极部分别从动接触而形成减振后的切割线电极部；供电单元，其具备与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地排列，并与多个并列线电极部分别接触而供电的多个供电件，相邻的各供电件被排列为至少每隔1根线电极而向并列线电极部进行供电；以及加工电源，其在供电件与线电极之间施加电压而产生放电。
[0007]发明的效果
[0008]根据本发明，具备供电单元，其具有与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地排列，并与多个并列线电极部分别接触而供电的多个供电件，相邻的各供电件被排列为至少每隔1根线电极而向所述并列线电极部进行供电。因此，供电电流的寄生量较大的是相对于相邻的线电极，向与相邻线电极相邻的线电极、即隔1根相邻的线电极的寄生电流急剧地减少。因此，隔开大于或等于1根线电极的间隔进行供电，能够减少由寄生电流(泄漏电流)对加工产生的影响。另外，供电件之间的排列精度提高，不易产生相对于多根并列线电极的位置偏移，能够提高从被加工物同时加工成薄板时的加工精度。另外，起到下述效果，即，使供电件的组装及调整变得容易，简化加工安排，能够缩短加工准备时间。
【附图说明】
[0009]图1是表示本发明的实施方式1的线电极放电加工装置的整体结构的斜视图。
[0010]图2是表示本发明的实施方式1的线电极放电加工装置的供电件的概略的结构图。
[0011]图3是表示本发明的实施方式1的线电极放电加工装置的供电件的排列状态以及向并列线电极部的供电状态的图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。
[0012]图4是表示本发明的实施方式1的线电极放电加工装置的供电件的构造的说明图。
[0013]图5是表示使用本发明的实施方式1的线电极放电加工装置进行加工的加工状态的图，(a)是表示加工中的状态的图，(b)是表示加工后的一片晶片的图。
[0014]图6是表示本发明的实施方式2的线电极放电加工装置的整体结构的斜视图。
[0015]图7是表示本发明的实施方式2所涉及的供电件的概略的结构图。
[0016]图8是表示使用本发明的实施方式2的线电极放电加工装置进行加工的加工状态的图，(a)是表示加工中的状态的图，(b)是表示加工后的1片晶片的图。
[0017]图9是表示本发明的实施方式3的线电极放电加工装置的供电件部分的结构部件和构造的结构图。
【具体实施方式】
[0018]下面，基于附图详细地说明本发明所涉及的线电极放电加工装置、使用该线电极放电加工装置的薄板的制造方法以及半导体晶片的制造方法的实施方式。此外，本发明并不由本实施方式限定。另外，在下面的实施方式中使用的装置是示意性的，各部件的大小的比例等有时与实际的部件不同。
[0019]实施方式1
[0020]图1是表示本发明的实施方式1所涉及的线电极放电加工装置的主要部分的结构的侧视图。本实施方式1的线电极放电加工装置具备:4根主导辊la?Id ;—根线电极3，其在这些主导辊la?Id之间以恒定间距分离并多次卷绕而在一对主导辊lc、Id之间形成并列线电极部PS，该线电极3随着这些主导辊la?Id的旋转而行进；一对减振导辊7a、7b，它们与并列线电极部PS从动接触，形成进行减振的多个切割线电极部CL ;供电件(供电件单元6a?6d)，其向多个切割线电极部CL分别进行供电；线电极线轴2以及线电极卷线轴4 ;以及使被加工物5相对于切割线电极部CL沿构成切割线电极部CL的线电极3的并列方向、以及与构成各切割线电极部CL的线电极3的并列方向垂直的方向相对移动的单元。一体成型而成的多个供电件构成了彼此电连接的2对供电件单元6a - 6b,6c 一 6d，各供电件单元具备在两端具有轴端支撑部的供电件支架60a、60b (在图1中未图示)，能够进行位置控制(图3(a)及(b))。另外，加工电源10在多个供电件(供电件单元6a?6d)与线电极3之间施加电压而产生放电。上述多个供电件(供电件单元6a?6d)与作为供电对象的各切割线电极部CL的线电极并列间隔相对应地进行排列。并且，加工电源对各供电单元6a?6d进行供电，各供电单元6a?6d被配置为每隔3根线电极而对所述切割线电极部CL进行供电。另外，在相同的供电件单元6a?6d中排列的供电件彼此电连接。
[0021]主导辊la?Id是构成线电极行进系统的主要导辊，在该线电极放电加工装置中，相同直径的4根主导辊相互平行地隔开间隔而配置。从线电极线轴2抽出的一根线电极3依次跨在4根主导辊la?Id之间，以恒定间距分离并且反复卷挂。线电极3随着主导辊la?Id的旋转而行进，最后到达线电极卷线轴4。主导辊lc、Id设置于隔着被加工物5的位置处，线电极3在两个主导辊之间以恒定的张力被拉伸，由此构成彼此在主导辊的轴向上相分离的多个并列线电极部PS。此外，在本说明书中，并列线电极部PS是指从主导辊lc送出而卷挂于主导辊Id之前的部分。在上述并列线电极部PS内，包含与被加工物5相对的部分在内的直线地拉伸的区域成为切割线电极部CL。图1示出被加工物5的切割开始，切割线电极部CL行进至被加工物5的内部后的状态。
[0022]与并列线电极部PS接触而配置的供电件单元6a?6d是对切割线电极部CL供给电压脉冲的电极，在图1中在被加工物5的两