摩擦力，使供电件单元6a?6d与线电极的行进一起旋转。此外，汇流环73具有对圆柱形状的旋转轴供电的功能，因此来自加工电源10的电流经由汇流环73的电刷，从供电件单元6a?6d的轴端向这些供电件单元的各供电件供电，向并列线电极部PS(切割线电极部CL)供给加工电流。
[0057]通过在对供电件单元6a?6d的两轴端进行支撑的部分处设置滚动轴承72，利用滚动轴承72对供电件单元6a?6d进行支撑，从而能够使供电件单元6a?6d的旋转更加平滑。因此，利用由并列线电极部PS的接触所产生的摩擦力容易地旋转，因而能够长时间维持稳定的滚动摩擦状态，而不在并列线电极部PS的行进速度与供电件单元6a?6d的旋转速度之间产生差异。在此情况下，为了防止在轴承内的轴承之间发生放电，优选滚动轴承72是陶瓷球等非导电性材料。
[0058]通过上述构造，针对并列线电极部PS的供电件单元6a?6d的供电部分并不是如实施方式1那样与线电极形成的滑动状态，而是通过与供电对象的线电极的行进一起旋转，而成为滚动摩擦的状态。因而，由于反复在放电加工中使用而附着了硬质物质、表面粗糙度发生了恶化的切割线电极部CL 一边与供电件部分滑动一边行进所造成的、供电件单元6a?6d的供电面发生磨损的现象消失，供电件单元6a?6d的寿命延长，能够稳定地进行放电加工。
[0059]通过采用前述这种装置结构，从加工电源10对切割线电极部CL的供电在长时间内是稳定的，能够维持稳定的放电加工，能够从被加工物5 —次性地切割得到板厚一致的多片晶片。
[0060]此外，为了向供电件单元6a?6d进行供电，例如使汇流环、电刷等相对于从供电件支架60a、60b的轴承部凸出的供电件单元6a?6d的两轴端进行接触即可。此时，为了防止在轴承内部发生放电而使轴承损伤，从部件寿命延长的观点出发，优选所使用的轴承的轴承是由陶瓷球等非导电性材料构成的滚动轴承。
[0061]如上述所示，通过以供电件单元6a?6d能够关于其轴中心平滑地旋转的方式设置轴承，从而将由行进的切割线电极部CL的滑动所造成的摩擦变为滚动摩擦，由此大幅减轻供电件单元6a?6d的供电面的磨损，从而起到放电加工长时间稳定化、加工精度提高的效果。
[0062]另外，使供电件单元6a?6d随着线电极行进而滚动，因而供电件单元6a?6d的线电极接触面即供电面不会由于摩擦而磨损，即使不是硬质合金这样的高硬度的材料，例如，即使是钢或铜、黄铜、铝等容易进行切削加工的金属材料，也能够作为供电件单元使用，能够长时间持续稳定的放电。
[0063]此外，在上述3个实施方式中，隔着被加工物5在两侧分别安装有2个供电件单元，但在两侧具有1个供电件单元的情况下也能够应用本发明。
[0064]在采用了下述构造的情况下，具有减少加工槽宽度的波动、进而减少晶片板厚的波动的效果，即，能够从在锭的两侧分别配置1个的各供电件列对全部线电极进行供电。即，在仅从配置在锭的单侧的供电件进行供电的情况下，由于从供电件起到锭的放电位置为止的距离之差，中途的电阻值发生变动，因此放电电流也发生变化。因此，与从供电件起到加工点为止的距离相应地，由放电加工产生的加工量有所不同，锭加工时的加工槽宽度具有下述倾向，即，越与供电件靠近的部分越粗，越与供电件远离的部分越细。特别地，在口径大的锭中，该倾向变得显著。与此相对，在集中供电中，通过从在锭两侧分别配置1个的供电件列对各线电极进行供电，从而减少从供电件到放电位置的距离之差，改善放电电流的损耗，改善加工量的差别，改善加工槽宽度的波动即晶片板厚的波动。
[0065]对本发明的若干实施方式进行了说明，但这些实施方式是作为例子进行提示的，并非意在限定发明的范围。上述新的实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明主旨的范围内进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围和主旨内，并且包含在权利要求书所记载的发明及其同等的范围内。
[0066]标号的说明
[0067]la、lb、lc、Id主导辊，2线电极线轴，3线电极，CL切割线电极部，PS并列线电极部，4线电极卷线轴，5被加工物，51晶锭，5W晶片，6a、6b、6c、6d供电件单元，6M轴部，6S供电部，7a、7b减振导辊，8a、8b喷嘴，9工作台，10加工电源，60a、60b供电件支架，61供电件固定用具，6R切口部，6T供电部，72滚动轴承，73汇流环(供电电刷)。
【主权项】
1.一种线电极放电加工装置，其具备: 一对导辊，它们隔开间隔平行地配置； 一根线电极，其在所述一对导辊之间以恒定间距分离并多次卷挂，该线电极随着所述导辊的旋转而行进，并且在所述一对导辊之间形成彼此分离的多个并列线电极部； 一对减振导辊，它们设置在所述一对导辊之间，与所述并列线电极部分别从动接触而形成减振后的切割线电极部； 供电件单元，其具备与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地排列，并与所述多个并列线电极部分别接触而供电的多个供电件，相邻的各供电件被排列为至少每隔1根线电极而向所述并列线电极部进行供电；以及加工电源，其在供电件与线电极之间施加电压而产生放电。2.根据权利要求1所述的线电极放电加工装置，其中， 在相同的所述供电件单元中排列的供电件彼此电连接， 所述供电件单元具备在两端处具有轴端支撑部的供电件支架，能够进行所述供电件的位置控制。3.根据权利要求2所述的线电极放电加工装置，其中， 所述供电件单元具有:轴部，其是直径较小的圆柱部分；以及供电部，其以规定的间隔形成于该轴部，由直径比所述轴部大的圆柱部分构成，在外周面具有线电极引导用的槽，构成为通过使所述轴部的端部的支撑位置旋转，从而能够变更供电件的与所述线电极的接触面。4.根据权利要求3所述的线电极放电加工装置，其中， 所述供电件单元的所述轴部的端被加工为正多面棱体， 对所述供电件单元进行支撑的供电件支架的所述轴端支撑部也钻孔加工为正多面棱体。5.根据权利要求2至4中任一项所述的线电极放电加工装置，其中， 所述供电件单元在所述轴端支撑部具备滚动轴承，能够进行旋转。6.根据权利要求5所述的线电极放电加工装置，其中， 在所述供电件单元的轴端具备汇流环或者供电电刷， 从所述加工电源向所述供电电刷供电。7.根据权利要求1所述的线电极放电加工装置，其中， 所述供电件单元配置为遍及所述并列线电极部的排列宽度方向整体，并在各供电件单元的宽度方向上以所有所述供电件不具有重叠部的方式，以等间隔进行分散。8.根据权利要求7所述的线电极放电加工装置，其中， 所述供电件单元由4个供电件单元构成，构成各供电件单元的供电件构成为，每隔3根线电极而向所述并列线电极部进行供电。9.根据权利要求1至8中任一项所述的线电极放电加工装置，其中， 所述供电件单元按照每个排列单位一体成型而成。10.一种薄板的制造方法， 其使用权利要求1至9中任一项所述的线电极放电加工装置， 从所述加工电源对所述供电件单元进行集中供电，从被加工物制作多片薄板。11.一种半导体晶片的制造方法，其使用权利要求1至9中任一项所述的线电极放电加工装置，从所述加工电源对所述供电件进行集中供电，从半导体材料制作多片半导体晶片。
【专利摘要】为了通过从加工电源稳定地进行供电从而进行高精度的切断加工，在本发明中，在将线电极(3)在主导辊(1a～1d)之间卷挂多次，同时进行多个切割加工的线电极放电加工装置中，缩短将多根线电极(3)向供电件的线电极架设作业，对切割线电极部(CL)进行均匀的供电，谋求稳定的加工，将多个供电件按照排列位置以单元为单位，与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地进行排列，并且配置为至少每隔1根线电极而向切割线电极部进行供电。
【IPC分类】B23H7/10, B23H7/02
【公开号】CN105408045
【申请号】CN201480028904
【发明人】三宅英孝, 糸数笃, 桥本隆
【申请人】三菱电机株式会社
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2014年2月28日
【公告号】DE112014002487T5, US20160059338, WO2014188754A1