031]为了向切割线电极部CL施加电压脉冲，将来自加工电源的供电线与供电件单元6a?6d连接，使供电件单元6a?6d与构成切割线电极部CL的各线电极3接触而供给来自加工电源10的电源。供电件单元6a?6d是通过刨削等形成的一体成型物，因此在相同的供电件单元中，供电件部分(直径较大的圆柱部分)彼此电气导通。因此，将来自加工电源10的供电线与供电件单元6a?6d连接，将供电件单元6a?6d与构成切割线电极部CL的各线电极接触而进行供电，但无法独立地向各供电件供电。即，向相同的供电件单元供电了的加工电流相对于发生了放电的线电极流动，施加电压下降，因而在由相同的供电件单元供电的其他线电极中，与被完全地进行独立供电的情况相比，变得不易同时并列地发生放电。但是，发明人们利用实际加工，作为实验结果发现:关于供电件单元6a?6d，由于它们处于彼此独立供电的状态，所以由这些供电件单元6a?6d供电的线电极3同时并列地发生放电，不存在放电脉冲的显著的发生频率降低、以及加工速度的显著降低。
[0032]另一方面，为了将挂放线电极3的供电件表面的线电极引导用的V字状槽GW的位置作为基准，使多个供电件以规定的几百μπι间隔进行并列，在上述供电件的组装中，需要能够以高精度对位置进行测定的专用装置，要求细致的作业。另外，在切割线电极部CL中越是处于卷绕后半段的线电极在放电加工中越反复使用，因此在该线电极表面形成越多由放电加工造成的凹凸，此外，通过放电加工而熔融的高硬度的被加工物再次附着，成为一种耐磨性包覆线电极。因此，在这种线电极滑动的供电件处，线电极接触的供电面的磨损严重，根据供电对象线电极不同，其供电件的更换频率不同。在专利文献1的供电件构造的情况下，即使在更换一个供电件的情况下，也需要对以等间隔排列的多个供电件进行分解，对它们的重新组装以及调整需要相当多的工作量。
[0033]与此相对，本实施方式的线电极放电加工装置旨在满足对上述多根并列的线电极3进行稳定供电的高度要求、以及与多个供电件的组装及调整有关的要求，如前所述，其特征在于，作为第1技术要素，具有一体成型而成的高精度的供电件单元，作为第2技术要素，具有对供电件单元6a?6d进行排列并保持的供电件支架。通过将高精度的供电件单元6a?6d分别嵌入对应的供电件支架60a、60b并保持，从而能够与构成切割线电极部CL的多根并列线电极对应地排列供电件单7Π 6a?6d的供电件部分，使将供电件部分向切割线电极部CL的各线电极按压的量为恒定的量，此外，是能够将供电件部分与各并列线电极可靠地接触并供电的方式。另外，由供电件支架60a、60b排列的上述多个供电件(供电件单元6a?6d)，与作为供电对象的各切割线电极部CL的线电极并列间隔相对应地排列，加工电源对各供电件单元6a?6d进行供电，该各供电件单元6a?6d配置为对切割线电极部CL至少每隔1根(在本实施方式中是3根)进行供电。因此，即使在流向相邻线电极的供电电流的寄生较大的情况下，向隔1根相邻的线电极的寄生电流也大幅减少，因此能够减少由寄生电流对加工造成的影响。另外，即使在发生异常放电的情况下，由于在分离的位置处发生异常放电，因此也能够分散由磨损造成的线电极的损伤。另外，在相同的供电件单元6a?6d中排列的供电件彼此电连接，因此容易进行供电。在本实施方式中，将各供电件单元在线电极部的宽度方向整体上进行设置，在供电件单元的宽度方向上，所有供电件以不具有重叠部的方式在宽度方向整体上以等间隔进行分散，每隔3根进行配置。利用该结构，各供电件单元的所有供电件对并列线电极部的各并列线电极分别逐个地、均匀地进行供电。在该方式下，能够容易地排列多个供电件，因此容易进行加工安排。另外，由于各供电件的排列状态不充分而导致的、供电件与线电极的接触状态不均匀的情况不会出现，因此加工电源向所有线电极稳定供电，因而不会发生各线电极的放电加工不稳定的情况。
[0034]另外，如图4所示，通过预先将供电件单元6a?6d的两轴端、以及对供电件单元6a?6d的两轴端进行嵌入的供电件支架60a、60b的轴承部分加工为例如正六边形，从而在将供电件单元6a?6d嵌入供电件支架60a、60b时，能够在关于供电件单元6a?6d的轴向中心以60度的倍数的恒定角度旋转后的位置处进行设置。S卩，如图4所示，通过预先将供电件单元6a?6d的两轴端、以及对供电件单元6a?6d的两轴端进行嵌入的供电件支架60a、60b的轴承部分加工为正N边形(N大于或等于3)，从而在将供电件单元6a?6d嵌入供电件支架60a、60b时，能够在关于供电件单元6a?6d的轴向中心以恒定角度旋转后的位置处进行设置。此外，在图4中仅示出供电件支架60a，供电件支架60b也是同样的。
[0035]利用该方式，即使供电件单元6a?6d的供电面由于与供电对象的切割线电极部CL之间的滑动摩擦而磨损，供电状态发生变化，通过变更供电件单元6a?6d的两轴端相对于供电件支架60a、60b的嵌入部分的位置并嵌入，从而也能够变更供电件单元6a?6d的线电极接触部位，能够在不需要对供电件单元6a?6d的设置位置进行微调的情况下，容易地将供电件的供电面更换为新的表面。供电件固定用具61通过夹持收纳于供电件支架60a、60b内的供电件单元6a、6b的两轴端而进行固定。供电件固定用具61和供电件支架60a、60b例如由螺栓进行连结(未图示)。另外，虽然未图示，但在供电件单元6a、6b的轴端部分处，连接来自加工电源10的供电线，来自加工电源10的加工电流向切割线电极部CL的各线电极进行供电。图4详细地示出对供电件单元6a、6b进行收纳的供电件支架60a，对供电件单元6c、6d进行收纳的供电件支架60b也是相同的构造。
[0036]在本实施方式1中，线电极3中由供电件单元6a供电的线电极的、在卷收侧方向上相邻的线电极与供电件单元6c接触而被供电，进一步在该线电极的卷收侧方向上相邻的线电极也与供电件单元6b接触而被供电。并且，进一步在该线电极的卷收侧方向上相邻的线电极也与供电件单元6d接触而被供电。
[0037]S卩，供电件单元6a?6d分别以4根线电极为间隔进行向并列线电极部PS (或切割线电极部CL)的供电，在配置有4根的供电件单元6a?6d之间电气绝缘。通过了供电件单元6a的切割线电极部CL卷挂于驱动式的主导棍lc上，然后，卷挂于主导棍lb、la、Id上，再次卷挂于驱动式的主导辊lc。如前所述，在同列中配置的供电件是一体成型而得到的，由此，对于从相同的供电件单元供电的并列线电极部PS，无法进行独立的供电。
[0038]但是，即便在使供电件完全电气绝缘的状态下向并列线电极PS独立供电的情况下，由于是由1根线电极构成并列线电极部PS的构造，因此向相邻线电极3的供电的电流的寄生(泄漏)也会微弱地发生。这种供电电流的寄生量较大的是相对于相邻的线电极，向与相邻线电极相邻的线电极、即隔1根相邻的线电极的寄生电流急剧地减少。因此，对于构成并列线电极部PS的线电极，如果隔开4根线电极的间隔进行供电，则由寄生电流(泄漏电流)对加工产生的影响不存在。
[0039]此外，在使供电件之间电气导通的构造中，来自最近的相邻线电极的电流寄生的影响最大，因此，即使供电件单元是在相邻供电件之间绝缘的构造，即，即使供电件单元的根数是能够对并列线电极部PS的线电极交替地进行供电的2根，也不会发生加工速度的显著降低。
[0040]另外，在本实施方式1中，如图2(b)及图3(a)所示，通过线电极放电加工从锭切割得到的晶片的厚度受到多根线电极之间的间距影响。切割得到的晶片的厚度非常薄，为
0.5mm左右。因此，线电极的间距也非常狭窄，例如，对于当前使用的直径为0.1mm的线电极，将间距设定为0.6mm。使供电部6S相对于这些并列线电极进行抵接，但此时为了使供电件与线电极可靠地接触，使线电极不从供电件偏离，在供电件外周面进行V槽加工。为此，供电部6S需要具有相应的厚度，为了使这样的供电部6S相邻并列，由于线电极间距窄至使供电件彼此接触，因此如图3(a)所示，在1个供电件列中形成的供电部6S为等间隔，将这些供电件列有规律地错开设置，从而使相邻线电极的供电件彼此的位置上的限制不存在，能够将供电部6S设计为与线电极间距的2倍接近的厚度。
[0041]实施方式2
[00