专利名称：用于气相淀积系统的具有可移除的辊子的传送器组件的制作方法
技术领域：
本发明大体涉及薄膜气相淀积系统领域，其中，诸如半导体层的薄膜层淀积在传 送通过该系统的衬底上。更具体而言，本发明涉及用来使衬底运动通过气相淀积系统的传 送器系统。
背景技术：
薄膜光电(PV)模块(也称为“太阳能电池板”)的生产典型地包括将衬底(例 如玻璃板)传送到气相淀积室中，以及传送出气相淀积室，其中，半导体材料(例如碲化镉 (CdTe))的薄膜层(行业中一般认为小于10 μ m)淀积在衬底的表面上。淀积过程可为任 何已知的过程，例如近距离升华(CSS)系统、化学气相淀积(CVD)系统，或者物理气相淀积 (PVD)系统。使用CdTe PV模块的太阳能系统在每瓦所产生功率的成本方面一般被认为是商业 上可购得的系统中的最成本高效的系统。但是，尽管CdTe有优点，可持续的商业开发以及 接受太阳能作为辅助或主要的工业或住宅功率源取决于大规模地且以成本有效的方式生 产高效的PV模块的能力。就此而言，非常合乎需要的是减少在生产PV模块时使用的气相 淀积系统的停机时间。典型地，使用各种类型的传送器来使PV模块衬底运动通过气相淀积系统。传送器 的构件可暴露于源材料蒸气，源材料蒸气可在传送器构件上冷凝成有害的源材料积聚物。 在这种情形下，需要移除和清洁传送器构件，或者用干净的构件代替移除的传送器构件。可 能还需要移除传送器构件来进行定期维护、更换，或者进行需要使系统停机的其它程序。减 少与传送器维护、更换或其它原因相关联的系统停机时间是正在关注的事情。因此，存在对这样一种改进的传送器组件的需求该传送器组件特别适于传送被 传送通过气相淀积的衬底，其减少了与构件更换和维护相关联的停机时间。本发明涉及达 到此目的的传送器组件。
发明内容
本发明的各方面和优点将在以下描述中部分地阐述，或者根据描述，它们可为显 而易见的，或可通过实践本发明来学习它们。根据本发明的各方面的、用于将衬底传送通过气相淀积系统的传送器组件的一个 实施例包括设置在该传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨和设置在该传送器组件的相 对侧处的第二托架导轨。相对侧可为不被驱动的空转侧，或者也可为驱动侧。第一托架导 轨和第二托架导轨中的各个包括沿着导轨的长度沿纵向隔开的多个辊子位置。在一个特定 的实施例中，这些辊子位置可为限定在导轨中的端部开口的凹部。第一托架导轨和第二托 架导轨还在各个辊子位置处包括一对轮。这些轮是隔开的，以便在各个相应的辊子位置处 限定承座。沿着至少第一托架导轨的多个辊子位置是驱动位置，其中，轮中的一个为驱动 轮。另一个轮可为空转轮，或者也可为驱动轮。多个辊子在第一托架导轨和第二托架导轨之间延伸。辊子具有落入由轮限定的、在辊子位置处的承座中的端部，轮旋转地支承和驱动 辊子。可通过在辊子位置处从承座上提出辊子来从托架导轨上移除辊子。对上面论述的传送器组件的实施例的变型和修改在本发明的范围和精神内，并且 本文可对其进行进一步描述。本发明还包括气相淀积模块的各种实施例，它们可用来将衬底传送通过气相淀积 系统，其中，源材料升华(即转变成蒸气)且淀积在衬底的表面上。这种模块的一个实施例 包括壳体和传送器组件，传送器组件可操作地构造在壳体内，以便将衬底传送通过壳体。传 送器组件可如以上论述的那样进行构造。对上面论述的气相淀积模块的实施例的变型和修改在本发明的范围和精神内，并 且本文可对其进行进一步描述。本发明还包括气相淀积系统，其构造成以便使源材料蒸气淀积在传送通过该系统 的衬底的表面上。此系统的实施例可包括多个单独的、沿纵向对齐的模块，其设计成以便在 整个淀积过程中执行特定的功能。各个模块限定用于被传送通过该系统的衬底的传送路 径，并且包括壳体和传送器组件，传送器组件可操作地构造在壳体内，以便将衬底传送通过 壳体。传送器组件可如以上在一个特定的实施例中论述的那样进行构造。对上面论述的气相淀积系统的实施例的变型和修改在本发明的范围和精神内，并 且本文可对其进行进一步描述。参照以下描述和所附权利要求书，本发明的这些和其它特征、方面和优点将变得
更好理解。
在参照了附图的说明书中阐述了本发明的完整且能够实现的公开，包括其最佳模 式，在附图中图1是可结合具有根据本发明的各方面的传送器组件的模块的气相淀积系统的 视图；图2是结合了根据本发明的各方面的传送器组件的实施例的模块的俯视图；图3是图2中描绘的传送器模块中的一个的侧面剖视图；图4是传送器组件的一个实施例的透视图；图5是图4的实施例的部分的放大透视图；图6是根据一个实施例的、在辊子的轴向端处的点接触构造的俯视图；以及，图7是点接触构造的一个备选实施例的俯视图。部件列表10 系统12真空腔室14 衬底16加热器模块18加热器20冷却模块22后加热模块
24进给系统26装载传送器28装载模块30缓冲器模块32粗真空泵34阀36促动机构38精真空泵40真空泵42退出缓冲器模块44退出锁紧模块46退出传送器50控制器52系统控制器54传感器60气相淀积设备100传送器组件102驱动单元104第一托架导轨106第二托架导轨108辊子位置110凹部114驱动轮115驱动带轮116空转轮118抓取表面120辊子126传动带128张紧辊子130支撑轮132接触部件134突起136轴向端面138模块140壳体142冷却剂入口144冷却剂出口
具体实施例方式现将详细参照本发明的实施例，在附图中示出了其一个或多个实例。以解释本发 明而非限制本发明的方式来提供各个实例。实际上，对本领域技术人员将显而易见的是，可 在本发明中作出各种修改和变型，而不脱离本发明的范围或精神。例如，作为一个实施例的 一部分示出或描述的特征可与另一个实施例一起使用，以产生又一个实施例。因而，意图的 是本发明包含落在所附权利要求书及其等效物的范围内的这种修改和变型。图1示出了气相淀积系统10的一个实施例，其可结合根据本发明的各方面的传送 器组件100的各种实施例，尤其是作为组成系统10的各种类型的模块的构件。为了参照和 理解可在其中使用本传送器组件100的环境，在下面对图1的系统10进行描述，后面是传 送器组件100的特定实施例的详细描述。系统10构造成用于将薄膜层淀积在光电(PV)模块衬底14(下文称为“衬底”)上。 薄膜可为例如碲化镉(CdTe)的膜层。如所提到的那样，在本领域中大体认可，PV模块衬底 上的“薄”膜层大体小于约10微米(μπι)。应当理解，传送器组件100不限于在图1所示的 系统10中使用，而是可结合到构造成用于使薄膜层气相淀积到PV模块衬底14上的任何适 当的加工线中。参看图1，示例性系统10包括由多个互连的模块限定的真空腔室12。可对互连的 模块构造真空泵40的任何组合，以在腔室12内抽取和保持对淀积过程有效的真空。多个 互连的加热器模块16限定了真空腔室12的预热区段，衬底14被传送通过该区段，并且在 被传送到气相淀积设备60中之前被加热到期望的温度。各个加热器模块16可包括多个独 立地控制的加热器18，加热器限定多个不同的加热区。特定的加热区可包括不止一个加热 器18。加热器18可设置在模块主体的上方或下方。气相淀积设备60可采用在本发明的范围和精神内的各种构造和操作原理，并且 大体构造成以便使源材料(例如CdTe)作为薄膜而气相淀积在PV模块衬底14上。在图1 所示的系统10的实施例中，设备60是包括其中容纳了内部构件的外壳的模块，内部构件包 括安装在传送器组件上方的真空淀积头。设备60中的传送器组件可与本发明的各方面一 致，或者可为特别地设计成用于设备60内的气相淀积过程的另一种类型的传送器。真空腔室12还包括在气相淀积设备60下游的、在该真空腔室12内的多个互连的 冷却模块20。冷却模块20在真空腔室12内限定了冷却区段，在该冷却区段中，允许具有淀 积在其上的源材料的薄膜的衬底14在该衬底14从系统10移除之前以受控制的冷却速率 冷却。各个模块20可包括强制冷却系统，其中，诸如冷却水、致冷剂或其它介质的冷却介质 被泵送通过对模块20构造的冷却旋管。在系统10的所示实施例中，至少一个后加热模块22位于气相淀积设备60的正下 游且在冷却模块20之前。当衬底14的前区段被传送出气相淀积设备60时，前区段运动到 后加热模块22中，后加热模块22将衬底14的温度保持在与气相淀积设备60内的衬底14 的剩余部分基本相同的温度处。这样，在衬底14的后区段仍然在气相淀积设备60内时就 不允许衬底14的前区段冷却。如果允许衬底14的前区段在其离开设备60时冷却，则会沿 着衬底14沿纵向产生不均勻的温度。这种状况会导致衬底由于热应力而破裂。如图1概略性地示出的那样，对气相淀积设备60构造了供给装置24，以供应源材 料，例如粒状CdTe。优选地，供给装置M构造成以便供应源材料，而不中断设备60内的连续的气相淀积过程，或者不中断将衬底14传送通过设备60。仍然参看图1，单独的衬底14最初置于装载传送器模块沈上，并且随后运动到包 括装载模块观和缓冲器模块30的进入真空锁紧工位中。对装载模块观构造了 “粗”(即 初始)真空泵32，以抽出初始真空，并且对缓冲器模块30构造了 “精”(即高)真空泵38， 以将缓冲器模块30中的真空度提高到基本为真空腔室12内的真空度。阀34(例如闸门型 切口阀或回转型瓣阀)可操作地设置在装载传送器26和装载模块观之间、在装载模块观 和缓冲器模块30之间，以及在缓冲器模块30和真空腔室12之间。这些阀34由马达或其 它类型的促动机构36顺序地促动，以便以步进的方式将衬底14引入(在大气压力下开始) 真空腔室12中，而不影响腔室12内的真空度。退出真空锁紧工位构造在最后的冷却模块20的下游，并且与上面描述的进入真 空锁紧工位基本相反地操作。例如，退出真空锁紧工位可包括退出缓冲器模块42和下游退 出锁紧模块44。顺序地操作的阀34设置在缓冲器模块42和冷却模块20中的最后一个之 间、在缓冲器模块42和退出锁紧模块44之间，以及在退出锁紧模块44和退出传送器模块 46之间。对退出缓冲器模块42构造了精真空泵38，并且对退出锁紧模块44构造了粗真空 泵32。泵32、38和阀34顺序地操作，以使衬底14以步进的方式运动出真空腔室12，而不 损失真空腔室12内的真空条件。系统10还包括协同的传送器系统，协同的传送器系统构造成以便使衬底14移动 到真空腔室12中、移动通过真空腔室12以及移动出真空腔室12。在所示实施例中，这个 传送器系统包括多个单独地控制的传送器组件100，其中，系统10中的不同模块中的各个 包括传送器组件100中的一个。这些传送器组件100的全部或任何组合可根据本发明的各 方面来进行构造，如在下面更加详细地描述。相应的传送器组件100包括传送器驱动单元 102，传送器驱动单元102控制衬底14通过相应的模块的传送速率。如所描述的那样，系统10中的不同模块中的各个以及相应的传送器独立地受控 制来执行特定的功能。对于这种控制，各个单独的模块可具有对其构造的相关联的独立的 控制器50，以控制相应的模块的单独的功能，包括传送器组件100的传送速率。多个控制器 50继而可与中央系统控制器52通讯，如图1所示。中央系统控制器52可监测和控制(通 过独立的控制器50)模块中任何一个的功能，以便在处理通过系统10的衬底14时实现总 的期望的加热速率、淀积速率、冷却速率等。参看图1，为了对整体系统构造10内的模块执行的功能的独立控制，包括对相应 的传送器组件100的单独控制，模块包括在衬底14传送通过模块时探测衬底14的存在性 的主动传感视口组件讨。视口组件M与相应的模块控制器50通讯，模块控制器50又与 中央控制器52通讯。在一个备选实施例中，视口组件M可直接与中央控制器52通讯。这 样，可控制单独的相应的传送器组件100，以确保保持衬底14之间的恰当间隔，以及衬底14 以期望的恒定传送速率被传送通过真空腔室12。应当理解，视口组件可用于与单独的模块 或整体系统10有关的任何其它控制功能。图2和3示出了对单独的模块138构造的传送器组件100的一个实施例。这些模 块138可为例如以上关于图1所论述的模块26、观、16、30、22、20、42、44和46中的任何一 个或组合。因此应当理解，传送器组件100不限于任何特定类型的模块或其它功能装置。相应的传送器组件100包括对模块138构造的至少一个驱动单元102。在图2所示的实施例中，示出了驱动单元102在前两个模块138 (右手边的模块)的各个相应的纵向 侧上，以示出各个纵向侧是驱动侧，其中，辊子120沿着组件100的各个纵向侧在辊子位置 处被旋转地驱动。示出了图2中的两个左手边的组件138具有在模块138的一个纵向侧上 的单个驱动单元102。这表明辊子120是沿着一个纵向侧被驱动的。辊子120的相对端承 载在空转轮中，如在下面更加详细地论述。传送器组件100不限于任何特定类型或构造的驱动单元102。就此而言，在图中对 驱动单元102进行了一般的描绘。在本文描述的一个特定的实施例中，驱动单元102可为 用来在环状的循环中驱动传动带126(图4和幻的马达，如在下面更加详细地描述。大体参看图2至5，传送器组件100包括在传送器组件100的驱动侧处的第一托架 导轨104，以及设置在传送器组件100的相对侧处的第二托架导轨106。第一托架导轨104 和第二托架导轨106包括沿着相应的导轨的长度沿纵向隔开的多个不同的辊子位置108。 这些辊子位置108可由例如可具有大体U形的轮廓的端部开口的凹部110限定。凹部110具 有用于接收多个辊子120的端部的尺寸(略微大于辊子直径)，如图4和5中描绘的那样。第一托架导轨104和第二托架导轨106可由针对传送器组件100意图处于其中的 特定类型的环境而构造的任何适当的材料形成。在其中在相对高温的真空淀积系统10中 使用传送器组件100的一个实施例中，如以上关于图1所述的那样，可能期望用强制循环冷 却介质在内部冷却托架导轨104、106。图2描绘了用于此目的的冷却剂入口 142和冷却剂 出口 144。托架导轨104、106可包括任何形式的内部冷却通道，诸如冷却水、致冷剂、气体等 的冷却介质通过该内部冷却通道进行循环，以便将构件保持在对于在它们所意图的环境中 进行持续操作有效的温度处。特别地参看图4和5，第一托架导轨104和第二托架导轨106在各个辊子位置108 处包括一对轮。如果托架导轨在传送器组件的驱动侧处，则多个辊子位置108是驱动位置， 其中，轮中的至少一个是驱动轮114，而另一个轮可为空转轮116。合乎期望地，各个辊子 120包括至少一个驱动轮，驱动轮可在或者第一托架导轨104或者第二托架导轨106处的辊 子位置108处。还应当理解，不是每个辊子位置108都必须是驱动位置。例如，空转位置可 沿着托架导轨104、106中任何一个或两者占据在驱动位置之间。换句话说，即使是对于传 送器组件的驱动侧，也不是每个辊子120都需要被驱动。在所示实施例中，沿着第一托架导 轨104的各个辊子位置108是驱动位置。相对于相应的凹部110的底部来设置轮114、116，以便限定用于辊子120的承座。 换句话说，辊子120搁靠在轮114、116上，而不接触凹部110的壁。轮114、116用来旋转地 支承和驱动相应的辊子120。为此，轮114、116可包括抓取性(gripping)增强表面118，例 如类似橡胶的涂层、一系列的0形圈、平的橡胶环等。表面118用来减小辊子120和相应的 轮114、116之间的旋转打滑。特别地参看图4和5，在各个辊子位置108处的驱动轮114构造有驱动带轮 (pulley) 115，驱动带轮115延伸超过驱动轮114的面。这些驱动带轮115可为由张紧的传 动带126接合的轮。传动带1 沿着第一托架导轨104的长度在环状的循环路径中延伸， 并且接合多个驱动带轮115，如图5中特别地示出的那样。为了保持传动带1 上的恰当张 紧，可沿着托架导轨104的长度提供一个或多个可调的张紧辊子128。同样地，可提供任何 数量的支撑轮(return wheel) 130，以确保传动带1 沿着其返回路径的恰当引导和偏转。驱动带轮115和支撑轮130也可包括用于与传动带1 接合的任何构造的牵引力增强的表 面。例如，带轮115和支撑轮130可包括滚花表面或者与传动带126的表面相容的任何其 它类型的表面，以确保传动带126和相应的轮之间有充分的牵引力。在其中使用了有齿带 和有齿轮的所示实施例中，构件之间一般不会发生打滑。如在图4和5中所见，多个辊子120在第一托架导轨104和第二托架导轨106之 间延伸。辊子120的端部基本落入相应的辊子位置108处的、由轮114、116限定的承座中。 出于修理、更换或任何其它原因，仅仅通过从辊子位置108中垂直地提出辊子120，就可从 导轨104、106中轻易且无困难地移除辊子。辊子可由任何适当的材料形成，例如陶瓷、铝、 钢等。驱动单元102可构造成以便通过任何适当的机械构造在带1 的环状的循环路径 中驱动带126。例如，驱动单元102可包括通过任何适当的传动装置与驱动带轮115中的一 个或多个旋转地接合的马达。在一个备选实施例中，可在沿着带126的路径的任何地方提 供单独的驱动带轮，以在带的环状的循环路径中驱动带。应当容易地理解，为此，各种适当 的驱动布置均在本发明的范围和精神内。如关于图4和5的论述所提到的那样，第二托架导轨106在相应的辊子位置108处 包括驱动轮114并不是必需的。沿着第二托架导轨106的位置108可仅仅包括在各个辊子 位置108处的一对不被驱动的空转轮116，以针对辊子120的端部限定承座。备选地，可能 期望包括以与上面关于第一托架导轨104所描述的相同类型的构造而对第二托架导轨106 构造的相应的驱动单元102。图5在图的右手侧示出了对辊子位置108构造的接触部件132。为了说明，已经 从其它辊子位置108上移除了这些接触部件132。接触部件132限定辊子120的轴向端面 136的接触承载表面，如图6和7中特别地示出的那样。在图6的实施例中，点接触由突起 134(例如小块或其它部件)限定，突起134同心地限定在辊子120的轴向端面136上。这 个突起134承靠在接触部件132上，以防止辊子相对于第一托架导轨104进行轴向蠕变。为 此，可沿着第二托架导轨106在辊子位置108处提供相同或相似的构造。在图7的实施例中，点接触由限定在接触部件132的内面上的小块或其它突起134 限定，该内面与辊子120的轴向面136相对。操作原理与以上关于图6所描述的操作原理 相同。尽管没有在图中描绘，但是应当理解，可沿着相应的导轨104、106的顶面设置任 何形式的其它结构，以防止辊子不慎从相应的辊子位置108弹出。结构可为例如防护屏、锁 紧条，或者任何其它类型的可容易地移除的结构。如果提供了这种结构，则将需要从导轨 104、106中移除该结构，以便于随后移除辊子120。如所提到的那样，本发明还包括用于将衬底14传送通过气相淀积系统-例如图1 中的系统10，其中，源材料转变成蒸气且淀积在衬底14的表面上-的任何形式的气相淀积 模块。参看图2和3，例如，任何形式的这种模块138包括传送器组件100操作地构造在其 中的壳体结构140。壳体结构140可包括侧壁，托架导轨104、106安装在侧壁之间。构造在 壳体结构140内的传送器组件100可与上述任何实施例一致。类似地，本发明还包括用于将源材料转变成蒸气且使源材料淀积在传送通过该系 统的衬底14的表面上的气相淀积系统，例如以上关于图1所描述的系统10。系统10可包括多个单独的、沿纵向对齐的模块，该模块限定用于传送通过系统10的衬底14的传送路 径。模块可为以上关于图1所描述的不同类型的模块中的任何一个或组合。模块和相应的 传送器组件100可与上述实施例中的任何一个一致。 本书面描述使用实例来公开本发明，包括最佳模式，并且还使本领域任何技术人 员能够实践本发明，包括制造和使用任何装置或系统，以及执行任何结合的方法。本发明的 可授予专利的范围由权利要求书限定，并且可包括本领域技术人员想到的其它实例。如果 这种其它实例包括不异于权利要求书的字面语言的结构元素，或者如果这种其它实例包括 与权利要求书的字面语言无实质性差异的等效结构元素，则这种其它实例意图处于权利要 求书的范围之内。
权利要求
1.一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的传送器组件(100)，所述传送 器组件包括设置在所述传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨(104)，以及设置在所述传送器组 件的相对侧处的第二托架导轨(106)；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨包括沿着所述第一托架导轨和所述第二托架 导轨沿纵向隔开的多个辊子位置(108)；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨在所述辊子位置中的各个辊子位置处还包括 一对轮(114，116)，所述轮间隔开，以便在所述相应的辊子位置处限定承座；在所述第一托架导轨上的多个所述辊子位置是驱动位置，其中，在所述辊子位置处的 所述轮(114)中的至少一个是从动轮；以及，在所述第一托架导轨和所述第二托架导轨之间延伸的多个辊子(120)，所述辊子具有 在所述辊子位置处落入所述承座中的端部，使得可通过在所述辊子位置处从所述承座上提 出所述辊子来从所述第一托架导轨和所述第二托架导轨上移除所述辊子。
2.根据权利要求1所述的传送器组件(100)，其特征在于，所述辊子位置(108)由端 部开口的凹部(110)限定，所述凹部(110)限定在所述第一托架导轨(104)和所述第二托 架导轨(106)中，所述一对轮(114，116)在所述凹部的底部处限定所述承座，使得所述辊子 (120)不接触所述凹部的壁。
3.根据权利要求2所述的传送器组件(100)，其特征在于，沿着所述第一托架导轨 (104)的所述从动轮(114)由共同的传动带(126)旋转地驱动，所述从动轮进一步包括抓取 性增强的外周表面(118)，以提高所述传动带的牵引力。
4.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的传送器组件(100)，其特征在于，所述 传送器组件(100)进一步包括沿着所述第一托架导轨(104)和所述第二托架导轨(106)设 置在所述辊子位置(108)中的各个处的轴向接触部件(132)，所述接触部件构造成和设置 成以便与所述辊子(120)的轴向端面(136)接触，以防止所述辊子相对于所述第一托架导 轨和所述第二托架导轨的轴向运动。
5.一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的气相淀积模块(138)，在气相 淀积系统(10)中，源材料转变成蒸气，并且淀积在所述衬底的表面上，所述模块包括壳体(140)；传送器组件(100)，其可操作地构造在所述壳体内，以将衬底(14)传送通过所述壳体， 所述传送器组件包括设置在所述传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨(104)，以及设置在所述传送器组 件的相对侧处的第二托架导轨(106)；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨包括沿着所述第一托架导轨和所述第二托架 导轨沿纵向隔开的多个辊子位置(108)；所述第一托架导轨和所述第二托架导轨在所述辊子位置中的各个辊子位置处还包括 一对轮(114，116)，所述轮间隔开，以便在所述相应的辊子位置处限定承座；沿着所述第一托架导轨的多个所述辊子位置是驱动位置，其中，所述轮(114)中的至 少一个是从动轮；以及，在所述第一托架导轨和所述第二托架导轨之间延伸的多个辊子(120)，所述辊子具有在所述辊子位置处落入所述承座中的端部，使得可通过在所述辊子位置处从所述承座上提 出所述辊子来从所述第一托架导轨和所述第二托架导轨上移除所述辊子。
6.根据权利要求5所述的模块(138)，其特征在于，所述辊子位置(108)由端部开口 的凹部(110)限定，所述凹部(110)限定在所述第一托架导轨(104)和所述第二托架导轨 (106)中，所述轮(114，116)在所述凹部的底部处限定所述承座，使得所述辊子(120)不接 触所述凹部的壁。
7.根据权利要求6所述的模块(138)，其特征在于，沿着所述第一托架导轨(104)的所 述从动轮(114)由在环状的循环路径中延伸的共同的传动带(126)旋转地驱动，所述从动 轮进一步包括抓取性增强的外周表面(118)，以提高所述传动带的牵引力。
8.根据权利要求7所述的模块(138)，其特征在于，所述模块(138)进一步包括构造在 所述壳体(140)上以驱动所述传动带(1 )的驱动单元(102)。
9.一种气相淀积系统(10)，其构造成以便将源材料转变成蒸气且使源材料淀积在被 传送通过所述系统的衬底(14)的表面上，所述系统包括多个单独的、沿纵向对齐的模块(138)，所述模块限定用于被传送通过所述系统的衬底 的传送路径，所述模块中的各个根据权利要求5至8中的任一项权利要求来构造。
10.根据权利要求9所述的系统(10)，其特征在于，所述系统(10)进一步包括对所述 模块中的各个构造的控制器(50)，所述控制器与中央系统控制器(5 通讯。
全文摘要
本发明涉及用于气相淀积系统的具有可移除的辊子的传送器组件。一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的传送器组件(100)包括第一托架导轨(104)和设置在传送器组件的相对侧处的第二托架导轨(106)。第一托架导轨和第二托架导轨包括沿着它们沿纵向隔开的多个辊子位置(108)。托架导轨进一步在各个辊子位置处包括一对轮(114，116)，轮是隔开的，以便在相应的辊子位置处限定承座。在各个辊子位置处的轮(114)中的至少一个是驱动轮。多个辊子(120)在第一托架导轨和第二托架导轨之间延伸。辊子具有在辊子位置处落入承座中的端部，使得可通过在辊子位置处从承座上提出辊子来从托架导轨上移除辊子。
文档编号C23C16/54GK102115875SQ20101062465
公开日2011年7月6日 申请日期2010年12月30日 优先权日2009年12月30日
发明者C·拉思维格, E·J·利特尔 申请人:初星太阳能公司