专利名称：真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于真空镀膜设备上的储存硅醚等反应物容器(罐)的加热 装置，特别是涉及真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置。
背景技术：
在物理气相沉积、化学气相沉积、物理化学混合气相沉积等过程中，其腔体内输入 某种气体后，可以将气体离化然后沉积成膜，或者该气体可以不参与反映，如氩气等惰性气 体。所以真空镀膜中，往往采用气体或者液体作为反应气体或者溅射气体参与镀膜过程，并 且在实际工作中，大部分不采用加热方法，让气体或者液体进入反应腔体，但也有少部分反 应物质需要加热，已有技术对反应物的加热均使用底部加热板给储气罐直接加热，这样不 仅加热物质受热不均勻，而且局部还会出现温度过高，很容易出现危险事故。
发明内容本实用新型的目的是为了克服已有技术在真空镀膜中使用的储气罐的加热和受 热不均勻的缺点，达到储气罐受热均勻，从而稳定向真空腔体中输入气体的真空镀膜硅醚 罐的水浴加热装置。本实用新型真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置的技术方案是包括硅醚罐，硅醚罐 中盛有硅醚，硅醚罐上安装法兰盖板，法兰盖板中制有出气口，出气口连通真空腔体，其特 征在于所述的硅醚罐外有加热容器，加热容器底部有电加热板，加热容器与硅醚罐之间盛 有水，加热容器上有加水口，加热容器壁上有观察法兰和观察窗。本实用新型公开了一种真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，包括盛有硅醚的硅醚 罐，硅醚罐上有法兰盖板，法兰盖板有出气口连通到真空镀膜腔体，主要发明点在于硅醚罐 外有盛水的加热容器，加热容器的底部有加热板，加热板包括各有关电热丝、电热片、电热 膜等加热电阻，由加热板对容器中的水加热，将水温传递到硅醚罐，使硅醚受热气化，流向 真空腔体用于镀膜，一是使硅醚罐内气体加热均勻稳定；二是气体受热面积大，挥发性能 好；三是气体受热温度不超过100度，保证镀膜质量。观察窗以便观察罐内的硅醚含量，观 察窗可以上下各一个。本实用新型真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，所述的法兰盖板与硅醚罐之间有密 封圈，并有固定螺钉相固定，有了密封圈保证硅醚罐的密封性，螺钉固定连接可靠。所述的 法兰盖板中制有真空表接口，接口中安装真空表，有了真空表，随时了解硅醚罐内的气压。 所述的电加热板有热电偶插孔接电源。使加热板与电源可靠联接，提高安全性能。所述的 硅醚罐为金属罐，壁厚为4-7mm，在实际产品中，壁厚一般为5mm左右，保证硅醚罐的强度要 求。金属罐可由不锈钢、铜、铝合金等材料所制成。
图1是本实用新型真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置示意图。
具体实施方式
本实用新型涉及一种真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，如图1所示，包括硅醚罐 1，硅醚罐中盛有硅醚2，硅醚罐1上安装法兰盖板9，法兰盖板9中制有出气口 14，出气口连 通真空腔体，其特征在于所述的硅醚罐1外有加热容器15，加热容器15底部有电加热板7， 加热容器15与硅醚罐1之间盛有水4，加热容器15上有加水口 8，加热容器15壁上有观察 法兰和观察窗3、5。本方案包括盛有硅醚2的硅醚罐1，硅醚罐1上有法兰盖板9，法兰盖板 9有出气口 14连通到真空镀膜腔体，主要发明点在于硅醚罐1外有盛水的加热容器15，加 热容器15的底部有加热板7，加热板7包括各有关电热丝、电热片、电热膜等加热电阻，由加 热板7对容器中的水加热，将水温传递到硅醚罐1，使硅醚2受热气化，流向真空腔体用于镀 膜，一是使硅醚罐1内气体加热均勻稳定；二是气体受热面积大，挥发性能好；三是气体受 热温度不超过100度，保证镀膜质量。观察窗3、5以便观察罐内的硅醚含量，观察窗3、5可 以上下各一个。所述的法兰盖板9与硅醚罐1之间有密封圈13，并有固定螺钉10相固定， 有了密封圈13保证硅醚罐1的密封性，螺钉10固定连接可靠。所述的法兰盖板9中制有 真空表接口 11，接口中安装真空表12，有了真空表12，随时了解硅醚罐1内的气压。所述的 电加热板7有热电偶插孔6接电源，使加热板7与电源可靠联接，提高安全性能。所述的硅 醚罐1为金属罐，壁厚为4-7mm，在实际产品中，壁厚一般为5mm左右，保证硅醚罐的强度要 求，金属罐可由不锈钢、铜、铝合金材料所制成。
权利要求真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，包括硅醚罐(1)，硅醚罐中盛有硅醚(2)，硅醚罐(1)上安装法兰盖板(9)，法兰盖板(9)中制有出气口(14)，出气口连通真空腔体，其特征在于所述的硅醚罐(1)外有加热容器(15)，加热容器(15)底部有电加热板(7)，加热容器(15)与硅醚罐(1)之间盛有水(4)，加热容器(15)上有加水口(8)，加热容器(15)壁上有观察法兰和观察窗(3、5)。
2.如权利要求1所述的真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，其特征在于所述的法兰盖板 (9)与硅醚罐(1)之间有密封圈(13)，并有固定螺钉(10)相固定。
3.如权利要求1所述的真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，其特征在于所述的法兰盖板 (9)中制有真空表接口(11)，接口中安装真空表(12)。
4.如权利要求1所述的真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，其特征在于所述的电加热板 (7)有热电偶插孔(6)接电源。
5.如权利要求1所述的真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，其特征在于所述的硅醚罐 (1)为金属罐，壁厚为4-7mm。
专利摘要真空镀膜硅醚罐的水浴加热装置，包括硅醚罐，硅醚罐中盛有硅醚，硅醚罐上安装法兰盖板，法兰盖板中制有出气口，出气口连通真空腔体，其特征在于所述的硅醚罐外有加热容器，加热容器底部有电加热板，加热容器与硅醚罐之间盛有水，加热容器上有加水口，加热容器壁上有观察法兰和观察窗。主要发明点在于硅醚罐外有盛水的加热容器，加热容器的底部有加热板，由加热板对容器中的水加热，将水温传递到硅醚罐，使硅醚受热气化，流向真空腔体用于镀膜，一是使硅醚罐内气体加热均匀稳定；二是气体受热面积大，挥发性能好；三是气体受热温度不超过100度，保证镀膜质量。观察窗以便观察罐内的硅醚含量，观察窗可以上下各一个。
文档编号C23C14/00GK201605315SQ20102004985
公开日2010年10月13日 申请日期2010年1月6日 优先权日2010年1月6日
发明者范家秋 申请人:浙江天翀车灯集团有限公司